JPS58141586A - Ｃｏ↓２ガスレ−ザ装置 - Google Patents
Ｃｏ↓２ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS58141586A JPS58141586A JP2530882A JP2530882A JPS58141586A JP S58141586 A JPS58141586 A JP S58141586A JP 2530882 A JP2530882 A JP 2530882A JP 2530882 A JP2530882 A JP 2530882A JP S58141586 A JPS58141586 A JP S58141586A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- orifices
- gas laser
- discharge tube
- laser medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ガス放電管を用いた拡散冷却型のＣｏ２ ガ
スレーザ装置に関する。
スレーザ装置に関する。
一般に、気体レーザ利料をガス放電管壁から冷却する拡
散冷却型のＣｏ２ガスレーザ装置に４・・いては、気体
湯度を５０００に程度以］・に保つ心髄があることが知
られている。故に注入可能な放電電力は、ｉｉ位長さ当
り一定となる。
散冷却型のＣｏ２ガスレーザ装置に４・・いては、気体
湯度を５０００に程度以］・に保つ心髄があることが知
られている。故に注入可能な放電電力は、ｉｉ位長さ当
り一定となる。
これに対し、対流冷却型のＣｏ２ガスレーザ装置が開発
され、質叶流惜を増すことにより気体レーザ材料温度を
下げる方法がとられ、単位長さ当り高出力を得ているが
、対流レーザは、出刃の制限がない場合、放電が不安定
でレーザとして信頼性に欠けるという重要な課題が残っ
ている。
され、質叶流惜を増すことにより気体レーザ材料温度を
下げる方法がとられ、単位長さ当り高出力を得ているが
、対流レーザは、出刃の制限がない場合、放電が不安定
でレーザとして信頼性に欠けるという重要な課題が残っ
ている。
本発明は、レーザとして安定性の良い拡散冷却型のＣＯ
２ガスレーザ装置に着目し、気体湯度を下げ、注入可能
な放電電力の増加を得る手段を提供するものである。
２ガスレーザ装置に着目し、気体湯度を下げ、注入可能
な放電電力の増加を得る手段を提供するものである。
以下本発明の詳卸１を図面を用いて説明する。まず一般
の拡散冷却型のＣＯ２ガスレーザ装置の概略は第１図か
ら１１の部分を除いた構成である。
の拡散冷却型のＣＯ２ガスレーザ装置の概略は第１図か
ら１１の部分を除いた構成である。
はガス導入１」４からガス放電管１内に導入され、ガス
排出「１６から排出される。その流れ方向は逆でもよい
。そしてガス放電管１内に導入さｈ／（ヵスレーザ媒質
はガス放電管１内を流れる間に、電極６間の放電により
励起されレーザ発振を行う。
排出「１６から排出される。その流れ方向は逆でもよい
。そしてガス放電管１内に導入さｈ／（ヵスレーザ媒質
はガス放電管１内を流れる間に、電極６間の放電により
励起されレーザ発振を行う。
ガスレーザ媒質の冷却は、ガス放電管１および冷却管７
の間を冷却媒体８である水や油を冷却媒体導入口９より
導入し、冷却媒体刊、出口１０より初出することにより
熱交換を行うことで４かなっている。
の間を冷却媒体８である水や油を冷却媒体導入口９より
導入し、冷却媒体刊、出口１０より初出することにより
熱交換を行うことで４かなっている。
以上の構成を基本とする拡散冷却型のＣＯ２ガスレーザ
装置の問題としては、すでに述べたように単位長さ当り
の出力は気体温度を５０００に程度以下に保つ条件内で
決まってし捷うことである。
装置の問題としては、すでに述べたように単位長さ当り
の出力は気体温度を５０００に程度以下に保つ条件内で
決まってし捷うことである。
そこで本発明は、一般の拡散冷却型のＣＯ２ガスレーザ
装置を基本とする中で、いかに効率よく気体温度を下げ
るかという観点に着１」シ、単位長さ当りの出力の増大
を図ったものである。
装置を基本とする中で、いかに効率よく気体温度を下げ
るかという観点に着１」シ、単位長さ当りの出力の増大
を図ったものである。
そのために、図に示すように一般の拡散冷却型のＣｏ２
ガスレーザ装置に、オリフィス１１を設けるとともにガ
スの流れ方向を指定することを特徴としたものである。
ガスレーザ装置に、オリフィス１１を設けるとともにガ
スの流れ方向を指定することを特徴としたものである。
オリフィス１１は耐熱性に秀れかつ熱伝導の良い付和例
えば銅から構成し、ガス放電管１の端部に近いものの内
径が大きく中央部になるに従い内径の小さいものを用い
る。このようなオリフィス１１を順次配列したガス放電
管１内にガス導入に１４よりガスレーザ媒質を導入し、
ガス排出口６よりガスレーザ媒質を排出するわけである
が、その間、ガスレーザ媒質はオリフィス１１に次々と
衝突し、オリフィス１１に熱を奪われる。その熱はガス
放電管１を通じて冷却媒体８に伝導されることとなり、
ガスレーザ媒質はより効率よく冷却されることになる。
えば銅から構成し、ガス放電管１の端部に近いものの内
径が大きく中央部になるに従い内径の小さいものを用い
る。このようなオリフィス１１を順次配列したガス放電
管１内にガス導入に１４よりガスレーザ媒質を導入し、
ガス排出口６よりガスレーザ媒質を排出するわけである
が、その間、ガスレーザ媒質はオリフィス１１に次々と
衝突し、オリフィス１１に熱を奪われる。その熱はガス
放電管１を通じて冷却媒体８に伝導されることとなり、
ガスレーザ媒質はより効率よく冷却されることになる。
またオリフィス１１の内径を異なるものとしているのは
、ガス導入口４より導入されたガスレーザ媒質が最初の
オリフィス１１に衝突し、流れが狭められても次のオリ
“フィス１１が前のものより小さい内径を持つため確実
に衝突を繰り返えすようにするためである。ガスレーザ
媒質の冷却は、オリフィス１１に衝突する以外にもオリ
フィス１１を通過したガスレーザ媒質はオリフィス１１
の影響でオリフィス１１の後方のガス放電管壁付近に面
領域を形成し、ガスレーザ媒質の攪拌を促進させ、ガス
放電管１内のガスレーザ媒質の温度をより均一化するこ
とでガス放電管１中央部のガスレーザ媒質を冷却する効
果を持つ。
、ガス導入口４より導入されたガスレーザ媒質が最初の
オリフィス１１に衝突し、流れが狭められても次のオリ
“フィス１１が前のものより小さい内径を持つため確実
に衝突を繰り返えすようにするためである。ガスレーザ
媒質の冷却は、オリフィス１１に衝突する以外にもオリ
フィス１１を通過したガスレーザ媒質はオリフィス１１
の影響でオリフィス１１の後方のガス放電管壁付近に面
領域を形成し、ガスレーザ媒質の攪拌を促進させ、ガス
放電管１内のガスレーザ媒質の温度をより均一化するこ
とでガス放電管１中央部のガスレーザ媒質を冷却する効
果を持つ。
オリフィス１１を設けることによるビーム量の減少は、
オリフィス１１の内径をガス放電管１の両端で大きく中
央部で小さくすることにより最小限にできる効果も併わ
せ持っている。さらにガスレーザ媒質の流れ方向がガス
放電管１の両端から中央部へ向うため、スパッタリング
やガスレーザ媒質に混入している不純物から出力鏡２お
よび全反射鏡３を保護し、汚れにくくすることで００２
ガスレーザ装置としてより長寿命化を得る相乗効果も得
られる。
オリフィス１１の内径をガス放電管１の両端で大きく中
央部で小さくすることにより最小限にできる効果も併わ
せ持っている。さらにガスレーザ媒質の流れ方向がガス
放電管１の両端から中央部へ向うため、スパッタリング
やガスレーザ媒質に混入している不純物から出力鏡２お
よび全反射鏡３を保護し、汚れにくくすることで００２
ガスレーザ装置としてより長寿命化を得る相乗効果も得
られる。
なお、本発明は多段折り返し型構造のＣＯ２ガスレーザ
装置に適用しても同様の効果を有するものである。
装置に適用しても同様の効果を有するものである。
以上のように本発明によるＣｏ２ガスレーザ装置は、種
々の効果を有するものであり、その工業的価値は大なる
ものである。
々の効果を有するものであり、その工業的価値は大なる
ものである。
１・・・・・・ガス放電管、２・・・・・・出力鏡、３
・・・・・・・・・全反射鏡、４・−・・・・ガス導入
口、５・・・・・・ガス排出口、６・・・・・・電極、
７・・・・−・冷却管、８・・・・・・冷却媒体、９・
・・・・・冷却媒体導入口、１゜・・・・・・冷却媒体
排１１旨］、１１・・・・・−オリフィス。
・・・・・・・・・全反射鏡、４・−・・・・ガス導入
口、５・・・・・・ガス排出口、６・・・・・・電極、
７・・・・−・冷却管、８・・・・・・冷却媒体、９・
・・・・・冷却媒体導入口、１゜・・・・・・冷却媒体
排１１旨］、１１・・・・・−オリフィス。
Claims (1)
- ガス放電管の一端に出力鏡を同他端に全反射鏡を設けた
拡散冷却型のＣＯ２ガスレーザ装置の前記ガス放電管の
出力鏡と 全反射鏡の各近傍にガス放電管内にガスレー
ザ媒質を導入するガス導入口を設けるとともにガス放電
管のほぼ中央部にガスレーザ媒質を排出するガス排出口
を設け、かつガス放電管内に内径がガスレーザ媒質導入
位置側で最大となりガスレーザ媒質排出位置側で最小と
なるようなオリフィスを順次配列したことを特徴とする
ＣＯ２ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2530882A JPS6029238B2 (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | Ｃｏ↓２ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2530882A JPS6029238B2 (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | Ｃｏ↓２ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58141586A true JPS58141586A (ja) | 1983-08-22 |
| JPS6029238B2 JPS6029238B2 (ja) | 1985-07-09 |
Family
ID=12162373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2530882A Expired JPS6029238B2 (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | Ｃｏ↓２ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6029238B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11242133A (ja) * | 1997-12-08 | 1999-09-07 | Hewlett Packard Co <Hp> | 遮蔽付きファイバオプティックスコネクタ |
| US6495797B2 (en) * | 1999-06-28 | 2002-12-17 | Cincinnati Incorporated | Beam delivery system |
-
1982
- 1982-02-18 JP JP2530882A patent/JPS6029238B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11242133A (ja) * | 1997-12-08 | 1999-09-07 | Hewlett Packard Co <Hp> | 遮蔽付きファイバオプティックスコネクタ |
| US6495797B2 (en) * | 1999-06-28 | 2002-12-17 | Cincinnati Incorporated | Beam delivery system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6029238B2 (ja) | 1985-07-09 |
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