JP5164108B2 - 外置き型テストユニット、その制御方法及び制御プログラム - Google Patents

Description

本発明は、インデックステーブル式ハンドラにおけるテストユニットの改良に係り、特に、テストボード、パフォーマンスボード及びテストヘッドからなるテスト装置を、テストハンドラに配置可能とした外置き型テストユニット、その制御方法及び制御プログラムに関する。

ダイシング、マウンティング、ボンディング、シーリングの各組立工程を経た半導体装置や電子部品等のデバイスは、テストハンドラと呼ばれる複合テスト装置に供給される。そして、テストハンドラに設けられた保持機構によって保持され、テストハンドラ内を搬送されながら、デバイスの電気特性測定（以下、「電気テスト」又は単に「テスト」という。）、分類、マーキング、外観検査、梱包（テープ梱包）等の各工程処理が施される。このようなテストハンドラにおいては、処理効率の向上（テストコストの低減）のため、従来より、工程処理の時間短縮、工程処理間の搬送時間の短縮が図られている。

従来、テストハンドラは、トレイ供給、トレイ収納の水平搬送式、すなわち、ＸＹの２軸方向の搬送が主流であった（特許文献１参照）。しかしながら、このようなＸＹロボットによる搬送では、一工程から他の工程への搬送時間であるインデックスタイムは０．５秒程度に短縮するのが限界であった。テスト時間が１〜３秒程度のデバイスでは、多数個同時測定により実効的なテスト処理時間を短縮することがテストコストの低減に有効だが、このとき前述の搬送時間がボトルネックになっていた。

また、上記のような水平搬送式テストハンドラは、加工点の配置に柔軟性が乏しく、各種処理工程を設けるには、搬送レーンに隣接するターンテーブルを複数設ける必要があり、マーキング、画像検査、テーピングなどの工程を、テスト工程インテグレーションすることが困難であった（特許文献２参照）。

一方、ディスクリート半導体で従来から採用されているインデックステーブル方式のハンドラには、搬送時間が早い（０．１秒以下）、インテグレーションが容易という利点があった（特許文献３参照）。
特開平１１−６７７９４号公報 特開平５−２２９５０９号公報 特開平３−３０３４０号公報

ところで、インデックステーブル方式のハンドラをデバイスに使用する際に課題になるのは、テストボード２１、パフォーマンスボード２２、テストヘッド２３の配置である。すなわち、デバイスでは、その性能を正確にテストするためにテストヘッド２３とテストボード２１の配線長を最短にする必要がある。また、デバイスの機能をテストするために周辺回路が実装されたパフォーマンスボード２２もテストヘッド２３の真上に配置される。これらのボード、テストヘッド２３は大きさが３０ｃｍから５０ｃｍと大きく、インデックステーブルに配置することができない。

また、テストボード２１のソケット２４の配列は一般的に田の字や千鳥などテストボード２１で決まっている。インデックステーブルにより円周上を搬送されるＩＣをソケット２４の配置に再配列した上でテストを実行し、テスト終了後にソケット２４から取り出したＩＣを再びインデックステーブルに配列するための機構が必要である。

本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、インデックステーブル式ハンドラにおいて、半導体装置や電子部品等のデバイス用のテストボード、パフォーマンスボード及びテストヘッドからなるテスト装置が配置可能になる外置き型テストユニットを実現し、この外置きテストユニットとインデックステーブル間でデバイスの受渡しと配列変換を容易に可能にする外置き型テストユニット、その制御方法及び制御プログラムを提供することにある。

請求項１の発明は、半導体装置や電子部品等のデバイスに対して電気特性検査を施すものであって、インデックステーブル式のテストハンドラの円周等配位置に配された工程処理装置として用いられる外置き型テストユニットであって、テストボード、パフォーマンスボード及びテストヘッドによりデバイスの電気特性検査を行うテスト装置と、前記テストハンドラのメインテーブルに、前記メインテーブルの半径と交差するように配置されたレールと、前記レール上を移動するシャトルとにより、複数のデバイスをテストハンドラから受け取り、前記テスト装置に向けて搬送する引離し機構と、前記シャトルからデバイスを受け取り、前記テスト装置へデバイスを受け渡す保持部を有する受渡し機構と、前記メインテーブルの吸着ノズルと前記シャトルにおいてデバイスを受け渡す際にデバイスの姿勢角度を受渡し可能な角度となるように変換する姿勢回転ユニットと、を備えたことを特徴とする。

以上の態様では、テストハンドラのメインテーブルＭから一定の距離を置いて、テストボード、パフォーマンスボード及びテストヘッドからなる外置き型装置としてのテスト装置を設け、その間を、レールと、レール上を移動するシャトルとからなる引離し機構と、シャトルからテスト装置へデバイスを受け渡す保持部を備えた受渡し機構とにより、デバイスの受渡しを可能とした。これにより、テストボード、パフォーマンスボード及びテストヘッドからなるテスト装置を、テストハンドラの外側に配置することができる。

したがって、従来の水平ハンドラと同様のボード類、テスターが使用可能で、長年培われてきたテスト資産をそのまま利用しつつ、インデックステーブル式のテストハンドラの長所である高速処理を合わせ、全体として高速テストシステム及びインテグレーションシステムを実現することができる。また、複数の工程処理装置を円周等位置に配置可能なインデックステーブル式ハンドラの特徴を生かし、一つのテーブルに対して複数の処理装置を配置し、装置構成の簡略化と装置の省スペース化が可能となる。

請求項２の発明は、請求項１記載の発明において、前記シャトルは、デバイスを載置する載置位置を隣接して複数備え、前記テストボードは、複数のデバイスを載置して検査するソケットを、所定間隔空けて複数備え、前記保持部は、前記テストボードのソケットの配置間隔と共通する間隔で、デバイスを保持する保持位置を複数備え、前記シャトルは、移動しながら複数回に分けて、前記保持部の保持位置とデバイスの受渡し及び受取りを行うことを特徴とする。

以上の態様では、シャトル上の載置位置間のピッチは、例えば、１０ｍｍ等、デバイスを隣接載置し、最小にする。これにより、シャトルがテストハンドラからデバイスを受け取る際のシフトする時間を短縮することができるとともに、シャトルがテストハンドラ側に移動した際、例えば、テーブル下に潜り込むことにより、テーブル下に設けられた駆動モータ等の他の機器と干渉するのを防ぐことができる。一方、テストボード上のソケットの間隔は、テスト機器配置の都合上、例えば３０ｍｍ等、デバイスを隣接させて配置することはできないが、シャトルが、移動しながら複数回に分けて、保持部の保持位置にデバイスを受け渡すことにより、シャトルのデバイスのピッチから、保持部における載置位置の保持ピッチへの変換を行うことができる。

請求項３の発明は、請求項２記載の発明において、前記ソケット及び前記保持位置の配置間隔の距離が、前記シャトルの前記載置位置の配置間隔の距離の倍数である場合に、前記シャトルは、その倍数分移動を繰り返して前記保持部の保持位置とデバイスの受渡し及び受取りを行うことを特徴とする。

以上の態様では、例えば、シャトル上の載置位置間のピッチが１０ｍｍで、テストボード上のソケットの間隔が３０ｍｍであった場合、シャトルが、シャトルの載置位置の配置間隔の距離の倍数である３回に分けて移動することで、シャトルのデバイスのピッチから、保持部における載置位置の保持ピッチへの変換を行うことができる。

請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の発明において、前記シャトルは、前記レールに対するシャトルの移動方向両側に、複数の載置位置を列をなして備え、一方の列は、デバイスをテストハンドラから受け取り前記保持部に受け渡すものであり、他方の列は、前記テスト装置におけるテストの終了したデバイスを保持部から受け取りテストハンドラへ受け渡すものであり、前記両列により、テストハンドラからのデバイスの受け取りと、テストハンドラへのデバイスの受渡しとを同時に行うように構成されたことを特徴とする。なお、請求項４の発明を、請求項８及び１２のように、外置き型テストユニットの制御方法及び制御プログラムとして捉えることも可能である。

以上の態様では、シャトルが、レールに対する移動方向両側に、デバイスをテストハンドラから受け取り保持部に受け渡す列と、テスト装置におけるテストの終了したデバイスを保持部から受け取りテストハンドラへ受け渡す列とを備えることにより、例えば、テストハンドラの隣り合うノズルに対して、両列により、デバイスの受け取りと、デバイスの受渡しとを同時に行うことができるので、デバイスを受け取ったテストハンドラのノズルに対して次のポジションでテストを終了したデバイスを受け渡すことが可能となる。このように、テストハンドラからのデバイスの受取りとテストハンドラへのデバイスの受渡しを同時に処理できるので、処理効率が高い。

請求項６の発明は、請求項１〜５いずれか１項に記載の発明において、１つの引離し機構と１つの受渡し機構とをセットとし、当該セットを２つ備え、第１のセットが、引離し機構から受渡し機構への受渡し及び受け取りを行っている間に、第２のセットが、テスト装置から受渡し機構への受取り及び受渡しを行うものであることを特徴とする。なお、請求項５の発明を、請求項１０及び１４のように、外置き型テストユニットの制御方法及び制御プログラムとして捉えることも可能である。

以上の態様では、第１のセットにおけるシャトルによるテストハンドラとのデバイスの受け取り受渡し処理の終了後、第１のセットにおけるシャトルと保持部との受渡しを行っている間に、第２のセットにおけるシャトルは、テストハンドラとの間でのデバイスの受け取り受渡し処理を開始する。これにより、テスト装置において、第１のセットの保持部によって受け渡されたデバイスのテスト処理が終了する時点で、第２のセットのシャトル及び保持部との受け取り及び受渡し処理を終了しておくことができる。したがって、テスト装置が待機となる時間を減少ないし無くすことができ、他の工程処理装置における処理効率も含めた装置全体の処理効率の向上を図ることができる。

請求項７の発明は、請求項１〜５いずれか１項に記載の発明において、２つの引離し機構と１つの受渡し機構とをセットとし、当該セットを２つ備え、各セットにおいて、２つの引離し機構が、デバイスのテストハンドラとの間での受取り及び受渡しと、前記受渡し機構における前記保持部との間で受取り及び受渡しとを、互い違いに並列して行うものであり、さらに、第１のセットが、引離し機構から受渡し機構への受渡し及び受け取りを行っている間に、第２のセットが、テスト装置から受渡し機構への受取り及び受渡しを行うものであることを特徴とする。なお、請求項６の発明を、請求項１１及び１５のように、外置き型テストユニットの制御方法及び制御プログラムとして捉えることも可能である。

以上の態様では、引離し機構及び受渡し機構を２セット設け、シャトル及び保持部と、シャトル及び保持部と、を備えることで、シャトルにおいて、保持部への受渡し及び受け取りを行っている間に、もう一対の保持部により、テスト装置のソケットからのデバイスの取り出しとデバイス挿入を行うことが可能になる。これにより、シャトルから受渡機構へ受け渡す時間に比較して、テスト装置におけるテスト時間が短い場合であっても、シャトルにおいて、保持部への受渡し及び受け取りを行っている間に、もう一対の保持部により、テスト装置のソケットからのデバイスの取り出しとデバイス挿入を行うことができるので、テストハンドラ及びテスト装置が待機となる時間を減らすことで、他の工程処理装置における処理効率も含めた装置全体の処理効率の向上を図ることができる。

本発明によれば、インデックステーブル式ハンドラにおいて、半導体装置や電子部品等のデバイス用のテストボード、パフォーマンスボード及びテストヘッドからなるテスト装置が配置可能になる外置き型テストユニットを実現し、この外置きテストユニットとインデックステーブル間でデバイスの受渡しと配列変換を容易に可能にする外置き型テストユニット、その制御方法及び制御プログラムを提供することができる。

次に、本発明を実施するための最良の形態（以下、本実施形態という。）について、図１乃至図７を参照して説明する。

［１．第１の実施形態］
［１−１．構成］
第１の実施形態の外置き型テストユニットの全体構成について、図１を参照して説明する。図１は、本実施形態の外置き型テストユニットを、その一工程処理装置として含むインデックステーブル式のテストハンドラの全体構成を示す平面図（ａ）と側面図（ｂ）である。

図１に示すように、本実施形態の外置き型テストユニット１は、半導体装置や電子部品等のデバイスに対して電気特性検査を施すものであって、各種工程処理を施すテストハンドラＨの円周等配位置に設けられた工程処理装置の一部をなすように配置される。

この外置き型テストユニット１は、テストハンドラＨのメインテーブルＭから一定の距離を置いて、テストボード２１、パフォーマンスボード２２、テストヘッド２３からなる外置き型装置としてのテスト装置２を備え、その間を、レール３２とレール３２上を移動するシャトル３１とからなる引離し機構３と、シャトル３１からテスト装置へデバイスを受け渡す保持部４１を備えた受渡し機構４とからなる。

引離し機構３は、上述のとおり、シャトル３１とこのシャトル３１を移動させるレール３２とからなる。シャトル３１は、表面にデバイスを載置する載置位置３３を複数備える。より具体的には、図２に示すように、メインテーブルＭの吸着ノズルＮが設けられた一ポジションから、テスト装置２の方向（図中Ｙ方向）に向けて、８つの載置位置３３ａ〜３３ｈを備え、レール３２上をメインテーブルＭの吸着ノズルＮ下部から、テスト装置２側に設けられたレール３２の端部Ｐまで移動するように構成されている。

ここで、図２に示すように、本実施形態においては、シャトル３１は、レール３２に対する進行方向左右２列に複数の載置位置３３ａ〜３３ｈからなる載置列３４ａ及び３４ｂを備える。すなわち、シャトル３１には、レール３２進行方向に対して左右に１対の載置列３４ａ及び３４ｂを備え、一方の載置列３４ａは、メインテーブルＭの上流側に位置する吸着ノズルのポジションＮ１に対応し、この吸着ノズルのポジションＮ１よりデバイスを受け取るものである。他方の載置列３４ｂは、メインテーブルＭの下流側に位置する吸着ノズルのポジションＮ２に対応し、この吸着ノズルのポジションＮ２に対して、電気テストの終了したデバイスを受け渡すものである。

なお、本実施形態では、引離し機構３のレール３２が、メインテーブルＭの半径方向に合わせて設けられているのではなく、半径方向に角度を以って配置されているため、レールの延伸方向及びシャトル進行方向に対して、吸着ノズルポジションＮ１とＮ２とが、ずれて位置する。そのため、載置列３４ａと３４ｂのデバイス位置も、これに合わせて、シャトルの進行方向に対して、デバイスのピッチが１つ分ずれて配置されている。

また、本実施形態において、載置位置３３の数を８つとするのは、後述するテスト装置２におけるソケット２４の数、すなわち一度に電気特性テストを行う数に合わせたものであり、この数は、本発明において任意に決定することができる。

レール３２は、上述の通り、シャトル３１をメインテーブルＭとテスト装置２の間で移動させるためにメインテーブルＭよりテスト装置２方向（図中Ｙ方向）へ、直線的に延伸するものであり、そのレール長は、テストハンドラＨの仕様、外部に設けられたテスト装置２の仕様により任意に決定されるものである。後述の通り、シャトル３１がレール３２上を移動しながらテスト装置２の保持部４１へデバイスを受け渡すため、少なくとも、保持部４１の全長程度の長さは確保される必要がある。なお、レール３２は、シャトル３１を制御手段又は制御プログラムによる制御によって直線方向に往復動させるための機構であれば、公知のあらゆる機構により構成可能である。

図１に示すように、受渡し機構４は、メインテーブルＭ方向に移動し、シャトル３１からデバイスを受け取り、テスト装置２へ受け渡す保持部４１と、この保持部４１を、ＸＹＺの３軸方向に移動させる駆動部４２とからなる。

保持部４１には、８つのデバイス保持位置４３ａ〜４３ｈが設けられ、その間隔は、テストボード２１におけるデバイスのテスト位置、すなわちソケット２４の間隔（ここでは、３０ｍｍ）に合わせて設けられている。この保持位置４３ａ〜４３ｈは、図１（ｂ）に示すように、下方向に向けて設けられている。保持部４１は、デバイスを上方から吸着保持するようになっており、保持位置４３ａ〜４３ｈより真空吸着する機構を内部に備える。なお、保持部４１におけるデバイスの保持方法は、真空吸着に限らず、デバイスを挟み込む等により機械的に保持するメカチャックによっても構わないが、微細化したデバイスにおいては、吸着保持によるのが好ましい。

駆動部４２は、上述の通り、保持部４１をメインテーブルＭとテスト装置２を結んだ方向であるＹ方向と、それと直行するテストボード２１のソケット２４方向であるＸ方向と、ＸＹ方向と垂直方向の下降方向であるＺ方向の３軸方向に移動させるものである。具体的には、駆動部４２は、保持部４１がシャトル３１からデバイスを受け取る際に、保持部４１をＹ方向であるメインテーブルＭ方向へ移動させ、シャトル３１からデバイスを受け取りソケット２４の直上へ移動させる際に、保持部４１をＸ方向へ移動させ、ソケット２４へデバイスを受け渡す際に、保持部４１を下降方向であるＺ方向へ移動させるものである。なお、保持部４１を移動させる駆動部４２の詳細な駆動機構は、特に限定されるものではなく、図３〜図５にイメージ図を示すような棒状の保持部４１をＸＹＺ方向に移動させるための機構であれば、公知のあらゆる機構により構成可能である。

テスト装置２は、受渡し機構４の保持部４１からデバイスを受け取り載置するソケット２４を備えたテストボード２１（ＦＴボード）と、パフォーマンスボード２２及びテストヘッド２３とからなる。なお、テストボード２１の構成と、パフォーマンスボード２２及びテストヘッド２３の構成並びに作用は、従来と同様であるので、説明を省略する。

図２に示すように、テストボード２１は、テスト装置２上に配置され、電気検査を実行するためにデバイスを収納するソケット２４を、ボード上に等間隔に複数備える（ここでは８つ）。上述のとおり、このボード上のソケット２４の間隔及び数は、保持部４１の保持位置４３ａ〜４３ｈの間隔及び数と同一である。

［１−２．作用］
［１−２−１．作用の概要］
以上のような構成からなる本実施形態の外置き型テストユニット１の作用について説明する。なお、本実施形態における外置き型テストユニット１は、引離し機構、受渡し機構及びテスト装置の各構成要素とし、この構成要素を用いて、テストハンドラと引離し機構、引離し機構と受渡し機構、受渡し機構とテスト装置とのデバイスの受取り及び受渡しを、制御手段又は制御プログラムにより制御することで作用する。

まず、シャトル３１は、メインテーブルＭの吸着ノズルＮのポジションＮ１より、載置列３４ａ側の載置位置３３ａ〜３３ｈにおいて、デバイスを複数個（ここでは、８個）受け取る。具体的には、本実施形態におけるメインテーブルＭは、その円周等配位置に、３６箇所の吸着ノズルＮを備え、３６分割の間欠回転を行い、このメインテーブルＭが、１ピッチ回転するのに同期して、シャトル３１が１ピッチずつシフトする。シャトル３１は、これを８回繰り返し、吸着ノズルＮからシャトル３１の８つの載置位置３３において、デバイスを受け取る。

ここで、シャトル３１上の載置位置３３間のピッチは、１０ｍｍと最小にしてある。これはシャトル３１がシフトする時間を短縮するとともに、シャトル３１がメインテーブル下に潜り込む際に、メインテーブル下部に設けられた駆動モータと干渉するのを防ぐ目的がある（図１（ｂ）参照）。

次に、８個のデバイスを搭載したシャトル３１は、レール３２上をメインテーブルＭから離れる方向に移動する。一方、受渡し機構４の保持部４１は、図２に示すＹ方向、すなわち、テスト装置２の位置から、メインテーブルＭの方向へ移動する。

保持部４１は、メインテーブルＭ方向に移動し直下にシャトル３１が位置した状態で、シャトル３１の載置列３４ａの載置位置３３ａ〜３３ｈよりデバイスを受け取り、図２に示すＹ方向（テスト装置２の方向）へ移動する。保持部４１により受けら取られたデバイスは、保持部４１からテスト装置２のテストボード２１へ受け渡され、テスト装置２において電気特性検査が行われる。

テスト装置２におけるテストが終了すると、保持部４１は、テストボード２１からデバイスを受け取り、図２のＹ方向であってメインテーブルＭの方向へ移動し、再びシャトル３１へ載置する。以下、図３〜図５を用いて、シャトル３１から保持部４１への受渡し処理、保持部４１からテストボード２１への受渡し処理、テストボード２１から保持部４１への受渡し処理、さらに、保持部４１からシャトル３１への受渡し処理について説明する。

［１−２−２．受渡し処理］
まず、８個のデバイスを搭載したシャトル３１は、レール３２上をメインテーブルＭから離れる方向に移動する。一方で、デバイスをシャトル３１から受け取り、テスト装置２へ受け渡す保持部４１は、図２に示すＹ方向、すなわち、テスト装置２の位置から、メインテーブルＭの方向へ移動し、８個のデバイスを搭載したシャトル３１が、デバイスをシャトル３１から受け取りテスト装置２のテストボード２１（ＦＴボード）へ受け渡す保持部４１の直下に位置する。この状態を図３に示す。

ここで、上述の通り、この保持部４１には、８つのデバイス保持位置４３ａ〜４３ｈが設けられ、その間隔は、テストボード２１におけるデバイスのテスト位置、すなわち保持位置４３ａ〜４３ｈの間隔（ここでは、３０ｍｍ）に合わせて設けられている。

図３（ａ）に示すように、まず、シャトル３１は、保持部４１のデバイスの保持位置４３ａ〜４３ｈのうち、最も始端部分であるメインテーブルＭ側に位置する保持部４１ａの直下に、シャトル３１の載置位置３３のうち、終端部分、すなわち、最もメインテーブルＭ側に位置する載置位置３３ｈが位置するところまで移動し、停止する。

このとき、前述のとおり、シャトル３１上の載置位置３３ａ〜３３ｈは、１０ｍｍ間隔で設けられている。一方で受渡し機構４の保持部４１における保持位置４３ａ〜４３ｈの間隔は、３０ｍｍ間隔で設けられている。そのため、上述のようなシャトル３１と保持部４１との位置関係では、図３（ｂ）に示すように、シャトル３１において進行方向、すなわちテスト装置２側の先頭を始端とすると、始端側から２つ目のデバイスであるデバイスＤ２の位置が、保持部４１における保持位置のうち、始端から３つ目の保持位置４３ｃの位置と一致する。また、シャトル３１における始端側から５つ目のデバイスＤ５の位置が、保持部４１の始端から２つ目の保持位置４３ｂの位置と一致する。さらに、シャトル３１における始端側から８つ目のデバイスＤ８が、保持部４１の始端から１つ目の保持位置４３ａの位置と一致する。このような位置関係において、保持部４１は、シャトル３１側に下降し、保持部４１の直下に位置するデバイスＤ２，Ｄ５及びＤ８を、保持位置４３ｃ，４３ｂ及び４３ａによりピックアップする。

上述のような３つのデバイスの保持部４１によるピックアップ作業が終了すると、シャトル３１は、保持部４１の中間位置まで移動する。すなわち、図３（ｃ）に示すように、シャトル３１の始端から１つ目のデバイスＤ１が、保持部４１の始端から６つ目の保持位置４３ｆに位置し、シャトル３１の始端から４つ目のデバイスＤ４が、保持部４１の始端から５つ目の保持位置４３ｅに位置し、さらに、シャトル３１の始端から７つ目のデバイスＤ７が、保持部４１の始端から４つ目の保持位置４３ｄに位置するように、シャトル３１は移動する。このような位置関係において、保持部４１は、再びシャトル３１側に下降し、保持部４１の直下に位置するデバイスＤ１，Ｄ４及びＤ７を、保持位置４３ｆ，４３ｅ及び４３ｄによりピックアップする。

最後に、シャトル３１は、保持部４１の終端部まで移動する。すなわち、図３（ｄ）に示すように、シャトル３１の始端から３つ目のデバイスＤ３が、保持部４１の終端から１つ目の保持位置４３ｈに位置し、シャトル３１の始端から６つ目のデバイスＤ６が、保持部４１の終端から２つ目の保持位置４３ｇに位置するように、シャトル３１は移動する。このような位置関係において、保持部４１は、再びシャトル３１側に下降し、保持部４１の直下に位置するデバイスＤ３及びＤ６を、保持位置４３ｈ及び４３ｇによりピックアップする。

以上のような図３（ａ）〜（ｄ）に示した作用により、シャトル３１から、保持部４１へのデバイスの受渡しが完了する。このようにシャトル３１が、保持部４１下を、３段階で分けて移動することにより、シャトル３１のデバイスピッチ（本実施形態では１０ｍｍ）から、保持部４１における保持位置４３の保持ピッチ（本実施形態では３０ｍｍ）への変換が行われる。

なお、図３（ａ）〜（ｄ）において示したシャトル３１の移動ピッチは例示であり、例えば、図３（ｂ）の段階で、シャトル３１に載置されたデバイスＤ１，Ｄ４及びＤ７を保持部４１の保持位置４３ａ，４１ｂ及び４１ｃによりピックアップし、図３（ｃ）の段階で、シャトル３１に載置されたデバイスＤ２，Ｄ５及びＤ６を保持位置４３ｄ，４１ｅ及び４１ｆによりピックアップし、図３（ｄ）の段階で、シャトル３１に載置されたデバイスＤ３及びＤ６を保持位置４３ｇ及び４３ｈによりピックアップする態様も可能である。

保持部４１は、シャトル３１に搭載された８つのデバイスを受け取ると、図２に示すＹ方向であって、テスト装置２の方向へ移動する。保持部４１は、テスト装置２上に移動した後、今度は、図２に示すＸ方向、すなわち、保持部４１における保持位置４３ａ〜４３ｈに保持されたデバイスが、テスト装置２のテストボード２１におけるソケット２４の直上に位置するように、テストボード２１方向へ移動する。この様子を図４に示す。

保持部４１は、テストボード２１上に移動すると、図４（ａ）に示すように、下降動作を行い、テストボード２１上に、等間隔で、保持部４１の保持位置４３ａ〜４３ｈの間隔と同間隔（本実施形態では３０ｍｍ）に設けられたソケット２４ａ〜２４ｈにデバイスを受け渡す。そして、所定時間をかけてこれらのデバイスの電気特性検査を実行する。

テストが終了すると、保持部４１は、デバイスを保持位置４３ａ〜４３ｈによりソケット２４ａ〜２４ｈから取り上げる。デバイスを保持位置４３ａ〜４３ｈにより保持した保持部４１は、図５において示すように、メインテーブルＭ側に移動する。

このとき、シャトル３１は、図３（ｄ）においてデバイスをすべて受渡した状態のまま待機しており、保持部４１の移動により、図５（ａ）に示すような、保持部４１と、シャトル３１との位置関係となる。ここで、保持部４１からシャトル３１へのデバイスの受渡しは、シャトル３１の載置列３４ｂに対して行われる。そして、保持部４１からシャトル３１への受渡し処理は、図５に示すように、図３で示したシャトル３１から保持部４１への受渡し処理と反対の順序で行うものである。

まず、図５（ａ）に示すように、シャトル３１は、保持部４１の終端部に位置しており、保持部４１の終端から１つ目の保持位置４３ｈに保持されたデバイスが、シャトル３１の始端から３つ目の載置位置３３ｃに位置し、保持部４１の終端から２つ目の保持位置４３ｇに保持されたデバイスが、シャトル３１の始端から６つ目の載置位置３３ｆに位置する。このような位置関係において、図５（ｂ）に示すように、保持部４１は、再びシャトル３１側に下降し、デバイスＤ３及びＤ６を、保持部４１の直下に位置する載置位置３３ｃ及び３３ｆに、保持部４１の保持位置４３ｈ及び４３ｇにより受け渡す。

上述のような３つのデバイスの保持部４１によるシャトル３１への受渡し作業が終了すると、シャトル３１は、保持部４１の中間位置まで移動する。すなわち、図５（ｃ）に示すように、保持部４１の始端から６つ目の保持位置４３ｆに保持されたデバイスＤ１が、シャトル３１の始端から１つ目の載置位置３３ａに位置し、保持部４１の始端から５つ目の保持位置４３ｅに保持されたデバイスＤ４が、シャトル３１の始端から４つ目の載置位置３３ｄに位置し、さらに、保持部４１の始端から４つ目の保持位置４３ｄに保持されたデバイスＤ７が、シャトル３１の始端から７つ目の載置位置３３ｇに位置する。このような位置関係において、保持部４１は、再びシャトル３１側に下降し、デバイスＤ１，Ｄ４及びＤ７を、保持部４１の直下に位置する載置位置３３ａ，３３ｄ及び３３ｇに対して、保持位置４３ｄ，４３ｅ及び４３ｆにより受け渡す。

上述のような３つのデバイスの保持部４１によるシャトル３１への受渡し作業が終了すると、シャトル３１は、保持部４１の始端側まで移動する。すなわち、図５（ｄ）に示すように、始端側から２つ目の載置位置３３ｂの位置が、保持部４１における保持位置４３ａ〜４３ｈのうち、始端から３つ目の保持位置４３ｃに保持されたデバイスＤ２の位置と一致し、シャトル３１における始端側から５つ目の載置位置３３ｅの位置が、保持部４１の始端から２つ目の保持位置４３ｂに保持されたデバイスＤ５の位置と一致し、さらに、シャトル３１における始端側から８つ目の載置位置４３ｈが、保持部４１の始端から１つ目の保持位置４３ａに保持されたデバイスＤ８の位置と一致する。このような位置関係において、保持部４１は、シャトル３１側に下降し、デバイスＤ２，Ｄ５及びＤ８を、保持部４１の直下に位置する載置位置３３ｂ，３３ｅ及び３３ｈに、保持位置４３ｃ，４３ｂ及び４１ａにより受け渡す。

以上のようにして、シャトル３１の載置列３４ｂが、８つのデバイスＤ１〜Ｄ８を、保持部４１から受け取ると、シャトル３１はメインテーブルＭ側にレール３２上を移動し、メインテーブルＭの吸着ノズルＮ下に位置する。より具体的には、シャトル３１の載置列３４ｂ上に載置されたデバイスＤのうち、載置位置３３ｈに載置されたデバイスＤ８が、吸着ノズルのポジションＮ２の直下に位置するように、シャトル３１は移動する。

この状態から、メインテーブルＭが間欠回転を開始し、１ピッチ回転するのに同期して、シャトル３１も１ピッチずつシフトする。これを８回繰り返し、吸着ノズルのポジションＮ２がシャトル３１の載置列３４ｂ側の８つの載置位置３３ａ〜３３ｈに載置されたデバイスを受け取る処理を実行する。このとき、シャトル３１の載置列３４ａの載置位置３３には、１ポジション上流側に位置する吸着ノズルのポジションＮ１から、上記シャトル３１の載置列３４ｂからの受渡し処理の移動に同期して、検査前のデバイスが順次受け渡され、上述の処理が繰り返されることとなる。

［１−３．効果］
以上のような本実施形態によれば、テストハンドラＨのメインテーブルＭから一定の距離を置いて、テストボード２１、パフォーマンスボード２２、テストヘッド２３からなる外置き型装置としてのテスト装置２を設け、その間を、レール３２とレール３２上を移動するシャトル３１とからなる引離し機構３と、シャトル３１からテスト装置へデバイスを受け渡す保持部４１を備えた受渡し機構４とにより、デバイスの受渡しを可能とした。これにより、テストボード２１、パフォーマンスボード２２、テストヘッド２３からなるテスト装置２を、テストハンドラＨの外側に配置することができる。

したがって、従来の水平ハンドラと同様のボード類、テスターが使用可能で、長年培われてきたテスト資産をそのまま利用しつつ、インデックステーブル式のテストハンドラの長所である高速処理を合わせ、全体として高速テストシステム及びインテグレーションシステムを実現することができる。また、複数の工程処理装置を円周等位置に配置可能なインデックステーブル式ハンドラの特徴を生かし、一つのテーブルに対して複数の処理装置を配置し、装置構成の簡略化と装置の省スペース化が可能となる。

また、シャトル３１上の載置位置３３間のピッチは、１０ｍｍとデバイスＤを隣接載置し、最小にする。これにより、シャトル３１がテストハンドラＨからデバイスＤを受け取る際のシフトする時間を短縮することができるとともに、シャトル３１がテストハンドラＨ側に移動した際、テーブルＭ下に潜り込むことにより、テーブルＭ下に設けられた駆動モータ等の他の機器と干渉するのを防ぐことができる。

一方、テストボード２１上のソケット２４の間隔は、テスト機器配置の都合上、３０ｍｍで、デバイスＤを隣接させて配置することはできないが、シャトル３１が、移動しながら複数回に分けて、保持部４１の保持位置４３にデバイスＤを受け渡すことにより、シャトル３１のデバイスピッチから、保持部における保持位置の保持ピッチへの変換を行うことができる。また、この際、ソケット２４及び保持位置４３の配置間隔の距離を、シャトル３１における載置位置３３の配置間隔の距離の倍数とすることにより、シャトル３１は、その倍数分移動を繰り返すことで、効率よく保持部４１の保持位置４３にデバイスを受け渡すことができる。

また、シャトル３１が、レール３２に対する移動方向両側に、デバイスをテストハンドラＨから受け取り保持部４１に受け渡す載置列３４ａと、テスト装置２におけるテストの終了したデバイスを保持部４１から受け取りテストハンドラＨへ受け渡す載置列３４ｂとを備えることにより、テストハンドラの隣り合う吸着ノズルのポジションＮ１及びポジションＮ２の位置で、両列により、デバイスの受け取りと、デバイスの受渡しとを同時に行うことができる。したがって、デバイスを受け取ったテストハンドラＨのノズルに対して次のポジションでテストを終了したデバイスを受け渡すことが可能となる。このように、テストハンドラからのデバイスの受取りとテストハンドラへのデバイスの受渡しを同時に処理できるので、処理効率が高い。

［２．第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態について、図６を参照して説明する。第２の実施形態は、第１の実施形態の基本的構成及び作用を共通にしつつ、引離し機構３及びシャトル３１の構成に変更を加えたものである。

すなわち、第１の実施形態では、シャトル３１を１つで構成し、シャトル３１の進行方向左右に複数の載置位置からなる載置列３４ａ及び３４ｂを１対設け、一方を受渡し機構４への受渡し用（３４ａ）とし、他方を受け取り・メインテーブルＭへの受け渡し用（３４ｂ）として構成した。これに対して、本実施形態では、図６に示すように、引離し機構３及び受渡し機構４を１つのセットとし、これを鏡像反転させ、対称的に２つ設けたものである。これにより、引離し処理及び受渡し処理を、並列して実行する構成としている。この場合、受渡し機構４及びテスト装置２の機械的構成に変更を加えることなく、当該実施態様を実現可能である。

ここで、第１の実施形態で説明した通り、本発明の引離し処理、すなわち、シャトル３１から保持部４１へのデバイスの受渡しの処理では、シャトル上の載置位置間のピッチ（１０ｍｍ）からテストボード上のソケットの間隔（３０ｍｍ）に変換するため、シャトル３１は３段階に移動しならが保持部へのデバイスの受渡しを行う。すなわち、この引離し処理におけるシャトル３１から保持部４１へのデバイスの受渡しに時間を要し、保持部４１とシャトル３１の受渡しの間はテスト装置２は待機となる。そのため、本実施形態では、テスト装置２の利用効率の向上を図るべく、保持部４１として保持部４１ａに加えて、４１ｂを増設し、それに合わせて、保持部４１ｂに対応する駆動部４２ｂ、シャトル３１ｄ及びレール３２ｄを設け対応するものである。

具体的な処理について説明すると、シャトル３１ａが載置列３４ａよりメインテーブルＭの吸着ノズルのポジションＮ１よりデバイスをまず受け取りつつ、載置列３４ｂにおいてメインテーブルＭの吸着ノズルのポジションＮ２へデバイスを受け渡す。

シャトル３１ａにおけるメインテーブルＭとの間でのデバイスの受け取り受渡し処理が終了し、保持部４１ａとの受け取り、受渡し処理に入ると、今度は、シャトル３１ｄが、載置列３４ｇよりメインテーブルＭの吸着ノズルのポジションＮ７よりデバイスをまず受け取りつつ、載置列３４ｈにおいてメインテーブルＭの吸着ノズルのポジションＮ８へデバイスを受け渡す。

そして、シャトル３１ａと保持部４１ａとの受け取り及び受渡し処理（図３参照）と、その後の保持部４１ａにおけるテスト装置２への受渡し処理、テスト装置２におけるテスト処理（図４参照）、さらにテスト装置２から保持部４１ａへの受渡し処理（図５参照）が終了した時点で、シャトル３１ｂと保持部４１ｂとの受け取り及び受渡し処理が終了し、保持部４１ｂは直後にテスト装置２への受渡し処理を行える状態となっているよう制御する。

さらに進んで、保持部４１ｂにおけるテスト装置２への受渡し処理、テスト装置２におけるテスト処理（図４参照）、さらにテスト装置２から保持部４１ｂへの受渡し処理（図５参照）が終了した時点で、シャトル３１ａと保持部４１ａとの受け取り及び受渡し処理が終了し、保持部４１ａは直後にテスト装置２への受渡し処理を行える状態となっているよう制御する。

このように、シャトル３１ａにおけるメインテーブルＭとの間でのデバイスの受け取り受渡し処理の終了後、シャトル３１ａと保持部４１ａとが受渡し及び受取りの処理を行っている最中に、シャトル３１ｂは、メインテーブルＭとの間でのデバイスの受け取り及び受渡し処理を実行する。これにより、テスト装置２において保持部４１ａによって受け渡されたデバイスのテスト処理が終了する時点で、シャトル３１ｂと保持部４１ｂとの受け取り及び受渡し処理を終了しておくことができる。したがって、テスト装置２が待機となる時間を減少ないし無くすことができ、他の工程処理装置における処理効率も含めた装置全体の処理効率の向上を図ることができる。

［３．第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態について、図を参照して説明する。第３の実施形態は、第１及び２の実施形態の基本的構成及び作用を共通にしつつ、引離し機構３及びシャトル３１の構成にさらに変更を加えたものである。

第２の実施形態においては、引離し機構３及び受渡し機構４を１つのセットとし、これを鏡像反転させ、対称的に２つ設け、これにより、引離し処理及び受渡し処理を並列して実行する構成とした。第２の実施形態は、本発明の引離し処理及び受渡し処理におけるシャトル３１から保持部４１への受渡し及び受取り処理に時間を要し、これによりテスト装置２の待機時間が発生する場合に着目し、テスト装置２の利用効率の向上を目的としたものである。

一方、本発明において、装置の処理効率を上げる上で、時間的制約を要するものとして、引離し処理におけるテストハンドラＨからシャトル３１へのデバイスの受渡し及び受取り処理である。この点、シャトル３１を上記実施形態のように、１つで構成した場合、特にテスト時間が、シャトル３１と保持部４１との受取り及び受渡し時間に比較して短いような場合には、保持部４１における待機状態が発生するか、またはメインテーブルＭの待機時間が発生することとなる。

そこで、本実施形態においては、図７に示すように、第２の実施形態における、引離し機構３及び受渡し機構４を２セット設け、シャトル３１ａ，３１ｂ及び保持部４１ａと、シャトル３１ｃ，３１ｄ及び保持部４１ｂと、を備える構成とした。これにより、図８（ｂ）にチャートを示すように、シャトル３１ａ，３１ｂにおいて、保持部４１ａへの受渡し及び受け取りを行っている間に、もう一対の保持部４１ｂにより、テスト装置２のソケット２４からのデバイスの取り出しとデバイス挿入を行うことが可能になる。なお、図８（ｂ）において、破線で示す箇所は、本実施形態の処理を、シャトル３１ａの載置列３４ａにメインテーブルＭよりデバイスを載置する時点を処理の開始とし、その以前に処理がなされていなかった状態において行われない処理を示すが、本実施形態の処理を繰り返した場合には、破線で示す処理も行われるものである。

シャトル３１から受渡機構へ受け渡す時間に比較して、テスト装置２におけるテスト時間が短い場合であっても、シャトル３１ａ，３１ｂにおいて、保持部４１ａへの受渡し及び受け取りを行っている間に、もう一対の保持部４１ｂにより、テスト装置２のソケット２４からのデバイスの取り出しとデバイス挿入を行うことができる。したがって、メインテーブルＭ及びテスト装置２が待機となる時間を減らすことで、他の工程処理装置における処理効率も含めた装置全体の処理効率の向上を図ることが可能となる。

［４．他の実施形態］
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、例えば、次のような態様も包含するものである。すなわち、上記実施形態においては、シャトル３１の搭載デバイス数を８個にしたが、これは４個でもまた別の個数でも成立する。また、シャトル３１の載置位置３３のピッチ（１０ｍｍ）とソケット２４のピッチ（３０ｍｍ）は一例であり、これに限定されるものではない。

第３の実施形態では、シャトル３１ａ，３１ｂ及び保持部４１ａと、シャトル３１ｃ，３１ｄ及び保持部４１ｂとのデュアル構成としたが、これは、前述したように往復移動と受渡しロスを最小にするためであり、テスト時間が長くこれらのロスがテスト時間に比して無視できる場合は、第１の実施形態又は第２の実施形態の構成を採用したほうがコスト面や装置構成上、効率的な場合もある。一方、テスト時間内にシャトル３１往復動作が完了するような場合には、第１の実施形態のように、シャトルと保持部を一つずつで構成することが、コスト面等を考慮し、最も合理的である。

ここで、各実施形態を採用する基準となるテスト時間は次の取りである。、メインテーブルＭのインデックスタイム（間欠回転単位時間）を０．３秒とした場合、テスト時間が５秒以上の長い場合には、第１の実施形態を採択することが好ましい。一方、テスト時間が５〜２秒程度の中程度の場合には、第２の実施形態を採択することが好ましい。さらにテスト時間が２秒以下のような短い場合には、第３の実施形態を採択することが好ましい。ただし、すなわち、装置構成として、第２の実施形態は第１の実施形態を包含し、第３の実施形態は、第１及び第２の実施形態を包含するから、第２の実施形態では第１の実施形態としての運用も可能であり、第３の実施形態では第１及び第２の実施形態としての運用も可能である。

上記実施形態の外置き型テストユニット１では、メインテーブルＭからシャトル３１へデバイスを受け渡しは、メインテーブルＭの回転する円周に対して、シャトル３１の移動軸が半径方向ではなくずれて配置されているため、吸着ノズルＮに円周の接線方向に平行保持されたデバイスの向きが、必ずしもシャトル３１の移動軸方向とならない。上記実施形態では説明の便宜上省略しているが、本発明では、上記のような問題を解決するため、吸着ノズルＮからシャトル３１への受渡す際に、デバイスの姿勢角度を変換する姿勢回転ユニットが設けられている。また、シャトル３１から吸着ノズルＮにデバイスを戻す位置にも同様のユニットを設けている。

また、本発明では、引離し機構のレールの軸を、メインテーブルＭの回転半径方向に向けて設置することにより、デバイスの姿勢角度を変換する機構を設けることなく実施することも可能である。

本発明の第１の実施形態における外置き型テストユニットのテストハンドラにおける一工程とした場合の全体構成を示す平面図（ａ）及び側面図（ｂ）。 本発明の第１の実施形態における外置き型テストユニットの全体構成を示す平面図。 本発明の第１の実施形態における外置き型テストユニットの保持部への受渡し処理を示す模式図。 本発明の第１の実施形態における外置き型テストユニットのテスト装置への受渡し処理を示す模式図。 本発明の第１の実施形態における外置き型テストユニットのシャトルへの受渡し処理を示す模式図。 本発明の第２の実施形態における外置き型テストユニットの全体構成を示す平面図。 本発明の第３の実施形態における外置き型テストユニットの全体構成を示す平面図。 本発明の実施形態における外置き型テストユニットの処理のタイミングチャート図。

符号の説明

１…外置き型テストユニット
２…テスト装置
２１…テストボード
２２…パフォーマンスボード
２３…テストヘッド
２４，２４ａ〜２４ｈ…ソケット
３…引離し機構
３１，３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ…シャトル
３２…レール
３３，３３ａ〜３３ｈ…載置位置
３４ａ，３４ｂ…載置列
４１…保持部
４３ａ〜４３ｈ…保持位置
４２…駆動部
Ｄ，Ｄ１〜Ｄ８…デバイス
Ｈ…テストハンドラ
Ｍ…メインテーブル
Ｎ…吸着ノズル
Ｎ１，Ｎ２…吸着ノズルのポジション

Claims (15)

1. 半導体装置や電子部品等のデバイスに対して電気特性検査を施すものであって、インデックステーブル式のテストハンドラの円周等配位置に配された工程処理装置として用いられる外置き型テストユニットであって、
   テストボード、パフォーマンスボード及びテストヘッドによりデバイスの電気特性検査を行うテスト装置と、
   前記テストハンドラのメインテーブルに、前記メインテーブルの半径と交差するように配置されたレールと、前記レール上を移動するシャトルとにより、複数のデバイスをテストハンドラから受け取り、前記テスト装置に向けて搬送する引離し機構と、
   前記シャトルからデバイスを受け取り、前記テスト装置へデバイスを受け渡す保持部を有する受渡し機構と、
   前記メインテーブルの吸着ノズルと前記シャトルにおいてデバイスを受け渡す際にデバイスの姿勢角度を受渡し可能な角度となるように変換する姿勢回転ユニットと、を備えたことを特徴とする外置き型テストユニット。
2. 前記シャトルは、デバイスを載置する載置位置を隣接して複数備え、
   前記テストボードは、複数のデバイスを載置して検査するソケットを、所定間隔空けて複数備え、
   前記保持部は、前記テストボードのソケットの配置間隔と共通する間隔で、デバイスを保持する保持位置を複数備え、
   前記シャトルは、移動しながら複数回に分けて、前記保持部の保持位置とデバイスの受渡し及び受取りを行うことを特徴とする請求項１記載の外置き型テストユニット。
3. 前記ソケット及び前記保持位置の配置間隔の距離が、前記シャトルの前記載置位置の配置間隔の距離の倍数である場合に、前記シャトルは、その倍数分移動を繰り返して前記保持部の保持位置にデバイスを受け渡すことを特徴とする請求項２記載の外置き型テストユニット。
4. 前記シャトルは、前記レールに対するシャトルの移動方向両側に、複数の載置位置を列をなして備え、
   一方の列は、デバイスをテストハンドラから受け取り前記保持部に受け渡すものであり、
   他方の列は、前記テスト装置におけるテストの終了したデバイスを保持部から受け取りテストハンドラへ受け渡すものであり、
   前記両列により、テストハンドラからのデバイスの受け取りと、テストハンドラへのデバイスの受渡しとを同時に行うように構成されたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の外置き型テストユニット。
5. 前記シャトルの一方の列の載置位置は、他方の列の載置位置からシャトルの移動方向に対してずれて配置されていることを特徴とする請求項４記載の外置き型テストユニット。
6. １つの引離し機構と１つの受渡し機構とをセットとし、当該セットを２つ備え、
   第１のセットが、引離し機構から受渡し機構への受渡し及び受け取りを行っている間に、第２のセットが、テスト装置から受渡し機構への受取り及び受渡しを行うものであることを特徴とする請求項１〜５いずれか１項に記載の外置き型テストユニット。
7. ２つの引離し機構と１つの受渡し機構とをセットとし、当該セットを２つ備え、
   各セットにおいて、２つの引離し機構が、デバイスのテストハンドラとの間での受取り及び受渡しと、前記受渡し機構における前記保持部との間で受取り及び受渡しとを、互い違いに並列して行うものであり、
   さらに、第１のセットが、引離し機構から受渡し機構への受渡し及び受け取りを行っている間に、第２のセットが、テスト装置から受渡し機構への受取り及び受渡しを行うものであることを特徴とする請求項１〜５いずれか１項に記載の外置き型テストユニット。
8. 半導体装置や電子部品等のデバイスに対して電気特性検査を施すものであって、インデックステーブル式のテストハンドラの円周等配位置に配された工程処理装置として用いられる外置き型テストユニットの制御方法において、
   テストボード、パフォーマンスボード及びテストヘッドとによりデバイスの電気特性検査を行うテスト装置と、前記テストハンドラのメインテーブルに、前記メインテーブルの半径と交差するように配置されたレールと、前記レール上を移動するシャトルとにより、複数のデバイスをテストハンドラから受け取り、前記テスト装置に向けて搬送する引離し機構と、前記シャトルからデバイスを受け取り、前記テスト装置へデバイスを受け渡す保持部を有する受渡し機構と、前記メインテーブルの吸着ノズルと前記シャトルにおいてデバイスを受け渡す際にデバイスの姿勢角度を受渡し可能な角度となるように変換する姿勢回転ユニットと、前記テストハンドラと引離し機構、引離し機構と受渡し機構、受渡し機構とテスト装置とのデバイスの受取り及び受渡しを制御する制御手段とを用い、
   前記シャトルは、前記レールに対するシャトルの移動方向両側に、複数の載置位置を列をなして備え、一方の列は、デバイスをテストハンドラから受け取り前記保持部に受け渡すものであり、他方の列は、前記テスト装置におけるテストの終了したデバイスを保持部から受け取りテストハンドラへ受け渡すものであり、
   前記制御手段は、前記両列により、テストハンドラからのデバイスの受け取りと、テストハンドラへのデバイスの受渡しとを同時に行うとともにデバイスの姿勢角度を変換するように制御することを特徴とする外置き型テストユニットの制御方法。
9. 前記シャトルの一方の列の載置位置は、他方の列の載置位置からシャトルの移動方向に対してずれて配置されていることを特徴とする請求項８記載の外置き型テストユニットの制御方法。
10. １つの引離し機構と１つの受渡し機構とをセットとし、当該セットを２つ備え、
    前記制御手段は、第１のセットが、引離し機構から受渡し機構への受渡し及び受け取りを行っている間に、第２のセットが、テスト装置から受渡し機構への受取り及び受渡しを行うように制御することを特徴とする請求項８又は９記載の外置き型テストユニットの制御方法。
11. ２つの引離し機構と１つの受渡し機構とをセットとし、当該セットを２つ備え、
    前記制御手段は、各セットにおいて、２つの引離し機構が、デバイスのテストハンドラとの間での受取り及び受渡しと、前記受渡し機構における前記保持部との間で受取り及び受渡しとを、互い違いに並列して行うように制御するとともに、第１のセットが、引離し機構から受渡し機構への受渡し及び受け取りを行っている間に、第２のセットが、テスト装置から受渡し機構への受取り及び受渡しを行うように制御するものであることを特徴とする請求項８又は９記載の外置き型テストユニットの制御方法。
12. 半導体装置や電子部品等のデバイスに対して電気特性検査を施すものであって、インデックステーブル式のテストハンドラの円周等配位置に配された工程処理装置として用いられる外置き型テストユニットの制御プログラムにおいて、
    テストボード、パフォーマンスボード及びテストヘッドとによりデバイスの電気特性検査を行うテスト装置と、前記テストハンドラのメインテーブルに、前記メインテーブルの半径と交差するようにレールと、前記レール上を移動するシャトルとにより、複数のデバイスをテストハンドラから受け取り、前記テスト装置に向けて搬送する引離し機構と、前記シャトルからデバイスを受け取り、前記テスト装置へデバイスを受け渡す保持部を有する受渡し機構と、前記メインテーブルの吸着ノズルと前記シャトルにおいてデバイスを受け渡す際にデバイスの姿勢角度を受渡し可能な角度となるように変換する姿勢回転ユニットと、前記テストハンドラと引離し機構、引離し機構と受渡し機構、受渡し機構とテスト装置とのデバイスの受取り及び受渡しを制御する制御手段とを用い、
    前記シャトルは、前記レールに対するシャトルの移動方向両側に、複数の載置位置を列をなして備え、一方の列は、デバイスをテストハンドラから受け取り前記保持部に受け渡すものであり、他方の列は、前記テスト装置におけるテストの終了したデバイスを保持部から受け取りテストハンドラへ受け渡すものであり、
    前記制御手段に、前記両列により、テストハンドラからのデバイスの受け取りと、テストハンドラへのデバイスの受渡しとを同時に行うとともにデバイスの姿勢角度を変換するように制御させることを特徴とする外置き型テストユニットの制御プログラム。
13. 前記シャトルの一方の列の載置位置は、他方の列の載置位置からシャトルの移動方向に対してずれて配置されていることを特徴とする請求項１２記載の外置き型テストユニットの制御プログラム。
14. １つの引離し機構と１つの受渡し機構とをセットとし、当該セットを２つ備え、
    前記制御手段に、第１のセットが引離し機構から受渡し機構への受渡し及び受け取りを行っている間に、第２のセットがテスト装置から受渡し機構への受取り及び受渡しを行うように制御させることを特徴とする請求項１２又は１３記載の外置き型テストユニットの制御プログラム。
15. ２つの引離し機構と１つの受渡し機構とをセットとし、当該セットを２つ備え、
    前記制御手段に、各セットにおいて、２つの引離し機構が、デバイスのテストハンドラとの間での受取り及び受渡しと、前記受渡し機構における前記保持部との間で受取り及び受渡しとを、互い違いに並列して行うように制御させるとともに、第１のセットが、引離し機構から受渡し機構への受渡し及び受け取りを行っている間に、第２のセットが、テスト装置から受渡し機構への受取り及び受渡しを行うように制御させるものであることを特徴とする請求項１２又は１３記載の外置き型テストユニットの制御プログラム。

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