JP3591593B1 - 電子部品の工程処理装置及び工程処理方法並びに工程処理用プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体素子Sを保持する吸着ノズル10を複数備え、吸着ノズル10に間欠移動させて搬送する搬送部1と、半導体素子Sに工程処理を施す処理機構21,22を備えた処理部2とを有する。吸着ノズル10は、一時停止時に、処理機構21,22の一方への半導体素子Sの受け渡し若しくは処理機構21,22の他方からの半導体素子Sの受け取りを行う1番ノズルA1,B1…、2番ノズルA2,B2…を含む。処理部2の上流及び下流に、1番ノズルA1,B1…と2番ノズルA2,B2…との間で、半導体素子Sを移載する移載機構31,32を有する。
【選択図】 図1
Description
(1)機構上の制約から、搬送、停止を搬送機構全体で同時に行う必要がある。このため、最大工程処理時間で停止時間を決めざるを得ず、搬送停止時間を律速する。
(2)搬送の高速化で生産性を向上させてきたが、限界に達しつつある。
(3)例えば、複雑なテストサイクルが要求される電気特性検査のように、長い処理が必要な工程が含まれる場合には、最大処理時間が長くなり、1搬送サイクル時間はさらに長くなる。
請求項3記載の発明は、電子部品を保持する保持機構を備え、前記保持機構を進行及び停止させるサイクルを繰り返しながら電子部品を搬送する搬送部と、前記保持機構から受け渡された電子部品に工程処理を施す処理機構を備え、その処理位置が固定された処理部とを有する電子部品の工程処理装置において、前記保持機構及び前記処理機構は、電子部品の搬送方向に複数設けられ、前記保持機構の停止時に前記処理部に対応する位置に来る複数の保持機構のうち、電子部品の搬送方向に設けられた隣接する一対の保持機構は、電子部品の搬送方向に設けられた隣接する一対の処理機構の一方へ電子部品を受け渡す保持機構と、前記一対の処理機構の他方から電子部品を受け取る保持機構とを含み、前記一対の処理機構において工程処理が終了した電子部品を、前記一対の保持機構のうちの上流側の保持機構に常に揃えて保持させるように若しくは前記一対の保持機構のうちの下流側の保持機構に常に揃えて保持させるように、上流側の電子部品と下流側の電子部品の相互位置を変える第2の移載機構が、前記処理部の下流に設けられていることを特徴とする。
本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。すなわち、本実施形態は、搬送部1、処理部2及び移載部3を備えている。搬送部1は、搬送ラインに等間隔で複数配設された吸着ノズル10を有している。吸着ノズル10は、図示しない真空源に接続され、この切替に応じて半導体素子Sを一つずつ吸着及び開放する保持機構である。
以上のような構成を有する本実施形態の動作を、図1の工程図、図2の工程表、図3のフローチャートを参照して説明する。なお、図1における(1)〜(8)は、図2の(1)〜(8)に対応する。
以上のような本実施形態によれば、半導体素子Sを吸着している吸着ノズル10と、吸着していない吸着ノズル10が混在している状態で間欠搬送を行い、搬送部1の停止サイクルにおいて、半導体素子Sを吸着していた吸着ノズル10からいずれか一方の処理機構(21若しくは22)に半導体素子Sを受け渡し、他方の処理機構(21若しくは22)にて処理を終了した半導体素子Sを、半導体素子Sを保持していなかった吸着ノズル10が受け取るようにしたため、複雑な機構を追加することなく、処理機構21,22上に搭載されて工程処理される時間を、間欠搬送の1サイクル時間より長くすることが可能となる。これは、図4の処理部2における処理ダイアグラムに示すように、停止時間+進行時間で定まる間欠搬送1搬送サイクル時間よりも、最大工程処理可能時間が長いことから明らかである。従って、間欠搬送の1サイクル時間を短くすることが可能となり、生産性を向上させることができる。また、長い処理可能時間を要する工程処理への対応が容易となる。
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではなく、各部材の具体的構造、配置、大きさ、形状、数、材質、種類等は適宜変更可能である。すなわち、移載機構、処理機構における保持機構が、何れの順番で電子部品の保持解放を行うかの設定は、上記の実施形態には限定されない。例えば、上記の実施形態においては、半導体素子Sの供給時及び搬出時においては、常に1番ノズルによって吸着していたが、これを2番ノズルによって供給、搬出するように、移載方向、吸着解放タイミングの制御等を逆に変更してもよい。
2…処理部
3…移載部
10…吸着ノズル
21,22…処理機構
31,32…移載機構
Claims (5)
- 電子部品を保持する保持機構を備え、前記保持機構を進行及び停止させるサイクルを繰り返しながら電子部品を搬送する搬送部と、前記保持機構から受け渡された電子部品に、工程処理を施す処理機構を備えた処理部とを有する電子部品の工程処理装置において、
前記保持機構及び前記処理機構は、電子部品の搬送方向に複数設けられ、
前記保持機構の停止時に前記処理部に対応する位置に来る複数の保持機構は、いずれかの処理機構へ電子部品を受け渡す第1の保持機構と、他のいずれかの処理機構から電子部品を受け取る第2の保持機構とを含むことを特徴とする電子部品の工程処理装置。 - 電子部品を保持する保持機構を備え、前記保持機構を進行及び停止させるサイクルを繰り返しながら電子部品を搬送する搬送部と、前記保持機構から受け渡された電子部品に工程処理を施す処理機構を備え、その処理位置が固定された処理部とを有する電子部品の工程処理装置において、
前記保持機構及び前記処理機構は、電子部品の搬送方向に複数設けられ、
前記保持機構の停止時に前記処理部に対応する位置に来る複数の保持機構のうち、電子部品の搬送方向に設けられた隣接する一対の保持機構は、電子部品の搬送方向に設けられた隣接する一対の処理機構の一方へ電子部品を受け渡す保持機構と、前記一対の処理機構の他方から電子部品を受け取る保持機構とを含み、
前記一対の処理機構のうちの上流側と下流側の処理機構へ交互に電子部品が受け渡されるように、前記一対の保持機構のうちの電子部品を保持している一方の保持機構と電子部品を保持していない他方の保持機構との間で、電子部品の相互位置を変える第1の移載機構が、前記処理部の上流に設けられていることを特徴とする電子部品の工程処理装置。 - 電子部品を保持する保持機構を備え、前記保持機構を進行及び停止させるサイクルを繰り返しながら電子部品を搬送する搬送部と、前記保持機構から受け渡された電子部品に工程処理を施す処理機構を備え、その処理位置が固定された処理部とを有する電子部品の工程処理装置において、
前記保持機構及び前記処理機構は、電子部品の搬送方向に複数設けられ、
前記保持機構の停止時に前記処理部に対応する位置に来る複数の保持機構のうち、電子部品の搬送方向に設けられた隣接する一対の保持機構は、電子部品の搬送方向に設けられた隣接する一対の処理機構の一方へ電子部品を受け渡す保持機構と、前記一対の処理機構の他方から電子部品を受け取る保持機構とを含み、
前記一対の処理機構において工程処理が終了した電子部品を、前記一対の保持機構のうちの上流側の保持機構に常に揃えて保持させるように若しくは前記一対の保持機構のうちの下流側の保持機構に常に揃えて保持させるように、上流側の電子部品と下流側の電子部品の相互位置を変える第2の移載機構が、前記処理部の下流に設けられていることを特徴とする電子部品の工程処理装置。 - 電子部品を保持する複数の保持機構が、進行及び停止するサイクルを繰り返しながら電子部品を搬送し、停止した保持機構が、固定された処理機構に電子部品を受け渡し、受け渡された電子部品に処理機構が工程処理を施し、停止した保持機構が工程処理の終了した電子部品を処理機構から受け取る電子部品の工程処理方法において、
電子部品の搬送方向に設けられた隣接する一対の保持機構の一方が電子部品を保持し、他方が電子部品を保持していない状態で搬送を行い、
保持機構の停止時において、電子部品の搬送方向に設けられた一対の処理機構のうちの一方の処理機構に、前記一対の保持機構のうちの電子部品を保持していた保持機構が電子部品を受け渡すとともに、前記一対の処理機構のうちの他方の処理機構から、前記一対の保持機構のうちの電子部品を保持していなかった保持機構が、工程処理を終了した電子部品を受け取ることを特徴とする電子部品の工程処理方法。 - 保持機構に電子部品を保持させる制御と、複数の保持機構を停止及び進行させるサイクルの繰り返しによる搬送を行わせる制御と、停止した保持機構に、固定された処理機構への電子部品の受け渡しを行わせる制御と、処理機構に電子部品の工程処理を行わせる制御と、停止した保持機構に工程処理の終了した電子部品の処理機構からの受け取りを行わせる制御とを、コンピュータに行わせる電子部品の工程処理用プログラムにおいて、
電子部品の搬送方向に設けられた隣接する一対の保持機構の一方が電子部品を保持し、他方が電子部品を保持していない状態で搬送を行わせる制御と、
保持機構の停止時において、前記一対の保持機構のうちの電子部品を保持していた保持機構に、電子部品の搬送方向に設けられた一対の処理機構のうちの一方の処理機構への電子部品の受け渡しを行わせるとともに、前記一対の保持機構のうちの電子部品を保持していなかった保持機構に、前記一対の処理機構のうちの他方の処理機構で工程処理を終了した電子部品の受け取りを行わせる制御とを、コンピュータに行わせることを特徴とする電子部品の工程処理用プログラム。
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