JPS6035239Y2 - 固体拡散用ボ−ト - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、固体拡散源を用いて半導体ウェハに不純物を
拡散するために固体拡散源とウェハを対峙配置するポー
ト構造に関する。

従来のボートは、第１図又は第２図に示す構造にされる
。

第１図におけるＳｉＣボート１は、半導体ウェハ２と固
体拡散源３を長手方向に交互に横配列するのに、ウェハ
２及び固体拡散源３の厚さに合わせた幅の溝ＩＡが形成
される。

溝１Ａはウェハ２及び固体拡散源３の周縁に合わせて円
弧状にされ、ウェハ２等の脱落防止はもちろんウエノ１
２と固体拡散源３との間隙を一定に保持し拡散時の不純
物濃度のばらつき発生を防止している。

第２図におけるホード４は、ウェハ２の半周縁に沿った
浅溝４Ａを有する半円筒状断面にされ、両側部にポート
自体の横揺れ防止用の固定支片４Ｂを具える。

こうした従来構造のボートは、大口径ウェハ及び固体拡
散源の固定が比較的容易であるが、小口径ウェハについ
てはボートに溝を切る加工用グラインダーの最小半径が
限られていることから例えば第３図に示すようにウェハ
２周縁に合わせた溝切りが難しく、ウェハ径よりも大き
い溝径Ｒにせざるを得なかった。

このため、半導体ウェハ２とボート１の接触面が小さく
しかもｌ箇所の支持であることからその横方向及び配列
方向に不安定な載置状態になり易かった。

また、従来構造のボ、−トは加工可能な最小径ウェハ用
を除いてウェハ径に合わせた溝を有するものを夫々用意
する必要があり、多種類、多数のボートを管理する手間
及び設備費を大きくする問題があった。

本考案は、上記問題点に鑑みてなされたもので、小口径
ウェハも確実に固定でき、しかも小口径ウェハから大口
径ウェハまての径の異なるウェハに共用できる汎用性の
高いボート構造を提供することを目的とする。

以下、本考案の実施例を詳細に説明する。

第４図は、ホード構成部材を示し、支持部材５と６は対
をなして構成され、はぼＬ字状断面をなして内側が弧状
面に形成され、この弧状面に沿ってウェハ及び固体拡散
源を挿入するための一定深さの溝７，８が形成されてい
る。

また、支持部材５と６は内側に互いを当接するための当
接面５Ａ、６Ａを有する。

組立基板９はバット状に構成され、その受面に支持部材
５と６が互いに突合わされて嵌め込まれる。

溝７，８の曲率半径はウェハの大口径用、中口径用、小
口径用など二、三種類のものに設計され、小口径用では
溝加工グラインダーの最小半径に近い値にされる。

また、溝の深さは適用ウェハのサイズから適当に決めら
れるし、溝幅は適用ウェハ及び固体拡散源の厚みから決
められる。

支持部材５，６と組立基板９の組立て状態は第５図に示
す。

同図は小ロ径つエノ＼用の場合を示し、小口径ウェハ１
０及び固体拡散源の配設状態では図示するようにウェハ
１０の径よりも溝径が大きい場合にもウェハ１０の周縁
２箇所を支持部材５．６で支持し、その２箇所がウェハ
１０の下部に集中せずに上部方向まで延びた支持となる
。

支持部材５，６の弧状面に持つ溝？Ａ、８Ａはウェハ用
であり、７Ｂ、８Ｂは固体拡散源用溝であり、これら溝
が支持部材５，６の組立状態で互いの位置ずれが生じな
いよう支持部材５，６に位置合せ用の半円孔５Ｂ、６Ｂ
を有し、この半円孔５Ｂ、６Ｂで形成する孔にロックピ
ンを嵌め込んで組立基板との固定を得る。

こうした構造のボートによれば、上記のようにウェハ及
び固体拡散源を三箇所で固定するため、横揺れに対する
ウェハ等の固定が確実になるし、溝が高い位置まで延び
るし、同じ支持部材にもウェハ等の径が大きくなるほど
その固定位置が高くなり、高配列方向にも安定した固定
ができる。

第６図は本考案の他の実施例を示し、スペーサ使用して
汎用性を一層高めたボート組立状態図である。

支持部材１１．１２は適当な径の弧状面とその溝１１Ａ
、１２Ａを有し、この支持部材１１．１２の組立基板１
３は支持部材１１．１２の間にスペーサ１４を挾んで該
支持部材を固定する構造にされる。

こうした構造によれば、スペーサ組立基板に種々のもの
を用意するのみで第６図ａの構成から同図すの構成にも
できるなど多種類の径のウェハ及び固体拡散源を固定す
るのに使用できる万能ボートにできる。

特に、ボート構成にはウェハ厚さと数μｍの差を持つ溝
を堀ることに最も困難性があり、この溝形成がボートコ
ストの大部分を占めることから、本実施例のボートは高
価な支持部材が共通に利用できるためコスト的に大きな
利点がある。

以上のとおり、本考案によるボート構造は、数種類の支
持部材と組立基板を用意することで多種類のウェハ処理
用ボートとして使用できるし、小口径ウェハの処理にも
その固定が確実になる効果がある。

また、組立基板とスペーサを数種類用意し、１種類の支
持部材によって大口径から小口径までの多種類のウェハ
用万能ボートして使用できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は従来のボートを説明するための側面図
ａと正面図ｂ１第４図は本考案の一実施例を示すボート
組立部品構成図、第５図は第４図の組立状態図、第６図
は本考案の他の実施例を示す組立状態図である。 ５．６，１１．１２・・・・・・支持部材、？、８，７
Ａ、８Ａ、ＩＩＡ、１２Ａ・・・・・・溝、９，１３・
・・・・・組立基板、１４・・・・・・スペーサ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体ウェハ及び該ウェハへの拡散をする固体拡散源を
   対峙させて交互に配列するボートにおいて、上記ウェハ
   及び固体拡散源を挿入する溝を弧状面に有するほぼＬ字
   状断面の一対の支持部材と、この一対の支持部材が直接
   に又はスペーサを介して突合わされた状態で嵌め込まれ
   るバット状組立基板とを備えたことを特徴とする固体拡
   散用ボート。