JP2743592B2 - レーザ発振器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工機のレーザ発
振器に関するもので、特に、レーザ発振器の放電電極の
構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のレーザ発振器として、特
公昭６２−４０８７８号公報に掲載の技術を挙げること
ができる。図９は従来のレーザ発振器の構成図、図１０
（ａ）及び（ｂ）は従来のレーザ発振器の放電電極を示
す正面図及び側面図、図１１（ａ）及び（ｂ）は図１０
（ａ）のＡ部を正面から見た拡大断面図及び側面から見
た拡大断面図、図１２は図１０（ａ）の放電電極を正面
から見た断面図である。なお、上記各図の従来のレーザ
発振器は無声放電式炭酸ガスレーザ発振器を示す。

【０００３】図９において、１は水平方向に配設され、
相対向する一対の放電電極、２は前記放電電極１を支持
する支持体、３は一対の放電電極１の間隙に形成された
放電空間、４は炭酸ガス（ＣＯ₂ ）を含むレーザ光線を
有効に発振するための混合ガスを供給する送風機であ
る。５、６はレーザ光線を発振、増幅するための共振器
鏡を構成し、５は全反射鏡、６は部分反射鏡であり、こ
の部分反射鏡６から増幅されたレーザ光線の一部が図９
の矢印で示す方向に進んで外部に取出される。７は上記
各構成体を収納する筐体である。

【０００４】図１０（ａ）、（ｂ）において、８は金属
管からなる電極管、９は前記電極管８の表面に被覆され
たガラス等の誘電体であり、電極管８と誘電体９とによ
り放電電極１が構成されている。１０は放電空間３の電
気的絶縁境界を形成する誘電材からなる絶縁物であり、
放電電極１の支持体２を構成し、前記放電電極１の上部
の略半分以上を覆うように密着して形成されている。１
１は金属管からなる放電電極１の内部を貫流して内部か
ら冷却する冷却水、１２、１３はそれぞれ放電電極１に
おける冷却水１１の入口及び出口、１４は高電圧の給電
端子である。そして、放電空間３における放電１５は絶
縁物１０で境界を形成した一対の放電電極１の表面で行
なわれる。なお、レーザ発振においては、放電空間３に
おける放電１５が均一になることが必要であり、絶縁物
１０による放電制限効果により放電空間３内の放電１５
が対をなす放電電極１の相対向する面のみで行なわれ
る。

【０００５】ところで、図１１に示すように、冷却水１
１が流入及び流出する放電電極１の入口１２及び出口１
３の外形寸法は、この部分での放電を防止するために放
電空間３に面した誘電体９の外形寸法よりも小さくする
ことにより、即ち、対向する放電電極１の入口１２間及
び出口１３間の距離を大きくすることにより絶縁距離を
確保している。なお、電極管８は冷却水１１の冷却効果
を高めるために所定の肉厚に形成することが必要であ
り、これに伴って、図１１（ａ）に示すように放電電極
１の内部は入口１２と主体部分との間において外形寸法
が急激に拡大する拡流部１６が、また、主体部分と出口
１３との間において外形寸法が急激に縮小する縮流部１
７が形成されている。即ち、放電電極１の入口１２から
流入した冷却水１１は拡流部１６において拡散した後、
電極管８の主体部分を流通し、縮流部１７において集束
して出口１３から外部に流出する。

【０００６】従来のレーザ発振器は上記のように構成さ
れており、放電電極１内の冷却水１１が放電電極１の内
部を貫流する間に、電極管８を冷却することにより、放
電１５発生時に誘電体９が温度上昇して絶縁耐圧が低下
するのを防止している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ発振器
は、上記のように構成されているから、冷却水１１を入
口１２から電極管８内に注入したときに、電極管８内の
管路断面が拡流部１６で急激に拡大し、また、縮流部１
７で急激に縮小しているので、図１１（ａ）及び図１２
に示すように、拡流部１６及び縮流部１７において乱流
となって渦が発生する。このため、拡流部１６及び縮流
部１７内の空気は渦流に巻込まれ、流出側には押流され
ることなく気泡となって電極管８内に残留する。この気
泡は注水した僅かの間は拡流部１６及び縮流部１７の管
路全周縁部に停滞するが、直ちに下部及び側部に停滞し
た気泡は浮力により上方に移動し、そして、上部に蓄積
した気泡はほとんど冷却水１１の流れに乗らずに停滞し
た状態のまま維持され、エア溜り（エアポケット）１９
となって残留する。この結果、空気の熱伝導度が非常に
小さいためにこの部分の電極管８ひいては誘電体９の冷
却が不十分となった。そして、放電１５により誘電体９
の温度が上昇し、絶縁耐圧が低下して、高電圧の給電端
子１４より給電される高電圧のために絶縁破壊を起こす
可能性があった。

【０００８】なお、エア溜りを排除する技術として、例
えば、実開昭５８−１４８４９３号公報に、竪形多管式
熱交換器の管板に勾配を設け、冷却水中に混入していた
気泡を特定場所に集束して外部に除去するものが掲載さ
れている。また、実開昭５９−２１０１８号公報に、内
燃機関の冷却装置としてウォータジャケットに仕切板を
設け、外側室と内側室との２室に分離させたものが掲載
されている。しかし、これらの技術はいずれも冷却水を
上下方向に通流させたものであり、また、対象とする装
置も異なるので、レーザ発振器に適用できるものではな
かった。

【０００９】そこで、本発明は、放電電極の内部を貫流
する冷却水中にエア溜りが発生するのを防止して冷却水
による冷却能の低下を防止し、もって、放電電極の破損
のない信頼性の高いレーザ発振器の提供を課題とするも
のである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１にかかるレーザ
発振器は、内部を貫流する冷却水の流入方向側に拡流部
が、流出方向側に縮流部が形成され、水平に配設される
放電電極と、前記流入方向側の拡流部及び／または流出
方向側の縮流部に設けられ、前記水平に配設される放電
電極の少なくとも上部側に前記冷却水の流路が形成され
た堰部材とを具備するものである。請求項２にかかるレ
ーザ発振器は、水平に配設され内部を冷却水が貫流する
放電電極と、この放電電極の長手方向の前記冷却水の流
入方向側の端部に形成された拡流部と、前記放電電極の
長手方向の前記冷却水の流出方向側の端部に形成された
縮流部と、前記流入方向側の拡流部及び／または流出方
向側の縮流部に形成された管路面積が連続的に変化する
テーパ部とを具備するものである。請求項３にかかるレ
ーザ発振器は、内部を貫流する冷却水の流入方向側に拡
流部が、流出方向側に縮流部が形成され、水平に配設さ
れる放電電極と、前記流入方向側及び／または流出方向
側に配設され、拡流部及び／または縮流部側において水
平に配設され、配設された状態において開口が上側を向
いており、放電電極に冷却水を導入する導管とを具備す
るものである。

【００１１】

【作用】請求項１においては、放電電極内に流入した冷
却水は拡流部及び／または縮流部に設けられた堰部材の
上部の流路を通流する。このとき、冷却水は拡流部及び
／または縮流部の上部の空気を流入側から流出側に向か
って押流す。この結果、放電電極内の空気は全て外部に
排出されるので、冷却能の低下を防止できる。請求項２
においては、放電電極内に流入した冷却水が、放電電極
の長手方向の前記冷却水の流入方向側の端部に形成され
た拡流部及び／または前記放電電極の長手方向の前記冷
却水の流出方向側の端部に形成された縮流部における管
路面積が連続的に変化しているので、急激に拡大或いは
縮小することによって発生する渦流の生成を防止するこ
とができる。このため、請求項１と同様に、拡流部及び
／または縮流部における空気は冷却水に押流され、全て
放電電極の外部に排出されるので、冷却能の低下を防止
できる。請求項３においては、放電電極内に流入した冷
却水は拡流部及び／または縮流部に設けられた導管内を
通流するとき、導管の端部が上方に開口しているので、
拡流部及び／または縮流部のコーナー部に渦を生ずるこ
とがなく、この部分の空気は冷却水に押流され、放電電
極の外部に排出される。このため、請求項１及び請求項
２と同様に、冷却能の低下を防止できる。

【００１２】

【実施例】以下の本発明の実施例は従来例と同様に無声
放電式炭酸ガスレーザ発振器に適用したものを示す。ま
ず、本発明の第一実施例を図１及び図２に基づいて説明
する。図１（ａ）は本発明の第一実施例によるレーザ発
振器の放電電極の要部を示す正面から見た断面図、
（ｂ）は同じく側面から見た断面図、図２は本発明の第
一実施例によるレーザ発振器の放電電極を正面から見た
断面図である。図中、図９乃至図１２と同一符号は従来
の構成部分と同一または相当する部分である。なお、レ
ーザ発振器の全体の構成は従来と同様であるので説明は
省略する。図において、１は従来例と同様に水平方向に
配設されている上下一対の放電電極で、円筒状の電極管
８の外表面にガラス等の誘電体９が被覆されたものであ
る。２１は電極管８内の管路断面が急激に拡大する拡流
部１６及び急激に縮小する縮流部１７に設けられた金属
板等よりなる堰であり、上部と下部には水平方向の切欠
きが設けられており、それぞれ電極管８の管壁との間に
開口部２２及び開口部２３が形成されている。前記堰２
１は管路断面が拡大及び縮小する境界面から所要の距離
を隔てて平行に配設されている。

【００１３】次に、上記のように構成された第一実施例
のレーザ発振器の作用を説明する。冷却水１１が放電電
極１の入口１２から注水され、拡流部１６に至ると堰２
１がこの流れをせき止めて水平方向の流動を妨げる。そ
こで、冷却水１１は上下に分流して上部の開口部２２及
び下部の開口部２３から本体内に流入する。そして、本
体内を貫流した後、縮流部１７に至り、ここで拡流部１
６と同様に堰２１がこの流れをせき止めるので、上下に
分流し、上部の開口部２２及び下部の開口部２３を通っ
て、出口１３から外部に排出される。即ち、冷却水１１
は拡流部１６及び縮流部１７において渦流が発生するこ
となく、流出側に向かって平行に流れる。このようにし
て、冷却水１１が放電電極１内を貫流する間に、管路面
積が急に拡大される拡流部１６に残留し易い気泡１８は
開口部２２から流出側に向かって流れる冷却水１１の流
れに乗って押出される。一方、管路面積が急に縮小され
る縮流部１７においても、この部分に滞留し易い気泡１
８は開口部２２を流れる冷却水１１の流れに乗って押出
される。これ以後、冷却水１１は継続して電極管１１内
に通水されるが、一旦空気が排出された後は電極管８内
に気泡１８が滞留することはない。このため、電極管８
内にはエアポケットは生成されず、したがって、冷却水
１１と電極管８との間の熱伝達が十分に行なわれ、更
に、誘電体９の冷却効果も高められる。その結果、誘電
体９の絶縁破壊は起こらず、放電電極１の破損は防止さ
れる。

【００１４】なお、堰２１の上部と下部に設けられた切
欠きによって電極管８との間に上部の開口部２２及び下
部の開口部２３が形成されているが、拡流部１６及び縮
流部１７の下部側の気泡１８は浮力により浮上し、下部
側には残留しないので、下部の開口部２３は必ずしも必
要としない。しかし、一対の放電電極１が上下対称に配
設されているので、本実施例では、方向性をなくして汎
用性を持たせ、放電電極１を上下いずれにも使用できる
ようにするために上部と下部の両方に開口部を設けてい
る。

【００１５】ところで、上記実施例では、電極管８の外
形形状が円筒状のものを示しているが、電極管８の外形
形状はこれに限るものではない。図３（ａ）は本発明の
第一実施例における別のレーザ発振器の放電電極の要部
を示す正面から見た断面図、（ｂ）は同じく側面から見
た断面図である。図において、放電電極１は電極管８の
断面形状が四角形をした中空の四角柱状に形成されたも
のである。これに伴って、拡流部１６及び縮流部１７に
配設された堰２４も電極管８の内壁形状に応じた四角形
状に形成されており、また、上部と下部には開口部２５
と開口部２６が設けられている。このように、放電電極
１の断面形状が円柱状でない場合にも同様の作用を期待
することができる。

【００１６】なお、上記各実施例において、電極管８の
管路面積が急に拡大、縮小する垂直面と堰２１或いは堰
２４との間隙寸法は、小さすぎると、冷却水１１の衝突
による摩擦抵抗が増大して熱エネルギーが発生し、冷却
効果を低下させるとともに摩擦損失が増大して冷却水１
１の輸送効率を低下させる。逆に、この間隙寸法が大き
すぎると、拡流部１６及び縮流部１７における冷却水１
１の平行流れが不完全なものとなり、気泡１８の排出効
果が低下する。したがって、堰２１及び堰２４は最適な
位置に配設するのが肝要である。

【００１７】このように、上記第一実施例のレーザ発振
器は、内部を冷却水１１が貫流し、前記冷却水１１の流
入側と流出側にそれぞれ拡流部１６と縮流部１７が形成
された放電電極１において、前記流入側の拡流部１６及
び流出側の縮流部１７に堰２１または堰２４を設け、上
部に冷却水１１の流路となる開口部２２または開口部２
５を形成したものである。

【００１８】したがって、上記実施例によれば、放電電
極１の入口１２から流入した冷却水１１は拡流部１６及
び縮流部１７に設けられた堰２１または堰２４と衝突
し、上下に分流して堰２１の上部の開口部２２及び下部
の開口部２３または堰２４の上部の開口部２５及び下部
の開口部２６を通過する。このとき、冷却水１１は気泡
１８が残留し易い拡流部１６及び縮流部１７の上部を通
過するので、この部分の空気を押出しつつ流れる。この
ため、放電電極１内の空気は全て外部に排出されるの
で、冷却水１１と電極管８との間の熱伝達性が向上し、
冷却能力の低下を防止することができる。この結果、誘
電体９の絶縁破壊を防止でき、放電電極１の破損を回避
できて信頼性を向上することができる。

【００１９】次に、本発明の第二実施例を図４及び図５
に基づいて説明する。図４（ａ）は本発明の第二実施例
によるレーザ発振器の放電電極の要部を示す正面から見
た断面図、（ｂ）は同じく側面から見た断面図、図５は
本発明の第二実施例によるレーザ発振器の放電電極を正
面から見た断面図である。図中、図１乃至図３と同一符
号は第一実施例の構成部分と同一または相当する部分で
あるから、ここではその説明を省略する。図において、
３１は電極管８の拡流部１６及び縮流部１７において管
路内壁に形成されたテーパ部で、管路の断面積が連続的
に変化するように形成されたものである。

【００２０】第二実施例のレーザ発振器は上記のように
構成されており、電極管８に流入した冷却水１１は拡流
部１６にテーパ部３１が形成されているので、壁面に沿
って円滑に流れ、渦流が発生することがない。また、縮
流部１７においてもテーパ部３１が形成されているの
で、同様に渦流が発生することなく壁面に沿って円滑に
流動する。このため、電極管８内の空気は一定方向に流
動する冷却水１１によって押流され、外部に排出され
る。

【００２１】このように、上記第二実施例のレーザ発振
器は、内部を冷却水１１が貫流し、前記冷却水１１の流
入側と流出側にそれぞれ拡流部１６と縮流部１７が形成
された放電電極１において、前記流入側の拡流部１６及
び流出側の縮流部１７に管路面積が連続的に変化するテ
ーパ部３１を形成したものである。

【００２２】したがって、冷却効果を低下させる気泡１
８が電極管８内に存在しないので、第一実施例と同様
に、所要の冷却能を発揮することができ、放電電極１の
破損を防止することができる。

【００２３】更に、本発明の第三実施例を図６及び図７
に基づいて説明する。図６（ａ）は本発明の第三実施例
によるレーザ発振器の放電電極の要部を示す正面から見
た断面図、（ｂ）は同じく側面から見た断面図、図７は
本発明の第三実施例によるレーザ発振器の放電電極を正
面から見た断面図である。図において、４１は電極管８
の流入側及び流出側の管路に挿着された鋼管等からなる
導管で、先端部は拡流部１６及び縮流部１７内に突出
し、かつ、上方に屈曲して管路内の上部において開口し
ている。即ち、前記導管４１の開口部は拡流部１６及び
縮流部１７における空気を導管４１内を流動する冷却水
１１によって押流すことが可能な位置に配置されてい
る。

【００２４】第三実施例のレーザ発振器は上記のように
構成されており、電極管８内に冷却水１１が注入される
と、この冷却水１１は導管４１内を流動し、その屈曲部
において上方に向きを変えた後、拡流部１６の上部に噴
出する。このとき、この部分に滞留していた空気はこの
冷却水１１の噴出力によって流出側に押出される。更
に、冷却水１１は前記空気を押込みつつ電極管１１内を
貫流し、流出側の縮流部１７においてこの部分に滞留し
ていた空気をも持出しながら上方に開口する導管４１の
開口部から導管４１内に流入し、出口１３から外部に排
出される。これによって、電極管１１内には気泡１８が
残留することなく冷却水１１で満たされる。

【００２５】このように、上記第三実施例のレーザ発振
器は、内部を冷却水１１が貫流し、前記冷却水１１の流
入側と流出側にそれぞれ拡流部１６と縮流部１７が形成
された放電電極１の流入側及び流出側に、それぞれ拡流
部１６及び縮流部１７において上方に開口する導管４１
を設けたものである。したがって、冷却効果を低下させ
る気泡１８が電極管８内に存在しないので、前記第一実
施例及び第二実施例と同様に、冷却能の低下を防止で
き、誘電体９の絶縁破壊を回避できて放電電極１の破損
を防止することができる。

【００２６】なお、第三実施例では、電極管８の流入側
及び流出側に取付けられた導管を図８のような形状とす
ることもできる。図８（ａ）は本発明の第三実施例の別
のレーザ発振器における放電電極の要部を示す正面から
見た断面図、（ｂ）は同じく側面から見た断面図であ
る。図において、４２は導管４１と同様に電極管８の流
入部及び流出側に取付けられた導管で、拡流部１６及び
縮流部１７において上方に屈曲している屈曲部がＲ状の
彎曲することなく直角に屈曲しているものである。この
場合も前記第三実施例のレーザ発振器と同様の効果を期
待することができる。但し、この場合には、屈曲部を流
れる冷却水１１の摩擦損失が増大して輸送効率を低下さ
せるので、Ｒ状の彎曲部を形成しておくのが望ましい。

【００２７】ところで、上記各実施例の電極管８の拡流
部１６及び縮流部１７に設けられた堰２１、堰２４、テ
ーパ部３１、導管４１及び導管４２は、拡流部１６と縮
流部１７の両方に設けられているが、本発明を実施する
場合には、これに限定されるものではなく、いずれか一
方のみに設けてもよい。但し、完全に気泡１８を排出す
ることができない恐れもあり、特に拡流部１６側にない
場合にはその傾向が強いので注意を要する。また、上記
各実施例の堰２１、堰２４、テーパ部３１、導管４１及
び導管４２は、本発明を実施する場合には、拡流部１６
と縮流部１７においてこれらを相互に組合わせることも
できる。例えば、拡流部１６に堰２１を、縮流部１７に
テーパ部３１を設けてもよく、或いは、拡流部１６に導
管４１を、縮流部１７に堰２１を設けることもできる。

【００２８】

【発明の効果】以上のように、請求項１の発明のレーザ
発振器は、内部を貫流する冷却水の流入方向側と流出方
向側にそれぞれ拡流部と縮流部が形成され、水平に配設
される放電電極において、前記流入方向側の拡流部及び
／または流出方向側の縮流部に堰部材を設け、少なくと
もその上部に前記冷却水の流路が形成されたものであ
る。したがって、放電電極の流入方向側から流入した冷
却水は拡流部及び／または縮流部に設けられた堰部材の
少なくともその上部の流路を通流し、このとき、拡流部
及び／または縮流部の上部に滞留していた空気を流入方
向側から流出方向側に向かって押流す。このため、放電
電極内の空気は全て外部に排出されるので、冷却能の低
下を防止できる。この結果、誘電体の絶縁破壊を防止で
き、放電電極の破損を回避できて信頼性を向上すること
ができる。

【００２９】また、請求項２にかかるレーザ発振器は、
内部を貫流する冷却水の流入方向側と流出方向側に、そ
れぞれ放電電極の長手方向の前記冷却水の流入方向側の
端部に形成された拡流部と、放電電極の長手方向の前記
冷却水の流出方向側の端部に形成された縮流部を有する
放電電極において、水平に配設される放電電極におい
て、前記流入方向側の拡流部及び／または流出方向側の
縮流部に管路面積が連続的に変化するテーパ部を形成し
たものである。したがって、放電電極の流入方向側から
流入した冷却水は拡流部及び／または縮流部における管
路面積が連続的に変化しているので、急激に拡大或いは
縮小することによって発生する渦流の生成を防止するこ
とができる。このため、請求項１と同様に、拡流部及び
／または縮流部における空気を全て放電電極の外部に排
出できるので、冷却能の低下を防止でき、放電電極の破
損を回避できて信頼性を向上することができる。

【００３０】更に、請求項３にかかるレーザ発振器は、
内部を貫流する冷却水の流入方向側と流出方向側にそれ
ぞれ拡流部と縮流部が形成され、水平に配設される放電
電極の流入方向側及び／または流出方向側に、拡流部及
び／または縮流部において開口が上側を向いており、放
電電極に冷却水を導入する導管を設けたものである。し
たがって、放電電極の流入方向側から流入した冷却水は
拡流部及び／または縮流部に設けられた導管内を通流す
るとき、導管の端部が上方に開口し、水平に配設される
放電電極に冷却水を導入しているので、拡流部及び／ま
たは縮流部のコーナー部に渦流が生ずることがなく、こ
の部分の空気を放電電極の外部に排出することができ
る。このため、請求項１及び請求項２と同様に、冷却能
の低下を防止でき、放電電極の破損を回避できて信頼性
を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１の（ａ）は本発明の第一実施例によるレー
ザ発振器の放電電極の要部を示す正面から見た断面図、
（ｂ）は同じく側面から見た断面図である。

【図２】図２は本発明の第一実施例によるレーザ発振器
の放電電極を正面から見た断面図である。

【図３】図３の（ａ）は本発明の第一実施例における別
のレーザ発振器の放電電極の要部を示す正面から見た断
面図、（ｂ）は同じく側面から見た断面図である。

【図４】図４の（ａ）は本発明の第二実施例によるレー
ザ発振器の放電電極の要部を示す正面から見た断面図、
（ｂ）は同じく側面から見た断面図である。

【図５】図５は本発明の第二実施例によるレーザ発振器
の放電電極を正面から見た断面図である。

【図６】図６の（ａ）は本発明の第三実施例によるレー
ザ発振器の放電電極の要部を示す正面から見た断面図、
（ｂ）は同じく側面から見た断面図である。

【図７】図７は本発明の第三実施例によるレーザ発振器
の放電電極を正面から見た断面図である。

【図８】図８の（ａ）は本発明の第三実施例の別のレー
ザ発振器における放電電極の要部を示す正面から見た断
面図、（ｂ）は同じく側面から見た断面図である。

【図９】図９は従来のレーザ発振器の構成図である。

【図１０】図１０の（ａ）及び（ｂ）は従来のレーザ発
振器の放電電極を示す正面図及び側面図である。

【図１１】図１１の（ａ）及び（ｂ）は図１０（ａ）の
Ａ部を正面から見た拡大断面図及び側面から見た拡大断
面図である。

【図１２】図１２は図１０の（ａ）の放電電極を正面か
ら見た断面図である。

【符号の説明】

１ 放電電極 １１ 冷却水 １６ 拡流部 １７ 縮流部 ２１，２４ 堰 ２２，２３，２５，２６ 開口部 ３１ テーパ部 ４１，４２ 導管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−292880（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−68987（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−260378（ＪＰ，Ａ)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部を貫流する冷却水の流入方向側に拡
   流部が、流出方向側に縮流部が形成され、水平に配設さ
   れる放電電極と、 前記流入方向側の拡流部及び／または流出方向側の縮流
   部に設けられ、前記水平に配設される放電電極の少なく
   とも上部側に前記冷却水の流路が形成された堰部材とを
   具備することを特徴とするレーザ発振器。
2. 【請求項２】 水平に配設され内部を冷却水が貫流する
   放電電極と、 この放電電極の長手方向の前記冷却水の流入方向側の端
   部に形成された拡流部と、 前記放電電極の長手方向の前記冷却水の流出方向側の端
   部に形成された縮流部と、 前記流入方向側の拡流部及び／または流出方向側の縮流
   部に形成された管路面積が連続的に変化するテーパ部と
   を具備することを特徴とするレーザ発振器。
3. 【請求項３】 内部を貫流する冷却水の流入方向側に拡
   流部が、流出方向側に縮流部が形成され、水平に配設さ
   れる放電電極と、 前記流入方向側及び／または流出方向側に配設され、拡
   流部及び／または縮流部側において水平に配設され、配
   設された状態において開口が上側を向いており、放電電
   極に冷却水を導入する導管とを具備することを特徴とす
   るレーザ発振器。