JPS6036950A - 電気化学的セル及びその製造法 - Google Patents

電気化学的セル及びその製造法

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JPS6036950A
JPS6036950A JP58144478A JP14447883A JPS6036950A JP S6036950 A JPS6036950 A JP S6036950A JP 58144478 A JP58144478 A JP 58144478A JP 14447883 A JP14447883 A JP 14447883A JP S6036950 A JPS6036950 A JP S6036950A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、低温度より作動し、耐久性のすぐれた電気化
学的セルに関するものである。
従来から、Ca O,Y203等を添加した酸化ジルコ
ニウム焼結体、等は、酸素イオン導電性固体電解質とな
り、この酸素イオン導電性′固体電解買の表面に白金電
極等をもうけた素地が、ボイラーの排ガスや自動車の排
ガス中の酸素分圧を測定するセンサーとしであるいは酸
素をガス中から汲み出したり、ガス中へ汲み入れたりす
る酸素ポンプとして用いられる電気化学的セルとなるこ
とが知られている。
そして、この様な用途に使用する電気化学的セルは、低
い温度から起電ツノが発生するようにするため酸素イオ
ン導電性固体電解質どの界面インピーダンスの小さい電
極が望まれ、かつ高温高速のガス中で使用したりするた
め、付着強度が大きく耐久性のすぐれた電極を有するこ
とが望まれていた。
電気化学的セルのインピーダンスは、単純には電極と固
体電解質の界面インピーダンスと固体電解質自体のイン
ピーダンスの和と考えることができる。そして、固体電
解質自体のインピーダンスはその組成等で決まっ−Cし
まうが、電極ど固体電解質の界面インピーダンスは電極
の何時条件等で大きく変わることが知られている。この
ため低温度から起電力が発生し作動する電気化学的セル
を得るためには、電極の界面インピーダンスができるだ
け小さいことが必要である。
通常、この種の空気化学的セルの電極としては、白金族
金属の化学メッキ法、物理メッキ法あるいは焼付法等に
よる電極が知られている。しかし、これらの電極はいず
れも下地の酸素イオン導電性固体電解質に対して機械的
に白金族金属がかみあって付着しているにすぎず、熱的
ストレス等により比較的容易につきあがり、従って界面
インピーダンスの増大や茗しくは電極が剥離してしまう
等の欠点があった。また、界面インピーダンスの小さい
電極として、メッキ法あるいは焼付法等で得た白金族金
属の電極被膜の空隙中に金属酸化物溶液を浸透ざゼた後
、熱分解させ生成した酸化ジルコニウム等を空隙中に介
在させlc電極が知られている。しかし、この電極も下
地の酸素イオン導電性固体電解質との付着)ノは前記ど
同様に弱く、また付着強度を大きくするために、金属酸
化物が下地酸素イオン導電性固体電解質ど1−εしでも
反応焼結する様金属酸化物溶液を1100℃以上の温度
で熱分解すると界面インピーダンスが著しく増大するた
め、付着強度を強くできないという欠点があつ ノこ 
さらに付着強度の大きい電極を設けた電気化学的セルと
して、白金族金属の粉末と酸素イオン導電性固体電解質
の粉末との混合物を酸素イオン導電性固体電解質に角与
し、下地と電極中の酸素イオン導電性固体電解質が十分
反応して固着する温度で、焼付けて混合焼結体とし、サ
ーメット電極とした電気化学的セルが知られている。し
かしながら、この酸素濃淡電池のサーメット電極は下地
と電極中の酸素イオン導電性固体電解質が十分反応して
固着する様な高温度処理をうけているため、界面インピ
ーダンスが増大しC1低温では起電ノ〕が発生しないと
いう欠点があった。
本発明は、これらの欠点を解決して、付着強度が大きく
耐久性のJ”ぐれた電極を有していて、かつ電極と下地
の酸素イオン導電性固体電解質との界面インピーダンス
が小さく低い温度から作動する電気化学的セルを得るこ
とを目的としたものである。
本発明は、白金族金属と酸素イオン導電性固体電解質の
混合焼結層、好ましくは下地の酸素イオン導電性固体電
解質体ど同時焼成して得た混合焼結層の空隙中に該混合
焼結層の焼結温度よりも低温で熱処理した酸素イオン導
電性固体電解質を内在させた電極を右する酸素イオン導
電性固体電解質体J:りなる電気化学的セルであり、ま
た酸素イオン導電性固体電解質体の表面上に白金族金属
と酸素イオン導電性固体電解質の混合焼結層を設けた後
、該混合焼結層の空隙中に、酸素イオン導電性固体電解
質粉末の懸濁液あるいは熱処理により酸素イオン導電性
固体電解質を生じ得る金属化合物溶液を含浸し、該混合
焼結層の焼結温度よりも低温で熱処理する空気化学的セ
ルの製造法であり、好ましくは酸素イオン導電性固体電
解質体の表面上に該混合焼結層を設り′るに際し、焼成
により酸素イオン導電性固体電解質を生じ得る金属化合
物成形体の表面上に白金族金属と焼成に′まり酸素イオ
ン導電性固体電解質を生じ得る金属化合物の混合ペース
I一層を形成した後、力l成りる電気化学的セルの製造
法である。
本発明は、白金族金属と酸素イオン導電性固体電解質の
混合焼結層を下地の酸素イオン導電性固体電解買体とで
きるだけ強固に付着する温度で焼結させ、かつ該温度の
影響で活性低下し、界面インピーダンスが増加した混合
焼結層よりなる電極中に該混合焼結層の焼結温度よりも
低温で好ましくは1100℃以下で熱処理・した酸素イ
オン導電性固体電解質を内在さ“けることで電極の再活
性化ができ、さらに界面インピーダンスを低下させるこ
とができることを見出したことにもとづくしのである。
また白金族金属と酸素イオン導電性固体電M質の混合焼
結層よりなる電極は焼結時にできるだけ活性低下がすく
ないほうが、前記再活性化が容易であり、従って該混合
焼結層中の酸素イオン導電性固体電解質の容積は、白金
族金属の著しい焼結による活性低下を防止するため、白
金族金属の容積100部に対して25部以上かつ、電極
の電気伝導性を確保するため、200部以下が好ましい
。酸素イオン導電性固体電解質どしては、Y203 。
CaO,1vH10,Yb2O3,5O203゜Ndz
○3.CeO2等を添加したzr02または1−1f○
2等、la 203.Y2O3゜N(1203,ThO
2等を添加したCeO2等、Ca o、Y203.l−
a 203等を添加しIcTb02等がある。
白金族金属と酸素イオン導電性固体電解質の混合焼結層
は、焼結した酸素イオン導電性固体電解質または焼成に
より酸素イオン導電性固体電解質を生じ得る金属化合物
成形体の所定位置に白金族金属粉末たどえば白金粉末と
、酸素イオン導電性固体電解質粉末たとえばイツトリア
添加ジルコニア粉末等の混合物をペースト状等にして付
与し、酸素イオン導電性固体電解質の焼結温度以上、す
くなくとも1300°C以上の温度で焼成して得ればよ
い。またこの混合焼結層中に適度な空隙を焼成させるた
めに、白金族金属わ)末と酸素イ゛゛オン導電性固体電
解質粉末との混合物中に加熱により揮散する物質例えば
有機物バインダー等を適m加えても良い。そしてこの混
合焼結層の空隙中に内在さぜる@素イオン導電性固体電
解賀どしてはZr 02 。
Y203添加ZrO2,CaO添加7r 02 。
Yb2O3添加Zr 02 、Y203添加CF302
゜1−a203添加Ce 02 、Y2032=’A加
1−t+Q2゜CaO添加T1102等のジルコニア化
合物あるいは酸素イオン導電性化合物の1種または数種
を使用して良い。
混合焼結層の空隙中に該混合焼結層の焼結湿度よりも低
温で熱処理した上記のような酸素イオン導電性固体電解
質を内在させた電極を得る方法としては、これら酸素イ
オン導電性固体電解質の微粉末の1種または数種を溶媒
、例えば水、アルコール等の中に分散させたMFa液を
混合焼結層に塗布あるいは混合焼結層を前記懸濁液中に
浸漬した後に乾燥し、該混合焼結層の焼結温度以下好ま
しくは1100℃以下C熱処理焼付ければ良い。
また!!!濁液のかわりに、熱処理により目的とする酸
素イオン導電性固体電解質どなる金属化合物の1種また
は数種のたとえばオギシ塩化ジル]ニウム、塩化イット
リウへ等の溶液を使用しても良い。さらに、電極ど下地
の酸素イオン導電性固体きくするには、上記の操作を複
数回くりがえずことが好ましい。また上記方法により酸
素イオン導電性固体電解質が混合焼結層表面に付着して
いても良いことはもちろんである。
このように白金族金属と酸素イオン導電性固体電解質の
混合焼結層の空隙中に、該混合焼結層の焼結温度よりも
低温で熱処理した酸素イオン導電性固体電解質を内在さ
けた電極を有する空気化学的セルにおいて、電極と下地
酸素イオン9電性固体電解質体との界面インピーダンス
が小さくなる理由は、白金族金属と酸素イオン導電性固
体電解質の混合焼結層は1300’C:以上の熱をう【
ノで下地と強く付着するが、この時白金族金属の焼結が
進みこの白金族金属と混合焼結層中の酸素イオン導電性
固体電解質または下地酸素イオン導電性固体電解質体と
の間に隙間が生じ界面インピーダンスは上昇するわしが
し混合焼結層の焼結温度よりも低温で熱処理されたジル
コニア化合物または酸素イオン導電性化合物はこの1l
lii間及び他の空隙中に内−−lコ1.7r’+△7
ノ辷=八I’m1−Wイ^−−−ト4++’l+zツピ
1−−j−1−−−。
質どの接触点を多数形成せしめる効果を有するためと考
えられる。
以下、本発明の実施例について説明づる。
実施例1 Z rO’294−Eル%、Y2O36モル%組成ζな
る様に酸化ジルコニウム粉末及び酸化イツトリウム粉末
を秤量した後、この酸化ジルコニウム粉末及び酸化イッ
I・リウム粉末の合計量を100重量部どして、酸化ア
ルミニウム粉末を0.5重量部秤量して加え全粉末量を
502.5Gとした。ポリエチレン製ポット中にジルコ
ニア玉石と前記粉末を入れて、48時間粉砕混合した。
この粉末の一部にポリビニルアルコールの6wt%水溶
液を粉末に対し5wt%添加し造粒した。この粉末をプ
レス成形した後、1400℃で5時間焼成して、直径2
5.Omm厚さ0.40 Nの酸素イオン導電性固体電
解質の円板を作製した。
白金粉末2.14(]ど前記48時間粉砕混合粉末0.
55gにバインダーとしてエトセル0.135g、有機
溶媒どしてブチルカルピトールアセテートを加えメノウ
乳鉢中で30分間混合して、白金族金属と酸素イオン導
電性固体電解質の混合焼結層形成用のペーストどした。
このペーストを先に作成した酸素イオン導電性固体電解
質の板の両面に筆ぬりし、80℃で30分乾燥後145
0℃で1時間焼成した。
焼成後混合焼結層は下地に強固に付着していた。
酸化ジルコニウムの微粉末10すをエチルアルコール1
0叡中に分散させその液中へ上記試料を1分間浸漬した
後、取り出し乾燥し、1050℃で10分間熱処理し、
試料1を得た。
試料1を350℃または450℃の電気炉中に入れ、直
流抵抗値を測定した。この時試料1は炉外へとどく白金
リード線のついた白金板の上に置き、さらに試料1の上
に同様に炉外へとどく白金リード線のついた白金板を重
ね、その上にはステンレス製の重りをのせ、試料の保持
を確実にした。試料1の直流抵抗値は第1表に示す通り
である。
実施例2 実施例1ど同様に混合焼結層を形成した酸素イオン導電
性固体電解質の円板を作製した。オキシ塩化ジルコニウ
ム1 oogを150較の水に溶解し7.−水溶液中へ
上記試料を浸漬した後、1050℃で10分間熱処理し
、試料2を得た。
実施例1と同様の方法で350℃、450℃ひの直流抵
抗値を測定した。結果は第1表に示す通りである。
実施例3 実施例2にT3いて、オキシ塩化ジルコニウム水溶液中
に浸漬した後1050℃で10分間熱処理ケる作業を4
回くりかえしC1試料3を得た。
実施例1と同様の方法で350℃、450℃での直流抵
抗値を測定した。結果は第1表に示す通りである。
実施例4 実施例1ど同様に混合焼結層を形成した酸素イオンS電
性固体電解質の円板を作製した。
Zr0294モル%、Y2O36モル%の組成の酸素イ
オン導電性固体電解質微粉末10gをエチルアルコール
10敏中に分散させた液中に、上記試料を1 イー>闇
4 清l 、 t−fN T117 Z 中 l 、 
6’−、+1+’J+ l 、 11 Af’l枦?+
 I A4問熱処理した。同様の処理をもう一回実施し
て試料4を得た。
実施例1ど同様の方法で350℃、450’Cでの直流
抵抗値を測定した。結果は第1表に示す通りである。
実施例5 実施例1と同様に混合焼結層を形成した酸素イオン導電
性固体電解質の円板を作製した。オキシ塩化ジルコニウ
ム1oogと6倍の結晶水のついた塩化イツトリウム1
2.02gを150II+2の水に溶解した水溶液中に
上記試料を浸漬した後1000’Cで10分間熱処理し
た。同様の処理をもう一回実施して試料5を得た。
実施例1と同様の方法で350”C,450℃での直流
抵抗値を測定した。結果は第1表に示ず通りである。
実施例6 実施例1において、48時間粉砕混合した粉末をポリビ
ニルアルコールを加え造゛粒しプレス成形しt−ti’
ib髪ンf+Fr〆7)IDi11’;l−−#flc
nコ1w+−ト+++−’+l+−、−ILl−H,+
+合焼結層形成用のペーストを該円板の両面に筆ぬりし
、1425℃で3時間焼成して、混合焼結層を形成した
酸素イオン導電性固体電解質の円板を作製した。実施例
5で作成したオキシ塩化ジルコニウムと塩化イン1〜リ
ウムの混合溶液中に上記試料を浸漬し1000℃で10
分間熱処理した。同様の浸漬熱処理をもう一回実施して
試n6を得た。
実施例1と同様の方法で350°C,450℃での直流
抵抗値を■す定した。結果は第1表に示す通りである。
実施例7 実施例6ど同様に同時焼成で混合焼結層を形成した酸素
イオン導電性固体電解質の円板を作製した。塩化1−リ
ウム1009と結晶水のついた塩化イツトリウム28.
64(Iを100較の水に溶解した水溶液中に浸漬した
後、1ooo℃で10分間熱処理した。同様の浸漬熱処
理をさらに3回実施して試料7を得た。
実施例1と同様の方法で350℃、 1450℃での直
流抵抗値を測定した。結果は第1表に示す通りである。
なお比較のため、参考例8どして実施例1と同様に白金
と酸素イオン導賓性固体電解質の混合焼結層を付与し、
その後の酸素イオン導電性固体電解質の(q与処理をし
なかった試料の直流抵抗を350℃、450℃で測定し
、第1表に示した。
第1表の結果より明らかなように本発明の電気化学的セ
ルは、セルの直流抵抗が低いため、低い温度から作動す
る酸素分圧測定用センサーとしであるいは酸素ポンプと
して使用することができ、かつその白金族金属と酸素イ
オン導電性固体電解質の混合焼結層は極めて強固な付着
力を有するため、高温凸速ガス中ですぐれた耐久性を示
すのに対し、参考例8の様に本発明の処理のないもので
はその直流抵抗は極めて高く、本発明の電気化学的セル
と比較し、低湿作動性で劣るものであった。
以上詳細に説明した様に、本発明による電気化学的セル
は白金族金属と酸素イオン導電性固体電解質の混合焼結
層の空隙中に、該混合焼結層の焼結温度よりも低い温度
で熱処理した酸素イオン導電性固体電解質を内在させた
電極を有するものであり、低い温度から作動するガス中
の酸素分圧測定用センサーとしであるいは酸素ポンプと
して使用でき、かつ電極付着強度が極めて強固なため、
高温高速ガス中でもすぐれた耐久性を示すものであり、
自動車排気ガス中あるいはボイラーの高温排気ガス中の
酸素センサーとしであるいは酸素ポンプとして使用可能
であり、産業上極めて有用である。
特許出願人 日本碍子株式会社 手続補正書 昭和59年7 月28日 1、事件の表示 昭和58年特許 願第144478号 、1.明細書第2頁第16行中「素地」を「素子」と訂
正する。
2、同第3頁第19行中「空気化学的セル」を「電気化
学的セル」と訂正する。
8、同第4頁第9行中「空隙中に金属酸化物」を「空隙
中に熱処理により金属酸化物となる金属化合物」と訂正
する。
4同第6頁第11行中「空気化学的セル」を「電気化学
的セル」と訂正する。
5同第8頁第14行中「焼成」を「生成」と訂正する。
6同第10頁第8行中「電気化学」を「電気化学」と訂
正する。
?、同第11頁第19行中「エトセル」を「エチルセル
ロース」と訂正する。
8同第15頁第19行中「1450°C」を「450′
C」と訂正する。
9、同第16頁第1表中「白金と酸素イオン導電性固体
電解質の混合焼結層の形成方法」欄の[試料A 1〜5
 Jに記載の「ZrO296m01%」を「zro29
4 m02%」と「」正する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、白金族金属と酸素イオン導電性固体電解質の混合焼
    結層の空隙中に、該混合焼結層の焼結温度よりも低温で
    熱処理した酸素イオン導電性固体電解質を内在させた電
    極を有することを特徴とする酸素イオン導電性固体電解
    質体よりなる電気化学的セル。 2、白金族金属と酸素イオン導電性固体電解質の混合焼
    結層と酸素イオン導電性固体電解質体を同時焼成して得
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の電気化
    学的セル。 3、酸素イオン導電性固体電解質体の表面上に白金族金
    属と酸素イオン導電性固体電解質の混合焼結層を設けた
    後、該混合焼結層の空隙中に、酸素イオン導電性固体電
    解質粉末の懸濁液あるいは熱処理により酸素イオン導電
    性固体電解質を生じ得る金属化合物溶液を含浸し、該混
    合焼結層の焼結温度よりも低温で熱処理することを特徴
    とする■気化学的セルの製造法。 4、焼成により酸素イオン導電性固体電解質を生じ得る
    金属化□合物成形体の表面上に、白金族金属と焼成によ
    り酸素イオン導電性固体電解質を生じ得る金属化合物の
    混合ペースト層を形成した後、焼成して該混合焼結層を
    設けることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の電
    気化学的セルの製造法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002195981A (ja) * 2000-12-26 2002-07-10 Kyocera Corp 酸素センサおよびその製法
JP2010204088A (ja) * 2009-02-06 2010-09-16 Nippon Soken Inc ガスセンサ用固体電解質、その製造方法、及びそれを用いたガスセンサ

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0650297B2 (ja) * 1986-12-27 1994-06-29 日本碍子株式会社 酸素センサ素子の製造方法
JPH0752171B2 (ja) * 1987-05-30 1995-06-05 日本碍子株式会社 電気化学的素子
US5007992A (en) * 1989-05-15 1991-04-16 Weber Daniel K Method and apparatus for removing oxygen from a semiconductor processing reactor
GB9116385D0 (en) * 1991-07-30 1991-09-11 British Gas Plc Oxygen sensor
US5698267A (en) * 1992-12-01 1997-12-16 Robert Bosch Gmbh Method for fabricating high-activity electrodes for exhaust gas sensors
US7195794B2 (en) * 2004-04-30 2007-03-27 Praxair Technology, Inc. Method of making an electrolytic cell

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1926445A1 (de) * 1969-05-23 1970-12-03 Gen Electric Elektrode fuer eine Zelle mit Sauerstoffionen-Festelektrolyt
US3843400A (en) * 1972-09-18 1974-10-22 Westinghouse Electric Corp Solid electrolyte cell
JPS5210193A (en) * 1975-07-15 1977-01-26 Hitachi Ltd Element for oxygen concentration measuring use
DE2619746C3 (de) * 1976-05-05 1980-11-13 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Meßfühler für die Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Abgasen, vorwiegend von Verbrennungsmotoren
JPS53100890A (en) * 1977-02-16 1978-09-02 Ngk Insulators Ltd Oxygen concentration cell and its manufacture
DE2852638C2 (de) * 1978-12-06 1986-01-16 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Gassensor mit Cermet- Elektroden
DE2911042C2 (de) * 1979-03-21 1985-10-31 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Elektrochemischer Meßfühler für die Bestimmung der Sauerstoffkonzentration und Verfahren zu seiner Herstellung
EP0062330A1 (de) * 1981-04-03 1982-10-13 Fuji Electric Co., Ltd. Sauerstoffempfindlicher Sensor mit einem Sensorelement aus Zirkonoxyd, Verfahren zu dessen Herstellung und Nachbehandlung, Verwendung des Sensors zur Messung in schwefeloxydhaltiger Messgasatmosphäre

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002195981A (ja) * 2000-12-26 2002-07-10 Kyocera Corp 酸素センサおよびその製法
JP4540222B2 (ja) * 2000-12-26 2010-09-08 京セラ株式会社 酸素センサおよびその製法
JP2010204088A (ja) * 2009-02-06 2010-09-16 Nippon Soken Inc ガスセンサ用固体電解質、その製造方法、及びそれを用いたガスセンサ
JP4724772B2 (ja) * 2009-02-06 2011-07-13 株式会社日本自動車部品総合研究所 ガスセンサ用固体電解質、その製造方法、及びそれを用いたガスセンサ

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Publication number Publication date
US4530751A (en) 1985-07-23
JPH0246105B2 (ja) 1990-10-12
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EP0134137A1 (en) 1985-03-13

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