JPS60236115A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

垂直磁気記録媒体

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JPS60236115A
JPS60236115A JP9123084A JP9123084A JPS60236115A JP S60236115 A JPS60236115 A JP S60236115A JP 9123084 A JP9123084 A JP 9123084A JP 9123084 A JP9123084 A JP 9123084A JP S60236115 A JPS60236115 A JP S60236115A
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JP
Japan
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film
substrate
magnetic recording
recording medium
lattice constant
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JP9123084A
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Hiroyuki Yamamoto
博之 山本
Koji Hakamazuka
康治 袴塚
Motoyasu Momoki
百木 元康
Tatsuo Imamura
今村 辰男
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Olympus Corp
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Olympus Corp
Olympus Optical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は垂直磁気記録再生装置に使用される垂直磁気記
録媒体に関し、特に基体表面に形成される膜の改良に関
する。
〔従来技術〕
従来、垂直磁気記録再生装置に使用される垂直磁気記録
媒体としては、ステンレス鋼等からなる基板上に垂直磁
化膜としてのGo−Cr膜を形成した一層躾垂直磁気記
録媒体、あるいは第1図に示すように、基板1上に再生
・記録感度向上のためにFe−N+パーマロイなどの高
透磁率軟磁性膜2を形成し、さらにその上にco−cr
膜3を形成した二層膜垂直磁気記録媒体が用いられてい
る。上記Co−Cr113は高周波スパッタリングある
いは真空蒸着法等の膜形成手段によって基板1上あるい
は高透磁率軟磁性lI2上に形成され、六方晶形の結晶
構造を有し、その結晶のC軸が膜面に対し垂直にそろっ
て成長しており、またそのC軸方向に強い異方性を持つ
ため垂直磁気異方1すが生じるものとなっている。
しかるに上記co−cr膜3は、その結晶のC軸のそろ
い方が基板1の条件によって異なる。特に前記二層膜垂
直磁気記録媒体の場合は高透磁率軟磁性膜2の面状態の
影響を受けてさらにそろい方が悪くなり、C軸が膜に対
し垂直な方向からずれた方向に分散して成長してしまい
、ひどいときには垂直磁気異方性すら消失してしまうこ
ともあつIこ。
そこでこのような問題を解決するために、特開昭58−
14318号公報において示されているように、基板と
垂直磁化膜との間に50〜1500人の厚みの非磁性層
を形成した垂直磁気記録媒体が提案されている。すなわ
ち、アルマイト処理したアルミニウム基板やガラス板等
の基体上に非m性層としてのTi層を50〜1500人
の厚みて形成したのち垂直磁化膜を形成する。そうする
と、垂直磁化膜における基体に垂直方向の配向性を示す
分散角△θ5oがTi層を設けない場合に比べて小さく
なる。たとえばT1層を形成しない場合には分散角Δθ
5oは9〜13°となるのに対し、Ti層を500人の
厚みで形成した場合には分散角へ〇5oは約66となる
。したがって、垂直方向の配向性が向上し前述した問題
点が解決される。
ところでTi層を設けるということは、垂直磁化膜にお
ける下地の結晶粒を小さくしたことを意味している。つ
まり下地の結晶粒を小さくするほど分散角Δθ5oを小
さくすることができる。したがって、T1層の代わりに
結晶粒のない非晶質層を下地として形成すれば、より大
きな効果を奏づる。またW、Rh、Mu 、Y、Zr、
Pt、Cr。
lrなどの金属ならびにSiO2,TiO2,Cr2O
3,Fe2O3,sioなトノ酸化物等からなる層を下
地として形成しても同様どなる。
いずれにしても特開昭58−14318号公報の骨子は
、下地の結晶粒を小さくすることにより垂直磁化膜にお
ける垂直方向の配向性を向上させるというものである。
しかしながら現在では、さらに垂直方向の配向性の向上
が望まれている。また従来は、下地に垂直磁化膜を堆積
させていく初期の段階においては垂直異方性を持ちにく
く、垂直方向の配向性も非常に悪いものとなっていたた
め、この点の改善も望まれている。
〔目的〕
本発明の目的は、垂直磁化膜の基体に垂直な方向の配向
性をより向上させ得ると共に、上記垂直磁化膜成長初期
の段階から垂直方向の配向性がよい垂直磁気記録媒体を
提供することにある。
(IN要) 本発明は上記目的を達成するために次の如く構成したこ
とを特徴としている。すなわち、本発明は基体と垂直磁
化膜との間にCrどNの化合物からなる膜を形成するよ
うにしたことを特徴としている。
本発明では垂直磁化膜の格子定数に非常に近い格子定数
を有する躾を垂直磁化膜の下地に用いて、その下地の上
にエピタキシャル的に垂直磁化膜を形成するようにして
いる。こうすることにより、さらに垂直磁化膜の垂直方
向の配向性が向上し、また垂直磁化膜成長初期の段階か
ら垂直方向に配向性のよい膜が形成できる。
〔実施例〕
第2図は本発明の第1の実施例としての垂直磁気記録媒
体を示す断面図である。図中11は基体としての5US
420J2のSUS基板である。
12は上記基板11上にイオンブレーティング法5− により1μm1jj度の厚みで形成されたCrNImで
ある。13は上記CrN膜1膜上2上周波スパッタリン
グにより1μmの厚みで形成されたCo−Cr膜である
上記基板11上にイオンブレーティング法によりCrN
膜12を形成する場合は次の如く行なう。
まず、基板11を350℃で加熱しながら真空槽内を1
0−’Torr台まで排気したのち、Arガスを上記真
空層内に8X10’Torr導入する。
そして電極に400V、O,,3Aの電力を2分間供給
し、480V、0.5Aの電力を5分間供給し、520
V、0.7Aの電力を3分間供給することにより、イオ
ンボンバードを計10分間行ない基板11の表面洗浄を
行なう。その後、上記真空層内にArガスを5X104
Torr、N2 ガスを9x10’Torr流入しなが
ら、crを蒸発させる。かくして基板11上に約1μm
のCrN膜12が形成されることになる。
また、CrN膜1膜上2上周波スパッタリングによりC
o−Cr膜13を形成する場合は次の如6− く行なう。まず、CrN膜12がその表面に形成された
基板11を150℃で加熱しながらスパッタリング装置
の真空層内を10−’Torr台まで排気したのち、基
板11への加熱を止め、放冷しかつ水冷する。そしてバ
ックグラウンド圧力が2XIO−’Torr以下となっ
たところで、Arガスを5X10’Torr導入し、3
00Wの電力でスパッタリングする。かくしてCrN膜
1膜上2上、5μmの厚みでco−Cr膜13が形成さ
れることになる。
ところで、本実施例にて形成されたCr1lJ112の
CuKα−XIil源によるX線回析は第3図に示すよ
うになる。同図から明らかなように、回折ピークは一本
しか現われず、その回折ピークから2θ−44,0°、
格子定数2.06人が読み取れる。なお2θはxm源ど
カウンタとの角度である。
一方、第4図は50μmの厚みのポリノイドフィルム上
に0.5μmの厚みのCo−Cr1を高周波スパッタリ
ングにより形成したものの、CUKα−X線源によるX
Lm回折の結果を示す図である。なおピーク値を明らか
にするために感度を代えることにより基準線をずらして
示している。上記co−Cr膜は基本的に六方結晶形の
結晶構造を有しており、磁化容易軸と一致するC軸が膜
面に垂直であり、(002>面からの回折ピークは2θ
−44,6°、格子定数2.03人となる。
このように前記CrN膜の格子定数は2.06人であり
、co−Cr膜の格子定数2.03人に対して非常に近
い値となっている。
したがって本実施例によれば、CrN膜のないco−C
rllではロッキングカーブ半値幅からめた垂直方向の
配向性を表わす分散角へ〇50は約5°であったが、第
2図のような構造の本実施例では分散角△θ50は3°
以下となり、垂直方向の配向性をさらに向上させること
ができる。また垂直磁化膜が薄くても、その配向性は秀
れている。
第5図は本発明の第2の実施例としての垂直磁気記録媒
体を示す断面図である。本実施例においては、基板(S
US420J 2基板)11上にCo=Zr−Nbから
なる高透磁率軟磁性膜14を0.5μmの厚みで形成し
たものを基体とし、その上に第1の実施例と同様な方法
でCrN膜12を0.02μmの厚みで形成したものを
基体とし、さらにその上にCo−Cr膜13を0.2μ
mの厚みで形成したものとなっている。
こうづることにより、前記分散角Δθ5oはCrN膜1
2をCo−Zr−Nbからなる高透磁率軟磁性膜14と
Co−Cr膜13との間に形成しない場合は約8°であ
ったのに対し、CrN膜12を高透磁率軟磁性膜14と
Co−Cr膜13との間に形成した場合は6°となり、
配向性は若干ではあるが向上する。なお、一般的に高透
磁率軟磁性l1114の上にGo−Cr膜13を形成し
た場合は上記Go−Crlll 3の配向性が悪く、第
6図に示すように(002)面からの回折ピーク以外に
(101)面からの回折ピークも現われる。しかし本実
施例のようにCrNl1112を高透磁率軟磁性膜14
とGo−Cr躾13との間に形成すると、上記Co−C
r膜13においては前記(109− 1)面からの回折ピークが減少し、(002)面からの
回折ピークの強度が増加するという効果も奏する。
なお本発明は上記各実施例に限定されるものではない。
たとえば上記実施例におけるCrN膜12は、CrとN
との比が1:1のものに限らず、化学的−論比をずらし
たOrとNとの化合物を用いても、その上に形成する垂
直磁化膜の格子定数に非常に近い格子定数を有するもの
ならば、同様な効果を奏する。また上記実施例ではイオ
ンブレーティング法によりCoN膜12の膜形成を行な
ったが、これ以外の手段を用いてもよい。また上記実施
例では基板11としてSUS基板を用いたが、たとえば
ポリアミド樹脂等からなる基体を用いてもよい。このほ
か本発明の要旨を越えない範囲で種々変形実施可能であ
る。
〔発明の効果〕
本発明によれば、基体と垂直磁化膜との間にCrとNの
化合物からなる層を形成するようにしたので、垂直磁化
膜における基体に垂直な方向の配10− 向性をより向上させ得ると共に、上記垂直磁化膜成長初
期の段階から垂直方向の配向性がよい垂直磁気記録媒体
を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の垂直磁気記録媒体を示す断面図、第2図
は本発明の第1の実施例としての垂直磁気記録媒体を示
す断面図、第3図および第4図は同実施例の作用を説明
するための図、第5図は本発明の第2の実施例としての
垂直磁気記録媒体を示す断面図、第6図は同実施例の作
用を説明するための図である。 11=−11板、12−Cr N膜、13−Co −C
r膜、14・・・高透磁率軟磁性膜。 出願人代理人 弁理士 坪井 淳 一11= 第1図 第2図 第5図 手続補正書 昭、16ρ−8、yr2D 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 1、事件の表示 特願昭59−91230号 2、発明の名称 垂直磁気記録媒体 3、補正をする渚 事件との関係 時抑阪斥曳ん 名称(037)オリンパス光学下)株式会?14、代理
人 5、自発補正 7、補正の内容 明細書第10頁第11行のrCoN膜」をrCrN膜」
と訂正する。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基体上に、この基体表面に対して垂直な方向に磁
    化容易軸を有する垂直磁化膜を設けた垂直磁気記録媒体
    において、前記基体と前記垂直磁化膜との間にCrとN
    の化合物からなる膜を形成したことを特徴とする垂直磁
    気記録媒体。
  2. (2)上記基体は、ステンレス鋼等からなる基板の表面
    に高透磁率軟磁性膜を設けたものであることを特徴とす
    る特許請求の範囲第(1)項記載の垂直磁気記録媒体。
JP9123084A 1984-05-08 1984-05-08 垂直磁気記録媒体 Granted JPS60236115A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9123084A JPS60236115A (ja) 1984-05-08 1984-05-08 垂直磁気記録媒体

Applications Claiming Priority (1)

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JP9123084A JPS60236115A (ja) 1984-05-08 1984-05-08 垂直磁気記録媒体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60236115A true JPS60236115A (ja) 1985-11-22
JPH0544728B2 JPH0544728B2 (ja) 1993-07-07

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ID=14020619

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9123084A Granted JPS60236115A (ja) 1984-05-08 1984-05-08 垂直磁気記録媒体

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JP (1) JPS60236115A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996027187A1 (fr) * 1995-02-27 1996-09-06 Hitachi, Ltd. Support d'enregistrement magnetique et dispositif de stockage magnetique
US7736767B2 (en) 2007-03-02 2010-06-15 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. Perpendicular magnetic recording medium having an interlayer formed from a NiWCr alloy

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996027187A1 (fr) * 1995-02-27 1996-09-06 Hitachi, Ltd. Support d'enregistrement magnetique et dispositif de stockage magnetique
US7736767B2 (en) 2007-03-02 2010-06-15 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. Perpendicular magnetic recording medium having an interlayer formed from a NiWCr alloy

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JPH0544728B2 (ja) 1993-07-07

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