JPS60236115A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPS60236115A JPS60236115A JP9123084A JP9123084A JPS60236115A JP S60236115 A JPS60236115 A JP S60236115A JP 9123084 A JP9123084 A JP 9123084A JP 9123084 A JP9123084 A JP 9123084A JP S60236115 A JPS60236115 A JP S60236115A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野)
本発明は垂直磁気記録再生装置に使用される垂直磁気記
録媒体に関し、特に基体表面に形成される膜の改良に関
する。
録媒体に関し、特に基体表面に形成される膜の改良に関
する。
従来、垂直磁気記録再生装置に使用される垂直磁気記録
媒体としては、ステンレス鋼等からなる基板上に垂直磁
化膜としてのGo−Cr膜を形成した一層躾垂直磁気記
録媒体、あるいは第1図に示すように、基板1上に再生
・記録感度向上のためにFe−N+パーマロイなどの高
透磁率軟磁性膜2を形成し、さらにその上にco−cr
膜3を形成した二層膜垂直磁気記録媒体が用いられてい
る。上記Co−Cr113は高周波スパッタリングある
いは真空蒸着法等の膜形成手段によって基板1上あるい
は高透磁率軟磁性lI2上に形成され、六方晶形の結晶
構造を有し、その結晶のC軸が膜面に対し垂直にそろっ
て成長しており、またそのC軸方向に強い異方性を持つ
ため垂直磁気異方1すが生じるものとなっている。
媒体としては、ステンレス鋼等からなる基板上に垂直磁
化膜としてのGo−Cr膜を形成した一層躾垂直磁気記
録媒体、あるいは第1図に示すように、基板1上に再生
・記録感度向上のためにFe−N+パーマロイなどの高
透磁率軟磁性膜2を形成し、さらにその上にco−cr
膜3を形成した二層膜垂直磁気記録媒体が用いられてい
る。上記Co−Cr113は高周波スパッタリングある
いは真空蒸着法等の膜形成手段によって基板1上あるい
は高透磁率軟磁性lI2上に形成され、六方晶形の結晶
構造を有し、その結晶のC軸が膜面に対し垂直にそろっ
て成長しており、またそのC軸方向に強い異方性を持つ
ため垂直磁気異方1すが生じるものとなっている。
しかるに上記co−cr膜3は、その結晶のC軸のそろ
い方が基板1の条件によって異なる。特に前記二層膜垂
直磁気記録媒体の場合は高透磁率軟磁性膜2の面状態の
影響を受けてさらにそろい方が悪くなり、C軸が膜に対
し垂直な方向からずれた方向に分散して成長してしまい
、ひどいときには垂直磁気異方性すら消失してしまうこ
ともあつIこ。
い方が基板1の条件によって異なる。特に前記二層膜垂
直磁気記録媒体の場合は高透磁率軟磁性膜2の面状態の
影響を受けてさらにそろい方が悪くなり、C軸が膜に対
し垂直な方向からずれた方向に分散して成長してしまい
、ひどいときには垂直磁気異方性すら消失してしまうこ
ともあつIこ。
そこでこのような問題を解決するために、特開昭58−
14318号公報において示されているように、基板と
垂直磁化膜との間に50〜1500人の厚みの非磁性層
を形成した垂直磁気記録媒体が提案されている。すなわ
ち、アルマイト処理したアルミニウム基板やガラス板等
の基体上に非m性層としてのTi層を50〜1500人
の厚みて形成したのち垂直磁化膜を形成する。そうする
と、垂直磁化膜における基体に垂直方向の配向性を示す
分散角△θ5oがTi層を設けない場合に比べて小さく
なる。たとえばT1層を形成しない場合には分散角Δθ
5oは9〜13°となるのに対し、Ti層を500人の
厚みで形成した場合には分散角へ〇5oは約66となる
。したがって、垂直方向の配向性が向上し前述した問題
点が解決される。
14318号公報において示されているように、基板と
垂直磁化膜との間に50〜1500人の厚みの非磁性層
を形成した垂直磁気記録媒体が提案されている。すなわ
ち、アルマイト処理したアルミニウム基板やガラス板等
の基体上に非m性層としてのTi層を50〜1500人
の厚みて形成したのち垂直磁化膜を形成する。そうする
と、垂直磁化膜における基体に垂直方向の配向性を示す
分散角△θ5oがTi層を設けない場合に比べて小さく
なる。たとえばT1層を形成しない場合には分散角Δθ
5oは9〜13°となるのに対し、Ti層を500人の
厚みで形成した場合には分散角へ〇5oは約66となる
。したがって、垂直方向の配向性が向上し前述した問題
点が解決される。
ところでTi層を設けるということは、垂直磁化膜にお
ける下地の結晶粒を小さくしたことを意味している。つ
まり下地の結晶粒を小さくするほど分散角Δθ5oを小
さくすることができる。したがって、T1層の代わりに
結晶粒のない非晶質層を下地として形成すれば、より大
きな効果を奏づる。またW、Rh、Mu 、Y、Zr、
Pt、Cr。
ける下地の結晶粒を小さくしたことを意味している。つ
まり下地の結晶粒を小さくするほど分散角Δθ5oを小
さくすることができる。したがって、T1層の代わりに
結晶粒のない非晶質層を下地として形成すれば、より大
きな効果を奏づる。またW、Rh、Mu 、Y、Zr、
Pt、Cr。
lrなどの金属ならびにSiO2,TiO2,Cr2O
3,Fe2O3,sioなトノ酸化物等からなる層を下
地として形成しても同様どなる。
3,Fe2O3,sioなトノ酸化物等からなる層を下
地として形成しても同様どなる。
いずれにしても特開昭58−14318号公報の骨子は
、下地の結晶粒を小さくすることにより垂直磁化膜にお
ける垂直方向の配向性を向上させるというものである。
、下地の結晶粒を小さくすることにより垂直磁化膜にお
ける垂直方向の配向性を向上させるというものである。
しかしながら現在では、さらに垂直方向の配向性の向上
が望まれている。また従来は、下地に垂直磁化膜を堆積
させていく初期の段階においては垂直異方性を持ちにく
く、垂直方向の配向性も非常に悪いものとなっていたた
め、この点の改善も望まれている。
が望まれている。また従来は、下地に垂直磁化膜を堆積
させていく初期の段階においては垂直異方性を持ちにく
く、垂直方向の配向性も非常に悪いものとなっていたた
め、この点の改善も望まれている。
本発明の目的は、垂直磁化膜の基体に垂直な方向の配向
性をより向上させ得ると共に、上記垂直磁化膜成長初期
の段階から垂直方向の配向性がよい垂直磁気記録媒体を
提供することにある。
性をより向上させ得ると共に、上記垂直磁化膜成長初期
の段階から垂直方向の配向性がよい垂直磁気記録媒体を
提供することにある。
(IN要)
本発明は上記目的を達成するために次の如く構成したこ
とを特徴としている。すなわち、本発明は基体と垂直磁
化膜との間にCrどNの化合物からなる膜を形成するよ
うにしたことを特徴としている。
とを特徴としている。すなわち、本発明は基体と垂直磁
化膜との間にCrどNの化合物からなる膜を形成するよ
うにしたことを特徴としている。
本発明では垂直磁化膜の格子定数に非常に近い格子定数
を有する躾を垂直磁化膜の下地に用いて、その下地の上
にエピタキシャル的に垂直磁化膜を形成するようにして
いる。こうすることにより、さらに垂直磁化膜の垂直方
向の配向性が向上し、また垂直磁化膜成長初期の段階か
ら垂直方向に配向性のよい膜が形成できる。
を有する躾を垂直磁化膜の下地に用いて、その下地の上
にエピタキシャル的に垂直磁化膜を形成するようにして
いる。こうすることにより、さらに垂直磁化膜の垂直方
向の配向性が向上し、また垂直磁化膜成長初期の段階か
ら垂直方向に配向性のよい膜が形成できる。
第2図は本発明の第1の実施例としての垂直磁気記録媒
体を示す断面図である。図中11は基体としての5US
420J2のSUS基板である。
体を示す断面図である。図中11は基体としての5US
420J2のSUS基板である。
12は上記基板11上にイオンブレーティング法5−
により1μm1jj度の厚みで形成されたCrNImで
ある。13は上記CrN膜1膜上2上周波スパッタリン
グにより1μmの厚みで形成されたCo−Cr膜である
。
ある。13は上記CrN膜1膜上2上周波スパッタリン
グにより1μmの厚みで形成されたCo−Cr膜である
。
上記基板11上にイオンブレーティング法によりCrN
膜12を形成する場合は次の如く行なう。
膜12を形成する場合は次の如く行なう。
まず、基板11を350℃で加熱しながら真空槽内を1
0−’Torr台まで排気したのち、Arガスを上記真
空層内に8X10’Torr導入する。
0−’Torr台まで排気したのち、Arガスを上記真
空層内に8X10’Torr導入する。
そして電極に400V、O,,3Aの電力を2分間供給
し、480V、0.5Aの電力を5分間供給し、520
V、0.7Aの電力を3分間供給することにより、イオ
ンボンバードを計10分間行ない基板11の表面洗浄を
行なう。その後、上記真空層内にArガスを5X104
Torr、N2 ガスを9x10’Torr流入しなが
ら、crを蒸発させる。かくして基板11上に約1μm
のCrN膜12が形成されることになる。
し、480V、0.5Aの電力を5分間供給し、520
V、0.7Aの電力を3分間供給することにより、イオ
ンボンバードを計10分間行ない基板11の表面洗浄を
行なう。その後、上記真空層内にArガスを5X104
Torr、N2 ガスを9x10’Torr流入しなが
ら、crを蒸発させる。かくして基板11上に約1μm
のCrN膜12が形成されることになる。
また、CrN膜1膜上2上周波スパッタリングによりC
o−Cr膜13を形成する場合は次の如6− く行なう。まず、CrN膜12がその表面に形成された
基板11を150℃で加熱しながらスパッタリング装置
の真空層内を10−’Torr台まで排気したのち、基
板11への加熱を止め、放冷しかつ水冷する。そしてバ
ックグラウンド圧力が2XIO−’Torr以下となっ
たところで、Arガスを5X10’Torr導入し、3
00Wの電力でスパッタリングする。かくしてCrN膜
1膜上2上、5μmの厚みでco−Cr膜13が形成さ
れることになる。
o−Cr膜13を形成する場合は次の如6− く行なう。まず、CrN膜12がその表面に形成された
基板11を150℃で加熱しながらスパッタリング装置
の真空層内を10−’Torr台まで排気したのち、基
板11への加熱を止め、放冷しかつ水冷する。そしてバ
ックグラウンド圧力が2XIO−’Torr以下となっ
たところで、Arガスを5X10’Torr導入し、3
00Wの電力でスパッタリングする。かくしてCrN膜
1膜上2上、5μmの厚みでco−Cr膜13が形成さ
れることになる。
ところで、本実施例にて形成されたCr1lJ112の
CuKα−XIil源によるX線回析は第3図に示すよ
うになる。同図から明らかなように、回折ピークは一本
しか現われず、その回折ピークから2θ−44,0°、
格子定数2.06人が読み取れる。なお2θはxm源ど
カウンタとの角度である。
CuKα−XIil源によるX線回析は第3図に示すよ
うになる。同図から明らかなように、回折ピークは一本
しか現われず、その回折ピークから2θ−44,0°、
格子定数2.06人が読み取れる。なお2θはxm源ど
カウンタとの角度である。
一方、第4図は50μmの厚みのポリノイドフィルム上
に0.5μmの厚みのCo−Cr1を高周波スパッタリ
ングにより形成したものの、CUKα−X線源によるX
Lm回折の結果を示す図である。なおピーク値を明らか
にするために感度を代えることにより基準線をずらして
示している。上記co−Cr膜は基本的に六方結晶形の
結晶構造を有しており、磁化容易軸と一致するC軸が膜
面に垂直であり、(002>面からの回折ピークは2θ
−44,6°、格子定数2.03人となる。
に0.5μmの厚みのCo−Cr1を高周波スパッタリ
ングにより形成したものの、CUKα−X線源によるX
Lm回折の結果を示す図である。なおピーク値を明らか
にするために感度を代えることにより基準線をずらして
示している。上記co−Cr膜は基本的に六方結晶形の
結晶構造を有しており、磁化容易軸と一致するC軸が膜
面に垂直であり、(002>面からの回折ピークは2θ
−44,6°、格子定数2.03人となる。
このように前記CrN膜の格子定数は2.06人であり
、co−Cr膜の格子定数2.03人に対して非常に近
い値となっている。
、co−Cr膜の格子定数2.03人に対して非常に近
い値となっている。
したがって本実施例によれば、CrN膜のないco−C
rllではロッキングカーブ半値幅からめた垂直方向の
配向性を表わす分散角へ〇50は約5°であったが、第
2図のような構造の本実施例では分散角△θ50は3°
以下となり、垂直方向の配向性をさらに向上させること
ができる。また垂直磁化膜が薄くても、その配向性は秀
れている。
rllではロッキングカーブ半値幅からめた垂直方向の
配向性を表わす分散角へ〇50は約5°であったが、第
2図のような構造の本実施例では分散角△θ50は3°
以下となり、垂直方向の配向性をさらに向上させること
ができる。また垂直磁化膜が薄くても、その配向性は秀
れている。
第5図は本発明の第2の実施例としての垂直磁気記録媒
体を示す断面図である。本実施例においては、基板(S
US420J 2基板)11上にCo=Zr−Nbから
なる高透磁率軟磁性膜14を0.5μmの厚みで形成し
たものを基体とし、その上に第1の実施例と同様な方法
でCrN膜12を0.02μmの厚みで形成したものを
基体とし、さらにその上にCo−Cr膜13を0.2μ
mの厚みで形成したものとなっている。
体を示す断面図である。本実施例においては、基板(S
US420J 2基板)11上にCo=Zr−Nbから
なる高透磁率軟磁性膜14を0.5μmの厚みで形成し
たものを基体とし、その上に第1の実施例と同様な方法
でCrN膜12を0.02μmの厚みで形成したものを
基体とし、さらにその上にCo−Cr膜13を0.2μ
mの厚みで形成したものとなっている。
こうづることにより、前記分散角Δθ5oはCrN膜1
2をCo−Zr−Nbからなる高透磁率軟磁性膜14と
Co−Cr膜13との間に形成しない場合は約8°であ
ったのに対し、CrN膜12を高透磁率軟磁性膜14と
Co−Cr膜13との間に形成した場合は6°となり、
配向性は若干ではあるが向上する。なお、一般的に高透
磁率軟磁性l1114の上にGo−Cr膜13を形成し
た場合は上記Go−Crlll 3の配向性が悪く、第
6図に示すように(002)面からの回折ピーク以外に
(101)面からの回折ピークも現われる。しかし本実
施例のようにCrNl1112を高透磁率軟磁性膜14
とGo−Cr躾13との間に形成すると、上記Co−C
r膜13においては前記(109− 1)面からの回折ピークが減少し、(002)面からの
回折ピークの強度が増加するという効果も奏する。
2をCo−Zr−Nbからなる高透磁率軟磁性膜14と
Co−Cr膜13との間に形成しない場合は約8°であ
ったのに対し、CrN膜12を高透磁率軟磁性膜14と
Co−Cr膜13との間に形成した場合は6°となり、
配向性は若干ではあるが向上する。なお、一般的に高透
磁率軟磁性l1114の上にGo−Cr膜13を形成し
た場合は上記Go−Crlll 3の配向性が悪く、第
6図に示すように(002)面からの回折ピーク以外に
(101)面からの回折ピークも現われる。しかし本実
施例のようにCrNl1112を高透磁率軟磁性膜14
とGo−Cr躾13との間に形成すると、上記Co−C
r膜13においては前記(109− 1)面からの回折ピークが減少し、(002)面からの
回折ピークの強度が増加するという効果も奏する。
なお本発明は上記各実施例に限定されるものではない。
たとえば上記実施例におけるCrN膜12は、CrとN
との比が1:1のものに限らず、化学的−論比をずらし
たOrとNとの化合物を用いても、その上に形成する垂
直磁化膜の格子定数に非常に近い格子定数を有するもの
ならば、同様な効果を奏する。また上記実施例ではイオ
ンブレーティング法によりCoN膜12の膜形成を行な
ったが、これ以外の手段を用いてもよい。また上記実施
例では基板11としてSUS基板を用いたが、たとえば
ポリアミド樹脂等からなる基体を用いてもよい。このほ
か本発明の要旨を越えない範囲で種々変形実施可能であ
る。
との比が1:1のものに限らず、化学的−論比をずらし
たOrとNとの化合物を用いても、その上に形成する垂
直磁化膜の格子定数に非常に近い格子定数を有するもの
ならば、同様な効果を奏する。また上記実施例ではイオ
ンブレーティング法によりCoN膜12の膜形成を行な
ったが、これ以外の手段を用いてもよい。また上記実施
例では基板11としてSUS基板を用いたが、たとえば
ポリアミド樹脂等からなる基体を用いてもよい。このほ
か本発明の要旨を越えない範囲で種々変形実施可能であ
る。
本発明によれば、基体と垂直磁化膜との間にCrとNの
化合物からなる層を形成するようにしたので、垂直磁化
膜における基体に垂直な方向の配10− 向性をより向上させ得ると共に、上記垂直磁化膜成長初
期の段階から垂直方向の配向性がよい垂直磁気記録媒体
を提供できる。
化合物からなる層を形成するようにしたので、垂直磁化
膜における基体に垂直な方向の配10− 向性をより向上させ得ると共に、上記垂直磁化膜成長初
期の段階から垂直方向の配向性がよい垂直磁気記録媒体
を提供できる。
第1図は従来の垂直磁気記録媒体を示す断面図、第2図
は本発明の第1の実施例としての垂直磁気記録媒体を示
す断面図、第3図および第4図は同実施例の作用を説明
するための図、第5図は本発明の第2の実施例としての
垂直磁気記録媒体を示す断面図、第6図は同実施例の作
用を説明するための図である。 11=−11板、12−Cr N膜、13−Co −C
r膜、14・・・高透磁率軟磁性膜。 出願人代理人 弁理士 坪井 淳 一11= 第1図 第2図 第5図 手続補正書 昭、16ρ−8、yr2D 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 1、事件の表示 特願昭59−91230号 2、発明の名称 垂直磁気記録媒体 3、補正をする渚 事件との関係 時抑阪斥曳ん 名称(037)オリンパス光学下)株式会?14、代理
人 5、自発補正 7、補正の内容 明細書第10頁第11行のrCoN膜」をrCrN膜」
と訂正する。
は本発明の第1の実施例としての垂直磁気記録媒体を示
す断面図、第3図および第4図は同実施例の作用を説明
するための図、第5図は本発明の第2の実施例としての
垂直磁気記録媒体を示す断面図、第6図は同実施例の作
用を説明するための図である。 11=−11板、12−Cr N膜、13−Co −C
r膜、14・・・高透磁率軟磁性膜。 出願人代理人 弁理士 坪井 淳 一11= 第1図 第2図 第5図 手続補正書 昭、16ρ−8、yr2D 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 1、事件の表示 特願昭59−91230号 2、発明の名称 垂直磁気記録媒体 3、補正をする渚 事件との関係 時抑阪斥曳ん 名称(037)オリンパス光学下)株式会?14、代理
人 5、自発補正 7、補正の内容 明細書第10頁第11行のrCoN膜」をrCrN膜」
と訂正する。
Claims (2)
- (1)基体上に、この基体表面に対して垂直な方向に磁
化容易軸を有する垂直磁化膜を設けた垂直磁気記録媒体
において、前記基体と前記垂直磁化膜との間にCrとN
の化合物からなる膜を形成したことを特徴とする垂直磁
気記録媒体。 - (2)上記基体は、ステンレス鋼等からなる基板の表面
に高透磁率軟磁性膜を設けたものであることを特徴とす
る特許請求の範囲第(1)項記載の垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9123084A JPS60236115A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9123084A JPS60236115A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60236115A true JPS60236115A (ja) | 1985-11-22 |
JPH0544728B2 JPH0544728B2 (ja) | 1993-07-07 |
Family
ID=14020619
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9123084A Granted JPS60236115A (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60236115A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996027187A1 (fr) * | 1995-02-27 | 1996-09-06 | Hitachi, Ltd. | Support d'enregistrement magnetique et dispositif de stockage magnetique |
US7736767B2 (en) | 2007-03-02 | 2010-06-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Perpendicular magnetic recording medium having an interlayer formed from a NiWCr alloy |
-
1984
- 1984-05-08 JP JP9123084A patent/JPS60236115A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996027187A1 (fr) * | 1995-02-27 | 1996-09-06 | Hitachi, Ltd. | Support d'enregistrement magnetique et dispositif de stockage magnetique |
US7736767B2 (en) | 2007-03-02 | 2010-06-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Perpendicular magnetic recording medium having an interlayer formed from a NiWCr alloy |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0544728B2 (ja) | 1993-07-07 |
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