JPH01282501A - グレーティングレンズ - Google Patents
グレーティングレンズInfo
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- JPH01282501A JPH01282501A JP63113102A JP11310288A JPH01282501A JP H01282501 A JPH01282501 A JP H01282501A JP 63113102 A JP63113102 A JP 63113102A JP 11310288 A JP11310288 A JP 11310288A JP H01282501 A JPH01282501 A JP H01282501A
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- Japan
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- grating
- lens
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- grating lens
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
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- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 abstract description 3
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1876—Diffractive Fresnel lenses; Zone plates; Kinoforms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、グレーティングレンズに関するものであり、
特に、発散球面波を収束球面波に集光するタイプの光学
特性に優れた高ＮＡ可能なグレーティングレンズを提供
するものである。
特に、発散球面波を収束球面波に集光するタイプの光学
特性に優れた高ＮＡ可能なグレーティングレンズを提供
するものである。
従来の技術
マイクロレンズはコンパクトディスクＣＤやレーザディ
スク又は光通信システム等の光応用システムの重要な構
成要素である。なかでもマイクロフレネルレンズ等のグ
レーティングレンズは、レンズ厚が数μｍ以下でグレー
ティング部の溝の間隔の変化で任意の波面を再生できる
という特徴があり、注目されている。
スク又は光通信システム等の光応用システムの重要な構
成要素である。なかでもマイクロフレネルレンズ等のグ
レーティングレンズは、レンズ厚が数μｍ以下でグレー
ティング部の溝の間隔の変化で任意の波面を再生できる
という特徴があり、注目されている。
従来例として、第７図に示すようなグレーティングレン
ズ（フレネルレンズ）があった（ Ｔ、５ｈｉｏｎｏ
ａｔ、ａｌ ：“ｃｏｍｐｕｔｅｒ −００ｎｔｒＯ１
１６ｄ ６１６０ｔｒＯｎ −ｂｏｏｍ ｗｒｉｔｉｎ
ｇｓｙｓｔｅｍ ｒｏｒ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｍ１ｃ
ｒｏ−Ｏｐｔｉｃｓ”、Ｊ。
ズ（フレネルレンズ）があった（ Ｔ、５ｈｉｏｎｏ
ａｔ、ａｌ ：“ｃｏｍｐｕｔｅｒ −００ｎｔｒＯ１
１６ｄ ６１６０ｔｒＯｎ −ｂｏｏｍ ｗｒｉｔｉｎ
ｇｓｙｓｔｅｍ ｒｏｒ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｍ１ｃ
ｒｏ−Ｏｐｔｉｃｓ”、Ｊ。
Ｖａｃ 、Ｓｃｉ 、Ｔｅｃｈｎｏｌ 、Ｂ 、５．１
、ＰＰ 、３３−３６ （Ｊａｎ 。
、ＰＰ 、３３−３６ （Ｊａｎ 。
１９８７））。すなわち、基板１上に、第７図に示すよ
うな断面が鋸歯形状のグレーティング部７を形成したも
のである。グレーティング部７を鋸歯形状に加工するこ
とにより、回折の他に屈折の現像が加わシ、集光効率を
向上させるものである。
うな断面が鋸歯形状のグレーティング部７を形成したも
のである。グレーティング部７を鋸歯形状に加工するこ
とにより、回折の他に屈折の現像が加わシ、集光効率を
向上させるものである。
発明が解決しようとする課題
第７図に示した従来のグレーティングレンズでは、収束
球面波を発散球面波に変換するタイプのものを考えた場
合、第８図に示すように、グレーティング部７の周期Ａ
が小さくなるにつれて（外周部になるほど）入射光を集
光する割合を示す１次回折効率はしだいに小さくなって
いった。ただし、第８図に示した曲線は、各グレーティ
ングの入射角θは、使用波長λ、グレーティ／グ部の屈
折率ｎに対して で与えられるブラッグ角θＢのときのものであり、言い
換えれば、入射側と出射側の開口数Ｎムが等しいときの
値である。１次回折効率が６０チ以上になるグレーティ
ング周期はＡ≧２．８λであシ、このグレーティング周
期はほぼ入射側と出射側の開口数Ｎム＝０．１８のグレ
ーティングレンズの最外周に相当する。すなわちにム〉
０．１８のグレーティングレンズの外周部は効率が６０
％以下に下ってしまい、集光効率が悪くなるという開運
があった。
球面波を発散球面波に変換するタイプのものを考えた場
合、第８図に示すように、グレーティング部７の周期Ａ
が小さくなるにつれて（外周部になるほど）入射光を集
光する割合を示す１次回折効率はしだいに小さくなって
いった。ただし、第８図に示した曲線は、各グレーティ
ングの入射角θは、使用波長λ、グレーティ／グ部の屈
折率ｎに対して で与えられるブラッグ角θＢのときのものであり、言い
換えれば、入射側と出射側の開口数Ｎムが等しいときの
値である。１次回折効率が６０チ以上になるグレーティ
ング周期はＡ≧２．８λであシ、このグレーティング周
期はほぼ入射側と出射側の開口数Ｎム＝０．１８のグレ
ーティングレンズの最外周に相当する。すなわちにム〉
０．１８のグレーティングレンズの外周部は効率が６０
％以下に下ってしまい、集光効率が悪くなるという開運
があった。
又、作製においても、外周部の周期が小さい領域では良
好な鋸歯形状を形成するのが難しく、形状が乱れがちで
あった。
好な鋸歯形状を形成するのが難しく、形状が乱れがちで
あった。
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、特に光学特
性に優れた高Ｎム可能なグレーティングレンズを提供す
るものである。
性に優れた高Ｎム可能なグレーティングレンズを提供す
るものである。
課題を解決するための手段
本発明は上記問題点を解決するために、少なくとも、基
板と上記基板上に形成したグレーティング部からなシ、
上記グレーティング部の中央部は断面を鋸歯形状とし、
上記グレーティング部の周辺部は断面が矩形形状とする
ものである。
板と上記基板上に形成したグレーティング部からなシ、
上記グレーティング部の中央部は断面を鋸歯形状とし、
上記グレーティング部の周辺部は断面が矩形形状とする
ものである。
作用
本発明は、比較的周期の大きいグレーティング部中央部
断面を鋸歯形状とし、比較的周期の小さい周辺部断面は
矩形形状とすることにより、レンズの中央部から周辺部
まで効率がよくなシ、し／ズの集光特性をよくするもの
である。
断面を鋸歯形状とし、比較的周期の小さい周辺部断面は
矩形形状とすることにより、レンズの中央部から周辺部
まで効率がよくなシ、し／ズの集光特性をよくするもの
である。
実施例
第１図、第２図は、それぞれ本発明の一実施例のグレー
ティングレンズの構造を示す断面図、平面図である。例
えば、ガラスや合成樹脂等の透明基板１上に、例えばＣ
ＭＳやＰＭＭム等の電子ビームレジストで形成したグレ
ーティング部２を設けたものである。グレーティング部
２は、レンズ作用をするように同心円状又は同心楕円状
に外周になるほど周期が小さくなるようＫしてあり、中
央部２ムの断面は第１図に示すようないわゆる鋸歯形状
で、周辺部２Ｂ断面は、矩形形状としである。このグレ
ーティング部２の加工方法としては、公知の電子ビーム
描画法を用いた。すなわち、基板１上に、電子ビームレ
ジストをコーティングし、電子ビーム描画装置を用いて
、第１図に示したようなグレーティングレンズの膜厚分
布に対応するように露光量分布を与え、現像処理をして
レジストの膜厚を変化させて作製した。このときのグレ
−ティング部中央部２人の溝の深さｈＡは、使用波長λ
、グレーティング部の屈折率ｎに対して、例えばｈ人＝
λ／（ｎ−１）とし、周辺部２Ｂの溝の深さは、効率を
よくするためにｈ Ｂ 共ｈ Ａとし例えばｈＢ＝１．
ｓｈ人 とした。本実施例では、例えばλ＝０．６３２
８μｍ、ｎ＝１．６であり、例えばｈ人＝１．０５１１
ｍ 、ｈＢ＝１．５μｍとした。本実施例のグレーティ
ングレンズのこのときのプラウグ角入射時の１次回折効
率を示したのが第３図である。
ティングレンズの構造を示す断面図、平面図である。例
えば、ガラスや合成樹脂等の透明基板１上に、例えばＣ
ＭＳやＰＭＭム等の電子ビームレジストで形成したグレ
ーティング部２を設けたものである。グレーティング部
２は、レンズ作用をするように同心円状又は同心楕円状
に外周になるほど周期が小さくなるようＫしてあり、中
央部２ムの断面は第１図に示すようないわゆる鋸歯形状
で、周辺部２Ｂ断面は、矩形形状としである。このグレ
ーティング部２の加工方法としては、公知の電子ビーム
描画法を用いた。すなわち、基板１上に、電子ビームレ
ジストをコーティングし、電子ビーム描画装置を用いて
、第１図に示したようなグレーティングレンズの膜厚分
布に対応するように露光量分布を与え、現像処理をして
レジストの膜厚を変化させて作製した。このときのグレ
−ティング部中央部２人の溝の深さｈＡは、使用波長λ
、グレーティング部の屈折率ｎに対して、例えばｈ人＝
λ／（ｎ−１）とし、周辺部２Ｂの溝の深さは、効率を
よくするためにｈ Ｂ 共ｈ Ａとし例えばｈＢ＝１．
ｓｈ人 とした。本実施例では、例えばλ＝０．６３２
８μｍ、ｎ＝１．６であり、例えばｈ人＝１．０５１１
ｍ 、ｈＢ＝１．５μｍとした。本実施例のグレーティ
ングレンズのこのときのプラウグ角入射時の１次回折効
率を示したのが第３図である。
グレーティング部中央部２人の最小周期Ａ１ と周辺部
２Ｂの最大周期Ａ２は例えばほぼ２．６λ−１，６７Ｚ
ｍとした。このようにすることにより、第３図かられか
るように、従来例のように回折効率が悪くなる周辺部で
も、矩形形状のグレーティングを形成することにより、
効率がよくなった。本実施例のグレーティングレンズで
は、１次回折効率が６０％以上になるグレーティング周
期はＡ≧１．５６λ＝Ｑ、９８μｍ であり、このグレ
ーティング周期はほぼ入射側と出射側の開口数ＮＡ＝０
．３２のグレーティングレンズの最外周に相当するもの
である。従って、本実施例のグレーティングレンズは入
射側と出射側のＮＡ≦０．３２でレンズ全域で６０チ以
上の集光効率が実現できた。
２Ｂの最大周期Ａ２は例えばほぼ２．６λ−１，６７Ｚ
ｍとした。このようにすることにより、第３図かられか
るように、従来例のように回折効率が悪くなる周辺部で
も、矩形形状のグレーティングを形成することにより、
効率がよくなった。本実施例のグレーティングレンズで
は、１次回折効率が６０％以上になるグレーティング周
期はＡ≧１．５６λ＝Ｑ、９８μｍ であり、このグレ
ーティング周期はほぼ入射側と出射側の開口数ＮＡ＝０
．３２のグレーティングレンズの最外周に相当するもの
である。従って、本実施例のグレーティングレンズは入
射側と出射側のＮＡ≦０．３２でレンズ全域で６０チ以
上の集光効率が実現できた。
第４図は本実施例のグレーティングレンズの使用例であ
る。例えばλ＝０．６３２８μｍの光源から出射された
発散球面波の入射光５が、基板１側からグレーティング
部２に入射し、この部分２で回折あるいは屈折を受けて
、収束球面波の出射光６に変換され、焦点３に集光され
るものである。本実施例では、プラウグ角入射としたた
め、空気中の入射角θと出射角θ２はθ＝０２である。
る。例えばλ＝０．６３２８μｍの光源から出射された
発散球面波の入射光５が、基板１側からグレーティング
部２に入射し、この部分２で回折あるいは屈折を受けて
、収束球面波の出射光６に変換され、焦点３に集光され
るものである。本実施例では、プラウグ角入射としたた
め、空気中の入射角θと出射角θ２はθ＝０２である。
ここで開口数ＮＡはレンズ最外周の回折角を用いてＮＡ
＝ｓｉｎθ＝ ｒ’ｓｉｎθにｓｉｎθ２で与えられる
。ただし、基板の屈折率をｎ′とした。
＝ｓｉｎθ＝ ｒ’ｓｉｎθにｓｉｎθ２で与えられる
。ただし、基板の屈折率をｎ′とした。
第５図は本実施例のグレーティングレンズの例えば周期
Ａ＝２λ＝１．３ μｍ 、 ｈ９＝１．ｓ μｍにお
けるグレーティング部周辺部２Ｂの回折効率の入射角依
存性を示すものである。図かられかるように、入射角θ
がプラウグ角例えばθＢ＝９°で最も効率が高く、８０
％以上に達した。さらに周期が小さくなるほど入射角依
存性が急峻になった。最大値ばθ＝θＢで現われたが、
その値は周期に依存した。従って、本実施例のグレーテ
ィングレンズは入射波が、平面波や収束球面波よりも、
発散球面波において、集光効率が高く、特に、入射角が
プラウグ角となる場合、すなわち、入射側と出射側のＮ
Ａが等しい場合に特例効果が大きいことを発見した。
Ａ＝２λ＝１．３ μｍ 、 ｈ９＝１．ｓ μｍにお
けるグレーティング部周辺部２Ｂの回折効率の入射角依
存性を示すものである。図かられかるように、入射角θ
がプラウグ角例えばθＢ＝９°で最も効率が高く、８０
％以上に達した。さらに周期が小さくなるほど入射角依
存性が急峻になった。最大値ばθ＝θＢで現われたが、
その値は周期に依存した。従って、本実施例のグレーテ
ィングレンズは入射波が、平面波や収束球面波よりも、
発散球面波において、集光効率が高く、特に、入射角が
プラウグ角となる場合、すなわち、入射側と出射側のＮ
Ａが等しい場合に特例効果が大きいことを発見した。
第６図は、本実施例のグレーティングレンズの周期例え
ばＡ＝２λ＝１．３μｍ、θ＝θＢ＝９°におけるグレ
ーティング部周辺部２Ｂの１次回折効率の溝の深さｈＢ
依存性を示すものである。本発明者らは、はぼ溝の深さ
が１ｌａ＝λ／２ （ｎ −１） ＝０．５μｍの奇数
倍の厚さで、効率が極大になるのを発見した。又、それ
ぞれのピークの半値幅はほぼ同じで２ｗ−λ／４（ｎ−
１）となることもわかった。従って、グレーティング部
の周辺部２Ｂの溝の深さｈＢば、任意の整数ｍに対して （２ｍ−１）λ λ ° （２ｍ−１）
λ λｍ＝１．２，３． ・・ を満たすようにすると効率がよかった。ただし、効率の
極太値は周期に依存しておシ、はぼＡ≦３λで極大値が
高かった。
ばＡ＝２λ＝１．３μｍ、θ＝θＢ＝９°におけるグレ
ーティング部周辺部２Ｂの１次回折効率の溝の深さｈＢ
依存性を示すものである。本発明者らは、はぼ溝の深さ
が１ｌａ＝λ／２ （ｎ −１） ＝０．５μｍの奇数
倍の厚さで、効率が極大になるのを発見した。又、それ
ぞれのピークの半値幅はほぼ同じで２ｗ−λ／４（ｎ−
１）となることもわかった。従って、グレーティング部
の周辺部２Ｂの溝の深さｈＢば、任意の整数ｍに対して （２ｍ−１）λ λ ° （２ｍ−１）
λ λｍ＝１．２，３． ・・ を満たすようにすると効率がよかった。ただし、効率の
極太値は周期に依存しておシ、はぼＡ≦３λで極大値が
高かった。
本実施例では入射側と出射側の開口数ＮＡが０．３４の
場合について述べたが、ＮＡ≧０．１８のとき、従来例
より効率がよくなり、効果があった。
場合について述べたが、ＮＡ≧０．１８のとき、従来例
より効率がよくなり、効果があった。
作製面においても、グレーティングレンズ外周部の周期
が小さい領域では良好な鋸歯形状を形成するのが難しか
ったが、本実施例の場合には、矩形形状のグレーティン
グであるため、良好な形状が形成できた。
が小さい領域では良好な鋸歯形状を形成するのが難しか
ったが、本実施例の場合には、矩形形状のグレーティン
グであるため、良好な形状が形成できた。
本実施例で述べたグレーティング断面の鋸歯形状及び矩
形形状は、第１図に示したような形状のものを言ってい
るが、多少乱れた形や、断差凹凸があっても平均してみ
れば第１図のような形状に近いものであれば効果がある
。
形形状は、第１図に示したような形状のものを言ってい
るが、多少乱れた形や、断差凹凸があっても平均してみ
れば第１図のような形状に近いものであれば効果がある
。
本実施例のグレーティングレンズは電子ビーム描画法に
より作製したが、集束イオノビームやＣＮＣ旋盤等の機
械加工を用いて作製してもよい。
より作製したが、集束イオノビームやＣＮＣ旋盤等の機
械加工を用いて作製してもよい。
又、これらによって作製したグレーティング部２を原盤
にして金型を形成し、例えば透明エポキシや紫外線硬化
樹脂、ＰＭＭ人等の合成樹脂を用いて複製法によ多形成
することも可能であり、安価な大量生産を実現すること
もできる。又本実施例では、グレーティング形状が円形
のレンズについて述べたが、楕円形の楕円形グレーティ
ングレンズや直線状のシリンドリカルグレーティングレ
ンズについても効果がある。
にして金型を形成し、例えば透明エポキシや紫外線硬化
樹脂、ＰＭＭ人等の合成樹脂を用いて複製法によ多形成
することも可能であり、安価な大量生産を実現すること
もできる。又本実施例では、グレーティング形状が円形
のレンズについて述べたが、楕円形の楕円形グレーティ
ングレンズや直線状のシリンドリカルグレーティングレ
ンズについても効果がある。
発明の効果
以上のように本発明によれば、レンズの周辺部でも高効
率が可能で集光特性のよい高ＮＡのグレーティングレン
ズが実現できるという効果を有する。
率が可能で集光特性のよい高ＮＡのグレーティングレン
ズが実現できるという効果を有する。
第１図、第２図はそれぞれ本発明の一実施例のグレーテ
ィングの構造を示す断面図、平面図、第３図は本発明の
一実施例のグレーティングレンズの１次回折効率とグレ
ーティング周期の関係を示す図、第４図は本発明の一実
施例のグレーティングレンズの使用例を示す図、第６図
、第６図は本発明の一実施例のグレーティングレンズの
１次回折効率と入射角θ１及び溝の深さｈａとの関係を
示す図、第７図、第８図はそれぞれ従来例のグレーティ
ングの断面構造９回折効率とグレーティング周期との関
係を示す図である。 １・・・・基板、２・・・・・グレーティング部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 規」各化グレーティングＭＸＭＡ／入 ／−−一基板 ？−−グレーティング節 ３−−一焦息 ４−光源 ５−人竹光 第４図 乙−已財光 、Ｒ １ン欠＠１ブｒ；ζズ７４季＝（ン２）！六凹狩効卑ｔ
ｘ〕 刃
ィングの構造を示す断面図、平面図、第３図は本発明の
一実施例のグレーティングレンズの１次回折効率とグレ
ーティング周期の関係を示す図、第４図は本発明の一実
施例のグレーティングレンズの使用例を示す図、第６図
、第６図は本発明の一実施例のグレーティングレンズの
１次回折効率と入射角θ１及び溝の深さｈａとの関係を
示す図、第７図、第８図はそれぞれ従来例のグレーティ
ングの断面構造９回折効率とグレーティング周期との関
係を示す図である。 １・・・・基板、２・・・・・グレーティング部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 規」各化グレーティングＭＸＭＡ／入 ／−−一基板 ？−−グレーティング節 ３−−一焦息 ４−光源 ５−人竹光 第４図 乙−已財光 、Ｒ １ン欠＠１ブｒ；ζズ７４季＝（ン２）！六凹狩効卑ｔ
ｘ〕 刃
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）基板と、上記基板上に形成したグレーティング部
からなり、上記グレーティング部の中央部は断面が鋸歯
形状であり、上記グレーティング部の周辺部は断面が矩
形形状であることを特徴とするグレーティングレンズ。 （２）グレーティング部の中央部の溝の深さは、グレー
ティング部の周辺部の溝の深さと異なることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のグレーティングレンズ。 （３）グレーティング部の中央部の最小周期Λ＿１は、
使用波長λの２．５倍以上であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のグレーティングレンズ。 （４）グレーティング部の周辺部の最大周期Λ＿２は、
使用波長λの２．５倍以下であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のグレーティングレンズ。 （６）グレーティング部の周辺部の溝の深さｈ＿Ｂは、
使用波長λ、グレーティング部の屈折率ｎ、任意の整数
ｍに対して ［（２ｍ−１）λ／２（ｎ−１）］−［λ／４（ｎ−１
）］≦ｈ＿Ｂ≦［（２ｍ−１）λ／２（ｎ−１）］＋［
λ／４（ｎ−１）］ｍ＝１、２、３・・・・・・ を満たすことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
グレーティングレンズ。 （６）入射側と出射側の開口数ＮＡが等しいことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のグレーティングレン
ズ。 （７）入射側と出射側の開口数ＮＡが０．１８以上であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第６項記載のグレー
ティングレンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63113102A JPH0792526B2 (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | グレーティングレンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63113102A JPH0792526B2 (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | グレーティングレンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01282501A true JPH01282501A (ja) | 1989-11-14 |
| JPH0792526B2 JPH0792526B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=14603533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63113102A Expired - Fee Related JPH0792526B2 (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | グレーティングレンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792526B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004102233A1 (de) * | 2003-05-17 | 2004-11-25 | Carl-Zeiss-Stiftung Trading As Carl Zeiss | Diffraktives optisches element sowie projektionsobjektiv mit einem solchen element |
| US7262915B2 (en) | 2003-05-17 | 2007-08-28 | Carl Zeiss Ag | Blazed diffractive optical element and projection objective for a microlithographic projection exposure apparatus |
| WO2013024836A1 (ja) * | 2011-08-12 | 2013-02-21 | シチズン電子株式会社 | レンズ部材及びこのレンズ部材を使用した発光装置 |
| AU2016100096B4 (en) * | 2015-02-02 | 2016-08-25 | Apple Inc. | Fresnel lens barrier rings |
| US10054720B2 (en) | 2015-02-02 | 2018-08-21 | Apple Inc. | Fresnel lens barrier rings |
-
1988
- 1988-05-10 JP JP63113102A patent/JPH0792526B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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