JPS60209187A - 固体撮像素子の検査装置 - Google Patents
固体撮像素子の検査装置Info
- Publication number
- JPS60209187A JPS60209187A JP59147908A JP14790884A JPS60209187A JP S60209187 A JPS60209187 A JP S60209187A JP 59147908 A JP59147908 A JP 59147908A JP 14790884 A JP14790884 A JP 14790884A JP S60209187 A JPS60209187 A JP S60209187A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- state image
- image pickup
- pickup element
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Facsimiles In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はファクシミリ等の画像読取り素子として用いら
れるＣＣＤ、フオトダ１オードアレイ等の固体撮像素子
の検査装置に関するものである。
れるＣＣＤ、フオトダ１オードアレイ等の固体撮像素子
の検査装置に関するものである。
一般にこの種の固体撮像素子においては、その製造過程
で、保護ガラスの接着時に粒子状の低融点ガラスが飛散
しガラス内面に付着していた。このように、保護ガラス
内面にガラス粒子あるいは他のゴミ等の異物が付着した
固体撮像素子をそのまま使用すると異物によって原稿反
射光線がその部分だけ遮断されることになり記録画像に
多大の悪影響を及ぼすことになる。したがって、このよ
うな固体撮像素子を事前に正確に摘出しなければならず
、従来は第１図に示すような検査装置で検査を行ってい
た。
で、保護ガラスの接着時に粒子状の低融点ガラスが飛散
しガラス内面に付着していた。このように、保護ガラス
内面にガラス粒子あるいは他のゴミ等の異物が付着した
固体撮像素子をそのまま使用すると異物によって原稿反
射光線がその部分だけ遮断されることになり記録画像に
多大の悪影響を及ぼすことになる。したがって、このよ
うな固体撮像素子を事前に正確に摘出しなければならず
、従来は第１図に示すような検査装置で検査を行ってい
た。
この装置は螢光灯１で直接固体撮像素子２の受光面を照
射する方法を利用している。すなわち螢光灯１の光線１
ｂは固体撮像素子２の保護ガラス２ａに付着した異物３
によって遮断され、固体撮像素子２の受光部（光電変換
部）２ｂに影を作ることになる。この影を検出すること
により異物３の存在を判別できる。しかし、螢光灯１の
光は散光であるために例えば１ａの光線や、いろいろ々
角度から入射する光線によって異物３の影が薄くなるた
め異物３を完全に確実に検出できなかった。
射する方法を利用している。すなわち螢光灯１の光線１
ｂは固体撮像素子２の保護ガラス２ａに付着した異物３
によって遮断され、固体撮像素子２の受光部（光電変換
部）２ｂに影を作ることになる。この影を検出すること
により異物３の存在を判別できる。しかし、螢光灯１の
光は散光であるために例えば１ａの光線や、いろいろ々
角度から入射する光線によって異物３の影が薄くなるた
め異物３を完全に確実に検出できなかった。
捷た、他の検査方法として特殊な光源やレンズ／
を用いる方法も考えられるが、検査装置自体が非常に複
雑で高価に々る問題を有している。
雑で高価に々る問題を有している。
本発明はこのような問題を解決したものであって、簡単
な検査装置で固体撮像素子の保護ガラス内面に付着する
ガラス粒子、ゴミ等の異物を確実に検出する固体撮像素
子の検査装置を提供するととを目的とする。
な検査装置で固体撮像素子の保護ガラス内面に付着する
ガラス粒子、ゴミ等の異物を確実に検出する固体撮像素
子の検査装置を提供するととを目的とする。
以下、本発明を図面に示した実施例と共に説明する。
第２図は本発明の一実施例による固体撮像素子の検査装
置を示す概略平断面図である。４はタングステンランプ
等の点光源ランプで、矢印Ａ−Ａ方向、つまり固体撮像
素子５の受光部５ｂの受光素子の列と直角方向に回転移
動する回転移動体（図示せず）に載置されている。この
場合の回転角は実際に固体撮像素子を使用する条件に合
わせる。つ丑り、第３図に示すようにファクシミリ送信
機の読取り素子用として用いる場合は、レンズらの画角
に相当する角度θについて回転させれば、保護ガラス５
ａに付着した異物了を正確に検出することができる。
置を示す概略平断面図である。４はタングステンランプ
等の点光源ランプで、矢印Ａ−Ａ方向、つまり固体撮像
素子５の受光部５ｂの受光素子の列と直角方向に回転移
動する回転移動体（図示せず）に載置されている。この
場合の回転角は実際に固体撮像素子を使用する条件に合
わせる。つ丑り、第３図に示すようにファクシミリ送信
機の読取り素子用として用いる場合は、レンズらの画角
に相当する角度θについて回転させれば、保護ガラス５
ａに付着した異物了を正確に検出することができる。
なお、第６図に示すように点光源ラング４を固定し、固
体撮像素子５を回転させてもよい。
体撮像素子５を回転させてもよい。
以上のような本実施例による固体撮像素子の検ン査装置
の出力波形と第１図に示す従来の検査装置′１？出力波
形の比較を第４図に示している。実線ａで示す出力波形
は従来装置のもので、破線すで示す出力波形は本実施例
による検査装置の出力波形である。この波形図からも明
らかなように異物７の影響が非常に大きく出るため検査
の信頼性向上を図ることができる。
の出力波形と第１図に示す従来の検査装置′１？出力波
形の比較を第４図に示している。実線ａで示す出力波形
は従来装置のもので、破線すで示す出力波形は本実施例
による検査装置の出力波形である。この波形図からも明
らかなように異物７の影響が非常に大きく出るため検査
の信頼性向上を図ることができる。
第５図はこのような固体撮像素子の検査装置の具体的な
回路を示したものである。点光源ランプ４の点状光線は
固体撮像素子６に入射され、その光電変換出力信号は増
幅器９によって増幅された後に２値化回路１０で２値化
信号に変換され、出力端子１１よタブリンタ一部（図示
せず）あるいはオシロスコープ（図示せず）に供給され
る。８は固体撮像素子５の駆動回路である。したがって
、固体撮像素子５の保護ガラス面に異物が付着している
とプリンタ部よジのノ＼−トコピーあるいはオシロスコ
ープ等で容易に観測し検出できる。
回路を示したものである。点光源ランプ４の点状光線は
固体撮像素子６に入射され、その光電変換出力信号は増
幅器９によって増幅された後に２値化回路１０で２値化
信号に変換され、出力端子１１よタブリンタ一部（図示
せず）あるいはオシロスコープ（図示せず）に供給され
る。８は固体撮像素子５の駆動回路である。したがって
、固体撮像素子５の保護ガラス面に異物が付着している
とプリンタ部よジのノ＼−トコピーあるいはオシロスコ
ープ等で容易に観測し検出できる。
なお、固体撮像素子が二次元のものであっても点光源ラ
ンプ全二次元、つまり水平方向、垂直方向に回転させる
ことによって同様に検査できる。
ンプ全二次元、つまり水平方向、垂直方向に回転させる
ことによって同様に検査できる。
また、点光源ランプを固定し、固体撮像素子を二次元に
回転させてもよいことはいうまでもない。
回転させてもよいことはいうまでもない。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、固体撮
像素子あるいは点光源ランプのいずれか一方を上記固体
撮像素子の受光素子列と直角方向に回転させるように構
成したことにより固体撮像素子の保護ガラス面に付着し
た異物を容易にかつ確実に検出することができ、実用的
効果が大きい。
像素子あるいは点光源ランプのいずれか一方を上記固体
撮像素子の受光素子列と直角方向に回転させるように構
成したことにより固体撮像素子の保護ガラス面に付着し
た異物を容易にかつ確実に検出することができ、実用的
効果が大きい。
第１図は従来の固体撮像素子の検査装置の概略平断面図
、第２図は本発明の一実施例による固体撮像素子の検査
装置の概略平断面図、第３図は本発明の検査装置をファ
クシミリ送信機に適用する固体撮像素子の検査装置の概
略平断面図、第４図は上記実施例の出力波形図、第５図
は上記実施例の電気的構成を示すブロック図、第６図は
他の実施例の概略平面図である。 ４・・・・・点光源ランプ、６・・・・固体撮像素子。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１１１！１１ 第 ２ 図 ａ
、第２図は本発明の一実施例による固体撮像素子の検査
装置の概略平断面図、第３図は本発明の検査装置をファ
クシミリ送信機に適用する固体撮像素子の検査装置の概
略平断面図、第４図は上記実施例の出力波形図、第５図
は上記実施例の電気的構成を示すブロック図、第６図は
他の実施例の概略平面図である。 ４・・・・・点光源ランプ、６・・・・固体撮像素子。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１１１！１１ 第 ２ 図 ａ
Claims (1)
- 固体撮像素子の受光部を照射する点光源ランプ、および
上記固体撮像素子と上記点光源ランプとを相対的に移動
あるいは回転させる手段を設けたことを特徴とする固体
撮像素子の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59147908A JPS60209187A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 固体撮像素子の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59147908A JPS60209187A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 固体撮像素子の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60209187A true JPS60209187A (ja) | 1985-10-21 |
Family
ID=15440838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59147908A Pending JPS60209187A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 固体撮像素子の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60209187A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5148976A (en) * | 1974-10-25 | 1976-04-27 | Fujitsu Ltd | Denkatensosochino tensokoritsusokuteiho |
| JPS5694248A (en) * | 1979-12-28 | 1981-07-30 | Fujitsu Ltd | Detector for foreign matter on surface |
| JPS56129845A (en) * | 1980-03-14 | 1981-10-12 | Matsushita Electronics Corp | Inspecting method for color filter |
-
1984
- 1984-07-17 JP JP59147908A patent/JPS60209187A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5148976A (en) * | 1974-10-25 | 1976-04-27 | Fujitsu Ltd | Denkatensosochino tensokoritsusokuteiho |
| JPS5694248A (en) * | 1979-12-28 | 1981-07-30 | Fujitsu Ltd | Detector for foreign matter on surface |
| JPS56129845A (en) * | 1980-03-14 | 1981-10-12 | Matsushita Electronics Corp | Inspecting method for color filter |
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