JPS60205330A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
- Publication number
- JPS60205330A JPS60205330A JP6416984A JP6416984A JPS60205330A JP S60205330 A JPS60205330 A JP S60205330A JP 6416984 A JP6416984 A JP 6416984A JP 6416984 A JP6416984 A JP 6416984A JP S60205330 A JPS60205330 A JP S60205330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- measuring
- diaphragm
- capusle
- measuring diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、差圧測定装置に関し、更に詳しくは、測定ダ
イアフラムとこの測定ダイアフラムを挾持するボディと
このボディの両側に設けられ被測定圧力を受けるシール
ダイアフラムとで構成される測定カプセル、この測定カ
プセルを内部空所に収容するハウジング、このハウジン
グの両側に設けられ被測定流体が導入される室を形成す
るカバーを備えた差圧測定装置に関する。
イアフラムとこの測定ダイアフラムを挾持するボディと
このボディの両側に設けられ被測定圧力を受けるシール
ダイアフラムとで構成される測定カプセル、この測定カ
プセルを内部空所に収容するハウジング、このハウジン
グの両側に設けられ被測定流体が導入される室を形成す
るカバーを備えた差圧測定装置に関する。
（従来技術）
この種の差圧測定Ｇ習においては、ハウジングに加わる
外部からの力やボルト締めによる力、更に、潤度変化に
よって生ずる力を、如何にしてシールダイアフラムや測
定カプセルに伝えないような構造とするかが、測定精度
を向上させるうえから、又、温度ゼロ誤差や温度スパン
誤差をなくすうえから重要となる。そこで、従来から、
この点に関する改良提案が種々なされているが、効果的
な解決策となるものはない。
外部からの力やボルト締めによる力、更に、潤度変化に
よって生ずる力を、如何にしてシールダイアフラムや測
定カプセルに伝えないような構造とするかが、測定精度
を向上させるうえから、又、温度ゼロ誤差や温度スパン
誤差をなくすうえから重要となる。そこで、従来から、
この点に関する改良提案が種々なされているが、効果的
な解決策となるものはない。
（発明の目的）
本発明は、１配の点に鑑みてなされたもので、その目的
は、簡１１１な構成で、温石ピロ誤差やｍ度スパン誤差
が小さく、又、調度４Ｌイクルによる出カゼ［１点のヒ
ステリシスも小さく、１１つ測定精度が高い差圧測定装
置を実現１Ｊることにある。
は、簡１１１な構成で、温石ピロ誤差やｍ度スパン誤差
が小さく、又、調度４Ｌイクルによる出カゼ［１点のヒ
ステリシスも小さく、１１つ測定精度が高い差圧測定装
置を実現１Ｊることにある。
（発明の構成）
このような目的を達成する本発明は、測定ダイアフラム
とこの測定ダイアノラムを挟持するボディとこのボディ
の両側に設けられ被測定圧力を受けるシールダイアフラ
ムとで構成される測定カプセル、この測定ｊＪプはルを
内部空所に収容するハウジング、このハウジングの両側
に設けられ被測定流体が導入される室を形成するカバー
を備えた差圧測定装置において、前記測定ｊｔプヒルの
両側にチューブ部をイれぞれｉ！Ｑ ＋Ｊ 、一方のチ
ューブ部を前記ハウジングに結合すると共に、他方のチ
ューブ部を薄板弾性部材を介して前記ハウジングに結合
し、前記ノ」バーを前記シールダイアフラムの周縁部よ
り外側において前記ハウジング側に斤接するようにした
ことを特徴とするらのである。
とこの測定ダイアノラムを挟持するボディとこのボディ
の両側に設けられ被測定圧力を受けるシールダイアフラ
ムとで構成される測定カプセル、この測定ｊＪプはルを
内部空所に収容するハウジング、このハウジングの両側
に設けられ被測定流体が導入される室を形成するカバー
を備えた差圧測定装置において、前記測定ｊｔプヒルの
両側にチューブ部をイれぞれｉ！Ｑ ＋Ｊ 、一方のチ
ューブ部を前記ハウジングに結合すると共に、他方のチ
ューブ部を薄板弾性部材を介して前記ハウジングに結合
し、前記ノ」バーを前記シールダイアフラムの周縁部よ
り外側において前記ハウジング側に斤接するようにした
ことを特徴とするらのである。
（実施例）
以■・、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例を示を断面図である。
この装置において、１は平板で形成された測定ダイアフ
ラム、２．３は測定ダイアフラム１を挟持する円板状の
ボディで、該ボディ２，３は測定ダイアフラム１と共に
測定力ブレル４を構成している。このボディ２，３の対
向する凹部には、絶縁祠料５．６が球状凹表面を形成す
る如く充填され、又、側面中央部にはチューブ７．８が
突設されている。測定カプセル４の内部には、測定ダイ
アフラム１で仕切られた測定室９．１０が形成され、更
に絶縁材＄３１５．６の凹表面にはコンデンサ板がＭ
ＩＪ状に形成されている。測定ダイアフラム１のたわみ
（変位）は、この測定ダイアフラム１と各コンデンサ板
１１．１２との間の静１１！＠１の突止として検出され
る。１３は測定カプセル４を内蔵させるハウジングで、
内部空所１４を有する本体部１３ａと円板状の蓋部１３
ｂとで構成され、共に中心部に前記ボディ２，３のチｌ
−ブ７．８が３− 挿通されるための貫通孔が穿設されている。
ラム、２．３は測定ダイアフラム１を挟持する円板状の
ボディで、該ボディ２，３は測定ダイアフラム１と共に
測定力ブレル４を構成している。このボディ２，３の対
向する凹部には、絶縁祠料５．６が球状凹表面を形成す
る如く充填され、又、側面中央部にはチューブ７．８が
突設されている。測定カプセル４の内部には、測定ダイ
アフラム１で仕切られた測定室９．１０が形成され、更
に絶縁材＄３１５．６の凹表面にはコンデンサ板がＭ
ＩＪ状に形成されている。測定ダイアフラム１のたわみ
（変位）は、この測定ダイアフラム１と各コンデンサ板
１１．１２との間の静１１！＠１の突止として検出され
る。１３は測定カプセル４を内蔵させるハウジングで、
内部空所１４を有する本体部１３ａと円板状の蓋部１３
ｂとで構成され、共に中心部に前記ボディ２，３のチｌ
−ブ７．８が３− 挿通されるための貫通孔が穿設されている。
ここで、測定カプセル４はハウジング本体部１３ａの内
部空所１４内に収容され、一方のチューブ７は、例えば
溶接によってハウジングに固着され、他方のチューブ８
は、薄板弾性部材であるリング状の薄板１５を介してハ
ウジング蓋部１３Ｅ）に固着される。
部空所１４内に収容され、一方のチューブ７は、例えば
溶接によってハウジングに固着され、他方のチューブ８
は、薄板弾性部材であるリング状の薄板１５を介してハ
ウジング蓋部１３Ｅ）に固着される。
第２図はこの固着部付近の拡大図である。薄板１５とチ
ューブ８及び蓋部１３ｂは、溶接部Ｗｄによって固着さ
れる。ハウジング本体部１３ａど蓋部１３ｂとは、測定
カプセル４をハウジング内部空所１４に内蔵した後、一
体になるように溶接される。
ューブ８及び蓋部１３ｂは、溶接部Ｗｄによって固着さ
れる。ハウジング本体部１３ａど蓋部１３ｂとは、測定
カプセル４をハウジング内部空所１４に内蔵した後、一
体になるように溶接される。
１６．１７は差圧測定の対象である２つの圧力をそれぞ
れ受けるシールダイアフラムで、ハウジング１３の両側
面周縁部に環状プレート２５．２６によって押圧され溶
接固着され、ハウジング本体部１３ａど蓋部１３ｂの外
表面との間にそれぞれ受圧室１８，１９を形成づる。
れ受けるシールダイアフラムで、ハウジング１３の両側
面周縁部に環状プレート２５．２６によって押圧され溶
接固着され、ハウジング本体部１３ａど蓋部１３ｂの外
表面との間にそれぞれ受圧室１８，１９を形成づる。
そして、この受圧室１８．１９は、測定カプセル４−
４に穿設されている連通孔２１，２２によって、イれぞ
れ測定室９，１０と連通する。これら受圧室１８，１９
、測定室９．１０及び連通孔２１゜２２内には、非圧縮
性の流体（例えばジルコンオイル）が封入されており、
シールダイアフラム１６．１７が受ける圧力は、測定ダ
イアフラム１の両側に導かれ、この測定ダイアフラム１
は、測定室０と１０の圧力差に応じて変位する。
れ測定室９，１０と連通する。これら受圧室１８，１９
、測定室９．１０及び連通孔２１゜２２内には、非圧縮
性の流体（例えばジルコンオイル）が封入されており、
シールダイアフラム１６．１７が受ける圧力は、測定ダ
イアフラム１の両側に導かれ、この測定ダイアフラム１
は、測定室０と１０の圧力差に応じて変位する。
２３．２４はシールダイアフラム１６．１７に対向配置
され、被測定流体が導入される室を形成するカバー（プ
ロセスフランジ）で、ボルト２９とナツト３０との締付
は力によって、ガスケット２７．２８を介して、環状プ
レーｔ２５，２６の周縁部より外側〈従ってシールダイ
アフラム１６゜１７の周縁部より外側）のハウジング１
３面に「接されている。第３図はこの部分の拡大図であ
る。
され、被測定流体が導入される室を形成するカバー（プ
ロセスフランジ）で、ボルト２９とナツト３０との締付
は力によって、ガスケット２７．２８を介して、環状プ
レーｔ２５，２６の周縁部より外側〈従ってシールダイ
アフラム１６゜１７の周縁部より外側）のハウジング１
３面に「接されている。第３図はこの部分の拡大図であ
る。
カバー２３ （２４）の締付り力はガスケット２７（２
８）を介して直接ハウジング１３に加わる構造となって
いる。従って、シールダイアフラム１６．１７には、カ
バー２３．２４からの力が直接加わることはない。
８）を介して直接ハウジング１３に加わる構造となって
いる。従って、シールダイアフラム１６．１７には、カ
バー２３．２４からの力が直接加わることはない。
このような構成の実施例によれば、測定カプセル４は、
一方のチューブ７並びに他方のチューブ８及びリング状
の薄板１５を介してハウジング１３の内部空所１４内に
支持される。従って、ハウジング１３の線膨張係数α１
と、測定カプセル４の線膨張係数α？ 〈通常、α１〉
α２）の差分によって生ずる引張力や圧縮力或いは外部
から加えられる力は、薄板１５やチューブ７．８部分で
吸収され、測定ダイアフラム１に張力変化を起こさせる
ことはない。又、カバー締ト１けによる力がシールダイ
アフラム１６，１７に加わらないので、シールダイアフ
ラム１６，１７の特性が保護でき、温度ゼロシフト、温
度ザイクルによるぜ［１点のヒステリシスを防ぐことが
できる。
一方のチューブ７並びに他方のチューブ８及びリング状
の薄板１５を介してハウジング１３の内部空所１４内に
支持される。従って、ハウジング１３の線膨張係数α１
と、測定カプセル４の線膨張係数α？ 〈通常、α１〉
α２）の差分によって生ずる引張力や圧縮力或いは外部
から加えられる力は、薄板１５やチューブ７．８部分で
吸収され、測定ダイアフラム１に張力変化を起こさせる
ことはない。又、カバー締ト１けによる力がシールダイ
アフラム１６，１７に加わらないので、シールダイアフ
ラム１６，１７の特性が保護でき、温度ゼロシフト、温
度ザイクルによるぜ［１点のヒステリシスを防ぐことが
できる。
第４図〜第７図は本発明の他の実施例を示す要部の断面
図で、いずれもチューブ部８とハウジング蓋部１３ｂと
の結合部分を拡大して示しである。
図で、いずれもチューブ部８とハウジング蓋部１３ｂと
の結合部分を拡大して示しである。
第４図の実施例では、チュー１部８をリング状薄板１５
を介してハウジング蓋部１３ｂに結合すると共に、薄板
１５上を平板３１で押圧し、Ｗｄの個所で溶接したもの
である。
を介してハウジング蓋部１３ｂに結合すると共に、薄板
１５上を平板３１で押圧し、Ｗｄの個所で溶接したもの
である。
第５図の実施例では、チューブ部８をダイアフラム３２
を介してハウジング鎧部１３ｂに結合するようにしたも
のである。
を介してハウジング鎧部１３ｂに結合するようにしたも
のである。
第６図の実施例では、チューブ部８を薄板で構成された
カップ３３を介してハウジング１１部１３ｂに結合した
ものである。
カップ３３を介してハウジング１１部１３ｂに結合した
ものである。
第７図の実施例では、チューブ部８をベロー３４を介し
てハウジング蓋部１３ｂに結合したものである。
てハウジング蓋部１３ｂに結合したものである。
上記いずれの実施例でも、第１図の実施例と同様な効果
を得ることができる。
を得ることができる。
尚、上記の説明は、測定ダイアフラム１の圧力差に対応
する変位を静電容量の変化として検出するものについて
述べたが、コンデンサ板１１．１２に代えてコイルを設
置し、そのコイルのインダクタンス変化から測定ダイア
フラム１の変位を検出覆るようにしてもよい。
する変位を静電容量の変化として検出するものについて
述べたが、コンデンサ板１１．１２に代えてコイルを設
置し、そのコイルのインダクタンス変化から測定ダイア
フラム１の変位を検出覆るようにしてもよい。
（発明の効果）
以１−説明したように、本発明によれば、簡単な構成で
ハウジングに加わる外部からの力や、温度変化ににって
生ずる種々の力が測定ダイアフラムに与える影響を小さ
くできると共に、シールダイアフラムの特性を保護する
ことができ、温度ゼロ誤差や温度スパン誤差の小さい、
従って測定精度の高い圧力測定装隨を実現できる。
ハウジングに加わる外部からの力や、温度変化ににって
生ずる種々の力が測定ダイアフラムに与える影響を小さ
くできると共に、シールダイアフラムの特性を保護する
ことができ、温度ゼロ誤差や温度スパン誤差の小さい、
従って測定精度の高い圧力測定装隨を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図はチュ
ーブ部とハ・クジング鎧部との結合部付近の要部断面拡
大図、第３図はカバーとハウジングの結合部付近の要部
断面拡大図、第４図〜第７図は本発明の他の実施例を示
す要部の断面拡大図である。 １・・・測定ダイアフラム ２．３・・・ボディ ４・・・測定カプセル７．８・・
・チューブ部 １１．１２・・・コンデンサ板 １３・・・ハウジング １４・・・内部空所１５・・・
薄板弾性部材 ＝８− １６．１７・・・シールダイアフラム ２３．２４・・・カバー 特許出願人 横河北辰電機株式会ネ１ 代 理 人 弁理士 小 沢 信 助 寓４図 ｄ 諮５図 第６図 帛７図 ３ １擢
ーブ部とハ・クジング鎧部との結合部付近の要部断面拡
大図、第３図はカバーとハウジングの結合部付近の要部
断面拡大図、第４図〜第７図は本発明の他の実施例を示
す要部の断面拡大図である。 １・・・測定ダイアフラム ２．３・・・ボディ ４・・・測定カプセル７．８・・
・チューブ部 １１．１２・・・コンデンサ板 １３・・・ハウジング １４・・・内部空所１５・・・
薄板弾性部材 ＝８− １６．１７・・・シールダイアフラム ２３．２４・・・カバー 特許出願人 横河北辰電機株式会ネ１ 代 理 人 弁理士 小 沢 信 助 寓４図 ｄ 諮５図 第６図 帛７図 ３ １擢
Claims (1)
- 測定ダイアフラムとこの測定ダイアフラムを挟持するボ
ディとこのボディの両側に設けられ被測定圧力を受ける
シールダイアフラムとで構成される測定カプセル、この
測定カプセルを内部空所に収容するハウジング、このハ
ウジングの両側に設けられ被測定流体が導入される空を
形成するカバーを備えた差圧測定装置において、前記測
定カプセルの両側にチューブ部をそれぞれ設け、一方の
チューブ部を前記ハウジングに結合すると共に、他方の
チューブ部を薄板弾性部材を介して前記ハウジングに結
合し、前記カバーを前記シールダイアフラムの周縁部よ
り外側において前記ハウジング側に圧接づ−るようにし
たことを特徴とする差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6416984A JPS60205330A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6416984A JPS60205330A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 差圧測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60205330A true JPS60205330A (ja) | 1985-10-16 |
Family
ID=13250289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6416984A Pending JPS60205330A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60205330A (ja) |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6416984A patent/JPS60205330A/ja active Pending
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