JPS60191052A - 焦電形赤外線検出素子 - Google Patents
焦電形赤外線検出素子Info
- Publication number
- JPS60191052A JPS60191052A JP59042918A JP4291884A JPS60191052A JP S60191052 A JPS60191052 A JP S60191052A JP 59042918 A JP59042918 A JP 59042918A JP 4291884 A JP4291884 A JP 4291884A JP S60191052 A JPS60191052 A JP S60191052A
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- JP
- Japan
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- pyroelectric
- detection element
- infrared
- infrared detection
- decting
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は人体の移動、物体の有無などの検知に適する焦
電形赤外線検出素子に関する。
電形赤外線検出素子に関する。
所謂るマイクロエレクトロニクスの発達に伴ない９例え
ば赤外線検出素子（赤外線センサ）も人体の存否乃至移
動、物体の有無乃至移動を検知したり或いは非接触温度
測定などへの応用が拡大している。
ば赤外線検出素子（赤外線センサ）も人体の存否乃至移
動、物体の有無乃至移動を検知したり或いは非接触温度
測定などへの応用が拡大している。
ところでこの揮赤外線検出素子としては、半導体の光伝
導や光起電力を利用した量子形のもの。
導や光起電力を利用した量子形のもの。
例えばＨｇ Ｃｄ ＴｅやＰｂＳを本体としたものが知
られている。この量子形赤外線検出素子は感度がよく応
答性がすぐれている反面、使用に際しては極低温に冷却
する必要があり簡易に取扱い得ないうえ赤外領域の感度
にも波長依存性がある。かくしてＪ７〜 用途も限定され、実用的にはなを問題がある。
られている。この量子形赤外線検出素子は感度がよく応
答性がすぐれている反面、使用に際しては極低温に冷却
する必要があり簡易に取扱い得ないうえ赤外領域の感度
にも波長依存性がある。かくしてＪ７〜 用途も限定され、実用的にはなを問題がある。
一方チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ Ｚｒ Ｔｉ ０３）
もしくはチタン酸鉛（ＰｂＴｉ０３）の焦電効果を利用
した所謂る焦電形赤外線検出素子の開発も試みられてい
る。
もしくはチタン酸鉛（ＰｂＴｉ０３）の焦電効果を利用
した所謂る焦電形赤外線検出素子の開発も試みられてい
る。
しかしこれらＰｂＺｒ Ｔｉ ０３やＰｂ ｉ’ｒ ０
３など検出素子の本体を成す焼結体（セラミックス）は
、使用に際して特に冷却を要しないこと、波長依存性も
ないことなどの利点をもつ反面、感度など性能面に劣る
不都合きがある。即ち焦電効果を利用した赤外線検出素
子においては、その性能が焦電効果により発生する電圧
に対する評価指数Ｆｖに大きく影響される。
３など検出素子の本体を成す焼結体（セラミックス）は
、使用に際して特に冷却を要しないこと、波長依存性も
ないことなどの利点をもつ反面、感度など性能面に劣る
不都合きがある。即ち焦電効果を利用した赤外線検出素
子においては、その性能が焦電効果により発生する電圧
に対する評価指数Ｆｖに大きく影響される。
ここで評価指数１．Ｔｙは焦電係数Ｐ（つ蝕２℃）、定
積比熱Ｃｖ （Ｊ／ｃｒａ３’Ｏ）、比誘電率εとした
とき。
積比熱Ｃｖ （Ｊ／ｃｒａ３’Ｏ）、比誘電率εとした
とき。
）”Ｖ＝上
Ｃｖ・ε
で示され、赤外線検出素子の本体を成す焦電材料につい
ては、センサとしての性能面からすれば焦電係数Ｐが大
きく、定積比熱Ｃｖおよび比誘電率εが小さいことが望
まれる。
ては、センサとしての性能面からすれば焦電係数Ｐが大
きく、定積比熱Ｃｖおよび比誘電率εが小さいことが望
まれる。
しかるにＰｂＺｒＴｌ０３の場合は、定積比熱Ｃｖ＝２
．４２Ｊ／ａｒｔ３°Ｃであるが、誘’１率ｇ＝３８０
〜１７００ ト大きく、またＰｂ Ｔｉ Ｏ３の場合は
定積比熱Ｃｖ＝ピ ３．１１Ｊ、−３０であるが、焦電係数伽＝ １．８
Ｘ １ ｏ−ｓｃ／ｃｒｒＬ２Ｃで評価指数１：’ｖ
＝ ０．３ Ｘ １０−” Ｃ・ｃｍ／Ｊと値が低く上
記の如く性能的に問題がある。特に１）ｂＴｉ０３焦電
材料は自発分極を起こすための分極処理に当っては２０
０℃の高温下で６０に■軸取上の電界を印加する８決が
あり、この唇極処理も実用面で問題になっている。
．４２Ｊ／ａｒｔ３°Ｃであるが、誘’１率ｇ＝３８０
〜１７００ ト大きく、またＰｂ Ｔｉ Ｏ３の場合は
定積比熱Ｃｖ＝ピ ３．１１Ｊ、−３０であるが、焦電係数伽＝ １．８
Ｘ １ ｏ−ｓｃ／ｃｒｒＬ２Ｃで評価指数１：’ｖ
＝ ０．３ Ｘ １０−” Ｃ・ｃｍ／Ｊと値が低く上
記の如く性能的に問題がある。特に１）ｂＴｉ０３焦電
材料は自発分極を起こすための分極処理に当っては２０
０℃の高温下で６０に■軸取上の電界を印加する８決が
あり、この唇極処理も実用面で問題になっている。
（発明の目的〕
本発明は上記の如き事情に対処して、室温で動貧
作する高感度の且つ風月性の高い焦電形赤外線検出素子
を提供しようとするものである。
を提供しようとするものである。
本発明は一般式
％式％）
（但し式中Ｍｅ ＝Ｍｇ、 Ｚｎのうちの１柿以上、ｘ
＝Ｑ、、１〜０．３５の数、ｙ＝０．０１〜０．１５の
数）で示される複合ペロブスカイト構造のものに、 Ｍ
ｎＯ。
＝Ｑ、、１〜０．３５の数、ｙ＝０．０１〜０．１５の
数）で示される複合ペロブスカイト構造のものに、 Ｍ
ｎＯ。
Ｎｉｐ、 Ｆｅ２Ｏ３のうちの少なくとも１種を０．０
１〜２重量％添加配合してなるセラミック焼結体を本体
として成ることを特徴とする焦電形赤外線検出素子であ
る。
１〜２重量％添加配合してなるセラミック焼結体を本体
として成ることを特徴とする焦電形赤外線検出素子であ
る。
しかして本件発明は、上記一般式で示される複合ペロブ
スカイト構造のものに所定爺のＮｉＯ，ＭｎＯ。
スカイト構造のものに所定爺のＮｉＯ，ＭｎＯ。
Ｆｅ２Ｏ３などを添加含有せしめてなる焼結体が良好な
焦電性を示すとともに赤外線検出素子（センサ）として
実用上すぐれた性能を備えているとの知見に基づくもの
である。
焦電性を示すとともに赤外線検出素子（センサ）として
実用上すぐれた性能を備えているとの知見に基づくもの
である。
先ず（Ｐｂ ｌ−Ｘ Ｃａｘ） Ｃ（Ｚｎｌ／３ Ｎｂ
２／３ ） ０．１ Ｔｉ ０．９ ） ０３＋０．３
重量％Ｍｎ Ｏ＋ ０．４ ’ｆｆ（ｉ％ＮｉＯと１６
ｊうＫ ＰｂＯ。
２／３ ） ０．１ Ｔｉ ０．９ ） ０３＋０．３
重量％Ｍｎ Ｏ＋ ０．４ ’ｆｆ（ｉ％ＮｉＯと１６
ｊうＫ ＰｂＯ。
ＣａＣＯ３，Ｔｉｅ□、 Ｚｎ（、ｌ、 Ｎｂ２Ｏ５，
ＭｎＯオ！ ヒＮｉＯヲ所定縫それぞれ秤取し、アルミ
ナボットミルを用いてそれぞれ湿式混合した。これらの
混合物を９０００で２時間仮焼した後アルミナポットミ
ルにて粉砕して原料粉末を調製した。次いでこれらの原
料粉末をプレスによりシート化し、このシートから打抜
き加工により径２０ｍｍの円板をそれぞれ得。
ＭｎＯオ！ ヒＮｉＯヲ所定縫それぞれ秤取し、アルミ
ナボットミルを用いてそれぞれ湿式混合した。これらの
混合物を９０００で２時間仮焼した後アルミナポットミ
ルにて粉砕して原料粉末を調製した。次いでこれらの原
料粉末をプレスによりシート化し、このシートから打抜
き加工により径２０ｍｍの円板をそれぞれ得。
この円板ケマグネシア製容器に入れ１１００〜１１８０
′ｃＦＤ で０．５〜４時間焼成して〕′ＩざＨ同μｍ、径２０ｙ
ｓ屑の薄い円板を得た。
′ｃＦＤ で０．５〜４時間焼成して〕′ＩざＨ同μｍ、径２０ｙ
ｓ屑の薄い円板を得た。
れぞれ被着形成して一対の電極とした。この電極相は後
１００ ’Ｑのシリコーン油中に浸漬し、４０〜５０
ｋＶ／ｃｒｒＬの電圧を印加し５分間分極処理を施して
から１００’０．２４時間エージング処理し９次いで精
密カッタにて３ ｘ ３ｍｍ片に切り出して焦電形赤外
検出素子（センサ）を上記によって得た各焦電形赤外線
検出素子について、その検出素子の本体をなす焦電材料
の組成比（ｐｂのＣａ置換量Ｘ）と、焦電係数Ｐ、比誘
電率ε、評価指数（′［区圧感度）Ｆｖとの関係を測定
したところ第１図に示す如くであった。第１図において
曲線（１）は焦電係数Ｐを２曲Ａ！１１２）ｉｔ 比１
ｆＪｊＴｌｌ率’ ヲ、 ＦｌｔＪ １ｍ（３）ｕ Ｗ
価Ｎａ Ｐ’ｖ ヲソれぞれ示し、また比較のためチタ
ン酸鉛（ＰｂＴＩ０３）の焦電係数Ｐを◎印、評価指数
１゛ｖを目印で夫々示した。
１００ ’Ｑのシリコーン油中に浸漬し、４０〜５０
ｋＶ／ｃｒｒＬの電圧を印加し５分間分極処理を施して
から１００’０．２４時間エージング処理し９次いで精
密カッタにて３ ｘ ３ｍｍ片に切り出して焦電形赤外
検出素子（センサ）を上記によって得た各焦電形赤外線
検出素子について、その検出素子の本体をなす焦電材料
の組成比（ｐｂのＣａ置換量Ｘ）と、焦電係数Ｐ、比誘
電率ε、評価指数（′［区圧感度）Ｆｖとの関係を測定
したところ第１図に示す如くであった。第１図において
曲線（１）は焦電係数Ｐを２曲Ａ！１１２）ｉｔ 比１
ｆＪｊＴｌｌ率’ ヲ、 ＦｌｔＪ １ｍ（３）ｕ Ｗ
価Ｎａ Ｐ’ｖ ヲソれぞれ示し、また比較のためチタ
ン酸鉛（ＰｂＴＩ０３）の焦電係数Ｐを◎印、評価指数
１゛ｖを目印で夫々示した。
第１図から明らかのようにＸの値、即ちＣａによるｐｂ
の置換比がｏ、１〜０．２５の範囲で焦電係数Ｐは高い
値を示し、また比誘電率εは１８０〜３６０の値を示し
、この比誘電率εの値はＰｂ ＺｒＴｉ ０３の場合の
３８０より低い。さらに評価指数ＦｖもＸの値が０．１
〜０．３５で高い値を有しており、しかも第２図に示す
如くキュリ一点も２００ ’Ｏ以上で赤外線検出素子と
して実用上の不都合をも全く認められなかった。
の置換比がｏ、１〜０．２５の範囲で焦電係数Ｐは高い
値を示し、また比誘電率εは１８０〜３６０の値を示し
、この比誘電率εの値はＰｂ ＺｒＴｉ ０３の場合の
３８０より低い。さらに評価指数ＦｖもＸの値が０．１
〜０．３５で高い値を有しており、しかも第２図に示す
如くキュリ一点も２００ ’Ｏ以上で赤外線検出素子と
して実用上の不都合をも全く認められなかった。
一方上記本発明に係る焦電形赤外線検出素子について実
用面から評価したところ次の如くであった。即ち上記構
成の３×３龍片の一面側の電極を一部除去して素子面を
露出させた焦電形赤外検出素子について、第３図示の検
出回路として電圧感度ＲｒＸおよび比検出能りをそれぞ
れ測定したところ、いずれも従来知られているチタン酸
鉛（Ｉ！ｂ’ｒ１０３）を本体と１〜でなる焦電形赤外
線検出素子の場合に較べ２０〜１００％もすぐれた性能
を示した。
用面から評価したところ次の如くであった。即ち上記構
成の３×３龍片の一面側の電極を一部除去して素子面を
露出させた焦電形赤外検出素子について、第３図示の検
出回路として電圧感度ＲｒＸおよび比検出能りをそれぞ
れ測定したところ、いずれも従来知られているチタン酸
鉛（Ｉ！ｂ’ｒ１０３）を本体と１〜でなる焦電形赤外
線検出素子の場合に較べ２０〜１００％もすぐれた性能
を示した。
ここで電圧感度Ｒ，は赤外線検出素子（ａ）に赤外戸１
＃ＪＩ（１））を検出素子（ａ）の電出面に照射し、こ
の赤外線部 照射によって生じた祉梳焦電４流を１ｑΩ〜１００輸の
高抵抗（Ｃ１の負荷で受け９両端に発生した電圧を負荷
抵抗（ｄ）１０〜１２にΩのＰＥＴ （電界効果形トラ
ンジスタ）のソースフォロアでインピーダンス変換した
値と、入射赤外縁のパワー値との比で表したものである
。尚第３図において（ｅ）は電源端子を。
の赤外線部 照射によって生じた祉梳焦電４流を１ｑΩ〜１００輸の
高抵抗（Ｃ１の負荷で受け９両端に発生した電圧を負荷
抵抗（ｄ）１０〜１２にΩのＰＥＴ （電界効果形トラ
ンジスタ）のソースフォロアでインピーダンス変換した
値と、入射赤外縁のパワー値との比で表したものである
。尚第３図において（ｅ）は電源端子を。
（ｂ）は出力端子を、（ｇ）はアースを示す。また比検
出能りは、赤外線検出素子（ａ）の雑音出力ＶＮ ＋−
圧感度職および赤外線検出素子（ａ）の表面積Ａとし次
式 ％式％） にてめた値である。
出能りは、赤外線検出素子（ａ）の雑音出力ＶＮ ＋−
圧感度職および赤外線検出素子（ａ）の表面積Ａとし次
式 ％式％） にてめた値である。
このように本発明に係る焦電形赤外検出素子は赤外線セ
ンサとして実用上重視される電圧感度ＩＱ。
ンサとして実用上重視される電圧感度ＩＱ。
比検出能ｖＮなどすぐれているばかりでなく９例えば９
５％相対湿度、４０°Ｃのと囲久下にて１．０００時間
連続動作はせても特性の劣化はほとんど認められず、長
時間に亘って赤外線検出素子としての機能を十分に維持
することも確認きれた。
５％相対湿度、４０°Ｃのと囲久下にて１．０００時間
連続動作はせても特性の劣化はほとんど認められず、長
時間に亘って赤外線検出素子としての機能を十分に維持
することも確認きれた。
尚上記においては焦電形赤外線検出素子の本体Ｎｂ２／
３）の比を一定にし、ＰｂとＣａの比を変えた例を示し
たカ、 ７１＋＋と（Ｚｎｌ／３ Ｎ１）２／３） （
７）比をｏｏ１〜ｏ１５の範囲に変えた場合も１だＺｎ
をＭｇに代えた場合もほぼ同様の性能を示した。
３）の比を一定にし、ＰｂとＣａの比を変えた例を示し
たカ、 ７１＋＋と（Ｚｎｌ／３ Ｎ１）２／３） （
７）比をｏｏ１〜ｏ１５の範囲に変えた場合も１だＺｎ
をＭｇに代えた場合もほぼ同様の性能を示した。
本発明に係る焦電形赤外線検出素子の本体主要部を構成
する上記一般式 ％式％） の一部をなすＰｂ （Ｍｅ １ ／３ Ｎｂ２／３ ）
０３は焼結過程において、焼成温度の低下、結晶粒の異
常成長抑制に寄与する役目を果て、その組成比、即ち上
記一般式におけるｙの値は０．０１〜０．１５の範囲内
に選ぶ必要がある。その理由は０．０１未満では上述の
焼成温度低下などの効果がなく、また０、１５を超える
と誘電率が大きくなり過ぎ、実用面で、電圧に対する評
価指数が低下し、赤外線センサとして性能が良好でなか
った。
する上記一般式 ％式％） の一部をなすＰｂ （Ｍｅ １ ／３ Ｎｂ２／３ ）
０３は焼結過程において、焼成温度の低下、結晶粒の異
常成長抑制に寄与する役目を果て、その組成比、即ち上
記一般式におけるｙの値は０．０１〜０．１５の範囲内
に選ぶ必要がある。その理由は０．０１未満では上述の
焼成温度低下などの効果がなく、また０、１５を超える
と誘電率が大きくなり過ぎ、実用面で、電圧に対する評
価指数が低下し、赤外線センサとして性能が良好でなか
った。
さらに上記（Ｐｂ１−ｘ Ｃａｘ） （（Ｍｅｌ／３
Ｎｂ２／３ ）ｙ Ｔ’ｔ−ｙ）０３に添加含有するＭ
ｎ Ｏ、Ｎｉ ＯおよびＦｅ２Ｏ３の群から選ばれた少
なくとも１種の酸化物は得られた焦電形焼結体の分極処
理の容易化に寄与する役目を果す。
Ｎｂ２／３ ）ｙ Ｔ’ｔ−ｙ）０３に添加含有するＭ
ｎ Ｏ、Ｎｉ ＯおよびＦｅ２Ｏ３の群から選ばれた少
なくとも１種の酸化物は得られた焦電形焼結体の分極処
理の容易化に寄与する役目を果す。
しかしてこの添加含有量が重量比で０．０１％未満でも
、また２％を超えても、焦電性の急激な低下を招来する
とともに焼結性や分極処理性が損なわれる傾向があるた
め、添加含有量は常ＫＯ，０１〜２止蔽％の範囲内に選
択する必要がある。
、また２％を超えても、焦電性の急激な低下を招来する
とともに焼結性や分極処理性が損なわれる傾向があるた
め、添加含有量は常ＫＯ，０１〜２止蔽％の範囲内に選
択する必要がある。
上記の如く９本発明によれば、一般式（Ｐｂ ｘ−ｘＣ
ａｘ）Ｉ：（ｔ〜４ｅ ｌ／３ Ｎｂ２／３）ｙ Ｔ’
ｌ−３／）０３で示される複合ペロブスカイト（１ｙ造
のもの（ＣＭｎＯ，ＮＩＯ，Ｆｅ２Ｏ３のうちから選ん
だ少なくとも１種を重滑比で０．０１〜２％添加含有し
てなるセラミック焼結体を赤外線検出素子本体としてい
る。しかして前記セラミック焼結体は、大きな焦電係数
を有する所謂る焦電形で、低い誘電率を有しており、赤
外検出素子としてもすぐれた特性を備えている。
ａｘ）Ｉ：（ｔ〜４ｅ ｌ／３ Ｎｂ２／３）ｙ Ｔ’
ｌ−３／）０３で示される複合ペロブスカイト（１ｙ造
のもの（ＣＭｎＯ，ＮＩＯ，Ｆｅ２Ｏ３のうちから選ん
だ少なくとも１種を重滑比で０．０１〜２％添加含有し
てなるセラミック焼結体を赤外線検出素子本体としてい
る。しかして前記セラミック焼結体は、大きな焦電係数
を有する所謂る焦電形で、低い誘電率を有しており、赤
外検出素子としてもすぐれた特性を備えている。
即ちこの種赤外検出素子として要求される評価指数ＦＶ
に大きく寄与する焦電係数Ｐ （Ｃ／Ａ１ｒＬ２’Ｑ）
が大で、また比誘電率εが小さいと太う特長がある。
に大きく寄与する焦電係数Ｐ （Ｃ／Ａ１ｒＬ２’Ｑ）
が大で、また比誘電率εが小さいと太う特長がある。
しかして実用面カ・らみては、赤外線照射に対する応答
としての電圧感度ＩＱが高く、一方雑音出力は低いので
、高い比検出能りを発揮する。換言すれば高い感度をも
って、信頼性菌＜、赤外線を容易に検出でさる。しかも
経時特性も良好で長期間に亘って１ツｒυｊの赤外線検
出機能を保持発揮する。
としての電圧感度ＩＱが高く、一方雑音出力は低いので
、高い比検出能りを発揮する。換言すれば高い感度をも
って、信頼性菌＜、赤外線を容易に検出でさる。しかも
経時特性も良好で長期間に亘って１ツｒυｊの赤外線検
出機能を保持発揮する。
かくし−Ｃ本発明に係る赤外線検出素子は焼結し易くま
た分極処理も高々１００υ程度の温度、 ４０〜５０ｋ
Ｖ／／Ｌｃｒｎの分極′電圧で足り、製造もし易い点な
どと相俟って実用に好適する焦電形赤外線検出素子と云
える。
た分極処理も高々１００υ程度の温度、 ４０〜５０ｋ
Ｖ／／Ｌｃｒｎの分極′電圧で足り、製造もし易い点な
どと相俟って実用に好適する焦電形赤外線検出素子と云
える。
第１図は本発明に係る焦電形赤外線検出素子の一例につ
い−Ｃ焦電係叔、比誘電率および評価指数と組成との間
作をそれぞれ示す曲線図１、第２図は同じく本発明に係
る焦電形赤外線検出素子の一例について組成とキュリー
錨度との関係を示す曲線図、第３図は本発明に係る焦電
形赤外線検出素子についての特性測定回路図である。 （ａｌ・・・赤外わヱ出累ｆ”、（ｂｌ・・・赤外線。 （Ｃ１・負荷抵抗、（ｅ）・・・電源端子、（ｆ）・・
・出力端子。 （ｇｌ・・アース 代理人 弁理士 別 近 意 佑 （ほか １名） 第１図 Ｃａ ｆｆｌ ｘ （ｍｏｌ） −
い−Ｃ焦電係叔、比誘電率および評価指数と組成との間
作をそれぞれ示す曲線図１、第２図は同じく本発明に係
る焦電形赤外線検出素子の一例について組成とキュリー
錨度との関係を示す曲線図、第３図は本発明に係る焦電
形赤外線検出素子についての特性測定回路図である。 （ａｌ・・・赤外わヱ出累ｆ”、（ｂｌ・・・赤外線。 （Ｃ１・負荷抵抗、（ｅ）・・・電源端子、（ｆ）・・
・出力端子。 （ｇｌ・・アース 代理人 弁理士 別 近 意 佑 （ほか １名） 第１図 Ｃａ ｆｆｌ ｘ （ｍｏｌ） −
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一般式 ％式％） （式中ＭｅはＭｇ、Ｚｎのうちから選ばれた少なくとも
１種の元素、Ｘは０１〜０．３５の数値、ｙは０．０１
〜０．１５の数値） で示される複合ペロブスカイト構造のものにＭｎＯ。 Ｎｉｐ、 Ｆｅ２Ｏ３のうちから選ばれた少なくとも１
種を重量比でｏ、ｏｉ〜２％添加配合してなるセラミッ
ク焼結体に、対をなす電極を設けてなることを特徴とす
る焦電形赤外線検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59042918A JPS60191052A (ja) | 1984-03-08 | 1984-03-08 | 焦電形赤外線検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59042918A JPS60191052A (ja) | 1984-03-08 | 1984-03-08 | 焦電形赤外線検出素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60191052A true JPS60191052A (ja) | 1985-09-28 |
Family
ID=12649395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59042918A Pending JPS60191052A (ja) | 1984-03-08 | 1984-03-08 | 焦電形赤外線検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60191052A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01230469A (ja) * | 1988-03-09 | 1989-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | 焦電性磁器組成物 |
| CN110108760A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-08-09 | 东北大学 | 一种基于Zn离子掺杂α-Fe2O3纳米棒的气敏元件及其制备方法 |
-
1984
- 1984-03-08 JP JP59042918A patent/JPS60191052A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01230469A (ja) * | 1988-03-09 | 1989-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | 焦電性磁器組成物 |
| CN110108760A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-08-09 | 东北大学 | 一种基于Zn离子掺杂α-Fe2O3纳米棒的气敏元件及其制备方法 |
| CN110108760B (zh) * | 2019-05-15 | 2020-10-09 | 东北大学 | 一种h2s气敏元件及其制备方法 |
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