JPS60243651A - 感光性組成物 - Google Patents
感光性組成物Info
- Publication number
- JPS60243651A JPS60243651A JP9871484A JP9871484A JPS60243651A JP S60243651 A JPS60243651 A JP S60243651A JP 9871484 A JP9871484 A JP 9871484A JP 9871484 A JP9871484 A JP 9871484A JP S60243651 A JPS60243651 A JP S60243651A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chloride
- zinc chloride
- salt
- bromide
- exposure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/28—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor for obtaining powder images
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、感光性組成物に関する６
〔発明の背景〕
カラーブラウン管の画面部分（フェースプレート）の内
面には、３種類のけい光体がドツト、あるいはストライ
プ状に塗布されている。このけい光体塗布層を形成する
従来の方法は、っぎの通りである。まず、フェースプレ
ートの内面に第１色目のけい光体と感光性樹脂との混合
物の塗料をフェースプレート内面に塗布し、乾燥して塗
膜を形成する。つぎに、この層にシャドウマスクの孔を
通して紫外線を照射する。このときの紫外線照射位置は
、そのけい光体を発光させるための電子ビームが射突す
る位置、すなわち、そのけい光体が固着されるべき位置
に相当する。この紫外線照射を受けた部分の感光性樹脂
は不溶化し、それによって、その部分の層全体が不溶化
する。つぎに、層を溶媒で洗い、不溶化した部分のみを
フェースプレート面に残留させ、その他の層は溶解、除
去する。つぎに、第２色目のけい光体と感光性樹脂との
混合物の層を用いて同様の操作を行ない、さらに第３色
目のけい光体を感光性樹脂との混合物を用いて同様の操
作を行なう。
面には、３種類のけい光体がドツト、あるいはストライ
プ状に塗布されている。このけい光体塗布層を形成する
従来の方法は、っぎの通りである。まず、フェースプレ
ートの内面に第１色目のけい光体と感光性樹脂との混合
物の塗料をフェースプレート内面に塗布し、乾燥して塗
膜を形成する。つぎに、この層にシャドウマスクの孔を
通して紫外線を照射する。このときの紫外線照射位置は
、そのけい光体を発光させるための電子ビームが射突す
る位置、すなわち、そのけい光体が固着されるべき位置
に相当する。この紫外線照射を受けた部分の感光性樹脂
は不溶化し、それによって、その部分の層全体が不溶化
する。つぎに、層を溶媒で洗い、不溶化した部分のみを
フェースプレート面に残留させ、その他の層は溶解、除
去する。つぎに、第２色目のけい光体と感光性樹脂との
混合物の層を用いて同様の操作を行ない、さらに第３色
目のけい光体を感光性樹脂との混合物を用いて同様の操
作を行なう。
以上の説明から明らかなように、カラーブラウン管のけ
い光面製作工程は複雑であり、多数回の湿式塗布、水洗
、乾燥の繰返しを必要とするので、その簡単化はきわめ
て望ましいことである。
い光面製作工程は複雑であり、多数回の湿式塗布、水洗
、乾燥の繰返しを必要とするので、その簡単化はきわめ
て望ましいことである。
そのため、本発明者らの一部のものは、先に特開昭５３
−１２６８６１として従来よりも著るしく簡単な工程で
、カラーブラウン管けい光面を形成する方法を提案した
。この方法は、芳香族ジアゾニウム塩の光分解生成物が
粉体粒子受容能力を有するという新しい知見に基づき、
完成されたものであり、（１）芳香族ジアゾニウム塩を
感光性成分として含む露光により粘着性を生じる感光性
組成物を基体表面に塗布して薄層とし、（２）その薄層
に図形状の露光を行ない、露光部に粘着性を生せしめ、
（３）露光後の薄層に粉体粒子を接触せしめ、粉体粒子
を薄層に受容せしめることを特徴とするものである。
−１２６８６１として従来よりも著るしく簡単な工程で
、カラーブラウン管けい光面を形成する方法を提案した
。この方法は、芳香族ジアゾニウム塩の光分解生成物が
粉体粒子受容能力を有するという新しい知見に基づき、
完成されたものであり、（１）芳香族ジアゾニウム塩を
感光性成分として含む露光により粘着性を生じる感光性
組成物を基体表面に塗布して薄層とし、（２）その薄層
に図形状の露光を行ない、露光部に粘着性を生せしめ、
（３）露光後の薄層に粉体粒子を接触せしめ、粉体粒子
を薄層に受容せしめることを特徴とするものである。
この方法によると第２色目、第３色目のけい光体につい
ては、露光、粉体接触のみをくり返せばよく、塗膜は一
度形成すると何種のけい光体のパターンでも形成するこ
とができる。
ては、露光、粉体接触のみをくり返せばよく、塗膜は一
度形成すると何種のけい光体のパターンでも形成するこ
とができる。
しかしながらこの方法によると、用いる感光性成分の感
度が従来の感光性樹脂にくらべてやや低いため、作業時
間がやや長くなる。
度が従来の感光性樹脂にくらべてやや低いため、作業時
間がやや長くなる。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、上記パターン形成方法に用いられる高
感度の組成物を提供することにある。
感度の組成物を提供することにある。
本発明の感光性組成物は、露光によって粘着性を生じる
芳香族ジアゾニウム塩とカリウム、ナトリウム、アンモ
ニウムの塩化塩、及び／又は臭化塩とその塩の１ｚ２モ
ル量に相当する塩化亜鉛及び／又は臭化亜鉛を含むこと
を特徴とする。
芳香族ジアゾニウム塩とカリウム、ナトリウム、アンモ
ニウムの塩化塩、及び／又は臭化塩とその塩の１ｚ２モ
ル量に相当する塩化亜鉛及び／又は臭化亜鉛を含むこと
を特徴とする。
現在までこの方法に用いられる芳香族ジアゾニウム塩は
塩化ｐ−ジアゾ−アミノベンゼン塩化亜鉛複塩系化合物
である。この系の内、特に塩化Ｐ−ジアゾーＮ、Ｎ−ジ
メチルアニリン塩化亜鉛複塩が、前記、プロセスに対す
る適応性が優れていることから使用されている。しかし
、この材料を用いて形成した光粘着膜は感度が低く、露
光時間が長くかかる。この対策を検討した。この結果、
有効な増感剤となる化合物を見出した。感光性組成物中
に下記の化合物を添加すると露光時間が短かくてすむ光
粘着性威光性組成物が得られることがわかった。その化
合物は塩化カリウム亜鉛（ＺｎＣ１２ｚ ８２ＫＧり
、塩化ナトリウム亜鉛（ＺｎＣＯ３・２ＮａＣＵ）、塩
化アンモニウム亜鉛（ＺｎＣｆ１２・２ＮＨａ Ｃｆｆ
）、臭化カリウム亜鉛（ＺｎＢｒ２ ＠ ２ Ｋ Ｂ
ｒ ） ＊塩化カリウム・臭化亜鉛複塩（ＺｎＢｒ２・
２ ＫＣＱ）等である。これらの塩は、ジアゾニウム塩
に対して５〜２００重量％入れるのが好ましく、５〜１
００重量％入れるのがより好ましい。
塩化ｐ−ジアゾ−アミノベンゼン塩化亜鉛複塩系化合物
である。この系の内、特に塩化Ｐ−ジアゾーＮ、Ｎ−ジ
メチルアニリン塩化亜鉛複塩が、前記、プロセスに対す
る適応性が優れていることから使用されている。しかし
、この材料を用いて形成した光粘着膜は感度が低く、露
光時間が長くかかる。この対策を検討した。この結果、
有効な増感剤となる化合物を見出した。感光性組成物中
に下記の化合物を添加すると露光時間が短かくてすむ光
粘着性威光性組成物が得られることがわかった。その化
合物は塩化カリウム亜鉛（ＺｎＣ１２ｚ ８２ＫＧり
、塩化ナトリウム亜鉛（ＺｎＣＯ３・２ＮａＣＵ）、塩
化アンモニウム亜鉛（ＺｎＣｆ１２・２ＮＨａ Ｃｆｆ
）、臭化カリウム亜鉛（ＺｎＢｒ２ ＠ ２ Ｋ Ｂ
ｒ ） ＊塩化カリウム・臭化亜鉛複塩（ＺｎＢｒ２・
２ ＫＣＱ）等である。これらの塩は、ジアゾニウム塩
に対して５〜２００重量％入れるのが好ましく、５〜１
００重量％入れるのがより好ましい。
以上の化合物はカリウム、ナトリウム、アンモニウムの
塩化塩とこの塩の１ｚ２モルに相当する量の塩化亜鉛を
作用するだけで容易に生成する。
塩化塩とこの塩の１ｚ２モルに相当する量の塩化亜鉛を
作用するだけで容易に生成する。
上記化合物を生成したあと感光性組成物中に添加しても
よいし、各成分の化学量論的量をそれぞれ加えてもよい
。
よいし、各成分の化学量論的量をそれぞれ加えてもよい
。
上記の複塩化合物は塩化亜鉛、臭化亜鉛に比べて、潮解
性が弱くこの点においては安定である。
性が弱くこの点においては安定である。
しかし、塩化亜鉛、臭化亜鉛の潮解液に対してはすこぶ
る良く溶けて潮解液の容量が増大する。
る良く溶けて潮解液の容量が増大する。
芳香族ジアゾニウム塩を用いるパターン形成の原理は下
記反応式によって生成した塩化亜鉛の潮解液を粘着剤と
して使用することである。
記反応式によって生成した塩化亜鉛の潮解液を粘着剤と
して使用することである。
ｋヤ
ＲＧＮ２ ＣＱ ・ＺｎＣＱ ２→Ｒ（ｆＪＪ）−Ｃ立
＋Ｎ２ ＋ＺｎＣＱ ２よって、上記化合物の存在は潮
解液の増量に役立つことがわかる。すなわち、こに分（
増量の分）だけ露光時間を短かくできることが考えられ
る。
＋Ｎ２ ＋ＺｎＣＱ ２よって、上記化合物の存在は潮
解液の増量に役立つことがわかる。すなわち、こに分（
増量の分）だけ露光時間を短かくできることが考えられ
る。
以下実施をあげて述べる。
実施例
塩化カリウム亜鉛の生成：
５０％塩化亜鉛液の１０ｇと塩化カリウムの５．５ｇを
混合して溶かし、水分を揮発させると結晶が生成した。
混合して溶かし、水分を揮発させると結晶が生成した。
塩化ナトリウム亜鉛の生成：
５０％塩化亜鉛の１０ｇと塩化ナトリウムの４．３ｇを
混合して溶かし、水分を揮発させると結晶が生成した。
混合して溶かし、水分を揮発させると結晶が生成した。
臭化カリウム・塩化亜鉛複塩の生成：
５０％塩化亜鉛の１０ｇと臭化カリウムの８．７ｇを混
合して溶かし、水分を揮発させると結晶が生成した。以
上、実験によって−イオンが異なっても生成することが
わかる。
合して溶かし、水分を揮発させると結晶が生成した。以
上、実験によって−イオンが異なっても生成することが
わかる。
添加による感度向上効果をつどの如く測定した。
光粘着膜の分解速度をジアゾニウム塩（塩化ｐ−Ｎ、Ｎ
−ジメチルアニリン塩化亜鉛複塩）の吸収紫外光（３６
５ｎｍ）の透過率を測定することによって測定した。未
分解のジアゾニウム塩は主に３６５ｎｍ附近に吸収をも
ち、光分解によって、この吸収が減少する。
−ジメチルアニリン塩化亜鉛複塩）の吸収紫外光（３６
５ｎｍ）の透過率を測定することによって測定した。未
分解のジアゾニウム塩は主に３６５ｎｍ附近に吸収をも
ち、光分解によって、この吸収が減少する。
以下の感光組成物を調合し、回転塗布によってガラス基
板のテストピースに薄膜を形成した。塗膜の厚さは全試
料とも０．３μｍとした。この試料に超高圧水銀灯より
照射して、透過してくる光の内、フィルターで３６５ｎ
ｍだけとり出し、この光の強さの時間に対する変化を測
定することによって、ジアゾニウム塩の分解速度を測っ
た。結果を第１図に示した。
板のテストピースに薄膜を形成した。塗膜の厚さは全試
料とも０．３μｍとした。この試料に超高圧水銀灯より
照射して、透過してくる光の内、フィルターで３６５ｎ
ｍだけとり出し、この光の強さの時間に対する変化を測
定することによって、ジアゾニウム塩の分解速度を測っ
た。結果を第１図に示した。
明らかに、塩化カリウム亜鉛、塩化ナトリウム亜鉛を添
加した光粘着膜は速く分解することがわかる。最初透過
率が低下するのは、未分解の結晶性のジアゾニウム塩が
非結晶性となるとめど思われる。
加した光粘着膜は速く分解することがわかる。最初透過
率が低下するのは、未分解の結晶性のジアゾニウム塩が
非結晶性となるとめど思われる。
透過率が低下した後１０％増加した点に相当する時間だ
け光照射した試料をそれぞれ別に準備し、この試料にけ
い光体粉体（青色発光けい光体）を被着したところ、全
ての試料について、はぼ同量のけい光体が付着していた
。又添加化合物を各成分ごとに化学量論的に測って添加
しても同じ結果が得られた。例えば塩化カリウム亜鉛の
代りに、塩化カリウムと塩化亜鉛を個々に添加しても結
果は同じであった。
け光照射した試料をそれぞれ別に準備し、この試料にけ
い光体粉体（青色発光けい光体）を被着したところ、全
ての試料について、はぼ同量のけい光体が付着していた
。又添加化合物を各成分ごとに化学量論的に測って添加
しても同じ結果が得られた。例えば塩化カリウム亜鉛の
代りに、塩化カリウムと塩化亜鉛を個々に添加しても結
果は同じであった。
組成１
塩化ｐ−Ｎ、Ｎ−ジメチルアニリン
塩化亜鉛複塩 ・・・３．３％
アルギン酸プロプレンゲリコール
エステル ・・・０．１２５
ポリビニルアルコール
エチレングリコール ・・・０．９
塩化カリウム亜鉛 ・・・１．９８
水 ・・・残 り
組成２
塩化ｐーＮ，Ｎージメチルアニリン
塩化亜鉛複塩 ・・・３．３％
アルギン酸プロピレングリコール
エステル ・・・０．１２５％
ポリビニルアルコール ・・・０．０５６エチレングリ
コール ・・・０．９ 塩化ナトリウム亜鉛 ・・・１．９８ 水 ・・・残 り 組成３ 塩化ｐーＮ，Ｎージメチルアニリン 塩化亜鉛複塩 ・・・３．３％ アルギン酸プロピレングリコール エステル ・・・０．１２５ ポリビニルアルコール ・・・０．０５６エチレングリ
コール ・・・０，９ 水 ・・・残 り 組成４ 塩化ＰーＮ，Ｎージメチルアニリン 塩化亜鉛複塩 ・・・３．３％ アルギン酸プロピレングリコール エステル ・・・０．１２５ ポリビニルアルコール ・・・０．０５６エチレングリ
コール ・・・０．９ 臭化カリウム ・・・０．９９ 塩化亜鉛 ・・・０．６３ 水 ・・・残 り なお、以上の実施例は、ジアゾニウム塩として塩化Ｐー
Ｎ，Ｎージメチルアニリン塩化亜鉛複塩を用いたが、そ
れ以外の塩、例えば前記特開昭５３−１２６８６１記載
のジアゾニウム塩を用いても同量な効果が得られる。
コール ・・・０．９ 塩化ナトリウム亜鉛 ・・・１．９８ 水 ・・・残 り 組成３ 塩化ｐーＮ，Ｎージメチルアニリン 塩化亜鉛複塩 ・・・３．３％ アルギン酸プロピレングリコール エステル ・・・０．１２５ ポリビニルアルコール ・・・０．０５６エチレングリ
コール ・・・０，９ 水 ・・・残 り 組成４ 塩化ＰーＮ，Ｎージメチルアニリン 塩化亜鉛複塩 ・・・３．３％ アルギン酸プロピレングリコール エステル ・・・０．１２５ ポリビニルアルコール ・・・０．０５６エチレングリ
コール ・・・０．９ 臭化カリウム ・・・０．９９ 塩化亜鉛 ・・・０．６３ 水 ・・・残 り なお、以上の実施例は、ジアゾニウム塩として塩化Ｐー
Ｎ，Ｎージメチルアニリン塩化亜鉛複塩を用いたが、そ
れ以外の塩、例えば前記特開昭５３−１２６８６１記載
のジアゾニウム塩を用いても同量な効果が得られる。
以上のように、本発明は高感度の光粘着性感光性組成物
を提供する。
を提供する。
第１図は、光粘着膜の光分解曲線を示す図である。
Claims (1)
- ■、露光により粘着性を生じる芳香族ジアゾニウム塩と
、カリウム、ナトリウム、アンモニウムの塩化塩及び又
は臭化塩とその塩の１／２モル量に相当する塩化亜鉛及
び又は臭化亜鉛を含むことを特徴とする感光性組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9871484A JPS60243651A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 感光性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9871484A JPS60243651A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 感光性組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60243651A true JPS60243651A (ja) | 1985-12-03 |
Family
ID=14227184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9871484A Pending JPS60243651A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 感光性組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60243651A (ja) |
-
1984
- 1984-05-18 JP JP9871484A patent/JPS60243651A/ja active Pending
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