JPS60211900A - Ｉｃハンドラの同期搬送機構 - Google Patents
Ｉｃハンドラの同期搬送機構Info
- Publication number
- JPS60211900A JPS60211900A JP59067417A JP6741784A JPS60211900A JP S60211900 A JPS60211900 A JP S60211900A JP 59067417 A JP59067417 A JP 59067417A JP 6741784 A JP6741784 A JP 6741784A JP S60211900 A JPS60211900 A JP S60211900A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum suction
- suction device
- inspection
- conveyance
- handler
- Prior art date
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はＩＣハンドラの搬送機構に係り、特にＩＣ検査
ソケットの搬入、山部に好適なように改良した同期式の
搬送機構に関するものである。
ソケットの搬入、山部に好適なように改良した同期式の
搬送機構に関するものである。
ＩＣハンドラはＩＣ自動検査装置に組み込んで用いられ
、多数のＩＣを順次に搬送して検査ソケットに送りこみ
、検査済のＩＣを検査結果に従って分類して搬出する機
器である。
、多数のＩＣを順次に搬送して検査ソケットに送りこみ
、検査済のＩＣを検査結果に従って分類して搬出する機
器である。
前記の検査ソケットに送り込むＩＣを所定の検査条件の
温度にするため、検査ソケットの上流側にグリヒータ若
しくは恒温槽が設けられる。検査ソケットは、検査能率
を上げる為に複数個設随感れる場合もある。また、前記
のシリヒータは、検査ソケットにおける処理能率とバラ
ンスさせる為、一般に複数列のレーンが設けられる。
温度にするため、検査ソケットの上流側にグリヒータ若
しくは恒温槽が設けられる。検査ソケットは、検査能率
を上げる為に複数個設随感れる場合もある。また、前記
のシリヒータは、検査ソケットにおける処理能率とバラ
ンスさせる為、一般に複数列のレーンが設けられる。
第１図は従来のＩＣ−・ンドラの１例におけるＩＣ検査
ソケットｌと、４列のシリヒータ用搬送レーン２ａ〜２
ｄと、不良品排出用アンローブ３と、３列の分類搬送用
レーン４ａ〜４Ｃとの付近を説明する為の概要的な斜視
図である。
ソケットｌと、４列のシリヒータ用搬送レーン２ａ〜２
ｄと、不良品排出用アンローブ３と、３列の分類搬送用
レーン４ａ〜４Ｃとの付近を説明する為の概要的な斜視
図である。
矢印ａ方向に搬送されたＩＣを受け取って、これを矢印
すの如（ＩＣ検査ソケットに供給する為の真空吸着器５
ａと、仁の真空吸着機５ａを矢印ｂ方向に往復駆動する
為のタイミングベル）６ａとが設けられる。更に、検食
済のＩＣを矢印Ｃの如く分類搬送レーン４ａ〜４ｃに搬
送する為の真空吸着器５ｂおよびタイミングベル）６ｂ
が設けられる。矢印ｄは分類搬送レーン４ａ〜４ｃの搬
送方向を示している。
すの如（ＩＣ検査ソケットに供給する為の真空吸着器５
ａと、仁の真空吸着機５ａを矢印ｂ方向に往復駆動する
為のタイミングベル）６ａとが設けられる。更に、検食
済のＩＣを矢印Ｃの如く分類搬送レーン４ａ〜４ｃに搬
送する為の真空吸着器５ｂおよびタイミングベル）６ｂ
が設けられる。矢印ｄは分類搬送レーン４ａ〜４ｃの搬
送方向を示している。
前記の真空吸着器５ａ、５ｂはそれぞれ昇降ロッド５ａ
１ 、５ｂ−１および真空吸着／母ツド５ａ−２，５
ｂ−２を備えていて、該真空吸着器の真下にあるＩＣ（
図示せず）を吸着、持上げ、持ち下げ、解放することが
できる。
１ 、５ｂ−１および真空吸着／母ツド５ａ−２，５
ｂ−２を備えていて、該真空吸着器の真下にあるＩＣ（
図示せず）を吸着、持上げ、持ち下げ、解放することが
できる。
上記のように構成されたＩＣハンドラ用の搬送機構にお
いては一真空吸着器５ａで吸着保持したＩＣをＩＣ検査
ステーションｌに供給する際、ミクロンオーダーの精密
な位置合わせが困難であるという技術的不具合が有る。
いては一真空吸着器５ａで吸着保持したＩＣをＩＣ検査
ステーションｌに供給する際、ミクロンオーダーの精密
な位置合わせが困難であるという技術的不具合が有る。
上記の不具合の原因は欠配の如くである。即ち、吸着保
持したＩＣを高い精度でＩＣ検査ソケット１に供給する
為には（／Ｉ）真空吸着器５ａによって吸着される時点
におけるＩＣ（例えばプリヒータ用搬送レーン２ｂの終
点位置のＩＣ９）の位置がミクロンオーダーで規制され
ていなければならないが、この位置で精密な位置規制を
することは極めて困難である。（ロ）タイミングベルト
６ａによって真空吸着器５ａを矢印す方向に駆動する構
造であるから、該真空吸着器５ａの駆動ストロークをミ
クロンオーダーで制鉤することは困難である。
持したＩＣを高い精度でＩＣ検査ソケット１に供給する
為には（／Ｉ）真空吸着器５ａによって吸着される時点
におけるＩＣ（例えばプリヒータ用搬送レーン２ｂの終
点位置のＩＣ９）の位置がミクロンオーダーで規制され
ていなければならないが、この位置で精密な位置規制を
することは極めて困難である。（ロ）タイミングベルト
６ａによって真空吸着器５ａを矢印す方向に駆動する構
造であるから、該真空吸着器５ａの駆動ストロークをミ
クロンオーダーで制鉤することは困難である。
本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、グリヒー
タ用搬送レーン終点における破搬送ＩＣの位置を超高精
度で規制する必要なく、かつ真空吸着器とタイミングベ
ルトによる順送ストロークを超高精度で規制する必要な
く、しかも被搬送ＩＣを超高精度でＩＣ検査ソケットに
供給でき、その上、複数列のグリヒータ用搬送レーンか
ら複数基のＩＣ検査ソケットに灼してＩＣを受渡しでき
る搬送機構を提供しようとするものである。ただし前記
の超高精度とは、誤差５００ミクロン以下の意である。
タ用搬送レーン終点における破搬送ＩＣの位置を超高精
度で規制する必要なく、かつ真空吸着器とタイミングベ
ルトによる順送ストロークを超高精度で規制する必要な
く、しかも被搬送ＩＣを超高精度でＩＣ検査ソケットに
供給でき、その上、複数列のグリヒータ用搬送レーンか
ら複数基のＩＣ検査ソケットに灼してＩＣを受渡しでき
る搬送機構を提供しようとするものである。ただし前記
の超高精度とは、誤差５００ミクロン以下の意である。
上記の目的を達成するため、本発明の搬送機構は、グリ
ヒータ及び恒温槽の何れが一方を備えたＩＣハンドラに
おいて、シリヒータ若しくは恒温槽の終点とＩＣ検査ソ
ケットとの間にＩＣ位置ぎめステーションを設け、前記
終点と位置ぎめステーションとの間にタイミングベルト
及び真空吸着装置を用いた搬送手段を設け、前記位置き
めステーションと検査ソケットとの間にカムを用いた搬
送手段を設け、検査ソケットと検査済ＩＣ搬送レーンと
の間にタイミングベルト及び真空吸着装置を用いた搬送
手段を設け、前記３種類の搬送手段の作動サイクルタイ
ムを相互に整数比ならしめることを特徴とする。
ヒータ及び恒温槽の何れが一方を備えたＩＣハンドラに
おいて、シリヒータ若しくは恒温槽の終点とＩＣ検査ソ
ケットとの間にＩＣ位置ぎめステーションを設け、前記
終点と位置ぎめステーションとの間にタイミングベルト
及び真空吸着装置を用いた搬送手段を設け、前記位置き
めステーションと検査ソケットとの間にカムを用いた搬
送手段を設け、検査ソケットと検査済ＩＣ搬送レーンと
の間にタイミングベルト及び真空吸着装置を用いた搬送
手段を設け、前記３種類の搬送手段の作動サイクルタイ
ムを相互に整数比ならしめることを特徴とする。
次に、本発明の１実施例を第２図について説明する。こ
の実施例は第１図に示した従来の搬送機構に本発明を適
用して改良した１例であって、第１図と同一の図面参照
番号を付したＩＣ検査ソケット１１プリヒータ用搬送レ
ーン２ａ〜２ｄ、不良品アンローダ３、分類搬送レーン
４ａ〜４ｃｓ真空吸着器５ｂ、及びタイミングベル）６
ｂは従来装置におけると同様乃至類似の構成部材である
。第１図と同一の図面参照番号にブラシを付して示した
真空吸着器５ａ′およびタイミングベル）６ａ’は前記
従来例における真空吸着器５ａおよびタイミングベル）
６ａと類似の構成部材でその搬送方向矢印ｂ′は従来装
置における矢印すと同方向であるが、その搬送ストロー
クは後述の如くである。
の実施例は第１図に示した従来の搬送機構に本発明を適
用して改良した１例であって、第１図と同一の図面参照
番号を付したＩＣ検査ソケット１１プリヒータ用搬送レ
ーン２ａ〜２ｄ、不良品アンローダ３、分類搬送レーン
４ａ〜４ｃｓ真空吸着器５ｂ、及びタイミングベル）６
ｂは従来装置におけると同様乃至類似の構成部材である
。第１図と同一の図面参照番号にブラシを付して示した
真空吸着器５ａ′およびタイミングベル）６ａ’は前記
従来例における真空吸着器５ａおよびタイミングベル）
６ａと類似の構成部材でその搬送方向矢印ｂ′は従来装
置における矢印すと同方向であるが、その搬送ストロー
クは後述の如くである。
グリヒータ用搬送レーン２ａ〜２ｄの終点とＩＣ検査ソ
ケット１との間に、即ち前記矢印ｂ′の線上に、位置決
めステーション７を設ける。
ケット１との間に、即ち前記矢印ｂ′の線上に、位置決
めステーション７を設ける。
上記の位置決めステーション７は、朋オーダーの位置誤
差で供給されたＩＣ９’を受け取り、その位置をミクロ
ンオーダーで所定の位置に合わせる機能を有する機器で
、本実施例の位置きめステーション７はｌ朋以内の誤差
で受渡されたＩ Ｃ９’の位置を、誤差（資）ミクロン
以内で所定の位置に合わせるように構成しである。前記
の真空吸着器５ａ′は、シリヒート用搬送レーン終点位
置のＩＣ（図示せず）を吸着して、位置誤差ｌ朋以内で
位置決めステーション７に供給する。
差で供給されたＩＣ９’を受け取り、その位置をミクロ
ンオーダーで所定の位置に合わせる機能を有する機器で
、本実施例の位置きめステーション７はｌ朋以内の誤差
で受渡されたＩ Ｃ９’の位置を、誤差（資）ミクロン
以内で所定の位置に合わせるように構成しである。前記
の真空吸着器５ａ′は、シリヒート用搬送レーン終点位
置のＩＣ（図示せず）を吸着して、位置誤差ｌ朋以内で
位置決めステーション７に供給する。
前記の位置決めステーション７上でｗミクロン以内の超
高精度に位置決めされたＩＣ９’を吸着保持してＩＣ検
査ソソケットに供給するカム式搬送手段８を設ける。
高精度に位置決めされたＩＣ９’を吸着保持してＩＣ検
査ソソケットに供給するカム式搬送手段８を設ける。
上記のカム式搬送手段８のペース部材８ａは案内軸８ｂ
に案内されて往復矢印ｅ ｅ’の如く矢印ｂ１．及び同
Ｃと平行に案内され、カム手段（図示せず）によって往
復駆動される。
に案内されて往復矢印ｅ ｅ’の如く矢印ｂ１．及び同
Ｃと平行に案内され、カム手段（図示せず）によって往
復駆動される。
カム式駆動手段の一般的特性として、作動ストａ−りを
任意に増減できず、がっ長ストロークの駆動に適しない
が、そのストローク寸法は高精度で一定値を保つ。
任意に増減できず、がっ長ストロークの駆動に適しない
が、そのストローク寸法は高精度で一定値を保つ。
前記のカム式搬送手段８は昇降ロッド８ｃ及び真空吸着
・ぐラド８ｄを備えていて、ＩＣ９’を吸着保持したり
放したりすることができる。
・ぐラド８ｄを備えていて、ＩＣ９’を吸着保持したり
放したりすることができる。
以上のように構成した搬送機構において、シリヒータ用
搬送レーン２８〜２ｄの終点に達したＩＣはタイミング
ペル）６ａ’で駆動される真空吸着器５ａ’によって位
置決めステーション７に搬送きれる。この搬送は複数列
のグリヒート用搬送レーン２８〜２ｄのそれぞれからＩ
Ｃをビックアッグしなければならない為、その搬送スト
ロークをその都度増減しなければならない。こうした搬
送はカム手段で駆動するに適しないが、タイミングベル
ト６ａ’ｉＣよって駆動する構造であるから円滑、静粛
に、位置誤差１ ｍｍ以内で行なうことができるが、超
高精度の位置精度は期待できない。
搬送レーン２８〜２ｄの終点に達したＩＣはタイミング
ペル）６ａ’で駆動される真空吸着器５ａ’によって位
置決めステーション７に搬送きれる。この搬送は複数列
のグリヒート用搬送レーン２８〜２ｄのそれぞれからＩ
Ｃをビックアッグしなければならない為、その搬送スト
ロークをその都度増減しなければならない。こうした搬
送はカム手段で駆動するに適しないが、タイミングベル
ト６ａ’ｉＣよって駆動する構造であるから円滑、静粛
に、位置誤差１ ｍｍ以内で行なうことができるが、超
高精度の位置精度は期待できない。
位置決めステーション７に供給されたＩ Ｃ９’は位置
誤差間ミクロン以内に位置を修正され、カム式搬送手段
８の吸着パッド８ｄに吸着されてＩＣ検査ソケット１の
上に位置誤差刃ミクロン以内で供給される。
誤差間ミクロン以内に位置を修正され、カム式搬送手段
８の吸着パッド８ｄに吸着されてＩＣ検査ソケット１の
上に位置誤差刃ミクロン以内で供給される。
ＩＣ検査ソケット１において検査を終えたＩＣは従来装
置（第１図）におけると同様にして真空吸着器５ｂで吸
着されて矢印Ｃ方向に搬送され、検査不合格品は不良品
アンローダ３に投入され、検査合格品はグレート９別に
撮り分けてそれぞれ分類搬送レーン４８〜４ｃの内の何
れかにローディングされる。
置（第１図）におけると同様にして真空吸着器５ｂで吸
着されて矢印Ｃ方向に搬送され、検査不合格品は不良品
アンローダ３に投入され、検査合格品はグレート９別に
撮り分けてそれぞれ分類搬送レーン４８〜４ｃの内の何
れかにローディングされる。
上述の構造機能に示されたように、本実施例の機構にお
いてはシリヒータ用ｆｌＧ 送Ｖ −７２ａ〜２ｄから
Ｉｃ＠食ソケット１までの搬送作業を１位置決めステー
ション７までとそれ以降とに分割し、比較的長距離でか
つストロークを増減しなければならない前半部はタイミ
ングベルト６ ａ／と真空吸着器５ａ’とによって、や
やラフな位置精度で搬送する。そして、比較的短距離で
、かつストロークの増減を要しない後半はカム式搬送手
段８によって超高精度（５０ミクロン以内）で行すう。
いてはシリヒータ用ｆｌＧ 送Ｖ −７２ａ〜２ｄから
Ｉｃ＠食ソケット１までの搬送作業を１位置決めステー
ション７までとそれ以降とに分割し、比較的長距離でか
つストロークを増減しなければならない前半部はタイミ
ングベルト６ ａ／と真空吸着器５ａ’とによって、や
やラフな位置精度で搬送する。そして、比較的短距離で
、かつストロークの増減を要しない後半はカム式搬送手
段８によって超高精度（５０ミクロン以内）で行すう。
本発明を実施する場合、位置決めステーション７おｊび
Ｉｃ検ＩＥソケッ）ｌ、ｎびにグリヒータ用搬送レーン
２ａ〜２ｄその他の関連機器それぞれの処理能率に応じ
て、各機器の総合能率をバランスさせるよう、これら各
機器の設置個数を任意に設定することができる。この場
合、（イ）ノリヒート用搬送レーンの終点と位置決めス
テーションとの間の搬送を行うタイミングベルト駆動の
真空吸着器（前例における５ａ′）を用いた搬送“手段
と、（ロ）カム式搬送手段（前例における８）と、ＨＩ
Ｃ検査ソケット以降のタイミングベルト駆動の真空吸着
器（前例における５ｂ）Ｑ用いた搬送手段と、前記（イ
）、（ロ）、（ノブ各搬送手段の作動サイクルタイムを
相互に整数比ならしめることにより円滑に搬送作動せし
め得る。前記実施例（第２図）の如く位置決めステーシ
ョン７及びＩＣ検査ソケット１の設置個数が各１である
場合は前記（イフ、（ロフ、ヒジ各搬送手段のサイクル
タイムはｌ：ｌ：１で同期させれば良い。複数個ずつの
機器を設ける場合は欠配の如く設定する。
Ｉｃ検ＩＥソケッ）ｌ、ｎびにグリヒータ用搬送レーン
２ａ〜２ｄその他の関連機器それぞれの処理能率に応じ
て、各機器の総合能率をバランスさせるよう、これら各
機器の設置個数を任意に設定することができる。この場
合、（イ）ノリヒート用搬送レーンの終点と位置決めス
テーションとの間の搬送を行うタイミングベルト駆動の
真空吸着器（前例における５ａ′）を用いた搬送“手段
と、（ロ）カム式搬送手段（前例における８）と、ＨＩ
Ｃ検査ソケット以降のタイミングベルト駆動の真空吸着
器（前例における５ｂ）Ｑ用いた搬送手段と、前記（イ
）、（ロ）、（ノブ各搬送手段の作動サイクルタイムを
相互に整数比ならしめることにより円滑に搬送作動せし
め得る。前記実施例（第２図）の如く位置決めステーシ
ョン７及びＩＣ検査ソケット１の設置個数が各１である
場合は前記（イフ、（ロフ、ヒジ各搬送手段のサイクル
タイムはｌ：ｌ：１で同期させれば良い。複数個ずつの
機器を設ける場合は欠配の如く設定する。
位置決めステーション７の設置個数をｍ個とし、ＩＣ検
査ソケット１の設置個数をｎ個とする′。（上記のｍ及
びｎはそれぞれ正の整数である。）前記（イフの搬送手
段のサイクルタイムを１４秒とし、前記（ロ）の搬送手
段のサイクルタイムをＴゆ秒とし、前記Ｐ→の搬送手段
のサイクルタイムをＴ７、秒とすると、Ｔイ： Ｔｏ：
Ｔ７、” ｎ ： ｍ ： ｍ〔発明の効果〕 以上詳述したように本発明の搬送機構によれば、グリヒ
ータ用搬送レーン終点における被搬送ＩＣの位置を超高
精度で規制する必要なく、かつ真空吸着器とタイミング
ベルトによる搬送ストロークを超高精度で規制する必要
なくニジかも被搬送ＩＣを超高精度でＩＣ検査ソケット
に供給でき、その上、複数列のグリヒータ用搬送レーン
から複数基のＩＣ検査ソケットに対してＩＣを受渡しで
きるという優れた実用的効果を葵する。
査ソケット１の設置個数をｎ個とする′。（上記のｍ及
びｎはそれぞれ正の整数である。）前記（イフの搬送手
段のサイクルタイムを１４秒とし、前記（ロ）の搬送手
段のサイクルタイムをＴゆ秒とし、前記Ｐ→の搬送手段
のサイクルタイムをＴ７、秒とすると、Ｔイ： Ｔｏ：
Ｔ７、” ｎ ： ｍ ： ｍ〔発明の効果〕 以上詳述したように本発明の搬送機構によれば、グリヒ
ータ用搬送レーン終点における被搬送ＩＣの位置を超高
精度で規制する必要なく、かつ真空吸着器とタイミング
ベルトによる搬送ストロークを超高精度で規制する必要
なくニジかも被搬送ＩＣを超高精度でＩＣ検査ソケット
に供給でき、その上、複数列のグリヒータ用搬送レーン
から複数基のＩＣ検査ソケットに対してＩＣを受渡しで
きるという優れた実用的効果を葵する。
第１図はＩＣハンドラにおける従来の搬送機構を説明す
るための概要的な斜視図、第２図は本発明の搬送機構の
１実施例の概要的な斜視図である。
るための概要的な斜視図、第２図は本発明の搬送機構の
１実施例の概要的な斜視図である。
Claims (1)
- シリヒータ及び恒温槽の何れか一方を備えたＩＣハンド
ラにおいて、プリヒータ若しくは恒温槽の終点とＩＣ検
査ソケットとの間にＩＣ位置ぎめステーションを設け、
前記終点と位置きめステーションとの間にタイミングベ
ルト及び真空吸着装置を用いた搬送手段を設け、前記位
置きめステーションと検査ノケットとの間にカムを用い
た搬送手段を設け、検査ソケットと検査街ＩＣ搬送ンー
ンとの間にタイミングベルト及び真空吸着装置を用いた
搬送手段を設け、前記３種類の搬送手段の作動サイクル
タイムを相互に整数比ならしめたことを特徴とするＩＣ
ハンドラの同期搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59067417A JPS60211900A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | Ｉｃハンドラの同期搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59067417A JPS60211900A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | Ｉｃハンドラの同期搬送機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60211900A true JPS60211900A (ja) | 1985-10-24 |
| JPH0340942B2 JPH0340942B2 (ja) | 1991-06-20 |
Family
ID=13344310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59067417A Granted JPS60211900A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | Ｉｃハンドラの同期搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60211900A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6193966A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-12 | Sharp Corp | 半導体素子の試験方法 |
| JPS6373934U (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-17 | ||
| JPH03101404U (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-23 | ||
| CN105217358A (zh) * | 2015-10-13 | 2016-01-06 | 盐城市华森机械有限公司 | 一种自动吸盘式收放料装置 |
| CN108045942A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-05-18 | 安徽派日特智能装备有限公司 | 一种单工位上料台 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6080238A (ja) * | 1983-10-07 | 1985-05-08 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | パツケ−ジ型回路素子の検査装置 |
-
1984
- 1984-04-06 JP JP59067417A patent/JPS60211900A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN108045942A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-05-18 | 安徽派日特智能装备有限公司 | 一种单工位上料台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0340942B2 (ja) | 1991-06-20 |
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