JPS60255821A - 重合物、それによる被覆加工物およびレリーフ像と保護層の製法 - Google Patents

重合物、それによる被覆加工物およびレリーフ像と保護層の製法

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JPS60255821A
JPS60255821A JP60102812A JP10281285A JPS60255821A JP S60255821 A JPS60255821 A JP S60255821A JP 60102812 A JP60102812 A JP 60102812A JP 10281285 A JP10281285 A JP 10281285A JP S60255821 A JPS60255821 A JP S60255821A
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ジヨウゼフ プフアイフアー
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Ciba Geigy AG
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「発明の目的」 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ベンゾイルピロメリット酸のイミドの単位
および/またはアロマティックテトラカメ・ホ“ン酸U
) 1ミド単位を含み、これ等のイミド部位を担持し7
ているアロマティック残基がカルボニール蒸を介して他
のアロマティック残基に結合している様な単独重合物と
共重合物と、これ等の単独重合物あるいは共重合物によ
り被覆されている加工物と、この抜染加工物を保設皮膜
あるい社光照射によるレリーフの′#!造の為に使用す
ることに関する。
〔従来の技術〕
感光性重合物を使用するレリーフ像生産の為のフォトグ
ラフィックな転写法は、電子および半導体技術の分野に
おりる構成部品炎造に対し重要な意味を治する。この様
な感光、性重合物には、それぞれの使用目的に応じて定
められる性質が微水され、この為のいろいろな立合物が
既に知られている。この様な従来の重合物は、その光に
対する感度が比較的に小であシ、経済的な露光を達成す
る為に、感光剤あるいは増感剤の添加が8袂とされてい
る。これ等添加剤による欠点は、これ等添加剤が機械的
および物理的性質を弱めることにある。
ある種の用途の為には、製造される禍造物あるいは光化
学的に製造される保膿被覆につき更に高い耐熱性が要求
される。この様な場合に特に適当なもの社ポリイミド類
である。ポリイミド類の非溶解性の為に、先づ可溶性の
第1段階物質から出発し、非溶解化は光重合の後にある
種の熱処理によりポリイミドに転換させることでなけれ
はならない。ポリイミドの光による直接架橋は未だ知ら
れていない。英国特許1222630によジベンゾイル
ピロメリット散あるいはナフトイルピロメリット酸によ
るポリイミドが知られている。フランス特許16010
94およびフランス特許1565700にはアロマプイ
ツクテトラカルゲン酸からのポリイミドが記載され、こ
のポリイミドのアロマティック基即ちそのカルボオキシ
基を担持している核は、カルボニル基を経て他のアロマ
ティック核に結合されている。少なくとも1箇の91原
子に対する両オルト位置において置換かなされている如
きアロマティックポリイミドは述べられてない。
又この様なポリイミドが感光性であることを刊行物から
見出すことも出来ない。
〔解決しようとする問題点〕
この発明は、本発明で述べられるイミド単位を有するポ
リマー類が光によって自動的に架橋n」能々ものである
ことの発見に基ついている。
〔間融点解決の為の手段〕
この発明の対象は、少なくとも2000の平均分子量を
有する単独および共重合物類であって、下記(11式あ
るいは(111式で表示される$11造!2素の少くと
も一方を両型合物に対し少くとも5モルチ含有する重合
物類である。
(該両構造式中にあっては、R1のそれぞれがハロケ9
ン、ニトロ基、フェニル基、フェノキシ基、フェニルチ
オ基又はフェニル基で置換oJ能なそわぞわ炭素原子数
1から6迄のアルキル基′類、アルコオキシ基類若しく
はアルキルチオ基類のいずれかであり、R1のそれぞれ
がそれぞれ2価の原子あるいは原子団基による直接結合
あるい妓僑かけki自とされ、lt3が4素LV子、ア
ロイル基またはR1の基として土L8れ/Cもののイ【
すれかとされ、 aのそれぞれが0.i、2あるいは3とされ、bのそれ
ぞれが0.1,2.3あるいは4とされ、Cのそれイれ
か0,1,2.′ろ、4あるいは5とされ、dカ0,1
,2,3.4あるいは5と心れ、qのぞれ七れが0ある
いは1とされ、a、bおよびdか2でちるとき、2箇の
几1が相互にオルト位IfiLゎり且つ2箇のR1が合
せて1箇の−CH=CI [−CH=CH−となりうる
ことかあり、几と几′はそれそ′れ炭素鎖の中間に炭素
以外の原子、アロマティック基、ヘテロ租基着しくけシ
フロアリファディック基であって何れも2価のものの少
なくとも1箇が介在することもあシうる置換若しくは非
瞳換の1リフアテイツク(aliphatic)残基a
tたは 置換されていないシフロアリファティック(ayclo
aliphatic)残基類、または置換されているシ
フロアリファティック残基類、または 置換されていないアルアリファテイツクイ(ar8目p
hatiC)残基類、また杖置換されているアルアリフ
ァテイツクメ残基類、または 2箇のアリール核が1箇のアリ7アテインク基を経て結
合しているアロマティック(aromatic)残ノ・
(類、または 少なくとも1箇のアルキル基、シクロアルキル基、アル
コキシ基、アルコキシアルキル基、アルキルチオ基、ア
ルキルチオアルキル基若しくはアルア(ルキル基によシ
置換されているアロマティック残基類、または 2箇の相隣れる炭素原子が1箇のアルキレン基により置
換されているアロマティック残基類のいずれかとされ、
qが0であるとき、Bは窒素原子の少なくとも1箇に対
する2箇のオルト位置が置換されているアロマティック
残基とされる。) この発明のポリマー類は、好ましくは少々くとも500
0の平均分子量(数平均分子量)を示す。上限は例えば
溶解性の如き作業性を決定する特性に従って調整される
。この上限は500000、好ましくは100000、
特に好ましくは6000とされる。この数はランダム重
合物あるいはブロック重合物とは関係なく扱うことが出
来る。
式Iおよび/またはIの構造要素の量は、大略単独重合
物あるいは共重合物に望まれる感光度およびこれ等の重
合物の4111′造に従って調整される。この量は、個
々のポリマーに関し5から100モル襲、好ましくは2
0から100モルチ、特に好ましくは40から100モ
ルチ、更に特別には50から100モルチとすることが
出来る。就中式■および/゛または■の構造要素の80
〜100モルチを含む単独重合物と共重合物は特に好ま
しい。
RおよびR′が、アリ7アテインクあるいはシフロアリ
ファティック残基である式1および/または■の構造袂
累r有する1合物あるいは共亀合邪にあっては、この構
造要素の量カニ少なくとも50モルチでめることか好ま
しく、このことはこの単独重合物および共重合物か、t
’J l)アミドやポリエステルである場合に31’で
ある。
■’i11.、ハロゲンの場合にFあるいはC!か好ま
し→。几1がアルキル基;アルコキシ基およびアルキル
チオ基の場合の例としてメチル基、エチル基、プロピル
基、イソ70ロビル基、−1f−ル基、ペンチル基、ヘ
キシル基、メトキシ基、エトキシ基、ゾロボキシ基、メ
チルチオ基、エチルチオ基およびペンノルチオ基等があ
る。
式IおよびHにおいて、a、bおよびdは、好ましくは
1%に好ましく杖0であり、CFよ、好ましくは1ある
いは2、特に好ましくは0である。
架橋基R2における残基の例とし’c −o−、−s−
−8O−、−802−’、 −CO−、−NRa−、C
1〜自OであってFあるいはC!によって置換されたも
のを含む直鎖状あるいは分板状のアルキレン基、−C(
h−。
−CONR8−。
よって置換されたものを含も・フルキリデ/・基、鉋を
構成する炭素原子数か5あるいに6の/クロアA咥すデ
ン基、−((J−Cml−IHn)n−0一式でずく示
・され、mが2から4迄り数でnが1から4迄の数とさ
れる基、toRa)%o−で表示され( nが1から4迄の叙と心)する基でif争kfることが
出来る。これ等の例に寂りる几3はC1〜C6のアルキ
ル基、フェニル基、ベンノル丞あるいはシクロヘキシル
糸である。
架橋結合基の他の例として−N=N −。
c、−Caのアルキル基好゛ましくはメチル基、フェニ
ール基あるいはベンジル基であって、Xか1から10壕
での間のj当な有理厳とされる基を挙けることが出来る
直接結合の場合のWの好ましいものとして−O−+ −
8−+ −CH2−+エチリデン、2.2−fロビリデ
ン、特に好ましいものとして−CO−がある。
Vのアロイルとしては竹にベンゾイルかある。
好ましいFLsとして水素原子がある。
式1のカルビニル基はイミド基のカルビニル基に対して
メタの位置にあることが好オしい。
又、Cが0の場1合にもこれ等のカルビニル基が相互に
メタの位置にあることが好ましい。R2基はこれ等のカ
ルビニル基に対しメタの位置にあることが好ましいがパ
ラの位置でもよい。
構造要素の好都合なものとして次式1aおよびIIaが
ある。これ等両式におけるQ+”およびR,’ u%F
l請求$1+、四節1項に記載された意味を廟する。
式Iおよび■において、几あるいはRoが2価のアリ7
アテイツク残基の場合に1 B又はRoとして好ましく
は2から60、特に好ましくは6几又はRoが直鎖状あ
るいは分校状のアルキレン基の場合およびこのアルキレ
ン基がその中間に酸素原子、S 、 80.801. 
NH、N几C,AB(、P1シクロヘキシレン、ナフチ
レン、フェニレンアルいはヒダントイン等の基を含む場
合がある。この場合のRoは、例えば炭素原子数1から
12迄のアルキル基、壊を構成する゛炭素原子数が5あ
るいは乙のジクロフルキル基あるいはペンジル基である
。GOは、例えはハロゲン化物、硫酸塩、燐酸塩の如き
水素酸のアニオンを意味する。ある好都合な実施態様に
おけるR又はWは、直鎖状あるいは分枝状の炭素原子数
6から30のアルキレン基二または−(CHt )m−
R’−(CHt )n−で表示されWがフェニレン基、
ナフチレン基、シクロ4ンチレン基若しくはシクロヘキ
シレンでアシmとnが1,2又Vi5から互いに独立に
週択される数とされる基: ’E 7’CU −R’−
(OR’)p−0−R’ −で表示されRI′かエチレ
ン、1.2−7’ロビレン、1.3−ゾロピレンあるい
Vi2−メチル−1゜3−ゾロピレンとされtがエチレ
ン、1.2−プロピレン、1,2−ブチレン、1.3−
ゾロピレン若しくけ1,4−ブチレンとされpが1から
100までの数とされる基:または禍造式で表示される
基である。
アリ7アテイツク残基の例は、メチレン、エチレン、1
,2−又#−t1,3−プロピレン、2゜2−ジメチル
−1,5−ゾロピレン、1.2−。
1.6−父は1,4−ブチレン、1,3−又は1.5−
−?メチレン、ヘキシレン、ヘゾチレン、オクチレン、
デシレン、ドデシレン、テトラデシレン、ヘキサデシレ
ン、オクタrシレン、エイコシレン、2,4.4−トリ
メチルヘキシレン、1.10−ジアルキルデシレンであ
ってそのアルキルの好ましい炭素原子数が1から6迄の
数とされるもの、例えばヨーロッノe特許公報B−00
11559号に記載の様に置換されている1゜11−ウ
ンデシレン、例えは 1から100迄の数とされるかあるいは(CHt)s 
−(0(CHt)< )p−0−(CHt)s−で表示
されpが1から100迄の数とされる如きノエフアミン
(Jeffamine)類ジメチレンシクロヘキサン、
キシリレンおよびジエチレンペンゾール等の基である。
特に好ましいR又はTL’d、例えは8から30の炭素
原子数を有する長鎖の分枝せるアルキレン基である。
又、式(1)および(Mlにおけるアリ7アテイツク残
基としてのR又はR,/には、次式のポリシロキサン残
基が含まれる。
この式において、It!1およびR32はC,−C6の
アルキル基好ましくはメチルあるいはフェニル基でアシ
、R50Vi例えはシクロヘキシレンの如きシクロアル
キレン基、好ましく U C1〜CI!特に好ましくf
′i1 、3−プロピレン又は1.4−ブチレンの如き
c、−Csのアルキレン基であり、yh少なくとも1、
例えけ1がら100迄、好゛ましくけ1から10迄の有
理数でるる。この残基を有するこの極のジアミン類蝶、
米国特許6435002号および米国特許403094
8号に記載されている。
炭素鎖の中間にペテロ項基を肩するアリ7アテイツク残
基の場合として、゛例えVよN 、 N’−アミノアル
キル化ヒダントイン又rJ: N 、 N’−アミノア
ルキル化ベンズイミダゾ−A・がらh導されたものする
ことが出来る。%+え[、N 、 N′−(γ−アミノ
ゾロビル)−5,5−ジメチルーヒタントイン又は−ベ
ンズイミダゾールであって、下式の様に表示され、 この式においてRは1がら12好捷しくは1がら4の炭
素原子数のアルキレン基、あるいはReが1箇の水素原
子がメチル基とされ、eが1〜基である。
アリ7アテイツク残基の為の過当な置換基は、例えは水
酸基、FあるいはC!の如きノ・ログンあるいは炭素数
1から6迄のアルコキシ基であるOヘテロ稿状のノアミ
ン残基1、好ましく杖例えtまピロリジン、インドール
、ピペリジン、ビリノン、ビロール等のN原子がアルキ
ル化例えはメチル化されているもののような22含有項
化ジアミンから酷4−uJwbな基である。例としては
N−メチル−4−アミノ−5−アミノメチルビイリジン
かある。
式Iおよび■において、2価のシフロアリファディック
残基としての几又はR′は、塩を構成する炭素原子数5
から8のものが好咳しく、1箇の核の禍成炭1AJll
X子数が5から7である核を1箇又は2箇有するシクロ
アルキレン基であって置換されていないかあるいは1か
ら4迄の炭素原子数のアルキル基により置換されている
基が特に好ましい。ある好“ましい実施態様におけるシ
フロアリファティック残基としてのR又はa’U、次式
のようなものである。
両人においで、Q(徒0又は1でのり、腹歓のR’妓そ
れぞれ独立に水素原子あるいは1から6迄の炭素原子の
アルキル基でらり、Xは0.S。
002.1から6迄の炭素原子数のアルキレン基あるい
は2から6免の炭素原子数のアルキリデン基である。好
ましい几?は水′J、原子、エチル基、メチル基であり
、好苦しいXはメチレン基およびエチリデンと1.1−
あるいは2,2−プロピリデンの如く好捷しい炭素原子
数として2又は3を有するアルキリデン基である。
シクロアルキレン残基としての几又はR′の例は、1,
2−又は1,3−シクロヘキシレン、1 、 ’2− 
、1 、3−又社1,4−シクロヘキシレン、シクロヘ
キシレン、ン/’ Iff オクチL/ 7、メチルシ
クロペンチノン、メチル又はジメチルシクロヘキシレン
、3−又は4−メチルシクロヘキシ−1−イル、5−メ
チル−3−メチレンシクロヘキシ−1−イル、6,3′
−又は4,4′−ビス−シクロヘキシレン、3.3’−
ジメチル−4、4’−ビスシクロヘキシレン、4,4′
−ビスシクロヘキシレンエーテル、4 、4’−ビスシ
クロヘキシレン久ルホン、4.4′−ビスシクロヘキシ
レンメタン、4.4’−ビスシクロヘキシレン−2,2
−7’ロパン並びにビス−アミノメチル−トリシクロデ
カン、ビス−アミノメチルノルボルナンおよびメンタン
ジアミン等である。
シフロアリファティック残基として%に好ましいR又F
iR’は、1,4−又は1,3−シクロヘキシレン、2
,2.6−トリメチル−6−メチレン−シクロヘキシ−
4−イル、メチレンビス(シクロヘキシ−4−イル)あ
るいhメチレンビス(3−メチルシクロヘキシ−′4−
イル)である。
アルアリファティック(araljphatic)残基
としての好ましい几又はR’ハ、7から30迄の炭素原
子を有する。アルアリファティック残基のアロマティッ
ク基が、好ましい例として、式Iおよび田の残基の鼠素
原子に結している場合に、これ尋アロマティック基は、
几およびR′基がアロマティック残基である場合と同様
に又その好ましい場合と同様に、置換されていることが
好ましい。
このアルアリファティック残基は、好ましくは7から3
0迄、特に好ましく48から22迄の炭素原子を含む。
アルアリファティック残基中の好ましいアロマティック
基しフェニール基である。アルアリファティック残基と
しての意味におけるR又はR′は、置換されてないがあ
るいはアリール基がアルキル基により置換されたア7V
アルキレンでちゃ、そのアルキレ・ン残基カ直鎖状ある
いは分校状のものであることを特に意味している。ある
好ましい実施態様においては次式のアルアリファティッ
ク残基が適当であるOR7 この式において、複数のR7はそれぞれ独立に水素原子
あるいは炭素原子数が1〜6のアルキル基を、■は1〜
20の整数を意味する。
未結合原子価(フリー〆ゾド)は、CvHzv基に対し
てオルト、メタ又特にノソラの位置が好ましく、1箇又
は2箇のR7が位置の目出な結合に対してオルト位置に
結合されていることが好ましい。
アルアリファティック残基としてのR又ll″i R’
の例は、メタあるいはノ?ラベンジレン、6−メチル−
p−ベンジシン、6−ニチルーp−ベンジレン、3.5
−ツメチル−p−ベンジシン、6.5−ノエチルーp−
ベンルン、5−メfルー5−エチルーp−ベンジレン、
p−フエニレンゾロビレン、ろ−メチル−p−フェニレ
ン−!ロビレン、p−フエニレンブチレ/、3−エチル
−p−フェニレン啄ンチレンの残基類並ひに例えはヨー
ロッパ特許公報A −0069062に記載ある如きそ
れぞれがよシ長い炭素鎖のフェニレンアルキレン残基類
、例tH6−(p −フェニレン)−6−メチルへ7’
)−2−イル、6− (3’−メチル−p−フェニレン
)−6−メチルヘプト−2−イル、6− (3’−エチ
ル−p−フェニレン)−6−メチルへfト−21ル、6
−(R’、5’−ジメチル−p−フェニレン)−6−メ
チルヘプト−2−イル、1l−(p−フェニレン)−2
,11−、:/メチルドfカー1−イル、13−(p−
フェニレン)−2,12−ノメチルテトラテ゛カー6−
イル等の基である。
又、R又ij、 nLは、好ましくは13から30迄の
炭素原子数を有するアロマティック残基であることも出
来る。この場合には、例えはナフチル特にフェニールの
如き2個のアリール核が、好ましくは1から12箇の炭
素原子を有するアリファテイツク基を経て結している。
との残基として次式のものが特に適当である。
この式において、未結合原子価はA基に対してノセラ、
メタあるいは判にオルトの位置に結合され、^Vic+
〜CIx、喝にはC1〜C6のアルキレン基であるが、
このアルキレン基は酸素あるい1lJtt黄原子を炭素
鎖の中間に有していてもよい。Aの例として社、エチレ
ン、1,2−又社1,3−ノ60ピレン、グチレ/、−
CH2−U−CHz −+−CHz −8−CHz −
CH2CHt−0−CHzClh−寺がある。
単独重合物ふよひ共重合物においては、式(11および
tt中の描造*素のR又はR′か置換宴れたアロマティ
ック残基な意味するものが好ましい。
このアロマティック残基の置換基KU% 1から20、
特に1〜12又特別にL1〜6の炭素原子数のものが好
ましい。この置換基としては、C8−又1dcs−のシ
クロアルキル、直鎖状又は分枝状であって1から61で
の炭素原子数のアルキル、アルコキシ、アルコキシアル
キル、アルキルチオ、アルキルチオアルキルの基並にベ
ンジル、トリメチレンおよびテトラメチレン等の基があ
る。好ましい置換基は、1から6迄の炭素原子数のアル
キル、アルコキシ、アルコキシアルキル、並ひにベンジ
ル、トリメチレン、あるい社テトラメチレンである。最
も好ましい置換基はc、−C4のアルキル基である。ア
ルコキシアルキル基としては、アノしコキシメチル基、
アルコキシ基としてはメトキシ基が好ましい。これ等置
換基の例としては、メチル、エチル、プロピル1イソゾ
ロビル、n−ブチル、イソブチル、ペンチル、ヘキシル
、オクチル、rデシル、テトラデシル、エイコシル、メ
トキシ、エトキシ、プロポオキシ、ブトキシ、ペントキ
シ、ヘキソキシ、メトキシメチル、メトキシエチル、エ
トキシメチル、プロポオキシメチル、ブトキシメチル、
ベンジル、メチルベンノル、フェニルエチル、メチルチ
オ、エチルチオ、ヒドロオキシエチル、メチルチオエチ
ル、ヒドロオキシエチルチオ等がある。好ましい置換基
はメトキシメチル、エトキシメチル、メチル、エチル、
n−プロピル、i−プロピル、トリメチレン、テトラメ
チレン、シクロにメチルおよびシクロヘキシルである。
又特に好ましいものはメチル、エチルふよひ1ンノロビ
ルである。置換されたアロマティック残基し1.1核あ
るいti多核であり、釉に2核の残基か1幾である。1
核の残基り、1から4箇迄の好−ましくは1又は2箇の
置換基を含むことが出来、2核の残基は1から4箇迄の
好甘し、くけ1又t12箇の置換基をそれぞれの核に含
むことが出来る。単独宛合物あるいは共和合物の酪九度
t+X腎素原子に対(7てオルトの位置に1又は2箇の
tν換牽が結合部れている際に喝に篩いことか発見◇れ
ている。従ってオ九ト位衡における置換は好ましいこと
である。
この林なアロマティック残基は、瞥素原子に対してオル
ト又は)?うの位ifおいて結合していることが好まし
い。
プロマチイック残基としてのR又しよR′は、7から3
0迄の特に7から20迄の炭X原子を含むことが出来る
。アロマチ1ツク残基は、既に定義された様に置換され
ている炭化水素残基あるいはビリソン残基が好ましい。
アロマティック残基のサブグループとして欠配のものが
好ましい。
これ等の式において、R?は、その1箇置換の場合には
、1箇のR7が炭素原子数1から6迄のアルキル基であ
って他のR丁が水素であシ、その2箇、5箇あるいは4
箇置換の場合には、2箇のWが炭素原子数1から6迄の
アルキル基であって他のBffが水素原子又は炭素原子
数1から6迄のアルキル基であるか、1箇のフェニール
項内の隣接する2箇のR7かトリメチレン又蝶テトラメ
チレンとなって他のR7が水素原子又は炭素原子数1か
ら6迄のアルキルとなる。Yは0.S。
NH、Co又はCH*を示し、l(aは水素原子又は炭
素原子数1から5迄のアルキル基を示し、R9は炭’R
” SiR” 、 R”08iOR” 。
−〇−又は−S−か中間に挾まれる場合をも含む炭素原
子数1から6迄のアルキレン、炭素原子数2から6迄の
アルケニレン着しくはアノLキリデ/、フェニン/f、
た(1フエニールジオキシルの基による直接結合を意味
する。尚)LloとB11は相互に独立して炭素原子数
1から6迄のアルキル基あるいはノーニール基を意味し
、Jは1〜10!旧で1〜6であり、1σはc、−Ca
のアルキル基、フェニール基あるいはベンツル基である
2は更に広い意味の1式で表示出来る。
この式において、Gは偵を黄あるい1は特に酸素原子で
あシ、fは0又は1の奴、giり、1から6迄の数、h
は1から50迄の特には1から10迄の数、RIoおよ
びB11は既に記載した意味を有すると共に次式により
表示される残基をも意味する。
1 C6のアルキル基あるいはフェニール基の場合である。
RaとRoは好ましくはメチル基、Yは好ましくは−C
Hl−又は−〇−1Zは好ましくは一〇−1−CH,−
又は炭素原子数2か°ら4迄のフルキリデフ基による直
接結合である。1110およびB11はメチル、エチル
およびフェニールの基でちる。アルキレン基は、好まし
くは炭素原子数2から4迄含み、特にエチレン基がよい
。アルケニL/ン基は特にエテニレン基がよい。
好ましいサブグループ妓、トルイレン残基、0.0′の
位置九おいて置換されたジアミノジフェニレン、ジアミ
ノジフェニールメタンおよびソアミノジフエニールエー
テルの残基である。
特に好ましい残基6次式の様なアロマティック残基であ
る。
CH* CH2 この式において、Z′は0および特にC)(2による直
接結合を意味し、R1!は水素原子、メチル1.エチル
あるいはインゾロビルの基を示す。
置換されたアロマデづツク残基の例として、4−メチル
−1,3−フェニレン、4−エチル−1,3−フエニレ
ン、2−メチ/I/−1,5−フェニレン、4−ベンジ
ル−1,3−フェニレン、4−メトキシメチル−1,3
−フェニレン、テトラヒドロ−1,5おるいば−1,4
−す7チレン、6−ゾロビルー1,6−あるいは−1゜
4−フェニレン、5−イン7’o ヒル−1、4−フェ
ニレン、3,5−ツメチル−1,4−フェニレン、2.
4−ツメチル−1,5−フェニレン、2,5−ジメチA
・−1,4−フェニレン、5−メチル−1,5−フェニ
レン、2,5,5,6−チトラメチルー1,4−又は−
1,3−フェニレン、3−メチル−2,6−ヒリルン、
3.5−ジメチル−2,6−ビリシレン、3−エチル−
2,6−ビリルン、1−メチル−2゜7−す7チレン、
1,6−ノメチルー2.7−ナフチレン、1−ノチノL
、 −2、4−ナフチレン、1 、6−シメチルー2.
4−ナフチレン、5−アミノ−1−(3’−アミノ−4
′−メチルフェニール)−1,3,3−’)リメナルイ
ンダンわるいf−L6−アミノ−5−ノチル−1− (
3’−アミノ−4′−メチル)−1,5,5−トリメチ
ルインダンからの二価残基、4−メトキシメチル−1゜
5−フェニレン、3−メチル−plフェニレン、6−ニ
チルーp−ノフエニレン、3.3’−ジメチル−p−ジ
フェニレン、3 、5’−ジエチル−p−ジフェニレン
、3−メチル−6′−エチル−p−ジフェニレン、3.
3’、5.5’−テトラメチルーツフェニレン、5 、
5’−メチル−5゜5′−エテル−p−ジフェニレン、
4,47−シメチルー10−ジフェニレン、3 、3’
−ノインゾロビルジフエニレン、および下式で示さnる
残基がある。
几3 @ TL3 T Bm4 これ郷の式において、Z″、 R”4 、 R1,R3
6および几17社次にE載するy−で馬えられる残基を
意味する。父上紀式におけるフッエニーグー核tJX例
えば几1′から几37迄の意味と同様な残基の1箇又は
2箇に、)〕り置置換能でt)る。この様なノアミノ残
基の例は1、後記において、発明に適合する単独重合訃
よび共重合ポリイミド類と呼ばれる。
これ等のジアミン、これ等からRまたはR′が誘導され
るのであるが、け知られているし又既知の方法に従って
製造口j能である。ポリシロキサン単位を有するジアミ
ンは米国特許5455002およびヨーロツノや%許公
NA−0054426により知られている。
A−2618170により知られている。この発り」に
11〜台゛ノる犀、蝕市合物ふ・工ひ共重合物類はとの
為に予め準備された設備により製造される。これ等のポ
リマー類は、特に線状に合成される。
しかしこれ等のポリマーL1少くとも6箇の官能基を有
する化合物の夕景の冷加により分枝されることも出来る
これ等の単独1合物あるいは共重合物類は、好ましくは
、ポリイミド、ポリアミド、飽和ポリエステル、ポリカ
ーボネート、ポリアミドイミド、ポリエステルイミド、
ポリエステルアミド、ポリシロキサン、不飽和ポリエス
テル、工?キシ樹脂、芳香族ポリエーテル、芳香族ポリ
エーテルケトン、芳香族ポリエーテルスルホン、芳香族
ポリケトン、芳香族ポリチオエーテル、芳香族ポリイミ
ダゾール、芳香族ポリピロールおよびこれ等各ポリマー
類の混合物からなる群より選択される。
これ等のポリマー類中にあって特別に好ましいものは、
式fi+および/または(lI)の構造要素(qが0で
あり、Rは少なくとも1箇の窒素原子に対するオルト位
置の2箇かアルキル、シクロアルキル、アルコキシ、ア
ルコキシアルキル、アルキルチオ、アルキルチオアルキ
ル、アルアルキル等の残基により置換されているか、あ
るいり、アロマチづツク残基の相隣れる2箇の辰素原子
がアルキレン基により置換されている)を5から100
モル弊含有し、且つ次の式(I[Ilにより表示される
構造要素の0から95モル%迄を含有する如き単独M(
合あるいは共重合ポリイミドである。
 0 !111 この式において、Qは4価の有機残基であり、B13は
2価の有機残基あるいはRと同様の意味を41する残基
である。
itオヨびRIBは、共重合ポリイミド類において、特
に芳香族の有機残基を示している。この様な共1合?リ
イミド類において、弐(11および/または式(It)
の4%造振素の少くとも50モル条を含むものか好まし
く、又同構造要朱を少なくとも80モノを袋含イ〕・も
のか特に好址しい。
例えはフエニレンソアミンあるいはソ(アミノンエニル
)メタンの如き看干のアリファテイツクおよびアロマテ
ィックのソ“アミン等itポリイミド類の非溶解性を促
進出来ることが知られている。この理由によりこれ等の
ジアミンの好せしい少讐が添加される。この冷加は、式
mおよび/またけ(Illのaη4要素が少なくとも5
0モル条、特別には少なくとも80モル条、更に特別に
べ90モル子含有されている場合に重要である。
4価のアロマディック残基としてのQIri、好ましく
は6から60迄特にゾ子ましくに6から20迄の炭素原
子数のものを含む。
式flit)におけるQは、アロマティック、アリファ
デイツク、シクロアリファテ1ツク、ヘテロ麺状の残基
群およびアロマティックとアリファティックの残基全組
合せた残基群から選択される。これ等の残基群も置換さ
れることか出来る。
Q残基は次の様な構造で特徴つけられる。
上記の構造において B+4は次式から選択される直接
結合あるいは欄かけ結合である。
RIIIRll 1 −CH7−、−CH2CH2−、−CH−、−C−。
14+6 上記の式において Bl 6 、 R18およびBl 
? は、炭素原子数1から6迄のアルキル基、フェニー
ル基あるいはベンジル基であって、几16とR,1’F
は炭ii子数1から6迄のアルコキシ、フェニールオキ
シあるいはベンジルオキシでもある。
上記した式では常に未結合原子価の2箇づつがd IJ
および/またはオルトの位置関係にある。
Qの好ましい残基のザブグループとして次式で表示され
るものがある。
上式において1(14は一〇−、−8o!−、−CHz
−および特に好ましいものとしての一〇〇−による直接
結合である。
傷別に好ましい残基は、式 あるいはこれらの混合物、例えは4価のベンゾフェノン
残基を少くとも5モルチ含有するものである。この場合
のベンゾフェノン残基の未結合原子価はオルト位置にあ
る。
残基Qを含むテトラカルボン酸無水物の例として次の如
きものがある6 2.5,9.10−ペリレンデトラカルボン酸ジ無水物
、 1°、4,5.8−ナフタリンテトラカルボン酸ジ無水
物、 2.6−ジクロ”−ルナフタリン−1、4、5゜8−テ
トラカルボン酸ジ無水物、 2.7−ジクロールナフタリン−1、4,5゜8−テト
ラカルボン酸ジ無水物、 2.3,6.7−チトラクロールナフ〉リン1.4,5
.8−テトラカルボン酸ジ無水物、7エナントレンー1
.8,9.10−テトラカルざン酸ジ無水物、 ピロメリット酸ジ無水物、 3.3’、4.4’−ビフェニルテトラ力ルポン酸ジ無
水物、 2 、2’ 、 5 、3’−ビフエルテトラカルメン
酸ジ無水物、 4.4’−インゾロビリデンジフタール酸無水物、 5.3’1ノグロとりデンジフタール酸無水物、 4.4′−オキシシフクール酸無水物、4.4′−スル
ホニールシフタール酸無水物、6.3′−オキシッフタ
ールha水物、4.4′−メチレンノツターノー酸無水
1勿、4.4′−チオシフクール酸無水物、 4.4′−エチリデンシフタール酸無水物、2、ろ、6
,7−ナフタリンチトラカルメン酸ジ無水物J1 1.2,4.5−ナフタリンブトラカルボン酸ノ無水物
、 1.2,5.6−ナフタリ7テトシカルボン隙ジ無水物
、 ベンザノー1.2,3.4−デ)ラカルz7酸ジ無水物
、 チオレニン−2,3,4,5−テトラカルボン酸ジ無水
物、 1−(5’、4’−ジカル〆オキシフエニール)−1,
3,3−トリメチルインゲン−5,6−ジカノーボン醸
ジ無水物、 1− (3’ 、 4’−ジカルボオキシフェニル)−
1,3,3−)サメチルインダン−6,フージカルボン
触ジ無水物、 1−(3’、4’−ノカルポオキゾフェニル)−3−メ
チルインダン−5,6−ノカルボン酸ジ無水物、 1− (3’ 、 4’−ノカルポオキシフェニル)−
6−メチルインダン−6,7−ジカルボン酸ジ無7J′
、物、 3 、3’ 、 4 、4’−ベンゾフェノンテトラカ
ルメン酸無水物、 4 、5 、3’ 、 4’−ベンゾフェノンテトラカ
ルメン鰍無水物。
ポリイミド類におけるアロマティック残基としてのRは
、好まし・くけ、2価であって1箇あるいは2箇の核を
有するフェニレン残基である。
凡の置換基は、直線状おるいは分校状のアルキル基およ
びアルコキシ基として1から20迄、好ましくは1から
6迄、特に好ましくは1から4迄の炭素原子数のもの、
直線状あるいは分枝状のアルコキシアルキル基として2
から12迄、特に好ましくは2から6迄の炭素原子数の
もの、アルキレン基として3あるいは4の炭素原子数の
もの、シクロアルキル基として炭素原子数5から8迄、
特に好ましくは環形成炭素原子数が5又、は6のもの、
アルアルキル基として7から12迄の炭素原子数のもの
を含むことが出来る。
アルキレン基として好ましいものはアルコキシメチル、
又アルアルキルとして好ましいものはベンジルである。
置換基の例として、メチル、エチル、ゾロビル、イソプ
ロピル、n−ブチル、イングチル、第3級グチル、4ン
チル、ヘキシル、オクチル、ドテシル、テトラデシル、
エイコシル、シクロペンチル、シクロヘキシル1.メチ
ルシクロヘキシル、メトキシ、エトキシ、プロポキシ、
エトキシ、インドキシ、ヘキソキシ、メトキシメチル、
メトキシエチル、エトキシメチル、プロポキシメチル、
シトキシメチル、べ/ジル、メチルベンジル、フェニー
ルエチル等ノ基カアル。
好ましい残基として、メトキシメチル、エトキシメチル
、メチル、エチル、イソプロピル、トリメチレンおよび
テトラメチレンの基がある。
特に好ましいものは、イソプロピル、エチル、特別に好
ましいものはメチルの基である。
置換されている70マチイツク残基としての几は、8か
ら30迄の、好ましくは8から25迄の炭素原子を含む
。このアロマティック残基は、好ましくは1箇のピリジ
ン残基、竹に好ましくは1箇の炭化水素残基であって、
アルキル、アルコキシアルキル、アルコキシ、トリメチ
レンあるいはテトラメチレンの基によシ置換されている
ものである。このアロマティック残基は、C!あるいは
Fの如きノ・ログン等を他の置換基として含むことが出
来る。ある好ましいサブグループにおけるアロマティッ
ク残基として、積数1箇のものてはフェニレン基、積数
2箇のもの−I: f、<ナフナレ/基ろるいLビスフ
ェニレン基がある。
この発明に適合するポリアミド類の好ましいサブグルー
プは、アロマティック残基としてのRが式IV、lVa
および/またはIVb K相娼するものである。
R″ R” R” R” ft23 ig これ等の式において、弐■では未結合原子価がメタある
いはノヤラの位置に向き合い、弐■aでは未結合原子価
が好ましくは几24基に対してメタあるいは・母うの位
置にあると共にBllとR”が未結合原子価の両オルト
位置にあシ、式■bでは2箇の未結合原子価が、2−.
5−.6−および7−の位置にあると共にR1′および
凡19が両未結合原子価の両オルト位置にあ5、B24
は直接結合の為の一〇−、−8−、−88−、−80−
、−Box−。
−Co −、−Coo −、−NH−、アルキルの炭素
原子数が1から6迄の場合の)N−(アルキル)、アル
キルの炭素原子数が1から6迄の場合のる0 れ尋におけるR1 Iは、水素原子、Cl−C6のアル
キル、フェニール、直鎖状あるいは分枝状で炭素原子数
1から3迄のアルキレン、必要ある場合にはCl又はF
によシ置換されている炭素原子数2から12迄のアルキ
リデン、環を構成する炭素原子数5あるい祉6のシクロ
アルキリデン、書 フェニレン、フェニレンジオキシ、RF’ −3i −
R” +の基である。これ等の式において B16およ
び几27は、炭素原子数1から6迄のアルキル又はアル
コキシ、フェニル、ベンジル、フェニルオキシ、あるい
はペンフルオキシ、R′′f′1−0−又d−s−,x
はc、−Caのフルキレンの基であシ、rは1から10
迄の、tは、0又は1の、aは0又は1の、wtilか
らjO[1迄のそれぞれある数である。又B18および
几+9は、゛炭素原子数1から12迄のアルキル又はア
ルコキシ、炭素原子数2から12迄のアルコキシアルキ
ル、シクロにメチル、シクロヘギシル、あるいはベンジ
ルである。又式■あるいは■aにおいて 11mとR2
°が隣同志の位置に結合し且つこの両者が一体となって
トリメチレンあるいはテトラメチレン基を意味する場合
には、R”は水素原子となることもある。Bffi O
とRffilは水素原子であるが独立してRI#とR″
と同じ意味を有する。R1ff1およびR1は独立に水
素原子あるいは独立KR”とB+9と同じ意味を有する
。あるいは式IVaのBI OとBIが一体となってト
リメチレンあるいはテトラメチレンになることも出来る
R11とR111は、好ましくは炭素原子数1から6迄
ノアルキル、特に好ましくはメチル、エチル、n−ノロ
ビルとイソノロビルの基である。弐■8の未結合原子価
は、R14残基に対し好ましくはメタの位置に特に好ま
しくは・ぞうの位置におる。
W4残基のアルキル基としては、例えはメチル、エチル
、ノロビル、イソノロビル、n−ブチル、ペンチル等の
基がある。アルキレン基とし1の1(14は好ましくは
エチレン特に好ましくはメチレンの基である。アルキリ
アン基としての几24残基には好ましいものとして炭素
原子数2から6迄のものが含まれる。例えはエチリデン
、2゜2−ブチリデン、2,2−あるいは3.3−(ン
チリデン、ヘキサクロロノロビリデン等の基かあり、特
に好ましいものとして2.2−プロピリデンがある。シ
クロアルキリデンとしての謬4残基には、例えはシクロ
にンチリデン、特に好ましいものとしてシクロヘキシリ
デンがある。
R24残基は、好ましく t:j−o−、−s−、−5
on−。
−CO−、アルキレンおよびアルキリデンによる直接結
合である。特別に好ましい直接結合几“は−〇−1特に
−〇〇−あるいは−CH,〜である。R26およびR1
?は、好ましくはアルキル、特に好ましく祉メチルある
いは〕、エニルの基である。几“は好ましくは一〇−で
必シ、Xは好筐しくはメチレンあるいはエチレンの基で
あり、Wは好ましくは1から10迄のある数、rtよ1
〜20のある数特に好ましくは1〜10のある数である
他のジアミン残基群として次式の如き吃のがある。
1G この弐において、1箇の未結合原子価は4′−あるいは
5′位置に他の1箇は3−15−好ましくは4の位置に
結合し、RlaとB19および/またはBffiOとR
”杖未結合原子価のオルト位置にあって炭素原子数1か
ら12迄のアルキル又はアルコキシか炭素原子数2から
12迄のアルコキシアルキル基でおる。
この発明に適合するポリイミド類として特に好ましいも
のは、式Iおよび/または■におけるR残基が次式のも
のである場合に相当する。
これ等の式の前4者において4未結合原子価が互いにオ
ルトあるいはパラの位置に向き合い、最後の式において
はBljとBil+が独立してメチル、エチル、n”’
7″ロビル着しくけイソノロビルであシ、B2 Gと几
2′が水素原子かR18と同様の意味のものであるか、
あるいIr1FL”とR10が一体となってトリ又はテ
トラメチレンの基になっていると共に几19とH,XI
が水素原子となシ、B24がCH,,2,2−プロピリ
デン、又はCOによる直接結合である。
この様な2核の残基において、特に好ましいのは、Rl
a 、Rle 、Bffiilオ! ヒR” カメfk
基ノ場合テある。これ等の諸式からの少なくとも2箇の
異なる残基金含有する共重合ポリイミド線、この発明の
実施りrχの他の好ましい例である。
この発明に適合するポリイミド共1合物は、少にくとも
2箇の異なる構造擬岩を含有し、これ等の異なる栖造歎
累の数は望ましい性負と用途外11・fに依存−する。
好pしい共重合物は2から4迄の柿類の異なる栖C髪素
を含有し、単に式Iおよび/または■における構造要素
中の、Rの;にに、tり相別i’i’l能である。この
様な共重合ポリイミドのq、′Fに灯ましい鰹節態様は
、2箇のオルト位貨が置換されたフェニレン基特に好咬
しくは1.ろ−フエニレン基を含むものである。
との発明に適合するポリイミドにおけるR5は欠配の如
きものである。
2.6−ノメチルー1.4−あるいは−1゜3−フェニ
レン、 2.6−ジエチノし−1,4−あるいは−1゜ろ−フエ
ニレン、 2.6−ノメチルー5−クロノV−1,4−あるいは1
.3−フェニレン、 2−メチル−6−ニチルー1,4−あるいは−1,3−
フェニレン、 2−メチル−6−インツロビノーー1.4−あるいは−
11ろ一フェニレン、 2.6−ノイソゾロビルー1.4−あるいは−1,5−
フェニレン、 2.6−シメトキシー1.4−あるいrj −1。
6−フェニレン、 2.6−ソエトキシー1.4−あるいは−1゜6−フェ
ニレン、 2−メトキシ−6−メドキシー1.4−あるいは−1,
6−フェニレン、 2.6−ジペンジルー1.4−あるいは−1゜6−フェ
ニレン、 2.6−ノメトキシメチルー1.4−あるいは−1,6
−フェニレン、 2.5.6−ドリメチルー1,4−あるいは−1,6−
フェニレン、 2.5.6−)リエチル−1,4−あるいは−1,3−
フェニレン、 2.4.6−ドリメチルー1.3−フェニレン、 2.3,5.(S−テトラメチル−1,4−フェニレン
、 2.4,5.6−テトラメチル−1,6−フエニレ、ン
、 テトラヒドロ−1,4−あるいは−1+6−ナフチレン
、次の式の基等である。
/ B これ等の式において、人、B、C,DおよびBは次表で
与えられる意味を有する。これ等のフェニール核におけ
る置換されてカい位置L1それぞれの核において1箇あ
るいは2箇の他の置換基G又はHにより占められること
が可能である。仁の際のo6るいはHは、次表の人から
D迄において与えられる意味である。
Rが誘導される元となるジアミンは公知であるし周知の
方法により製造出来る。珪素を含有するジアミンは米国
特許5435002およびヨーロツノに特許公報A−0
054426号に記1 西独特許公報A−2518170号に記載されているジ
イソシアネートから製造される。アルキルあるいはシク
ロアルキル基、特にエチルあるいはプロピル基で置換さ
れたジアミンは、置換されていないか、あるいは部分的
に置換されているアロマティックジアミンのアルケンあ
るいはシクロアルケンによるアルキル化1容易に製造出
来る(米国特許5275690参照)。
多核の特に2核のアロマティックジアミンは、相当する
モノアミンとアルデヒドあるいはケトンとの縮合によシ
入手し得る。
R11は、アロマティック残基の9素原子に対するオル
ト位置の両方が置換されていない場合におっても、既に
述べたRK適応出来る0ある実施態様においてRI3は
式Vのものが適この式において、未結合原子価はHa残
基に対してメタの位置好ましくは・!うの位置にあり、
Bnは式■aのR14と同一の意味を有し、R1111
は同様にH+aと同一の意味を有し、mは0又は1であ
る。
好ましいサブグルーグとして式Va 、 Vbあるいは
Vcのアルレン残基がある。
これ等の式において、1(2sけ、−〇−1−CO−あ
るいは−CH2−による直接結合、R28は、メチル、
エチル、イソプロピル、メトキシ、エトキシの基あるい
は水素原子を意味する。
特に好ましい実施態様において、この発明に適合するポ
リイミドにおいて繰り返えされる構造要素は次式2式の
構造のそれぞれあるいは両単独重合および共重合ポリイ
ミドの製造は、テトラカルゼン酸無水物とNH2−R−
NH!構造のジアミンとの複分解による通常の方法によ
り、必要ある場合にはより広い意味1次式 構造のテトラカル2ン酸および/またはより広い意味M
 NH2−R”−NH2構造のジアミンとを追加混合し
、次にカルイン酸無水物類の作用および/または引続く
加熱によるイミドへの環化反応によシ実施される。他の
方法として、ジイソシアネートがテトラカルゼン酸ジ無
水物により直接ポリイミドに複分解される方法が知られ
ている。式IおよびIaの構造要素を含むポリイミドは
先に言及した様に公知であるし、既に、記載されている
ものと類似の方法!製造出来る。
他の選択された単独重合および共重合ポリイミドの製造
の為には、テトラカル2ン酸の機能的なイミr誘導体か
ら出発出来る。これ等の誘導体は次の式■あるいはWa
のものが適当である。
両式において、R、、R’、R1〜R3およびa 〜d
は既に記載された意味を有し、kは1から約500迄の
ある数であり、Wはある官能基fある。この様な官能基
には、例えば、聯”、 OH。
SH,O−7シル、C00Ra8、C0N(R38)2
、coct 。
これ等の基において、R38は、水素原子あるいは必要
ある場合に水酸基により置換され得る炭化水素残基、例
えば、好ましくは1〜20、特に好ましくは1〜12の
炭素原子数のアルキル若しくはヒPロオキシアルキル、
好ましくは7〜20%に好ましくは7〜16の炭素原子
数のアルアルキル、好ましくは6〜20%に好tしくけ
6〜16の炭素原子数のアリールまたは環を形成する炭
素原子の好ましい数が5〜7のシクロアルキル等の基フ
ある。又R39はR38と同〜12の炭素原子を有する
。弐■およびVlaにおいて、R′は好ましくはRと略
同様の意味を有する。
式■およびWaの化合物は新規なものでこの発明の対象
である。オリゴマーとしてのおよび比較的低分子のもの
としての官能的末端基を有するポリイミドが重要である
。これ等は、ポリイミドの場合と類似の方法に従って製
造され、kの大きさは、同時に添加される(1) −R
−NH2基の量により決定される。この様なモノマー類
(C=1)、オリゴマーおよび比較的低分子のポリマー
け、例えばエステル、アミドあるいはイミP基を介して
結合されるポリイミr集団を有する例えばブロック重合
物となる。
この発明に適合する2リマーのうち他の好ましい群は、
有機のジアミン類、ジカルはン酸類ω−アミノカルボン
酸類および式Iおよび■にq−1であってRおよびR′
にアミンあるいはカルゼキシル基が結合している構造要
素のりアミン類又はジカルゼン酸類並びにこれ等モノマ
ーの混合物からのポリアミドあるいは共重合ポリアミド
である。
単独重合物にあっては、その分子鎖が、式■および/ま
たはWaのジカルメン酸およびジアミンから構成されて
いるか、あるいは式■および/またはWaのジカルゼン
酸類ないしジアミン類と他の有機ジアミン類ないしシカ
ルピン酸類とから構成されているものが重要〒ある。共
重合ポリイミドは他のジアミン残基、ジアミン残基ない
しアミノカルぜン酸残基を含むことが出来る。
適当なジカルボン酸は、例えば好ましくは2から20迄
の特に好ましくは4から16迄の炭素原子数の直鎖状あ
るいは分枝状のアリファテイツクジカルゼン酸類、環を
構成する炭素原子数が5から7であって置換きれていな
いか好まシくハアルキル基で置換きれているシフロアリ
ファ、ティックのジカルボン酸類および炭素原子含有数
の好ましい値が8から22迄であって置換されていない
かあるいは例えばアルギル、C6又はBrにより置換さ
れている70マテイツクジ力ルゼン酸類等↑ある。例と
しては、マロン酸、アジピン酸、トリメチルアジピン酸
、ピメリン酸、コルク酸、アゼライン酸、ドデカンジカ
ルボン酸、シクロヘキサンジカルIン酸、イソ7タール
酸、テレフタール酸、p−ジフェニルジカルボン酸、ビ
ス−(4−カルゼオキシフェニル)エーテル、ビス−(
4−カルはオキシフェニル)スルホン等がある。
適当なジアミンは、例えば好ましくは2から60迄の、
特に好ましくは4から20迄の炭素原子数を有する直線
状あるいけ分校状のアリファテイツクジアミン類、項を
構成する炭素原子数の好ましい値が5から71あ多置換
されていないかあるいはアルキル好ましくはメチル基で
置換されているシフロアリファティックジアミン類、好
ましい炭素原子数が7から24迄のアルアリファティッ
クジアミン類、炭素原子数が6から22、好ましくは6
から18であるアロマティックジアミン類等々あや、こ
れ等には置換されていないもの好ましくはアルキル基に
より置換されている場合も含まれる。例としては、エチ
レンジアミン、ゾロピレンジアミン、1゜3−あるいは
1.4−ブチレンジアミン、ペンチレンジアミン、1,
6−へキシレンジアミン、オクチレンジアミン、デシレ
ンジアミン、ドデシレンジアミン、1.10−アルキル
置換の1゜110−デシレンジアミン例えば1,10−
ジメチル−1,10−デシレンジアミン又け1゜10−
ジーn−へキシル−1,10−7′シレンジアミン、ギ
シリレンジアミン、インフォロンジアミン、1,5−あ
るい袖1,4−シクロヘキサンジアミン、1.!I−あ
るいは1,4−フェニレンジアミン、メチルフェニレン
−シアミン、トルイレンジアミン、p−ビフェニレンジ
アミン、ビス−(p〜ルアミノフェニルエーテル、ヒス
−(p−アミノフェニル)スルホン、ビス−(p−アミ
ノフェニル)メタン等がある。
ぎ アミノカルゼン酸にあっては、例えばアミン安息香酸、
アミノシクロへキサンカルゼン酸い6−アミンカブロン
酸あるいは11−アミノランチカン酸の如きω−アミノ
カルゼン酸%が重要″T!ある。
この発明に適合するポリマーの好ましい他の群は、有機
のジオール、ジカルボン酸、ヒドロオキシルゼン酸およ
び式Iおよび/または■においてq=1でありRとR′
基にヒドロオキシル基あるいはカルゼオキシル基が結合
している様な構造要素のジオールあるいはジカルボン酸
並にこれ等モノマーの混合物から、得られるポリエステ
ルあるいは共重合ポリエステルである。
ホモ41Jエステルにあっては、分子鎖が、式■若しく
はMaの、ジオールとジカルボン酸とから構成されてい
るか、または、式■著しくはMaのジカルボン酸若しく
はジオールと他の有機のジオール若しくは・ジカルボン
酸とから構成されているものが重要である。共重合ポリ
エステルは他の・ジカルボン酸、ジオールおよび/また
はヒドロオキシカルぜン酸含む。
適当なジカルボン酸については既に記載した。
アロマティックジカルボン酸を基礎とするポリエステル
では、テレフタール酸および/またはイソ7タール酸を
基礎とするものが特に好ましい。適当なジオールとして
は、1,4〜シクロヘキサンジオールの如きシフロアリ
ファティックのジオール、ビスフェノールAの如きアロ
マティックジオール、必要な場合にけ特に置換された分
枝状、好ましくは直線状であって炭素原子数2から12
迄好1しくは2から6迄のアルキレンジオール、並びに
1,4−ビスーヒドロオキシメチルシクロヘキサン、ヒ
ドロオキシピ・々リン酸ネオペンチルグリコールエステ
ル等が重要である。特に好ましいものは、エチレン、ト
リメチレン、テトラメチレンおよびヘギサメチレンの各
グリコールである。適当なヒドロオキシ安息香酸として
は、例えばm−あるいはp−ヒドロオキシ安息香酸ある
いはγ−ヒドロオキシルリアン酸、ヒrロオキシピノ々
リン酸の如きアリファテイックのω−ヒドロオキシヵル
ゼン酸類がε−カプロラクトンと共に重!!fある。
他の好ましい実施態様においてこの発明に適合するポリ
マーは、−リアミrイミドあるいはポリエステルイミP
である。この種のポリマー類は式■に示した三カルゼン
酸構造あるいはそのエステル、無水物あるいは酸ハロゲ
ン化物の如き、i? IJママ−成可能な誘導体の構造
を有するものから製造出来る。
この3価の残基は、好ましくは6から16迄の炭素原子
を有し、2箇のカルゼオキシル基が2箇の相隣れる炭素
原子にそれぞれ結合している炭化水素残基である。好ま
しいものはトリメリット酸″t’ある。
?リアミドイミr類は単に弐■あるいはMaのジアミン
と式■のトリカルダン酸から合成可能″r!ある。共重
合物は、ジカルボン酸および/lたはジアミンを、例え
ばポリアミドの為に既に記載された方法!ノリアミドイ
ミドを製造する際に添加共用すれば得られる。
ポリエステルイミドは、先づ適当なアミノアルコール又
はアミノアルコールを式■のトリカルダン酸によりジカ
ルボン酸又はヒドロオキシ安息香酸にそれぞれ複分解し
、次に式■および/またはMaのジオール類および/ま
たけジカルボン酸類による重縮合によって得られる。又
その際共重合物の製造の為に他のジカルボン酸および/
またはジオールを添加使用することも出来る。
更に、♂ジエステルアミド類も好ましいものである。こ
のポリエステルアミド類のポリマーは、式■著しくは弐
Maで示されたジカルボン酸及び/またはその他のジカ
ルボン酸と;式■若しくはMaで示されたジオール及び
/または他のジオール及び式■若しくは式■aで示され
たジアミン類及び/またけ他のジアミン類とを重縮合さ
せることにょシ得られるものである。その際の個々のモ
ノマー類は既に記載したものである。
既に名を挙げた?リフ−類におけ、るアミド基の特素原
子は、好ましくは1から6迄の炭素原子数のアルキル、
例えばフェニルの如きアリール、例えばベンジルの如き
アルアルキルあるいは例えばシクロヘキシルの如きシク
ロアルキルの基により置換されることも出来る。
この発明に適合するポリマーの他の例を挙げる。
a)式■および/またはVaのジオール、場合によって
は他のジオールと式(R4’)2stB2のシランから
の2リシロキプン。このシランにおける好ましいR40
V′i、炭素原子数1から6迄のアルキル特に好ましく
はメチルあるいはアリール特に好ましくはフェニルであ
り、Bは、Br特に好ま、し7くはCtあるいはアルコ
キシ並びに好ましい炭素原子数が1から6迄のアリール
オキシ特に好ましいものとしてメトキシあるいはフェノ
キシ′1%ある。従ってこの場合のポリマーは次式の構
造要素を有する。
40 1 埜“。
この式においてEは式夏および/または■のqが1であ
る場合の残基を適当とし、E′は適当なジオールの2価
残基である。ここで問題となるジオール)IOE’O)
Iについては既に記載した。更にこの場合の2リマーは
、付加的に式 R4G 5IO− 40 の構造要素を有するブロックを50モルチ迄含有させる
ことが出来る。
h)不飽和のジカルボン酸特にマレイン酸と式1および
/またはIl (HOEOH)のジオールからの、場合
によっては式Iおよび/または■も含む他のジカルボン
酸および他のジオールT(OE’0)(からの不飽和ポ
リエステル。適当なジカルボン酸については既に記載し
た。この場合のポリマーは式 の構造要素を含むことが出来、この式のE′はエチレン
の様な不飽和結合を有するジカルボン酸であるQ別の構
造要素として式 %式% のものを含むことが出来、この式のE#は式Iおよび/
または■のジカルボン酸あるいは他のジカルボン酸の2
価残基″r!ある。
この場合の2リマー類は、通常の重合触媒およびエチレ
ンの如き不飽和結合の存在下に、場合によってはスチレ
ンの如き反応性希釈剤を添加し、熱的に重合させること
が出来る。
C)適当なエポキシ樹脂が各種の方法f製、造出来る。
これは、式■あるいはMaのエポキシ化合物の単独ある
いはこれにエポキシ基を分子内に1箇より多く有するポ
リエポキシ化合物を添加し、触媒として例えば第4級ア
ミンを使用してポリエーテルに転換されるか、あるいは
ポリオール、好ましくはポリフェノール、ポリカルゼン
酸、その無水物あるいは、1 +7アミンの如き通常の
硬化剤により反応させて製造出来る0硬化剤としては又
、式■およびViaのジアミン、・ジオールおよびジカ
ルボン酸が利用出来、この場合には通常のフリエ4キシ
化合物の使用だけでもよい。この様なエポキシ樹脂はブ
レポリマーとして利用することが出来、照射の後熱的に
硬化出来る。
d)アロマティックポリエーテルは、例えば式■および
/またはMaにおいてWがOH又はハロゲン特KBr又
はCtであ、9RとR1がアロマティック残基である化
合物と、フェニルアロマティックの2塩化物あるいは2
臭化物ないしジオールとの複分解により製造出来る。適
当なハロゲン化物ないしジオールは、例えばハイドロキ
ノン、p−・ジクロール又tri p −)ブロムフェ
ニレン、p−ジヒドロキシフェニレン、p−ジクロール
又tip−uブロムジフェニレン、ビス−(−p−ヒド
ロオキシフェニル)エーテル、ビス−(p−10−ルフ
エニル)エーテルノ#l!1核あるいは2核のフェニル
アロマティック誘導体である。この場合のフェニルアロ
寸ティック残基は、他の置換基例えば好ましい炭素原子
数として1から4を有するアルキル基を含むことが゛出
来る。フェニル基がスルホン基に結合している様な2核
のフェニルアロマティック残基の使用に、より、ビリエ
ーテルスルホン類を製造することも出来る。この様々誘
導体の例としては、ビス(p−クロロフェニル)−スル
ホyオJ=ヒがある。式Iおよび/またけ■の構造要素
のみを有するポリエーテル類は、式■および/またはM
FLにおいてWがOHの化合物と弐■またはMaにおい
てWがハロゲンである化合物から製造出来る。
e)アロマティックポリケトンは、式■および/または
MaにおいてWが水素原子であるアロマティック化合物
と、式■および/またはMILにおいてWが酸ハロゲン
化基特に酸塩化物基″1%ちるアロマティック酸塩化物
とをルイス酸の存在下に複分解することにより製造出来
る。その際他のアロマティック特にフェニルアロマティ
ック化合物および/″!、たけアロマティック特にフェ
ニルアロマティックジカルボン酸のジ酸塩化物を添加共
用することが出来る。この様なアロマティック化合物の
使用に際して好ましいものけ、1核あるいは2核のフェ
ニルアロマティック化合物類あるいはそれ等のジヵルゼ
ン酸の・り酸ハロゲン化物訪導体である。例としてはペ
ンゾール、ドルオール、ジフェニル、ジフェニルメタン
、ジフェニルケトン、ジフェニルスルポンジフェニルエ
ーテル、テレフタール酸のジ酸塩(1+、4 、’4’
−クロール力ルゼニルジフェニル4.4’lロール力ル
ゼニルジフエニルメタン、4.4’−クロールカルバノ
ニルジフェニルエーテル、4.4′−クロール力ルゼニ
ルジフェニルスルホン等がある。この様なエーテル誘導
体の使用によシボリエーテルヶトンを製造出来る。この
様なアロマティック炭化水素類あるいはジヵルゼン酸の
ジ酸ハロゲン化物類は例えば炭素原子数1から4迄のア
ルキル基により置換されていてもよい。
f)アロマティックポリチオエーテルは、例えば式■お
よび/またはMaにおいてWがCtの如きハロゲン好ま
しくは臭素であるアロマティック化合物と、例えげ硫化
ソーダNa2sの如きジアルカリ硫化物との複分解によ
り製造出来る。その際、他のアロマティック特にフェニ
ルアロマクのポリ硫化物は、式■および/またはMaに
おいてWがSHであるアロマティック化合物の単独ある
いけこれに他のフェニルアロマティックのジメルカプタ
ン類あるいはそのナトリウム塩の如きアルカリ塩を添加
したものと、式■および/またはViaにおいてWがハ
ロゲン好ましくはブロムである化合物および/まだは例
えば臭化物の如き他のフェニルアロマティックのジハロ
ゲン化物との複分解により製造出来る。これ等のハロゲ
ン化物については既に述べた。適当なアロマティックの
ジメルカプタン類は、例工ば1゜4−フェニレンジメル
カプタンあるいはp−ビフエニレンジメルカグタン↑あ
る。
g)他の適当なポリマーは、例えば式■および/または
Maにおい−CWがOH,NH!あるいはC0OHであ
る化合物と・ジイソシアネートあるいはジェポキシ化合
物との複分解により製造出来る如きポリマー類である。
h)適当なポリマーの他の群はアロマティックのポリイ
ミダゾール類である。ポリイミダゾール類は、式■およ
び/またtjMaのエステル類あるいはこれ等に他のア
ロマティックジヵルゼン酸のジエステル類を添加したも
のと、アロマティックのテトラアミン類例えば3.+’
、4.4’−テトラアミノビフェニルとを第1段階とし
てポリアミPに複分解し、次いで加熱によりポリイミダ
ゾールに縮合させて製造出来る。
この発明に適合するポリマー類は、常温あるいは加温下
において種々の溶剤に可溶であると共に400℃にも達
する高いガラス転移温度を示す。これ等のポリマーはフ
ィルムや保護被膜の製造には卓越し、ポリマーの溶液好
ましくは溶剤中にある2リイミPを被覆剤として使用出
来る。この発明の他の対象は、この様な被覆剤自体、こ
の様な被覆剤により被覆された物質およびこの発明に適
合する。l IJママ−類保護被膜の製造に使用するこ
とである、被覆剤および被覆された物質は、既に定義さ
れqが0であってRがアリファテイツク、シクロアリツ
ブティック、アルアリファティック、結合されたアロマ
ティック残基および少なくとも1箇の置換基を有するア
ロマティック残基とされるポリイミドを含む。
この発明に適合する被覆された物質を製造する為に、ポ
リマーちるいは目的に適合する様なポリマー混合物は適
当な有機溶媒に溶解される。
必要ある場合には溶解が加温下になされる。適当な溶媒
は、例えば極性の中性溶媒(アプロチック溶媒)〒あっ
て、単独あるいは少なくとも2種の溶媒類の混合物とし
て使用可能である。
溶媒の例として、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラ
ン、ジオキャンの如きエーテル類、メチレングライコー
ル、クメチルエチレングリコール、ジメチルジエチレン
グリコール、ジエチルジエチレングリコール、ジメチル
トリエチレングリコール類、メチレンクロライド、クロ
ロホルム、1,2−ジクロールエタン、1,1゜1−ト
リクロールエタン、1.1,2.2−テトラクロールエ
タンの如きノ・ロゲン化炭化水素類、酢酸エチル、!ロ
ピオン酸メチル安息香酸エチル、2−メ、トオキシエチ
ルアセテート、γ−ブチロラクトン、δ−ノζレロラク
トン、ピノクロラクトンの如きカルゼン酸エステルとラ
クトン類、ホルムアミド、アセトアミド、N−メチルホ
ルムアミド、N、N−ジメチルホルムアミド、N、11
−ジエチルホルムアミド、N、N−ジメチルアセトアミ
ド、N、N−ジエチルアセトアミド、γ−ブチロラクタ
ム、e−カゾロラクタム、N−メチルピロリドン、N−
アセチルピロリドン、N−メチル力グロラクタムの如き
カルボン酸アミドおよびラクタム類、テトラメチル尿素
、ヘキサメチル燐酸アミド、ジメチルスルホオキサイド
の如きスルホオキサイド類、ジメチルスルホン、ジエチ
ルスルホン、ト’Jメチレンスルホン、テトラメチレン
スルホンの如きスルホン類、トリメチルアミン、トリエ
チルアミン、N−メチルピロリジン、N−メチルビヘリ
シン、N−メチルモルホリン、クロールペンソール、ニ
トロペンゾール、フェノール、クレゾールの如き置換ペ
ンゾール類を挙げることが出来る。
不溶解の部分は戸別好ましくは圧力下の炉別により除去
出来る。かくして得られた被覆剤溶液中のポリマーの濃
度は、50重量%を超さず好ましくは60重量%を超さ
ず、特に好ましくは20重量%を超えない値とするのが
よい。
溶液の製造に当っては、感光性に負の影響を与えない各
種の通常添加剤を同時に添加することが出来る。この様
な添加剤の例は、艶消剤、゛流動性改善剤、微細な充填
剤、難燃化剤、螢光剤、酸化防止剤、耐光安定剤、染料
、顔料、付着促進剤゛、例えば米国特許4349619
に記載ある如きノ・レーション防止染料等fある。
被覆剤は、浸漬法、刷毛塗シ法、スフレ−法、遠心塗装
、電着塗装、カーテンコーティングの如き通常の方法に
より、適当な母材あるいは被塗装物の上に付着させるこ
とが出来る。適当な母材としては、例えば合成樹脂、金
属、合金、半金属元素、半導体、ガラス、セラミック、
およびその他の例えばSl0g、51aNiの如き無機
物質等である。その後溶媒は、必要な場合には加熱され
又真空により、除去される。この様にして粘着性のない
、乾いた均一フィルムを入手出来る。この様にして出来
たフィルムは、各用途に従って、約500ミクロンある
いはそれ以上の、好ましくは05から500ミクロン迄
、特に好ましくは1から50ミクロンの膜厚を示すこと
が出来る。
この発明に適合するポリマー類は、光により自動的に架
橋出来ることが判明しており、照射操作により架橋する
ことが出来る。
感光度は前記の構造要素の含有量の増加に従って増加す
る故、少なくとも50モルチ好ましく180モルチ特に
好ましくは90モルチの含有量のものが有利である。感
光度は又ポリマー類の分子量にも依存している。
〔この発明の効果〕
これ等のポリマーによる保護フィルムは、光線の作用に
より、例えば熱に対する高い安定度が得られる等の広範
囲の変性が可能〒ある。且つ又これ等のポリマー類は、
レリーフの転写の為の光学的録画材料として使用可能1
%ある。輻射線の作用による直接架橋により、感光剤の
如きものの添加が回避出来、保護層および複写された膜
は電気的に卓越した性質を示す。更に保護層と複写され
た膜は、その熱に対する高い安定性並びに高温において
も収縮が殆んど無いか極めて僅かである点で優れ、複写
されたレリーフの歪が実質的に無く、実用上重要な利点
を有する。この様な用途に対する層の厚みは、好ましく
は0.5から100ミクロン、特に好ましくは1から5
0ミクロン、特別に好ましくは1〜10ミクロンである
光による構造化あるいは光による架橋は、エネルギーに
富む輻射によp生させることが出来る。この様な輻射の
例は、通常の光特に紫外線領斌のもの、X線、レーザー
光線、電子線等である。この発明による倒斜は、保護膜
、不動態化膜の製造および熱に安定なレリーフ像の為の
フォトグラフィックな録画材料として優れている。
応用範囲は、例えば電気および電子技術分野における保
護塗料、絶縁塗料、不動態化塗料、亀子工業、繊維印刷
および版画工芸分野におけるフォトマスク、印刷回路、
印刷版および集積回路装造の為の属蝕し・シスト、又、
X線マスク製造の為のリレー、ソルダーレジスト、多1
−回路用誘導体、液晶表示器の構造要素等である。
保護膜の製造は、直接露光により生起する。
その際露光時間は、主として層の厚みおよび感光度に従
って調整される。レリーフ像構造のフォトグラ゛クイッ
クな製造性、フォトマスクを通して像に適した露光をす
ること、引き続き露光されなかった部分を単独溶媒ある
いは溶媒混合物によって溶解除去する方法で現像するこ
と、必要に応じた次工程として、製造された像を後熱処
理して安定化させることにより行なわれる。
この発明の他の対象は、上記の如きレリーフ像構造の作
入の為の方法−t!ある。現像剤としては、例えば既述
の溶媒が適当fある。
この発明にスる材料の歳すマ一層は、多くの使用目的に
対して充分な又一部の使用目的に対して高い感光度を有
し、光による直接架橋化が可能fある。この保護膜およ
びレリーフは、密着性および熱的、機械的、化学的抵抗
力等が高い点〒優れている。熱的後処理の際にも、極め
て僅かな収縮が観測されるのみである。更に生産および
感光度の増加の為の添加剤の添加が回避出来る。この拐
料は、貯蔵安定性が良く、光の作用から保護にも好都合
である。
後に記載する実施例はこの発明の隔味を更に明かにする
。ポリマー0.5grを、N−メチルピロリドン100
μに溶解した溶液の25℃における粘度が測定された。
ガラス転移温度が示差熱分析装置(DSC)により調査
された。
実施例において使用されたテトラカルIン酸ジ無水物は
、次のAからD迄の構造のもの1ある。
上記のAおよびBのものの製造はフランス特許1601
094に記載されている。Cの製法は米国特許5299
101に記載されている。
DはCの製法に類似な°方法で製造された。
〔製造実施例〕
実施例1 攪拌機、滴下漏斗、内部の温度計、ガス導入管、ガス導
出管等を備えた円筒状の反応容器内において、’1.6
42gr (0,01モル)の3,6−ジアミツデユレ
ンが窒素気流下25纜tのN−メチルピロリドン(NM
P)に溶解され、溶液は5から0℃に冷却された。次に
弐Aのジ無水物4.263grが添加され、1時間の間
攪拌された。引き続く経過時間中にそれぞれ0.042
6grのジ無水物が2回添加された。
3時間後に6,1dのトリエチルアミンと8.5−の無
水酢酸が添加され、更に16時間室温下に攪拌された。
この間にポリアミド酸がポリイミドに環化される。
ポリイミドの分離は、1!の水による沈澱で行なわれポ
リマーは戸別され、更に水1!で再処理され、再び戸別
され、80°0の真空中で乾燥された。得られたポリイ
ミドの性状は表1に一括掲載されている。
実施例1から20 実施例1と類、似に、各種のジアミンあるいはジアミン
混合物が、NMP中に添加されている式A、B、Cある
いはDのジ無水物に添加され、相当するポリイミドに反
応環化された。使用された添加物とポリイミドの性質は
表1に一括されている。
〔使用実施例〕
片面に銅張された合成樹脂板の上に、5重量%のポリマ
ー溶液によって、フイルラー(wh i r I e 
r )コーティングを行い、次に溶媒が空気循環式加熱
炉内で除去される方法でポリマーの膜が製作された。溶
媒としてはN−メチルピロリドンが使用された。
上記の如く被覆加工された板は、ホトマスク(スト−7
アーウエツジ(Stoffer wedge)) を介
し、室温下に1000ワツトの紫外線ラングで18Cl
11の距離から露光された。露光された板は、視化は、
次工程としての裸にされた銅層の塩化第2鉄溶液による
エツチングによシなされた。
露光時間、使用された現像剤および感光度(21段階の
ストウファー感度表)を次表に一括掲載した。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 少なくとも2000の平均分子量を有する単独あ
    るいは共重合物類であって、1記化学構造式!あるいは
    UKより表示される栴造渋素の少なくとも一方を該重合
    物に対して少くとも5モルチ含有することを特徴とする
    1合物。 (該両構造式中にあっては B+のそれぞれ力Sハロゲ
    ン、ニトロ基、フェニル基、フェノキシ基、フェニルチ
    オ基又はフェニル基で置換可能なそれぞれ炭素原子数1
    から6迄のアルキル基類、アルコオキシ基類、若しくは
    アルキルチオ基類のいずれかでおり、Wのそれぞれがそ
    れぞれ2価の原子あるいは原子団基による直接結合ある
    いは橋かけ結合とされ、Rsが水素原子、アロイル基ま
    たはR1の基として上記されたものの何れかとされ、 aのそれぞれが0.1.26るいは5とされ、bのそれ
    ぞれが0.1,2.3あるいは4とされ、Cのそれぞれ
    が0.1,2,3゜4あるい唸5とされ、dか0.1.
    2.3゜4あるいは5とされ、qのそれぞれが0あるい
    は1とされ、 a、bおよび(1が2であるとき、2箇のR1が相互に
    オルト位置にあり且つ2箇のFLIが合せて1箇の−C
    II=CH−CI−]−CH−となシうることがあり、 Rと+t’はそれぞれ炭素鎖の中間に炭素以外の原子、
    アロマティック基、ヘテロ狽基若しくはシフロアリファ
    ティック基であって何れも2価のものの少なくとも1箇
    が介在することもありうる置換若しくは非置換のアロマ
    ティック残基類または 置換されていないシフロアリファティック残基類、また
    は 置換されているシフロアリファティック残基類、または 置換されていないアルアリファティック残基類、塘たは 置換されているアルアリフッティック残基類、または 2箇のアリール杉が1箇のアロマティック基を経て結合
    しているアロマティック残基類、また唸 少なくとも1箇のアルキル基類シクロアルキル基、アル
    コキシ基、アルコキシアルキル基、アルキルチオ基、ア
    ルキルチオアルキル基若しくはアルアルキル基により置
    換されているアロマティック残基類、または 2箇の相隣れる炭素原子か1箇のアルキレン基により置
    換されているアロマティック残基類のいずれかとされ、
    qか0であるとき、Itは屋素原子の少なくとも1箇に
    対する2箇のオルト位置が置換されているアロマティッ
    ク残基とされる。) 2 前記構造要素の1および…がでれぞれ式1aおよび
    IIaKより表示される構造要素とされ、) 弐1Bおよび…aにおけるQ%Rおよびπが前記Q%R
    およびR′の意味とされる特許請求の範囲第1項BL:
    載の重合物。 3、 置換基が、炭素原子数1から6迄のアルキル基類
    、アルコキシ基類若しくはアルコキシアルキル基類又嫌
    ベンジル基又はトリメチレン基又はテトラメデレン基の
    、いずれかである特許請求の範囲第1項記載の重合物。 4、 前記アロマティック残基に付属する置換基の1箇
    あるいVi2箇が窒素原子に対するオルト位置に結合芒
    わる%に1肚求の範囲第1項8c載の重合物。 5、 前記几が、アリファティック外基の場合には炭素
    沖子数2から30迄のもの、シクロアソファティソク残
    基の場合には壌を構成する炭素原子が5から8迄のもの
    、ア/Lアリファティツク残基の塾舎には炭素原子数7
    から30迄のもの、1箇のアロマティック基を介して複
    数のアリール核が結合されているアロマティック性基の
    場合には炭素原子′?113がら60迄のもの、置換さ
    れているアロマティック残基の場合には炭素原子数7か
    ら30 迄のものとされる特許請求のφI・門弟1項記
    載の重合物。 66 前記重合物が、ポリイミド類、ポリアミド類、飽
    和ポリエステル類、ポリカーボネート類、ポリアミドイ
    ミド類、ポリエステルイミド類、ポリエステルアミド類
    、ポリシロキサン類、不飽和ポリエステル類、エポキシ
    l&類、アロマティックポリエーテル類、プロマチづツ
    クポリエーテルケト7類、アロマチづツクポリニーデル
    スルホン類、アロマティックポリケトン類、アロマティ
    ックポリチオエーテル類お裏ひこれ等のポリマー類の混
    合物からなる群より選択された単独重合物あるいは共重
    合物とされる特許請求の範囲第1項記載の重合物。 7 式Iおよび/あるいは■の構造散素を5から100
    モルチ含有する単独重合ポリイミドあるいは共重合ポリ
    イミドであって、qが0とされ、Rが、少なくとも1箇
    の望素原子に対する両オルト位置で、アルキル基、シク
    ロアルキル基、アルコオキシ基、アルコオキシアルキル
    基、プルキルチオ基、アルキルチオアルキル基、アノン
    アルキル基に置換されているアロマティック残基あるい
    は相隣れる2箇の炭素原子の位置でアルキレンに置換さ
    れているアロマティックへ基とされ、式Inに表示され
    る摘造要素をOから95モル襲迄含治し、 0 111 () 0 該弐■におけるQが4価の向後残基、でめると共に几I
    3か1箇の2価の南機り呆ムであυ、前記Rと同一の意
    味Th’?4するものとされる喘γ(−請求の鼾・間第
    6狽記戦の重合物。 8 前iLQが、欠配の構造式のものから選択さ′11
    . 1414 が次aC2の構造式から選択される直接結合
    あるいは橋かけ結合とされ、 ■シ11 B、01 H,IS R16B+6 1 1 1 1 R1丁 これ等の式におけるR18 が炭素原子数1から6迄の
    アルキル基類、フエコナ基またはベンジル基から選択さ
    れ B51lおよびBl’lが炭素原子数1から6迄の
    アルキル基類、フェニール基、ベンジル基、炭素原子数
    1から6迄のアルコキシ基類、フェニルオキシ基または
    ベンジルオキシ基から選択されたものでおる特許請求の
    範囲第7項記載のポリイミド。 9 該式IおよびHにおける前記Rが、欠配の構造式 (これ等の式中における未結合原子価が相互にメタある
    いは/4’ツの位置におるものとして選択されるか)あ
    るいは欠配の構造式 几l・ R1I B21 RI I+ (Rlfiと几I11のそれぞれがメチル基、エチル基
    、n−プロピル基若しくはインゾロビル基から独立的に
    選択されると共に几!OおよびR11が水素原子若しく
    はRImについての上記基群から選択良れるか、または
    BlaとBooが合計として1箇のトリ若しくはテトラ
    メチレン基として選択されると共にR11とR11の両
    者が共に水素原子とされ、R14はCH*aるい蝶CO
    の直接結合である)のうちから選択される特許請求の範
    囲第8項記載のポリイミド。 がそれぞれ単独にあるいは混合して繰)返えされる特許
    請求の範囲第8項記載のポリイミド0 11、少なくとも2000の平均分子量を有する単独あ
    るいは共重合物類であって下記化学S造式Iあるいはa
    によシ表示される構造要素の少なくとも一方を該重合物
    に対して少くとも5モルチ含有する単独重合体または共
    重合体の層が支持物に被覆加工されていることを特徴と
    する被覆加工物。 (該筒構造式中にあっては、lRI皿のそれぞれがハロ
    ダン、ニトロ基、フェニル基、フェノキシ基、フェニル
    チオ基゛又はフェニール基で置換DJ能なそれぞれ炭素
    原子数1から6迄のアルキル基類、アルコオキシ基類若
    しくはアルキルチオ基類のいずれかであシ、R1のそれ
    ぞれがそれぞれ2価の原子あるいは原子団基による直接
    結合あるいは極かけ結合とされ、几1が水素原子、アロ
    イル基壜たはH,Iの基として上記されたものの何れか
    とされ、 aのそれぞれが0.1.2あるいは6とされ、bのそれ
    ぞれか0,1.2.3あるいは4とされ、Cのそれぞれ
    が0.1.2,3゜4あるいは5とされ、dが0.1.
    2,3゜4あるいは5とされ、qのそれぞれが0あるい
    秩1とされ、 a、bおよびdが2であるとき、2箇のWが相互にオル
    ト位置にあシ且つ2115のRIが合せて1箇17) 
    −CH=CH−CH=CH−となりうることがあり、 Rとπ扛それぞれ炭素鎖の中間に炭素以外の原子、アロ
    マティック基、ヘテロ環基若しくはシフロアリファティ
    ック基であって何れも2価のものの少なくとも1箇が介
    在することもありうる置換若しくは非置換のアリノアテ
    ィック残基類または 置換されていないシフロアリファティック残基類、また
    は 置換されているシフロアリファティック残基類、または 置換されていないアルアリファティック残基類、または 置換されているアルアリファティック残基類、または 2箇のアリール核が1箇のアリファティツク基′f経て
    結合しているアロマディック残基類、または 少なくとも1節のアルキル基、シクロアルキル基、アル
    コキシ基、アルコキシアルキル基、アルキルチオ基、ア
    ルキルチオアルキル基若しく ii 7 Aアルキル基
    により置換されているアロマチづツク残基類、または 2箇の相隣れる炭素原子が1箇のアルキレン基により置
    換されているアロマティック残基類のいずれかとされる
    。) 12、%I’l−請求の絢門弟11項記載の被株加工物
    をフォトマスクを介して適度Kg光した後練被覆加工物
    上の重合物の光に照射され々かった部分を現像剤により
    除去するかあるいは該被覆加工物を全面的に露光するこ
    とを特徴とするレリーフ像あるいは保S屑の製法。
JP60102812A 1984-05-17 1985-05-16 重合物、それによる被覆加工物およびレリーフ像と保護層の製法 Pending JPS60255821A (ja)

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