JPS6029238B2 - Ｃｏ↓２ガスレ−ザ装置 - Google Patents
Ｃｏ↓２ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6029238B2 JPS6029238B2 JP2530882A JP2530882A JPS6029238B2 JP S6029238 B2 JPS6029238 B2 JP S6029238B2 JP 2530882 A JP2530882 A JP 2530882A JP 2530882 A JP2530882 A JP 2530882A JP S6029238 B2 JPS6029238 B2 JP S6029238B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- gas laser
- discharge tube
- laser device
- gas discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ガス放電管を用いた拡散冷却型のＣ０２ガス
レーザ装置に関する。
レーザ装置に関する。
一般に、気体レーザ材料をガス放電管壁から冷却する拡
散冷却型のＣ０２ガスレーザ装置においては、気体温度
を５０００Ｋ程度以下に保つ必要があることが知られて
いる。
散冷却型のＣ０２ガスレーザ装置においては、気体温度
を５０００Ｋ程度以下に保つ必要があることが知られて
いる。
故に注入可能な放電電力は、単位長さ当り一定となる。
これに対し、対流冷却型のＣ０２ガスレーザ装置が開発
され、質量流量を増すことにより気体レーザ材料温度を
下げる方法がとられ、単位長さ当り高出力を得ているが
、対流レーザは、出力の制限がない場合、放電が不安定
でレーザとして信頼性に欠けるという重要な課題がつて
いる。
これに対し、対流冷却型のＣ０２ガスレーザ装置が開発
され、質量流量を増すことにより気体レーザ材料温度を
下げる方法がとられ、単位長さ当り高出力を得ているが
、対流レーザは、出力の制限がない場合、放電が不安定
でレーザとして信頼性に欠けるという重要な課題がつて
いる。
本発明は、レーザとして安定性の良い拡散冷却型のＣ０
２ガスレーザ装置に着目し、気体温度を下げ、注入可能
な放電電力の増加を得る手段を提供するものである。
２ガスレーザ装置に着目し、気体温度を下げ、注入可能
な放電電力の増加を得る手段を提供するものである。
以下本発明の詳細を図面を用いて説明する。
まず一般の拡散冷却型のＣ０２ガスレーザ装置の概略は
第１図から１１の部分を除いた構成である。図において
、１はガス放電管であり、その両端に出力鏡２および全
反射鏡３を有し、ガスレーザ嬢質はガス導入口４からガ
ス放電管１内に導入され、ガス排出口５から排出される
。その流れ方向は逆でもよい。そしてガス放電管１内に
導入されたガスレーザ煤質はガス放電管１内を流れる間
に、電極６間の放電により励起されたレーザ発振を行う
。ガスレーザ媒質の冷却は、ガス放電管１および冷却管
７の間を冷却媒体８である水や油を冷却媒体導入口９よ
り導入し、冷却媒体排出ロー０より排出することにより
熱交換を行うことでまかなつている。以上の構成を基本
とする拡散冷却型のＣ０２ガスレーザ装置の問題として
は、すでに述べたように単位長さ当りの出力は気体温度
を５００Ｋ程度以下に保つ条件内で決まってしまうこと
である。
第１図から１１の部分を除いた構成である。図において
、１はガス放電管であり、その両端に出力鏡２および全
反射鏡３を有し、ガスレーザ嬢質はガス導入口４からガ
ス放電管１内に導入され、ガス排出口５から排出される
。その流れ方向は逆でもよい。そしてガス放電管１内に
導入されたガスレーザ煤質はガス放電管１内を流れる間
に、電極６間の放電により励起されたレーザ発振を行う
。ガスレーザ媒質の冷却は、ガス放電管１および冷却管
７の間を冷却媒体８である水や油を冷却媒体導入口９よ
り導入し、冷却媒体排出ロー０より排出することにより
熱交換を行うことでまかなつている。以上の構成を基本
とする拡散冷却型のＣ０２ガスレーザ装置の問題として
は、すでに述べたように単位長さ当りの出力は気体温度
を５００Ｋ程度以下に保つ条件内で決まってしまうこと
である。
そこで本発明は、一般の拡散冷却型のＣ０２ガスレーザ
装置を基本とする中で、いかに効率よく気体温度を下げ
るかという観点に着目し、単位長さ当りの出力の増大を
図ったものである。そのために、図に示すように一般の
拡散冷却型のＣ０２ガスレーザ装置に、オリフイス１
１を設けるとともにガスの流れ方向を指定することを特
徴としたものである。
装置を基本とする中で、いかに効率よく気体温度を下げ
るかという観点に着目し、単位長さ当りの出力の増大を
図ったものである。そのために、図に示すように一般の
拡散冷却型のＣ０２ガスレーザ装置に、オリフイス１
１を設けるとともにガスの流れ方向を指定することを特
徴としたものである。
オリフィス１１は耐熱性に秀れかつ熱伝導の良い材料例
えば銅から構成し、ガス放電管１の端部に近いものの内
径が大きく中央部になるに従い小さいものを用いる。こ
のようなオリフィス１１を順次配列したガス放電管１内
にガス導入口４よりガスレーザ媒質を導入し、ガス排出
口５よりガスレーザ媒質を排出するわけであるが、その
間、ガスレーザ煤質はオリフィス１１に次々と衝突し、
オリフィス１１に熱を奪われる。その熱はガス放電管１
を通じて冷却媒体８に伝導されることとなり、ガスレー
ザ媒質はより効率よく冷却されることになる。またオリ
フィス１１の内蓬を異なるものとしているのは、ガス導
入口４より導入されたガスレーザ媒質が最初のオリフィ
ス１１に衝突し、流れが狭められても次のオリフィス１
１が前のものより小さい内径を持つため確実に衝突を繰
り返すようにするためである。ガスレーザ媒質の冷却は
、オリフィス１１に衝突する以外にもオリフィス１１を
通過したガスレ−ザ嬢質はオリフィス１１の影響でオリ
フィス１１の後方のガス放電管壁付近に渦領域を形成し
、ガスレーザ媒質の凝拝を促進させ、ガス放電管１内の
ガスレーザ煤質の温度をより均一化することでガス放電
管１中央部のガスレーザ媒質を冷却する効果を持つ。オ
リフイス１１を設けることによるビーム量の減少は、オ
リフィス１１の内径をガス放電管１の両端で大きく中央
部で小さくすることにより最小限にできる効果も併わせ
持っている。さらにガスレーザ媒質の流れ方向がガス放
電管１の両端から中央部へ向うため、スパッタリングや
ガスレーザ嬢質に混入している不純物から出力鏡２およ
び全反射鏡３を保護し、汚れにくくすることでＣ０２ガ
スレーザ装置としてより長寿命化を得る相乗効果も得ら
れる。なお、本発明は多段折り返し型構造のＣ０２ガス
レーザ装置に適用しても同様の効果を有するものである
。
えば銅から構成し、ガス放電管１の端部に近いものの内
径が大きく中央部になるに従い小さいものを用いる。こ
のようなオリフィス１１を順次配列したガス放電管１内
にガス導入口４よりガスレーザ媒質を導入し、ガス排出
口５よりガスレーザ媒質を排出するわけであるが、その
間、ガスレーザ煤質はオリフィス１１に次々と衝突し、
オリフィス１１に熱を奪われる。その熱はガス放電管１
を通じて冷却媒体８に伝導されることとなり、ガスレー
ザ媒質はより効率よく冷却されることになる。またオリ
フィス１１の内蓬を異なるものとしているのは、ガス導
入口４より導入されたガスレーザ媒質が最初のオリフィ
ス１１に衝突し、流れが狭められても次のオリフィス１
１が前のものより小さい内径を持つため確実に衝突を繰
り返すようにするためである。ガスレーザ媒質の冷却は
、オリフィス１１に衝突する以外にもオリフィス１１を
通過したガスレ−ザ嬢質はオリフィス１１の影響でオリ
フィス１１の後方のガス放電管壁付近に渦領域を形成し
、ガスレーザ媒質の凝拝を促進させ、ガス放電管１内の
ガスレーザ煤質の温度をより均一化することでガス放電
管１中央部のガスレーザ媒質を冷却する効果を持つ。オ
リフイス１１を設けることによるビーム量の減少は、オ
リフィス１１の内径をガス放電管１の両端で大きく中央
部で小さくすることにより最小限にできる効果も併わせ
持っている。さらにガスレーザ媒質の流れ方向がガス放
電管１の両端から中央部へ向うため、スパッタリングや
ガスレーザ嬢質に混入している不純物から出力鏡２およ
び全反射鏡３を保護し、汚れにくくすることでＣ０２ガ
スレーザ装置としてより長寿命化を得る相乗効果も得ら
れる。なお、本発明は多段折り返し型構造のＣ０２ガス
レーザ装置に適用しても同様の効果を有するものである
。
以上のように本発明によるＣ０２ガスレーザ装置は、種
々の効果を有するものであり、その工業的価値は大なる
ものである。
々の効果を有するものであり、その工業的価値は大なる
ものである。
図は本発明によるＣ０２ガスレーザ装置の一実施例の断
面正面図である。 １…・・・ガス放電管、２・・・・・・出力鏡、３・・
・・・・全反射鏡、４・・・・・・ガス導入口、５・・
・・・・ガス排出口、６・・・・・・電極、７・・・・
・・冷却管、８・・・・・・冷却媒体、９・・・・・・
冷却媒体導入口、１０・・・・・・冷却媒体排出口、１
１……オリフイス。
面正面図である。 １…・・・ガス放電管、２・・・・・・出力鏡、３・・
・・・・全反射鏡、４・・・・・・ガス導入口、５・・
・・・・ガス排出口、６・・・・・・電極、７・・・・
・・冷却管、８・・・・・・冷却媒体、９・・・・・・
冷却媒体導入口、１０・・・・・・冷却媒体排出口、１
１……オリフイス。
Claims (1)
- １ ガス放電管の一端に出力鏡を同他端に全反射鏡を設
けた拡散冷却型のＣＯ＿２ガスレーザ装置の前記ガス放
電管の出力鏡と全反射鏡の各近傍にガス放電管内にガス
レーザ媒質を導入するガス導入口を設けるとともにガス
放電管のほぼ中央部にガスレーザ媒質を排出するガス排
出口を設け、かつガス放電管内に内径がガスレーザ媒質
導入位置側で最大となりガスレーザ媒質排出位置側で最
小となるようなオリフイスを順次配列したことを特徴と
するＣＯ＿２ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2530882A JPS6029238B2 (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | Ｃｏ↓２ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2530882A JPS6029238B2 (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | Ｃｏ↓２ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58141586A JPS58141586A (ja) | 1983-08-22 |
| JPS6029238B2 true JPS6029238B2 (ja) | 1985-07-09 |
Family
ID=12162373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2530882A Expired JPS6029238B2 (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | Ｃｏ↓２ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6029238B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5960136A (en) * | 1997-12-08 | 1999-09-28 | Hewlett-Packard Company | Shielded fiber optic connector |
| US6331693B1 (en) * | 1999-06-28 | 2001-12-18 | Cincinnati Incorporated | Beam delivery system |
-
1982
- 1982-02-18 JP JP2530882A patent/JPS6029238B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58141586A (ja) | 1983-08-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6212211B1 (en) | Shock wave dissipating laser chamber | |
| JPS5673484A (en) | Voiceless discharge gas laser device | |
| JPS6029238B2 (ja) | Ｃｏ↓２ガスレ−ザ装置 | |
| EP1672304B1 (de) | Wärmetauscher | |
| JP4289740B2 (ja) | 接続片を備えた熱交換器 | |
| JPS6230715B2 (ja) | ||
| JPH0769058B2 (ja) | ガスタ−ビンの燃焼器冷却構造 | |
| JP3280814B2 (ja) | 低ｎｏ２ 燃焼装置 | |
| JPS60107878A (ja) | ガスフロ−形ガスレ−ザ管 | |
| JPS62106681A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPS6384180A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPS5843322A (ja) | 高負荷燃焼機 | |
| JPH0445267Y2 (ja) | ||
| JPS58182888A (ja) | レ−ザ発振器 | |
| JPS5840353B2 (ja) | 縦流炭酸ガスレ−ザ発振器 | |
| JP3529167B2 (ja) | 低ｎｏ２ 燃焼装置 | |
| JPH09257207A (ja) | 円筒形貫流ボイラ | |
| RU1634091C (ru) | Способ накачки проточного газового лазера и проточный газовый лазер | |
| JPH0870150A (ja) | 固体レーザー発振装置 | |
| JPH03217062A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| NL1009888C2 (nl) | Warmtewisselaar. | |
| JPS5824025B2 (ja) | 安定うず対流レ−ザ | |
| JP2908808B2 (ja) | 高速軸流形レーザ発振器 | |
| JPH0849979A (ja) | 金属連続溶解炉 | |
| JPH05296419A (ja) | 低ｎｏｘ 燃焼装置 |