JPS60202402A - フレネルレンズ - Google Patents
フレネルレンズInfo
- Publication number
- JPS60202402A JPS60202402A JP5875584A JP5875584A JPS60202402A JP S60202402 A JPS60202402 A JP S60202402A JP 5875584 A JP5875584 A JP 5875584A JP 5875584 A JP5875584 A JP 5875584A JP S60202402 A JPS60202402 A JP S60202402A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- wavelength
- light
- photosensitive substance
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1876—Diffractive Fresnel lenses; Zone plates; Kinoforms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/02—Simple or compound lenses with non-spherical faces
- G02B3/08—Simple or compound lenses with non-spherical faces with discontinuous faces, e.g. Fresnel lens
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はマイクロフレネルレンズに関するものであり、
特に作製容易で保護作用のあるフレネルレンズに関する
ものである。
特に作製容易で保護作用のあるフレネルレンズに関する
ものである。
従来例の構成とその問題点
近年、マイクロフレネルレンズは、小形軽量で再現性が
よく、収差が小さいマイクロレンズとして注目されてい
る０フレネルレンズには、膜厚分２ベシ 有形、屈折率分布形の２種類あり、特に後者の屈折率分
布形のレンズは、現象やエツチングの処理が不要で、作
製が容易である。屈折率分布形のフレネルレンズは、Ａ
ｓ２Ｓ３等の感光性物質を用い、光や電子ビームを用い
て、Ａｓ２Ｓ３の屈折率分布がレンズの位相変調量に応
じるようにしたものである。従来の屈折率分布形フレネ
ルレンズは、レンズを構成している感光性材料が入射光
に対して無防備、つまり、上記物質の屈折率を変化させ
る波長の光が入射した場合、屈折率分布が変化し、レン
ズ作用を生じなくなってしまう可能性が大きい。
よく、収差が小さいマイクロレンズとして注目されてい
る０フレネルレンズには、膜厚分２ベシ 有形、屈折率分布形の２種類あり、特に後者の屈折率分
布形のレンズは、現象やエツチングの処理が不要で、作
製が容易である。屈折率分布形のフレネルレンズは、Ａ
ｓ２Ｓ３等の感光性物質を用い、光や電子ビームを用い
て、Ａｓ２Ｓ３の屈折率分布がレンズの位相変調量に応
じるようにしたものである。従来の屈折率分布形フレネ
ルレンズは、レンズを構成している感光性材料が入射光
に対して無防備、つまり、上記物質の屈折率を変化させ
る波長の光が入射した場合、屈折率分布が変化し、レン
ズ作用を生じなくなってしまう可能性が大きい。
発明の目的
本発明はこのような従来の問題に鑑み、作製容易で保護
作用のあるマイクロフレネルレンズを提供することを目
的とする。
作用のあるマイクロフレネルレンズを提供することを目
的とする。
発明の構成
本発明は声板上にレンズの位相変調量に応じた屈折率分
布を有する感光性物質が形成され、上記感光性物質の少
なくとも入射光側に上記感光性物質を感光せしめる、つ
まり屈折率を変化させる３ ″ ノ 波長の光を遮断する光フィルターを設けることにより、
作製容易で保護作用のあるマイクロフレネルレンズを実
現するものである。
布を有する感光性物質が形成され、上記感光性物質の少
なくとも入射光側に上記感光性物質を感光せしめる、つ
まり屈折率を変化させる３ ″ ノ 波長の光を遮断する光フィルターを設けることにより、
作製容易で保護作用のあるマイクロフレネルレンズを実
現するものである。
実施例の説明
第１図は、本発明の第１の実施例のフレネルレンズを示
すものである。同図において１はガラス基板、２はレン
ズの位相変調量に応じた屈折率分布を有した感光性物質
Ａ８２ Ｓ３堆積膜、３は感光性物質２の屈折率を変化
させる波長光を遮断する光フィルターである。本実施例
では、基板１としてガラスを用いたが、フレネルレンズ
の使用波長において透過率の優れているものなら何でも
よい。
すものである。同図において１はガラス基板、２はレン
ズの位相変調量に応じた屈折率分布を有した感光性物質
Ａ８２ Ｓ３堆積膜、３は感光性物質２の屈折率を変化
させる波長光を遮断する光フィルターである。本実施例
では、基板１としてガラスを用いたが、フレネルレンズ
の使用波長において透過率の優れているものなら何でも
よい。
感光性物質２としてＡＳ２Ｓ３堆積膜を用いた場合、フ
ィルター３としては、波長０．６５μｍ 以下の光を遮
断し、レンズの使用波長において透過率の優れているも
のなら何でもよいが、本実施例では、レンズの使用波長
をＹＡＧレーザ光の１．０６４μｍと設定して、ＣｄＴ
ｅの結晶を用いたがＣｄＴｅの薄膜を堆積して用いて
もよいのは言うまでもない。
ィルター３としては、波長０．６５μｍ 以下の光を遮
断し、レンズの使用波長において透過率の優れているも
のなら何でもよいが、本実施例では、レンズの使用波長
をＹＡＧレーザ光の１．０６４μｍと設定して、ＣｄＴ
ｅの結晶を用いたがＣｄＴｅの薄膜を堆積して用いて
もよいのは言うまでもない。
ＣｄＴｅは波長が約０．９μｍから１６μｍ付近まで透
過率がよい。フィルター３の太きさとしては、感光性物
質２のうちレンズ作用を生じる傾城より太きければよい
わけであるが、本実施例では、直径１ｍｍのレンズを用
いたので、１×１−のフィルター３を設けた。なお、フ
レネルレンズの場合、どちらの面を入射光側にしても動
作するため、このフィルターの設ける面はどちら側でも
よい。つまり、フィルターの設けた面を入射光側にすれ
ばよいのである。両側にフィルターを設けてもよいのは
言う壕でもない。
過率がよい。フィルター３の太きさとしては、感光性物
質２のうちレンズ作用を生じる傾城より太きければよい
わけであるが、本実施例では、直径１ｍｍのレンズを用
いたので、１×１−のフィルター３を設けた。なお、フ
レネルレンズの場合、どちらの面を入射光側にしても動
作するため、このフィルターの設ける面はどちら側でも
よい。つまり、フィルターの設けた面を入射光側にすれ
ばよいのである。両側にフィルターを設けてもよいのは
言う壕でもない。
４は使用される入射光で、レンズを通過後、出射光６は
６で焦点を結ぶことになる。なお、入射光４は反対より
入射してもよい。
６で焦点を結ぶことになる。なお、入射光４は反対より
入射してもよい。
第２図は、本発明の第２の実施例を示すものである。２
は感光性物質Ａ８゜０３の堆積膜よりなるフレネルレン
ズであり、７はフィルター作用ヲモった基板である。つ
まり基板４は第１の実施例における基板１とフィルター
２の特性を兼ねたものであり、本実施例では、基板下と
してＣｄ Ｔ ｅの結晶を用いた。
は感光性物質Ａ８゜０３の堆積膜よりなるフレネルレン
ズであり、７はフィルター作用ヲモった基板である。つ
まり基板４は第１の実施例における基板１とフィルター
２の特性を兼ねたものであり、本実施例では、基板下と
してＣｄ Ｔ ｅの結晶を用いた。
５ ”’ ；−
第２図の構造の製造方法を第３図とともに説明する。ま
ず、第３図体）の基板７上に、Ａｓ２Ｏ３堆積膜２Ａを
例えば１０μｍの厚さに形成した（ｂ）。
ず、第３図体）の基板７上に、Ａｓ２Ｏ３堆積膜２Ａを
例えば１０μｍの厚さに形成した（ｂ）。
次に、Ａｒレーザ光８を集光して膜２Ａ上を同心円状に
走査した（Ｃ）。このときのレーザ光８の照射量は、照
射後の膜２Ａの屈折率分布がフレネルレンズの位相変調
量に対応するように半径方向に連続的に鋸歯状に変化さ
せた。こうすることにより、空気中におけるレーザー光
８の照射のみで膜２Ａに屈折率分布を形成し、フレネル
レンズ２を形成することができた（ｄ）。なお、フレネ
ルレンズ２０入射光４（第１図）使用成長け、レンズ２
の屈折率分布を変えてしまわないものを選ぶ必要があり
、１．０６４μｍのＹＡＣｉｔレーザ光を用いればよい
。第４図は、第３図（Ｃ）におけるレーザー光６の照射
駄態を示すものである。
走査した（Ｃ）。このときのレーザ光８の照射量は、照
射後の膜２Ａの屈折率分布がフレネルレンズの位相変調
量に対応するように半径方向に連続的に鋸歯状に変化さ
せた。こうすることにより、空気中におけるレーザー光
８の照射のみで膜２Ａに屈折率分布を形成し、フレネル
レンズ２を形成することができた（ｄ）。なお、フレネ
ルレンズ２０入射光４（第１図）使用成長け、レンズ２
の屈折率分布を変えてしまわないものを選ぶ必要があり
、１．０６４μｍのＹＡＣｉｔレーザ光を用いればよい
。第４図は、第３図（Ｃ）におけるレーザー光６の照射
駄態を示すものである。
発明の効果
以上のように、本発明は感光性物質で形成した屈折率分
布形フレネルレンズの少なくとも入射光側に、上記の感
光性物質の屈折率を変化させる波６ベーシ 長光を遮断する光フィルターを設けたことにより、屈折
率分布形であるため作製が容易で、しかもフィルターの
効果で保護作用のあるフレネルレンズが作製できた。
布形フレネルレンズの少なくとも入射光側に、上記の感
光性物質の屈折率を変化させる波６ベーシ 長光を遮断する光フィルターを設けたことにより、屈折
率分布形であるため作製が容易で、しかもフィルターの
効果で保護作用のあるフレネルレンズが作製できた。
第１図は本発明の第１の実施例のフレネルレンズの断面
図、第２図は本発明の第２の実施例のフレネルレンズの
断面図、第３図（ａ）〜（ｄ）は本発明の第２の実施例
における製造工程図、第４図は第３図（Ｃ）におけるレ
ーザ光照射時の斜視図である。 １・・・・・・ガラス基板、２Ａ・・・・・・レンズ位
相変調量に応じた屈折率分布を有した感光性物質へ８２
ｏ３堆積膜、２・・・・・・フレネルレンズ、３・・・
・・・堆積膜の屈折率を変化させる波長光を遮断するＣ
ｄＴｅ光フイルタ−，７・・・・・・上記基板と上記フ
ィルターを兼ねそなえたＣｄＴｅ基板。
図、第２図は本発明の第２の実施例のフレネルレンズの
断面図、第３図（ａ）〜（ｄ）は本発明の第２の実施例
における製造工程図、第４図は第３図（Ｃ）におけるレ
ーザ光照射時の斜視図である。 １・・・・・・ガラス基板、２Ａ・・・・・・レンズ位
相変調量に応じた屈折率分布を有した感光性物質へ８２
ｏ３堆積膜、２・・・・・・フレネルレンズ、３・・・
・・・堆積膜の屈折率を変化させる波長光を遮断するＣ
ｄＴｅ光フイルタ−，７・・・・・・上記基板と上記フ
ィルターを兼ねそなえたＣｄＴｅ基板。
Claims (2)
- （１）基板上に、レンズの位相変調量に応じた屈折率分
布を有する感光性物質を有し、上記感光性物質のすくな
くとも入射光側に上記感光性物質を感光せしめる波長の
光を遮断する光フィルターを設けたことを特徴とするフ
レネルレンズ。 - （２）基板をフィルターとすることを特徴とする特許請
求の範囲第１項に記載のフレネルレンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5875584A JPS60202402A (ja) | 1984-03-27 | 1984-03-27 | フレネルレンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5875584A JPS60202402A (ja) | 1984-03-27 | 1984-03-27 | フレネルレンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60202402A true JPS60202402A (ja) | 1985-10-12 |
Family
ID=13093348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5875584A Pending JPS60202402A (ja) | 1984-03-27 | 1984-03-27 | フレネルレンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60202402A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06505211A (ja) * | 1991-02-22 | 1994-06-16 | プルップ・エスコフォット・アクティーゼルスカブ | レーザイメージセッタ |
| EP1696248A1 (en) * | 2003-12-19 | 2006-08-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Flat sheet type micro-lens and production method therefor |
| CN110212404A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-09-06 | 深港产学研基地（北京大学香港科技大学深圳研修院） | 智能车用混合菲涅尔透镜干涉滤光片半导体激光器 |
| CN110221446A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-09-10 | 深港产学研基地（北京大学香港科技大学深圳研修院） | 混合菲涅尔透镜干涉滤光片光学元件 |
-
1984
- 1984-03-27 JP JP5875584A patent/JPS60202402A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06505211A (ja) * | 1991-02-22 | 1994-06-16 | プルップ・エスコフォット・アクティーゼルスカブ | レーザイメージセッタ |
| EP1696248A1 (en) * | 2003-12-19 | 2006-08-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Flat sheet type micro-lens and production method therefor |
| EP1696248A4 (en) * | 2003-12-19 | 2007-10-17 | Sumitomo Electric Industries | MICROLINSE OF THE FLAT BLADE TYPE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
| CN110212404A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-09-06 | 深港产学研基地（北京大学香港科技大学深圳研修院） | 智能车用混合菲涅尔透镜干涉滤光片半导体激光器 |
| CN110221446A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-09-10 | 深港产学研基地（北京大学香港科技大学深圳研修院） | 混合菲涅尔透镜干涉滤光片光学元件 |
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