JPS60251711A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の目的 技術分野 この発明は、レイリー波を利用しＩ、：表向波装置に関
し、特にグレー７ｒング・リールクタを備える形式の表
面波装「ｌの構造の改良に関りる。

従来の技術 第７図は、従来の表面波装置の一例を示す略図的平面図
である。第７図において、表面波駅；６１ｔ３丈、表面
波基鈑２ど、該表面波基板２上に形成されたインターデ
ィジタル・１ヘランスデコーザ３３と、インターディジ
タル・トランスデＪ−リ−３の両側に形成されたグレー
ティング・リフ１ノクタ４．／Ｉとを備える。なお、５
．５は吸？；’ｒ　４，１を示づ。グ１ノーティング・
リフレクタ４．／Ｉは、通常、金属ストリップあるいは
溝にＪ−り形成されてＪＪす、インターディジタル・ト
ランスデ」−り３がら伝Ｊ）ｆｒツるレイリー波を反射
し、閉込めるためのしのであるが、このグレーティング
・リフ１ノクタ４，４の反＠率が大きいほど、第７図に
示したような表面波共振子のＱ。を人さくすることがぐ
き、ｊ、た表面波共振子フィルタでは挿入損失等を改善
りることができる。たとえば、第７図にｈ１シたＪ、う
な表面波共振子では、良好な特性（高０１．値）を得よ
うとする場合、一般に、グレーティング・リフレクタの
反射係数は０．９５以−にでることが要請される。

Ｉこて、従来よりクレー１インク・リフレクタ４．４の
反射率を、傷めるために種々の試みが行なわれていた。

ところ【゛、グレーｊ（ング・リフレクタ４．／Ｉの反
射率は、リフ１ノクタの種類ｄうるいは段Ａ′などによ
っ−Ｕ　Ｏ異＜ｒるが、一般的には、第１３図に小りよ
うにグレノーーーーｙインクの水数に依存している。

１−７かし４ＺがＩう、第８図がらし明らかイｆ、ｊ、
うに、グ１ノーティングの本数を多くし・ｃ成年１率を
高めようとするｌ、ｚ　＋：）ば、グレーティングの木
表りを極めて多くしなりれぼならイ１いことがわがる。

Ｉことえば、グレーティングの本数−２００のＪＪ、３
合であると、該反射率は０．８５程ＩＪ目こしかイ５ら
−・丁、１述した成用！ｔ’０．９！ｔｌス１のｔ）の
と比較しｌご揚台、たどえばＱ　Ｑ　ｆｌｌＪ　’、；
どの＃！ｉ　４Ｑ−が数分の１と４６　ｍにイＬ（’Ｆ
　’）ることがわかっている、。

よって、従来は、このクレー−ｉインタ・リフレクタの
反射率を向上Ｊ−るために、グレープ（フグ１本あたり
の反則率をトげることが必要【あると考えられていた。

しかしｂがら、グレーティング１本あたりの反射率を下
りるにも限Ｉりがあり、たとえば金属ストリップの厚み
や、潜のδ１°ｊさなどを大ぎくし、反則率を４−けた
ｊ間合、１ノイリー波−）バルク波の七−ド変１匁等の
４Ｌ１火がｑ−じ、リフレクタ全体としての反則係数が
逆に減少してしようという問題があった。

上記問題点のために、反射率を−１−げるためにＩンＬ
、結局グレーティングの本数を増加させるしかイｊ効な
解決策がないのが現状であった。しかしイｆがら、グレ
ーディングは、通常、λ。／／Ｉ（λ０は波長）の幅お
よびピッチを有してａ３す、２００本のグ１ノーティン
グでは、幅用法が約１００Ａｏどｂる。

）ｌｏが小さい高周波ではあＦｋり問題に′１．「ら４
１いが、たとえばＳＴカット水晶阜板に−（’　５　’
（−１Ｍ　ｌ−Ｉ　Ｚ稈１臭の低周波に用いると、λ０
は約５３　Ｉｌｍどなり、しＩζがってリフレクタの幅
１１１人１１６　、３１１１ｍに６なる。したがって、
グレーティングの水数を、たとえば３００本以上等のよ
うに増加さけた場合にけ、グレーティング・リフレクタ
の人ぎさ、ひいではチップ全体の大きざが大きくなり、
かつ＝１スｈ　ｔｖ高くつ（という問題かあった。

イ肖１メ、第７図に示し／Ｌ−Ｊう４釘り１ノー〉イン
タ・リフレクタ４．／Ｉより小さイ）艮用器どしく、表
面波Ｊ、を仮２のに；：；而ぞの４」の４反ｑｊ２ｉｉ
として利１１）りることか８１１波を利用したア〈而波
装置Ｐ′１にＪＪいて既にｌｆ：’、　全層＼れていｌ
こ。しかし４ｊ′から、１ノイリー波を利用りる表面波
装置１′？にあ−）では、！５板端面において１、ノイ
リー汲−々バルク波のし一ト変１！／・か！１しるため
、この３１うイｆ基板端面を反ｒＪＪ器とｂ　？：　１
１用したどし−Ｃし、−１分イ「人ささの１．ｓ＜用棹
・を１１１イ）こと（まてさ４Ｔか　′）／こ　。

発明が解決Ｉノよう一゛・ｊる問題点 ぞれ）））えに、この１１．明σロー１的（ま、１）ホ
の問題貞イ！解消し、インターディジタル・１−ノンメ
ガ１−リから伝揺される１ノイリー波をり１・ｔ’ｌり
く反射りることがｉｉＪ能にされ（ｒｌ；す、したか・
−）（小形ＣありながｌうらＱ。などの１゛［性に１０
れた宥ｌｌｌ１ｉなに白波装置を提供づ−ることに＋Ｌ
する。

発明の構成 問題点を解決するためのＬ［０ この発明は、要約づれば、表面波工１（板と、該表面波
基板上に形成されたインターディジタル・１〜ランスデ
ユーサと、該インターディジタル・１−ランスデユー１
）から伝拙さねる１、レイリー波を反身・トノるグレー
テｒング・リフレクタとをＭｈえる、１ノーｒリー波を
利用りる表面波装置にａ３い（、該レイリー波の伝播方
向の表面波基板端面ど、グレーティング・リス１ノクタ
の表「０波、７７！　４５☆１）（面側の端部との間の
距ｓｔ　ｉか、レイリー波の波１ｋをλ。とじたとさ、
グレーディング・リス１ノクタが表面波基板に満を設け
ることにより形成されているｊ８合には、ｆｌ−−−［
（ｎ　／２）λｏ−＋−（１／７′Ｉ）λ０］±（１／
８）λ。の範囲に、 （ｎ：０または正の整数） グレーティング・リフレクタが表面波基板上に金属ス１
ヘリツブを設けることにより形成されている場合には、 艶−（ｎ／２）λ。±（１、／　８）λ。

（ｎ：ｏまたは正の整数） の範囲に選ばれていることを１Ｊｉけセどりる、表面波
イ’ｉ：　ｌＩＪ　、、グレーティング・リフ１ノクタ
は、インター　！イシタル・トラン４ア５；−りと別個
にｎＱけられ−Ｃｔ）Ｊ、く、あるい【３１１．１ノイ
リー）ｇイの伝播り向にＥく・く配γイされたインター
ディジタル・１〜ランスデ１−ザにあっては該インター
フィシタル・１〜ランスジ゛コーサ白自がグレーテｒン
グ・リフレクタを兼、１ａイ）ように（１）１成され−
（いて−ｔ−＞　、１．：い１゜作用 （−の発明は十ｉＪ、ｉ　シたよ；）に、り１．ノーテ
ィング・リス１ツクくｌによりインタープｒンイ、（ル
・１〜ランス−１−”　−＋　−リ−か１５伝１■され
る１）−イリー波を反則さＵるｌど（）？″どＴく１．
表面波基板端面どグレ−ティング・リス１ノクタの表面
波基板端面側の６：：部どの間の距＋１１（を１１；１
式のように薫ふことに、にす、表面波球根端部におい−
（ｂレイリー波を反則さＵ、該２；±板端面にて反射さ
れｌζＩ２レイリー波をクレーティング・リフレクタに
ｄ′３いてＪ、５／、　ｆＭされる１ノイリー波と同位
相とづることにより、反射効率を飛躍的に高めるもので
ある。

実施例の説明 ！′！１図は、この発明の一実ｂｌａ例の表１ｎ１波＋
Ｍ　ＢＦ＋としての表面波共振子の略図的平面図（−゛
ある３、ここでも第７図に示した従来の表面波′１・！
、　ｊｉ’７１ど同様に、表面波共振子１１（ま、表面
波基板１２と、１く面波阜板１２１−に形成されたイン
ターＪ゛′イジタル・１−ランスデユーリ′１３と、イ
ンターディジタル・ｈランスデユー−リ１３の両側に形
成されたグ１．ノーｊｒング・リフレクタＩ’ｌ、ｌ・
４と４備える１、シかしながら、この実施例Ｃは、特徴
的１４成と１ノＣ１表面波阜板１２のレイリー波の伝１
１６方向の９１１１：而′１２ａ　、１２ｂと、グレー
ディング・リフ１ノクタ１４．１４の該端面側端部１４
ａ、１／Ｉｔ＋との間の距離が、それぞれ、後述りるよ
うな距自Ｉｔ　Ｕに選ばれている。該距１ｌｌＩＩ見は
、表面波基板１２の９Ｍ１面１２ａ、１２１＞で反射さ
れるレイリー波の位相が、グレーテｒング・リフレクタ
１４．’ｌ’ｌで反射されるｌレイリー波の位相と同一
となるにうに選ばれるものである。

第１図に示した実施例では、クレーティング・リノｌ／
クク１／１．１４のＩ）昌：部１４ａ、１１＋と、表面
波基板の端面１２ｉ１．１２１１との間の距離が−１・
Ｆ＋ＩシのＪ、うに）冗は１′［るＩ、−め、インター
ディジタル・ｌ・ランスデフ−リー１；３（発生した１
、レイリー波（１゜ンＬ・−、ｙインタ・リス１．・フ
タ′１／ＩのＩノイＣらり゛、表面波３．を板１２のＯ
１″ｉＩｉ　ｉｒ＋１’Ｉ　２と１，１２１１に（１３
い（も反ｑ・１さ１′犬、したかつ（：　Ｊ：　Ｐ）効
果的に１２ノイリー波が閉込めｌうれる。これを、　方
のグレ−ティング・リス１、ノクタ１１１と表面イＩｆ
ｌＬ１ｔ）＜端面１？ＩＩとの部′／′１を拡大１、ノ
ー（小り２１工２図４．参照しく説明する１、今、沢に
り１．／−−−ｊ−ｒンク、　１１　）１２ツク９１４
の）Ｖ／、川’ｔ″−’か０゜ε３ｊ）（これ（よ、前
述１・ｌｌ、１：うにグ１ノーンーイング本数Ｎ・２０
０の揚台に相当り−るｔ）の（あることを３ＪＡ＾へさ
れたい）、表面波基板端面１２１）での反（１・１率を
０．８稈＋ｒｔとした１９含、第２１ゾ１に４３ける入
射レーイリー波Ｉのうら七３己５％の１ノイリー波がＰ
で示す−Ｊ、うにグレーライング・リス１ノクタ１４【
′反射され、グレーティング・リフレクタ１／１で反射
されずに通過した残りのレイリー波のうち、８０％のレ
イリー波が端面１２１）　′ｃ反射されＱ方向に戻るた
め、該Ｑ方向に進むレイリー波は、１（う％×０．８＝
１２％となる。したがって、１１１紬に多重反射を無視
した場合、両反射波の位相を揃えれば、反射率はＰ十〇
−０，８巳５＋０．１２＝０．９７どなり、よってグレ
ーティング本数を２００木程度とさほど増大させり”ど
も大きな反射率を１ｎることが可能となる。

このように、この発明（・は、グ１ノーｊイング・リフ
レクタ１４あるいは基板端面１２ａ、１２ｂのみでは、
それぞれ、０．８５あるいは０．８程度の低い反射率し
か得られないところを、両（シ用手段を併用することに
より０．９７というｌｊめて高い反射率を得るもの−Ｃ
あり、同時にグ１ノー）Ｃング本数を増大さ１．！ツ゛
ども反射率を高め（ｑるので素子全体の大きさも、グレ
−ティング・リフレクタ１４と基板端面１２ａ、１２１
＋との間の距１層１見を短くすることにより極めて小さ
くシ得ることがわかる。

なａ３、より正確には、グレーティング・リフレクタ１
４と基板端面１２ａ、１２ｂとの間の多重反（Ｊ、Ｊを
ノーＪ産づ−る必要か、（、るｌ二め、上述しＩこよう
な劇的イ￥改〆７は現実には起（−り得４Ｔいか（ｊ　
Ｌ、　４′ｌないが、はぼ］記に近い反射・ｒを冑るこ
とがてきるしのである１゜ 次に、グ１ノーｊイング・リフ１ノクタ１／Ｉと基板端
面１２ａ、１２ｂとの間の距ｌ１ＩＩｌす（、二つき説
明づる１、該甲部ηは、グ１ノーｊ（ング・リフ１ノク
タ１／ｌＪ’ｉＪ、びり板端面１２ａ　、　１２ｂので
れそれの反則係数の位相（７３村）　１．Ｖ　Ｊ：り定
：、１、イ）、、ｌ、：とえは、第ｘｉ図に部分切欠断
面図Ｃ示１よう（二、Ｓ］カッＩ〜水水晶根板２２十、
へ旦ストリツ１２４ａ・・・２４（！４一般（Ｊること
にＪ：り形成されｌ、：グレーティング・リフしｌフタ
２４ぐは、グ１ノーフインク・リフ１ノクタ２／Ｉの基
板端面２２１）側端部△と、基机端面２２１）どが、反
射係数どして同位相となるため、Ｕ、−（１１／２）Ａ
ｏ　（１１は０１＋　ｌζは１にの整数）であれば、グ
レーティング・リフレクタ２４および基板端面２２ｂの
双方０反０・１される各反射波は強め合うことになる。

。 （１１！方、第４図に部′／″Ｉ切欠端面図−（示ずよ
うに、グレーティング・リフ１ノクタ３／′ｌかｊｌ’
７３４　ｉｌ・・・Ｊ３４ｅを：９けることにより形成
され″（いるＪｊ、Ａ合に（よ、第４図の１３点と、基
板端面３２；）どが反則係数どして同位相となる！こめ
、 Ｉｊ−（ｎ　／２）　Ａｏ　−１−（１／４　）　Ａ。

（１）は、０まＩこは市の幣教） であればよい。

なお、上記した艶は、上記の式に正Ｕｌｒに合致−りる
必要はな（、上記の条イ′１か最適値であるが、±（１
／８）２０以内てあれば、反用波同−１は効果的に強め
合うことがわか−）でいる、。

また、グレーティング・リフレクタ内の領域と、グレー
ティング・リフレクタか１う基板端面までの領域とにａ
３いて、電極等のり１吊イ」加効果などにより等価波長
が異なる場合には、ｐ、を粋出する（ごあたり個々の場
所にａ３１ジる波長を；ｌｏどしＣ採用ＪれはＪ：い。

さらに、個々の９−の値は巽むっていてもよい。

なお、第１図に示した実施例（−゛は、インターｉ！ｆ
ジタル・トランスデ−−サ１；３の両側にグレーアイ二
／り・リフレクタ’ｌｌｌ、ｌ／ｌか設（］られてい！
、：が、この発明はこれ（１，−限ら杓す゛、第ｊ５図
に承りよ）に、−（ンターデイジタル・ｌ一つンスデー
］−１ノ’ｌ　Ｌ３か１ノイリー波の伝揺ｌノ向に長く
配置され一〇おり、リイ１１つち多数のス・１故のイン
ターラーｒシタル・１〜ノンスデコーリ４：３を用い、
該インターディジｌノル・トランスデー１−リ／１３１
２目−（がグレ−ティング・リフレクタをも」１１わる
よ・うに４７／、成し、自己」（振１ｊ１ｔ〕１を示づ
Ｊ、うにしく１）よい。この場合には、距＋ｉ＋＋　ｒ
ノ、　ｉＪ、インターｊ゛−イジタル・１〜ランス”）
−１−り／１３の両端部４３ン１，４３＋１と、表面波
基板４２の端面４２ａ、４２１＋どの間の距師と４ｊ−
る。

、１、ｌこ、第６図にｌ１ｉｌじく略図的平面図で示η
１、うに、２組のインターｊ゛ｒジタル・Ｉ・ランスｊ
？コー４ノ′５３ａ　、５３１１を配Ｆ′１し、イの両
側にグレーティング・リフレクタ５４．５／Ｉを訛り、
表向波フィルタ５１を構成Ｊる揚台にす、該リフレクタ
５４．５４の端部５４　ａ　、　！ｊ　４１）とｉ表面
波基板ｂ２の端面５２ａ　、５２ｂどの間の距Ｉ’ｌｌ
Ｑ、を−Ｆ記の、」、うに設定ＪることにＪ：す、同様
に反則効率を効果的に高めることができる。

次に、具体的実験例につき説明する１３表面波基板とし
て、３８．１！！’回転ＹノノットＸ伝播水晶基板を用
い、該基板上に多数の対数のインターディジタル・トラ
ンスデユーサを形成し１表面波共振子を作成した。イン
ターディジタル・トランスデコーりは、波長λ。＃５６
μｍ１対数・２８３のものであり、電］飼は△ｐ−にＪ
、り構成し、そのＩ′ｊみは約１．８μ■　（波長λ。

の約３．２％）に形成した。このインターディジタル・
トランスデユ−サは、第５図に示した実施例ど同様に、
多数の対数からなるものであり、それ自白り１．ノーラ
イング・リフレクタとしても働くように構成し１．、：
Ｌ）のて゛あり、該インターディジタル・トシンスデ−
？−りの端部から基板端面までのｖＩ目を約４．０２０
ｒ、＝（８／２）λ。］としたどき、共ＩＥｅ子の電気
的Ｑ。≠１７０００であった。

なお、基板端面を粘谷物等に。１．り覆うことにより、
基板端面における反射波を吸音した場合には、Ｑｏ＃１
００００であった。し７ｊがって、基板端面に（１３け
る反ｃ＋・ｊ波を利用・Ｊることに、１、す、Ｑ　［１
値は約１．７倍となることがわかった。

逆に、距１１１．１！、・３，７Ｌうλ。ｌ−（７／　
２　’）λｏ　１−（１／４）λ。１とした２３３合に
は、基板端面にお（）る反射波が逆位相どなり、Ｑ　ｎ
　１１１１の低下が予想されたが、実際１、二試作しｋ
どころ、Ｑｏ値は約’ｌ　：）、　ＯＯ−（あっｌご１
，１）たがっＣ−この場合には、通常の金１７１Ｋスト
リッｆ＋により形成するグレーティング・リフ１ノクタ
の場合ど同４．）１に、北≠（＋’ｌ／２）λ０が最適
ど考えられる。

１１本のＪ、うに艶が（１／′／′Ａ）／ｌｏ変化（Ｊ
るど、１ｔｔ性は逆に悪化ηるため、より低周波にＪ３
いＣ、リイ「わらより波長λ５．が人さくイ「る口、ど
、即問（旦の管理が楽になるため、この発明を適用しや
１１り４ｊることがわかる。

逆に、高周波化１〕（、波ＩＱ／ｌｏが小さくなり、距
１）ｌＩｌ　９−の管理が困デＩＩ’　＜Ｃ場合に１．
１、従来の表面波装置と同様に、基机喘面４グ１ノー　
ｆ４ング・リフレクタに対して斜めに切…ｉ　シ１．’
：す、あるいｉＪ吸音材を用いることにより３．１板喘
而にａ３りる反射波をなくｕば、表面波装置の１Ｊｆ性
への星（ｋ※ＨＡ：而の反射の１形費を防止することが
でさ、したが・）で距離旦の２１理が困ｆ′ＩＩな場合
には、極め−（８愕に４Ｌ　）ｌｘと同様の表面波装置
どすることがＣさる、１ 発明の効牙２ 以上のように、この発明にＪ：れば、レイリー波の伝播
方向の表面波基板端面と、グレーティング・リフレクタ
の表面波基板端面側の端部との間の距ｌ１ｌＩＩ　Ｉｌ
、が、レイリー波の波長λ。としたどき、グレーティン
グ・リフレクタが表面波基鈑（、二！：ｌｌｉを設（プ
ることにより形成さねている場合には、見−［（ｎ／２
）λ、＋（１／４．）λ０］±（１／　８　）　；ｌ。

（ｎ：ｏＪ：ｉこは正の整数） の範囲に、グレーティング・リフレクタが表面波基板」
二に金属スｉ〜リップを設けることにＪ、り形成されて
いる場合には、 見−（ｎ／２）λ。−！：（１／８）λ。

（ｎ　：０または口］の整数） の範囲に選ばれているため、インターゲイジタル°ｈノ
ンスデ］−→Ｊから伝播したｄ）１？を効ハ１′的に反
射１−ることがてさ、Ｌ、　１．：が−）てり１．ノー
ライング・リフ１ノクタのグレー’／　４ング本Ｍ’／
　＜７増人さｔ！ることイｊ・・（、Ｑｏ値などの時１
／ｌに１−れ１．：小形か゛つ安価りｌ′表血波装置を
１１）るこ・−がｉｉｌ　ｒｌ！：と４ｒる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の　実７＋角例の略図的′″Ｉ’Ｉ
’面図。第２図は、ｊ；ｆｌ　１図（、ニ示しＩ、＝実
施例にＪ月Ｊるｌノイリー波反ＱＪＩ幾４’５を説明１
）るための部分切欠ゝ１１１１理ぐある５、負）３図（
１，１、グ１）−ｉ（ング・リフ１ノクタが全屈ス］〜
リップによりＩＭ　ＦＭ、さ４１′Ｃいる例の部分切欠
断面図て゛ある。第４図（，１１、グレーティング・リ
フレクタが表向波早板１−に）ν）を設（）ることにＪ
、り形成されている例を示η部分切欠端面図Ｃ゛ある。 第５図は、この発明の第２の実施例を小ず略図面下面図
である１、第６図は、この発明の第３の実施例を示す略
図面下面図−（ｄ）る１、第７図は、従来の表面波装置
の一例を承り略図面下面図である。第８［ぎ１は、グレ
ーティング・リフ１．ノクタのグレーティンク本数Ｎと
レイリー波の反射率との関係を示づ図である。 図において、１１　、　／１１　、　！〕’Ｉ　ＬＪ人
！／ｌ’ｊ　ｌ！！　４’、％　ｉｌ”！、１２．２２
，３２．／１２．５２は表面波ｙ１も板、１３、／ｌ　
３．Ｅ５３ａ　、５３ｈはインター５’　イジタル・ト
ランスデコーサ、１４．２／１．３４．５／ＩｔＪ１グ
レーｊイング・リフレクタ、１２ａ、１２１＋。 ２２＋１，３２ｂ　、４２ａ　、／１２ｂ　、５２ａ　
、ｊ’ｉ２ｂは表面波基板の端部、１／Ｉｉ＋　、１４
１〕、　／′１３・１゜４３１］　、５１１ａ　、５４
１）、△、１３ｔにりｌ／　−ｊ　−ｒ　ング・リフレ
クタの端部を示Ｊ０

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　表面波基板と、該表面波）、↓板トに形成され
   たインターディジタル・トランスデ１−１」と、該イン
   ターディジタル・トランスデユーυから伝播されるレイ
   リー波を反射するグ［ノーテ１ング・リフレクタとを備
   える、レイリー波を利用（」る表向波装置において、 前記レイリー波の伝播方向の前記表面波７ｉｊｔ板端而
   と、前記グレーティング・リフレクタの該表面す板端面
   側の端部どの間の距ＩＩＩ　Ｉｔが、１ノイリー波の波
   長をλ。としたどき、 前記グレーティング・リフレクタが表面波基板に嵩を設
   けることににり形成されている揚台には、ｕ＝　［（ｎ
   　／２）Ａｏ＋　（１／４　）λ。］±＜　１　／８　
   ）λ０ （ｎ：０１、たは正の整数） の範囲に、 前記グレーティング・リフ１ノクタが表面波阜仮十に金
   属ストリップを設りることに３１−り形成されている」
   揚合には、 Ω−（ｎ／２）λ、、、　−、ｌ＝　（１／　８　）λ
   ０（ＩＩ：Ｑまた１、１正の整数） の範囲に選ばれＣいることを１．日数どりる、表面波装
   ：１゛（。
2. （２）　前記インターディジタル・トランスデユ−りが
   レイリー波のＩｚｉ播方白方向コ・（配置されてＪ３す
   、それによ・〕−（該インターライジタル・トランスゲ
   ＼１−サ自身が前音ｌグレーーｊｒング・リフレクタを
   も兼ね（いる、’Ｌ：ｌ　ｊ’ｌ請求の範囲第１　］３
   １　’ｒ＋シ載の表面波駅間。