JP2646800B2 - 吸着位置決め機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、オープントップソケットへの半導体装置
の挿入およびオープントップソケットからの抜き取りを
行う吸着位置決め機構に関するものである。

〔従来の技術〕

第４図は従来の半導体装置の吸着位置決め機構を示す
部分断面図であり、この図において、１は半導体装置、
51はこの半導体装置１を吸着する吸着パッド、52は前記
半導体装置１を位置決め補正する位置決め爪で、位置決
め枠52aが形成されている。また、第５図に示すよう
に、位置決め爪52は吸着パッド51の中心に向ってスライ
ドする構成となっている。

次に、動作について説明する。

半導体装置１は吸着完了した吸着パッド51と共に上昇
し、位置決め爪52に設けられた位置決め枠52aで案内さ
れ、位置決め補正される。すなわち、半導体装置１を吸
着後、第５図に示すように、四方より吸着パッド51の中
心に向って位置決め爪52がスライドし、位置決め枠52a
で半導体装置１をガイドすることによって、半導体装置
１は所定位置に位置決め補正される。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のように構成された従来の半導体装置の吸着位置
決め機構は、位置決め補正の精度が悪く、また、その補
正値が小さい。さらに、吸着パッド51の上下駆動と位置
決め爪52の駆動が別々に行われるためタイミング合せが
難しく、スピードを速くすることができない。さらに、
吸着位置決め機構が複雑になり、かつ大型化する等の問
題点があった。

この発明は、上記のような問題点を解決するためにな
されたもので、オープントップソケットへの被吸着体の
挿入，抜き取りを高い精度をもって実行し得る吸着位置
決め機構を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る吸着位置決め機構は、被吸着体を吸着
する吸着パッドと、この吸着パッドを上下動させるピス
トンと、このピストンの先端部に保持され、ピストンと
連動して上下動するとともに、複数の位置決め爪が回動
自在に取り付けられたスライダと、このスライダが下
降，上昇することにより各位置決め爪の下端を開閉させ
るため、吸着位置決め機構に固着したコロ取付け具に対
し回転可能に取り付けたコロと、各位置決め爪で位置決
め補正された被吸着体が挿入，離脱されるオープントッ
プソケットの接触子開閉フタを押えるプッシャと、を備
えた吸着位置決めユニットと；吸着パッドの真空穴に連
通する真空穴が形成されたロッドに取り付けられ吸着位
置決めのユニットをクランプするクランパを備えたクラ
ンプユニットと；からなるものである。

〔作用〕

この発明においては、吸着パッドと連動し、同一駆動
で被吸着体を位置決め爪により位置決め補正し、また、
吸着パッドと連動してオープントップソケットのフタを
開閉し、被吸着体のオープントップソケットへの装脱が
行われる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図面について説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示す半導体装置の吸着
位置決め装置の縦断面図である。第１図において、１は
半導体装置、２はこの半導体装置１を吸着する吸着パッ
ド、３は前記半導体装置１を位置決め補正する位置決め
爪、４はこの位置決め爪３を保持する支軸、５はスペー
サ、６は前記位置決め爪３が支軸４により取り付けられ
たスライダ、７はこのスライダ６の最大ストローク長、
８は前記位置決め爪３を閉にさせるコロ、９は前記位置
決め爪３を開にさせるバネ、10は前記コロ８を回転可能
に取り付けたコロ取付け具、11は前記スライダ６を下方
へ押し下げるバネ、12は前記スペーサ５を支えるＣ型止
め輪、13は前記スライダ６の上下動をガイドするチュー
ブ、14は前記位置決め爪３が取り付けられたスライダ６
をその先端部で保持して上下動させるピストン、15はこ
のピストン14が摺動するシリンダチューブ、16は前記ピ
ストン14の最大ストローク長、17は前記吸着パッド２に
設けられた真空穴、18は前記ピストン14を上昇させるた
めの空気を送る空気穴、19は前記ピストン14を下降させ
るための空気を送る空気穴、20は図示しない真空部分を
前記吸着パッド２と連結させるロッド、21はこのロッド
20を保持するリニアベアリング、22は前記シリンダチュ
ーブ15に取り付けられたクランプヘッド、23はこのクラ
ンプヘッド22をクランプする鋼球、24は前記リニアベア
リング21および鋼球23が取り付けられたクランパ、25は
前記クランパ24に取り付けられたバネ受、26は前記クラ
ンパ24を上方へ押し上げるバネ、27は前記クランパ24が
摺動するフランジ、28は前記吸着パッド２に取り付けら
れたベアリング、29はこのベアリング28が摺動するガイ
ド溝、30は前記吸着パッド２に取り付けられたＣ型止め
輪、31は前記ロッド20に取り付けられたＣ型止め輪、32
は前記ロッド20を下方へ押し下げるバネ、33は前記ロッ
ド20に取り付けられたストッパ用Ｃ型止め輪、34はカラ
ー、35はセンサケーブルのホルダ、36はこのホルダ35を
下方に押し付けるバネ、37は前記シリンダチューブ15お
よびフランジ27が取り付けられた取付けブロック、38は
センサ、39はこのセンサ38を保持するセンサホルダ、40
は前記スライダ６に取り付けられたプッシャ、41はオー
プントップソケット、42はこのオープントップソケット
41に付属している接触子開閉フタ、43は接触子、44は継
手、45は前記取付けブロック37を取り付けるブロックホ
ルダ、46は前記オープントップソケット41のフタ開閉ス
トローク長、47は前記プッシャー40と接触子開閉フタ42
の隙間、48は挿入ストローク長である。また、第２図の
49は抜取りストローク長である。

なお、吸着パッド2,位置決め爪3,コロ８等で第３図に
示す吸着位置決めユニットＩが構成され、ロッド20,鋼
球23等で同じくクランプユニットIIが構成される。

以下、この発明の動作を第１図，第２図について説明
する。

空気穴19より圧空が入るとピストン14は下方に押さ
れ、最大ストローク長16だけ摺動する。この摺動に従っ
て、押し縮められていたバネ11はスライダ６を最大スト
ローク長７だけ押し下げる。そしてスライダ６に取り付
けられたプッシャ40は隙間47分下降後、オープントップ
ソケット41の接触子開閉フタ42をフタ開閉ストローク長
46だけ押し下げ、接触子43を開にする。また、上記動作
でスライダ６が下降すると、それに取り付けられた位置
決め爪３も下降する。その結果、コロ８より位置決め爪
３は外れることになり、バネ９で押されている位置決め
爪３は、支軸４を中心に回転し、位置決め爪３の先端は
開く。一方、吸着パッド２はピストン14が下降すると、
バネ32がロッド20を下方に押し下げるので、挿入ストロ
ーク長48だけ下降して、半導体装置１をオープントップ
ソケット41の中に挿入する（第２図）。その後、吸着パ
ッド２の真空を切り、そのままの状態でブロックホルダ
45を上昇させると、プッシャ40が上昇するにつれて接触
子開閉フタ42も上昇し、接触子43は閉じる。吸着パッド
２は最大ストローク長16と挿入ストローク長48の差の分
だけ半導体装置１の表面に接触しバネ32で押し付けてい
る。そして接触子43が完全に閉になった後、上昇する。

オープントップソケット41の中に挿入された半導体装
置１を抜き取る場合は、空気穴19より圧空を送りプッシ
ャ40が下降し、接触子開閉フタ42を押し下げ接触子43を
開にした後、吸着パッド２が下降し、半導体装置１に接
触し、真空により吸着する。吸着したことを真空スイッ
チ等で検知後、空気穴18に圧空を送りピストン14を上昇
させる。ピストン14は抜取りストローク長49だけ先に吸
着パッド２を上昇させ、次に残りのストロークでスライ
ダ６を最大ストローク長７分上昇させる。その結果、半
導体装置１は吸着パッド２に吸着され、オープントップ
ソケット41より抜き取られる。さらに、スライダ６が上
昇すると、それに取り付けられた位置決め爪３も上昇
し、コロ８に乗り上げるようになり、支軸４を中心に回
転し、位置決め爪３の先端は閉じて半導体装置１を位置
決めする。

なお、第３図に示すように、吸着位置決めユニットＩ
を交換する場合は、バネ受25を下方に押し下げてやるこ
とによりクランプユニットIIのクランパ24が下降し、鋼
球23は広い隙間へ移動する。そして、クランプヘッド22
から外れることになり吸着位置決めユニットＩは下方へ
抜ける。取り付ける場合も前記と逆の順序で行える。

また、上記実施例では、ピストン14の駆動に圧空を使
用しているが、これに限らず油圧でもよい。

また、半導体装置１の吸着位置決めについて説明した
が、吸着位置決めする必要のあるものであれば何でもよ
い。

なお、上記実施例において、不良ソケットを検知する
センサを吸着位置決めユニットＩ側に設けておくことに
より、被吸着体の装着前に不良ソケットを検知できる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明は、被吸着体を吸着す
る吸着パッドと、この吸着パッドを上下動させるピスト
ンと、このピストンの先端部に保持され、ピストンと連
動して上下動するとともに、複数の位置決め爪が回動自
在に取り付けられたスライダと、このスライダが下降，
上昇することにより各位置決め爪の下端を開閉させるた
め、吸着位置決め機構に固着したコロ取付け具に対し回
転可能に取り付けたコロと、各位置決め爪で位置決め補
正された被吸着体が挿入，離脱されるオープントップソ
ケットの接触子開閉フタを押えるプッシャと、を備えた
吸着位置決めユニットと；前記吸着パッドの真空穴に連
通する真空穴が形成されたロッドに取り付けられ前記吸
着位置決めのユニットをクランプするクランパを備えた
クランプユニットと；からなるので、タイミングのミス
がなく、高精度の位置決めが実現できるとともに、構成
がコンパクトにできる。

そして、１個のピストンの昇降のみでロッドの上下動
と位置決め爪の開閉を行うので、ピストンのストローク
により位置決め爪開閉のタイミングとロッドの昇降タイ
ミングを決定できるため、制御が容易，確実となる。

また、クランプ機構によるワンタッチ取り外し機構を
設けたので、機種の切り替え、段取り替えが簡単に行え
る効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による吸着位置決め状態を
示す半導体吸着位置決め機構の縦断面図、第２図はオー
プントップソケットへの挿入時の状態を示す縦断面図、
第３図は取り外し状態を示す部分断面側面図、第４図は
従来の半導体吸着位置決め機構を示す断面図、第５図
は、第４図の動作を説明するための断面図である。 図において、Ｉは吸着位置決めユニット、IIはクランプ
ユニット、１は半導体装置、２は吸着パッド、３は位置
決め爪、４は支軸、５はスペーサ、６はスライダ、7,16
は最大ストローク長、８はコロ、9,11,26,32,36はバ
ネ、10はコロ取り付け具、12,30,31,33はＣ型止め輪、1
3はチューブ、14はピストン、15はシリンダチューブ、1
7は真空穴、18,19は空気穴、20はロッド、21はリニアベ
アリング、22はクランプヘッド、23は鋼球、24はクラン
パ、25はバネ受、27はフランジ、28はベアリング、29は
ガイド溝、34はカラー、35はホルダ、37は取付けブロッ
ク、38はセンサ、39はセンサホルダー、40はプッシャ、
41はオープントップソケット、42は接触子開閉フタ、43
は接触子、44は継手、45はブロックホルダ、46はフタ開
閉ストローク長、47は隙間、48は挿入ストローク長、49
は抜取りストローク長である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被吸着体を吸着し、前記被吸着体を位置決
   め補正する吸着位置決め機構において、前記被吸着体を
   吸着する吸着パッドと、この吸着パッドを上下動させる
   ピストンと、このピストンの先端部に保持され前記ピス
   トンによって上下動するとともに複数の位置決め爪が回
   動自在に取り付けられたスライダと、このスライダが下
   降，上昇することにより前記各位置決め爪の下端を開閉
   させるため前記吸着位置決め機構に固着したコロ取付け
   具に対し回転可能に取り付けたコロと、前記各位置決め
   爪で位置決め補正された前記被吸着体が挿入，離脱され
   るオープントップソケットの接触子開閉フタを押えるプ
   ッシャと、を備えた吸着位置決めユニットと；前記吸着
   パッドの真空穴に連通する真空穴が形成されたロッドに
   取り付けられ前記吸着位置決めユニットをクランプする
   クランパを備えたクランプユニットと；からなることを
   特徴とする吸着位置決め機構。