JPH02236815A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は磁気記録媒体に関する。史に詳細には、本発明
は高保持力を有する磁気記録媒体およびその製造方法に
関する。

［従来の技術］ 従来から一般に前及している磁気記録媒体は、針杖の磁
性粉と高分子結合剤とを上体とする磁性塗料を非磁性基
体［・，に塗布して磁性層を形成した塗布型の磁気記録
媒体である。

現在、磁気記録１１Ｉ生装置はますます高密度化の傾向
にあり、短波長記録特性に優れた磁気記録媒体が要望さ
れている。

しかし、塗布型磁気記録媒体における短波長記録特性の
改善には限界がある。これに対して、Ｃｏを］ミ成分と
する強磁性体を真空蒸着，スパッタリング，またはイオ
ンプレーティング等のいわゆる物理蒸着法によって非磁
性基体一ｌ−に形成する金属薄膜型の磁気記録媒体は、
その磁性層中に非磁性の結合剤が混入されていないので
著しく高い残留磁束密度を得ることができ、かつ、磁性
層を極めて薄く形成することができるために、高出力で
短波長応答性に優れているという利点を有する。

［発明が解決しようとする課題コ 従来の金属薄膜型磁気記録媒体では、保持力を高めるた
め、例えば、長Ｌ記録ではＣｏの酸素雰囲気中斜め蒸着
法、あるいは、垂直記録ではＣｏＣｒ合金蒸着が提案さ
れている。

しかし、前者では、非磁性の酸化物Ｃｏｏが成長し、後
者では、Ｃｒを多量に添加しなければならないため、い
ずれも飽和磁化が著しく低下してしまうという問題があ
った。

本発明は、−１ユ記従来技術が持っていた飽和磁化の低
下という欠点を解決し、飽和磁化をさほど低下させずに
高保持力化を達成できる磁気記録媒体および、その製造
方法を提供することを［１的とする。

［課題を解決するための千段コ 前記目的を達成するために、本発明では、Ｃｏを主成分
とする柱状粒子構造を有する磁性薄膜を記録層とする磁
気記録媒体において、該柱状粒子の間に、Ｃｏと同時蒸
着しても固溶せず、Ｃｏよりも融点が低い非磁性金属を
存在させたことを特徴とする磁気記録媒体を提供する。

Ｃｏと同時蒸着しても固溶せず、Ｃｏよりも融点が低い
非磁性金属は例えば、ＣｕまたはＰｂである。Ｃｕが好
ましい。

本発明の磁気記録媒体は基本的に、Ｃｏを主成分とする
金属または合金を非磁性基体上に垂直蒸着または斜め蒸
着することにより作製することができる。

Ｃｏを主成分とする金属または合金を非磁性基体上に入
射角α度で斜め蒸着する場合、ＣｕまたはＰｂのような
金属を入射角一α度から−９０度の範囲内の角度で同時
蒸着する。

また、Ｃｏを−１：．成分とする金属または合金を非磁
性基体上に垂直人射蒸着する場合、非磁性基体を回転さ
せながら、ＣｕまたはＰｂのような金属を入射角７０度
〜９０度の範囲内の角度で同時蒸着する。

［作川コ 前記のように、Ｃｏ柱状粒子間にＣｕまたはＰｂを存在
させることで、磁化反転時に磁壁がこのＣｕまたはＰｂ
により止められる、いわゆるピニング効果より、磁壁移
動に起因する磁化反転が起こりにくくなる。その結果、
保持力が向」〕する。

なおこのように、柱状粒子間に存在させる元素としては
、非磁性であればＣｕまたはＰｂ以外の元素（例えば、
ＡＪ１など）でも高保持力化が期待できるが、本発明者
が調べた結果その元素が蒸着中にＣｏの結晶成長を妨げ
たり、あるいは、Ｃｏ結晶中に固溶して結晶磁気異方性
を弱めたりして、１・分な高保持力化が達成できない。

また、蒸着する場合、Ｃｏ柱状粒子の成長方向に対して
垂直に近い方向からＣｕまたはＰｂを蒸着することによ
り、Ｃｏの結晶成長を妨げることな＜、ＣＵまたはＰｂ
をＣｏ粒子．表面に成長させることができる。Ｃｕまた
はＰｂを所定の角度範囲外から蒸着すると、ＣｏとＣｕ
またはＰｂが同方向に近い方向から蒸着されるため、両
原子が混合してしまい、粒子間のＣｕまたはＰｂによる
ビニング効果が十分に発揮されず、高保持力化が達成で
きない。

第１図に斜め蒸着法により作製した本発明の磁気記録媒
体１の模式的断面構造を示す。非磁性基体２の１−面に
斜め蒸着されたＣｏ柱状粒子３の境界にＣｕ層４が形成
されている。

第２図に垂直蒸着法により作製した本発明の磁気記録媒
体ｌの模式的断而構造を冫１＜す。非磁性基体２のト而
にＣｏ柱状粒子３およびＣｕ層４がＩＴＥ．直に＼γ設
されている。垂直蒸着法の場合、非磁性基体を回転させ
ながら蒸着処理が行われるので、第３図に示されるよう
に、Ｃｏ柱状粒子３の周囲はＣｕ層４により包囲された
形になる。

本発明の磁気記録媒体に使用される非磁性基板としては
、ポリイミド，ポリエチレンテレフタレート等の高分子
フィルム，ガラス類，セラミック，アルミ，陽極酸化ア
ルミ，黄銅などの金属板，Ｓｉ　ｅｌｉ結晶板，表面を
熱酸化処理したＳｉ単結晶板などがある。この非磁性ノ
、（体は必堡に応じて、（１ｌ而研磨やテクスチャリン
グ加工を行うためのニンケル●リン系合金層やアルマイ
ト処理層等の下地研磨層を設けることもできる。

また、磁気記録媒体としては、ポリエステルフィルム、
ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フィルムを基体とす
る磁気テープや磁気ディスク、合成樹脂フィルム、アル
ミニウム板およびガラス板等からなる円盤やドラムをノ
λ体とする峨気ディスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッド
と摺接する構造の種々の形態を包含する。

［実施例コ 以下、図面を参照しなから本発明を更に詳細に説明する
。

第３図に示されるような斜め蒸着装置を使用し、ポリエ
チレンテレフタレートフィルム１３に、Ｃｏ蒸発源２０
から入射角αでＣｏを蒸着しながら、同時に、Ｃｕ蒸発
源１６から入射角βでＣｕを蒸着した。なお、Ｃｕの蒸
着法は、Ｃｕ蒸発源１６からのＣｕ蒸気を、１５００゜
Ｃに加熱したタングステン板１７で反射する方法を用い
た。

この装置を用いて、αを５０゜，ＣｏとＣｕの析出速度
を各々１００人／ｓｅｅ１　１０人／　ｓ　ｅＣ一定と
し、Ｃｕの入射各βを変化させて、様々な蒸着膜を作り
、飽和磁化と長子方向の保磁力を試料振動型磁力旧（Ｖ
ＳＭ）により調べた。結果を下記の表１に示す。

の表２に示す。

前記の結果から明らかなように、Ｃｕ入射角βを、Ｃｏ
の入射角＋５０゜に対して、−５０゜以ドとすることに
より、保磁力が著しく高められる。

実施例ｌで使用された蒸着装置と同じ装置を使用し、Ｃ
ｏ入射角αを５０″、Ｃｏ析出速度を１００人／ｓｅｅ
１Ｃｕ入射角βを−７０゜一定として、Ｃｕの析出速度
を変化させることにより磁気記録媒体を作製した。得ら
れた各磁気記録媒体の蒸着膜の飽和磁化と長丁方向の保
磁力を試料振動型磁力ｊ＋（ＶＳＭ）により調べた。結
果を下記前記の結果から明らかなように、Ｃｕを同時蒸
着することにより、磁気記録媒体の飽和磁化をさほど低
下させることなく、保磁力を向上させることができる。

ただし、ＣＬＩの析出量が多すぎると、すなわち、析出
速度が高すぎると、保磁力の増大に反比例して、飽和磁
化量が低下してくるので好ましくない。

第５図に示されるような、基板回転機構を有する蒸着装
置を使用し磁気記録媒体を作製した。真空槽２１内にお
いて、円形基板２２を８００ｔｌｍで回転させながら、
Ｃｏ＆允源２５からＣｏを基板２２に垂直蒸着させ、同
時に、Ｃｕ７４発源２４から入射角βでＣｕを蒸着させ
た。なお、Ｃｕの蒸着法は、Ｃｕ蒸允源２４からのＣｕ
蒸気を１５００℃に加熱したタングステン板２３で反射
する方法を用いた。ＣｏとＣｕの析出速度を各々１００
人／ｓｅｅ１　１０人／　ｓ　ｅ　ｃ一定とし、Ｃｕの
入射各βを変化させて、様々な蒸着膜を作り、飽和磁化
と長丁方向の保磁力を試料振動型磁力計（ＶＳＭ）によ
り調べた。結果を下記の表３に示す。ただし、保磁力は
膜而垂直方向の値である。

Ｋ１ 実施例８で使用された蒸着装置と同じ装置を使用し、Ｃ
ｕ入射角βを８５°、Ｃｏ析出速度を１００人／ｓｅｃ
一定として、Ｃｕの析出速度を変化させることにより磁
気記録媒体を作製した。得られた各磁気記録媒体の蒸着
膜の飽和磁化と長丁力向の保磁力を試料振動型磁力計（
ＶＳＭ）により調べた。結果を゛ド記の表４に示す。保
磁力は膜而屯直方向の値である。

前記の結果から明らかなように、Ｃｏを東直蒸着する際
、基板を回転させなからＣｕを入射角７０″以上で蒸着
させると磁気記録媒体の蒸着膜の保磁力を飛躍的に向上
させることができる。

前記の結果から明らかなように、Ｃｏの市直蒸着におい
て、基板を回転させなからＣｕを同時蒸着することによ
り、磁気記録媒体の飽和磁化をさほど低下させることな
く、保磁力を向上させることができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、Ｃｏ柱状粒子を
斜め蒸着あるいは垂直蒸着する際、ｃｕまたはＰｂを所
定の角度範囲内で同時に蒸着させることにより、Ｃｏ磁
性膜の飽和磁化をさほど低ドさせるこな《、保磁力を向
ｌ―させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の斜め蒸着法により作製された磁気記録
媒体の構造を示す模式的断面図であり、第２図は本発明
の重直蒸着法により作製された磁気記録媒体の構造を示
す模式的断面図であり、第３図は第２図の■一■線に沿
った模式的断面図であり、第４図は本発明の磁気記録媒
体の作製に使用される斜め蒸着装置の一例を示す模式図
であり、第５図は本発明の磁気記録媒体の作製に使用さ
れる屯直蒸着装置の一例を示す模式図である。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）Ｃｏを主成分とする柱状粒子構造を有する磁性薄
   膜を記録層とする磁気記録媒体において、該柱状粒子の
   間に、Ｃｏと同時蒸着しても固溶せず、Ｃｏよりも融点
   が低い非磁性金属を存在させたことを特徴とする磁気記
   録媒体。
2. （２）非磁性金属がＣｕまたはＰｂである請求項１記載
   の磁気記録媒体。
3. （３）非磁性金属がＣｕである請求項１または２記載の
   磁気記録媒体。
4. （４）Ｃｏを主成分とする金属または合金を非磁性基体
   上に入射角α度で斜め蒸着することからなる磁気記録媒
   体の製造方法において、Ｃｏと同時蒸着しても固溶せず
   、Ｃｏよりも融点が低い非磁性金属を入射角−α度から
   −９０度の範囲内の角度で同時蒸着することを特徴とす
   る磁気記録媒体の製造方法。
5. （５）非磁性金属がＣｕまたはＰｂである請求項４記載
   の磁気記録媒体の製造方法。
6. （６）非磁性金属がＣｕである請求項４または５記載の
   磁気記録媒体の製造方法。
7. （７）Ｃｏを主成分とする金属または合金を非磁性基体
   上に垂直蒸着することからなる磁気記録媒体の製造方法
   において、非磁性基体を回転させながら、Ｃｏと同時蒸
   着しても固溶せず、Ｃｏよりも融点が低い非磁性金属を
   入射角７０度〜９０度の範囲内の角度で同時蒸着するこ
   とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
8. （８）非磁性金属がＣｕまたはＰｂである請求項７記載
   の磁気記録媒体の製造方法。
9. （９）非磁性金属がＣｕである請求項７または８記載の
   磁気記録媒体の製造方法。