JPS6019145B2 - 試料受け渡し装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は試料（例えばＩＣのウェハー）の受け渡し装置
に関する。

第１図に従来の試料受け渡し装置の１例を示す。

図において１は受け渡すべき試料、２はそれを受け取る
台２の表面には試料を填空吸着するため属空ポンプ（不
図示）に接続できる継手３に連結した空気口３′が設け
られている。４は試料ｌを吸着しつつ移動するためのチ
ャックで表面には台２と同様に虜空吸着するため、真空
ポンプ（不図示）に接続できる継手５に連結した空気口
５′が設けられている。

またチャック４は腕６の先端に取付けられており、その
腕６がスライドボール受軸８で保持された髄７のまわり
に旋回及び上下方向に移動可能である。次に第１図に示
す従来装置の作動を説明する。

まず腕６を上方にあげ旋回し、他の台（図示せず）の上
に置かれた試料上に来ると停止して下降し、チャック４
で試料を吸着すると上昇し、腕６を今度は逆方向に旋回
し台２の上に来ると停止下降する。そして試料１の下面
が台２に接すると台２の空気口３′が継手３を通じて、
噂空吸着を行なう、同時にチャック４の虜空吸着を切っ
て腕６を上昇させると、試料１が台２の上に受け渡され
たことになる。しかしこの方法では試料を単に台２の上
に受け渡すことができただけで、試料を正確に位置決め
して台２の上に置くことはできない。本発明はこのよう
な欠点を除き、正確に位置決めした上で、台２に試料を
受け渡すのに好適な装置を提供するものである。本発明
はとくに顕微鏡で観察しながら試料を位置決めし、しか
る後受け渡しを行なうのに好適な装置を提供するもので
ある。次に本発明の１実施例を図に塞き説明する。

第２図において１０１は受け渡すでき試料で厚さが一定
に形成されている。１０２は試料を受け取る台で第２保
持器として作用し台１０２の試料戦直面には空気ロー０
３′が設けられ、その空気口１０３′は填空ポンプ及び
空気噴射装置としてのコンブレッサ（不図示）に切換え
て接続できる継手１０３につながつている。

１０４は台１０２とは別の第１保持器として作用し、試
料１０１を吸着移動するためのチャックで表面には空気
口１０５′が設けられ、試料を損空吸着するための贋空
ポンプ（不図示）に連結できる継手１０５につながって
いる。

また腕１１２の一端にその中心部を固定された円形ダイ
アフラム１０９の周辺に押し金１０８を回転中心として
、揺動可能に設けられているチャック１０４は、押し金
１０８を一定の力で押すことにより下方に動かすことが
できる。押し金１０８は例えばソレノィド或は空気圧シ
リンダー等のもので駆動することができる。腕１１２の
他端は×−Ｙ方向に移動可能な移動装置であるステージ
１１１の上に取付けられており、さらに軸１１０のまわ
りに旋回することができる。次に本実施例の作動を説明
する。まず腕１１２を旋回させる他の台（図示せず）の
上に置かれた試料の上に釆ると停止して押し金１０８で
チャック１０４を下降させ、空気口１０５′を虜空ポン
プ（不図示）に接続された継手１０５より填空吸着状態
にしチャック１０４に試料を吸着させる。

そして押し金１０８を緩めてチャック１０４を上昇させ
、腕１１２を今度は逆方向に旋回させて台１０２の上に
停止させる。次に継手１０３にはコンブレッサ（不図示
）を連結しておき、その継手１０３に空気圧を加え台１
０２表面の空気ロー０３′よりほぼ同庄の空気を噴出さ
せながら押し金１０８を下方に押し下げると試料１０１
の下面と台１０２の表面との間には微小な空気層ができ
た状態で釣合し、がとれて静止する。この状態で試料１
０１と台１０２との相対的位置関係を検出するための位
置検出装置である顕微鏡１１３でチャック１０４の窓１
０６をとおして試料１０１の表面のアラィメントマーク
１０７（例えば十字線）を観察しながらステージ１１１
をＸ一方向又はＹ−方向の一方向または両方向に動かし
て顕微鏡１１３の例えば十字線と試料１０１の十字線を
一致させることによって例えばマスクとの位置合わせ露
光のために位置決めを行なう。なお、顕微鏡１１３と台
１０２の間では前もって位置決めがなされているから、
顕微鏡の十字線と試料の十字線とを一致させれば、必然
的に台１０２と試料１０１の位置決めがなされたことに
なる。位置決めが終了すると台１０２の表面の空気口１
０３′から空気を噴出することを停止すると空気層は消
滅して試料１０１は台１０２の表面に押し金１０８によ
り押しつけられ、この状態で継手１０３をコンブレッサ
から損空ポンプに切換えて連結し空気ロー０３′から蝿
空吸着を行ないチャック１０４による試料の吸着を切る
。そして押し金１０８を緩めるとチャック１０４は上昇
し受け渡しが完了する。次に第２図の一部を拡大した第
３図に基き、例えば第３図ａの如く、試料１０１の形状
が襖状の場合の試料の受け渡し‘こついて説明する。

本発明では試料１０１を保持するチャック１０４を空気
口１０３′からの略同一圧の空気噴射により押し金１０
８のまわりに揺動できるように設けてあるので、第３図
ｂの如く台１０２の試料教暦面と試料１０１の下面１０
１ａとが平行になる如くチャック１０４を移動できる。
従って空気噴射によって生じる試料下面１０１ａと台１
０２の試料載層面との間の空気層の幅が一定となり、第
２図の厚さが一定に形成された試料の場合について説明
したように、顕微鏡１１３でチャック１０４と窓１０６
をとおして試料１０１の表面のアラィメントマークを観
察しながら、ステージ１１１を動かして顕微鏡のアラィ
メントマークと試料のアラィメントマークとを一致させ
ることによって位置決めを行うことができる。以上の如
く本発明によれば位置決めの際試料１０１は台１０２の
表面から１０仏前後の微小間隙をあげて一定の高さに保
持されているので位置決め時にステージ１１１によって
試料を動かしてもそのときの試料と空気層との摩擦抵抗
は極めて４・さく、また顕微鏡１１３で観察する際、焦
点はずれなど生ずることもないので容易に正確な位置決
めを行なうことができる。

また位置合わせ終了後空気層を消滅させて試料を台１０
２に押しつける場合、チャック１０４は台１０２の表面
に平行な方向にはダイアフラム１０９で拘束されている
し消滅する空気層は平行でかつ微小間隔であるので、試
料１０１が横ずれを生ずることはない。又、仮に横ずれ
が生じたとしても、横ずれ量がそのままの状態で確認で
きるから、これを修正するにも単に第１保持器と第２保
持器の作用を逆転させるのみで再調整（アラィメント）
に移れるので作業時間が短縮できる。更に本発明によれ
ば試料１０１と台１０２の間に一定の厚さの空気層がで
きることになり、この厚さは試料の厚さや試料が襖状に
なっているかなどということには影響されないのでどの
ような形状を有する試料でも受け渡しのときに横ずれを
生ずることはない。

従って、どのような試料でも極めて正確に受け渡しをす
ることができる。図面の簡単な説明第１図は従来の試料
受け渡し装置の一例を示し、第２図は本発明の試料受け
渡し装置の実施例を示し、第３図は第２図の一部の拡大
図で、試料の形状が挟状のものについての受け渡しの説
明図である。

主要部分の符号の説明、１０１・・・・・・試料、１０
２・・・・・・台（第２保持器）、１０３′・・・・・
・空気口（噴射閉口部）、１０４・・・・・・チャック
（第１保持器）、１０６・・・・・・チャック１０４の
窓、１０７・・・・・・試料１０１のアライメントマー
ク、１１１……ステージ（移動装置）、１１３・・・・
・・顕微鏡（位置検出装置）。

氷２図 オ３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 噴射開口部１０３′を試料載置面に形成すると共に
   、装置本体に固設した第２保持器１０２と、装置本体に
   対してＸ・Ｙ・Ｚ方向へ直進移動及び旋回する移動装置
   １１１の腕１１２の一端に、試料吸着面を前記第２保持
   器１０２の試料載置面に対向させて摺動可能に懸吊した
   第１保持器１０４とから成る試料受け渡し装置において
   、 前記第２保持器１０２の上方の所定位置に、アライ
   メントマークを有する位置検出装置１１３を設けると共
   に、前記第１保持器１０４に、試料１０１のアライメン
   トマーク１０７部に対向させた窓１０８を貫通して形成
   したことを特徴とする試料受け渡し装置。