JPS62111513A - 弾性表面波共振器 - Google Patents
弾性表面波共振器Info
- Publication number
- JPS62111513A JPS62111513A JP25160085A JP25160085A JPS62111513A JP S62111513 A JPS62111513 A JP S62111513A JP 25160085 A JP25160085 A JP 25160085A JP 25160085 A JP25160085 A JP 25160085A JP S62111513 A JPS62111513 A JP S62111513A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- face
- surface acoustic
- acoustic wave
- substrate
- reflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は弾性表面波共振器に関し、特にその反射装置に
関する。
関する。
〈従来の技術〉
従来の弾性表面波共振器は、第4図に示すように、圧電
体基板11の中央部にインクデジタル電極12を設ける
とともに、その両側にグレーティング反射器13.14
を設け、この反射器が電極12で発生した弾性表面波エ
ネルギの殆ど100%を電極2へ反射させるよう構成さ
れている。
体基板11の中央部にインクデジタル電極12を設ける
とともに、その両側にグレーティング反射器13.14
を設け、この反射器が電極12で発生した弾性表面波エ
ネルギの殆ど100%を電極2へ反射させるよう構成さ
れている。
このグレーティング反射器13.14は、ピッチλ/2
の反射ストリップを200本〜400本設ける構造であ
る。第5図に表面波のエネルギ分布状態を示す。点線が
エネルギ強度を表わしており、殆ど100%が反射スト
リップにより反射されている。
の反射ストリップを200本〜400本設ける構造であ
る。第5図に表面波のエネルギ分布状態を示す。点線が
エネルギ強度を表わしており、殆ど100%が反射スト
リップにより反射されている。
〈発明が解決しようとする問題点〉
このような従来構造によればグレーティング反射器を構
成する反射ストリップの本数が多数になり、その長さβ
が大きくなり、共振子全体の小型化が阻まれていた。
成する反射ストリップの本数が多数になり、その長さβ
が大きくなり、共振子全体の小型化が阻まれていた。
本発明の目的は、反射ストリップによる反射率100%
に必要とされる長さの限界を破り、反射ストリップの本
数が少なく、しかも反射効果を…わない、小型化された
弾性表面波共振器を提供することである。
に必要とされる長さの限界を破り、反射ストリップの本
数が少なく、しかも反射効果を…わない、小型化された
弾性表面波共振器を提供することである。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明の弾性表面波共1辰器は、圧電体基板の端部にピ
ッチλ/2 (λは波長)の反射ストリップを多数並設
してなるグレーティング反射器を備えた装置において、
上記反射ストリップの本数をその反射器によるエネルギ
反射率が60%以上80%以下であるように定めるとと
もに、その反射ストリップのうちの最終のものと圧電体
基板の端面との距離dが λ d −n 、(n = 1.2..3.−)であるこ
とを特徴とする。
ッチλ/2 (λは波長)の反射ストリップを多数並設
してなるグレーティング反射器を備えた装置において、
上記反射ストリップの本数をその反射器によるエネルギ
反射率が60%以上80%以下であるように定めるとと
もに、その反射ストリップのうちの最終のものと圧電体
基板の端面との距離dが λ d −n 、(n = 1.2..3.−)であるこ
とを特徴とする。
く作用〉
第3図に点線で示すように、インクデジタル電極で発生
した弾性表面波は、グレーティング反射器の反射ストリ
ップにより少しづつ反射されて反射器上のエネルギ分布
は漸次減少してゆくが、最端の反射ストリップ上にあっ
ても、なお20−’30%のエネルギが残存している。
した弾性表面波は、グレーティング反射器の反射ストリ
ップにより少しづつ反射されて反射器上のエネルギ分布
は漸次減少してゆくが、最端の反射ストリップ上にあっ
ても、なお20−’30%のエネルギが残存している。
基板の端面ば弾性表面波の定在波の振幅が0になるよう
形成されているので、基板端面において残存していたエ
ネルギがすべて反射される。すなわち、端部においてバ
ルク波への変換現象が発生するが基板端面における反射
が補完的に作用して、全体としてエネルギのほぼ100
%が反射される。
形成されているので、基板端面において残存していたエ
ネルギがすべて反射される。すなわち、端部においてバ
ルク波への変換現象が発生するが基板端面における反射
が補完的に作用して、全体としてエネルギのほぼ100
%が反射される。
〈実施例〉
第1図に本発明実施例の正面図を示し、第2図に縦断面
図の部分拡大図を示す。
図の部分拡大図を示す。
圧電体基Fj、1は例えば水晶体、圧電セラミックス等
によりつくられ、長方形に切断され、その基板上中央部
に横型のインクデジタルが設けられ、その電極2と基板
端面の間にグレーティング反射器3.4が設けられてい
る。
によりつくられ、長方形に切断され、その基板上中央部
に横型のインクデジタルが設けられ、その電極2と基板
端面の間にグレーティング反射器3.4が設けられてい
る。
グレーティング反射器3,4は、ピッチλ/2(λは弾
性表面波の波長)の反射ストリップが例えば百数十本形
成されたもので、これらの反射ストリップにより到来す
る表面波エネルギの60%〜80%が反射される。第3
図は本発明実施例における弾性表面波のエネルギ分布を
示している。
性表面波の波長)の反射ストリップが例えば百数十本形
成されたもので、これらの反射ストリップにより到来す
る表面波エネルギの60%〜80%が反射される。第3
図は本発明実施例における弾性表面波のエネルギ分布を
示している。
このように、反射器2又は3の最端の反射ストリップ上
においても、なお40%〜20%のエネルギが残存して
いる。
においても、なお40%〜20%のエネルギが残存して
いる。
第2図に示すように、インクデジタル電極2の最端のも
のSの中心と反射器の最初の反射ストリップR1の内端
との距離d′は である。また、反射器の最終の反射ストリップRnの内
端と基板1の端面5との距離dは λ d= −n 、 n、 = L 2,3+ −であ
る。このように端面を切断することにより、表面弾性波
の振幅が端面5で0となり、この端面5を反射手段に利
用することができる。
のSの中心と反射器の最初の反射ストリップR1の内端
との距離d′は である。また、反射器の最終の反射ストリップRnの内
端と基板1の端面5との距離dは λ d= −n 、 n、 = L 2,3+ −であ
る。このように端面を切断することにより、表面弾性波
の振幅が端面5で0となり、この端面5を反射手段に利
用することができる。
〈発明の効果〉
例えば水晶基板を利用して90 M Hzの共振器を辺
作する場合、従来例によれば、反射ストリップが250
本として、1個のグレーティング反射器の長さlは約4
.4flとなる。これに対し、本発明によれば残存エネ
ルギを30%とした場合、グレーティング反射器の長さ
は1個当り約3゜0顛となり、基板全体として2.81
11短縮される。
作する場合、従来例によれば、反射ストリップが250
本として、1個のグレーティング反射器の長さlは約4
.4flとなる。これに対し、本発明によれば残存エネ
ルギを30%とした場合、グレーティング反射器の長さ
は1個当り約3゜0顛となり、基板全体として2.81
11短縮される。
従来品の基板の全長は12mmであったから、23%短
縮されたことになる。
縮されたことになる。
第1図は本発明実施例の正面図、第2図はその縦断面図
の部分拡大図、第3図はその作用説明図である。第4図
は従来例の正面図、第5図はその作用説明図である。 1−圧電体基板 2−インクデジタル電極3.4−
グレーティング反射器 5−・基板端面
の部分拡大図、第3図はその作用説明図である。第4図
は従来例の正面図、第5図はその作用説明図である。 1−圧電体基板 2−インクデジタル電極3.4−
グレーティング反射器 5−・基板端面
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 圧電体基板の端部にピッチλ/2(λは波長)の反射ス
トリップを多数並設してなるグレーティング反射器を備
えた装置において、上記反射ストリップの本数をその反
射器によるエネルギ反射率が60%以上80%以下であ
るように定めるとともに、その反射ストリップのうちの
最終のものと圧電体基板の端面との距離dが d=(λ/2)n(n=1、2、3、・・・・・)であ
ることを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25160085A JPS62111513A (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | 弾性表面波共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25160085A JPS62111513A (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | 弾性表面波共振器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62111513A true JPS62111513A (ja) | 1987-05-22 |
Family
ID=17225228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25160085A Pending JPS62111513A (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | 弾性表面波共振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62111513A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002056466A1 (fr) * | 2001-01-10 | 2002-07-18 | Seiko Epson Corporation | Dispositif a onde acoustique de surface et procede de fabrication |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60251711A (ja) * | 1984-05-28 | 1985-12-12 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
-
1985
- 1985-11-08 JP JP25160085A patent/JPS62111513A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60251711A (ja) * | 1984-05-28 | 1985-12-12 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002056466A1 (fr) * | 2001-01-10 | 2002-07-18 | Seiko Epson Corporation | Dispositif a onde acoustique de surface et procede de fabrication |
US7038353B2 (en) | 2001-01-10 | 2006-05-02 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave device and method of manufacturing the same |
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