JP2833751B2 - 焦電素子用磁器組成物 - Google Patents
焦電素子用磁器組成物Info
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- JP2833751B2 JP2833751B2 JP62315685A JP31568587A JP2833751B2 JP 2833751 B2 JP2833751 B2 JP 2833751B2 JP 62315685 A JP62315685 A JP 62315685A JP 31568587 A JP31568587 A JP 31568587A JP 2833751 B2 JP2833751 B2 JP 2833751B2
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は焦電素子用の磁器組成物に関する。
（従来の技術）
焦電型赤外線検出素子は、被検知物体から放射される
赤外線を吸収することによって、その焦電体の温度変化
に起因する自発分極の変化を信号として利用するもので
ある。 焦電体より発生する電荷の処理回路には、大きく分け
て次の２つのタイプがある。 １つは、電界効果トランジスタ（FET）を用いたイン
ピーダンス交換タイプである。もう１つは、発生電流を
直接高入力インピーダンスを持つ演算増幅器に入力して
増幅する電流モード検知タイプである。 前者のインピーダンス変換タイプの場合、出力電圧感
度に対する材料評価指数（Fv）は次の（１）式で表され
る。 Fv＝λ/Cp・ｄ・εｒ ……（１） ここで、λ：焦電係数、Cp:比熱、d:密度 εr:比誘電率 また、ノイズを含めた比検出率（Ｄ＊）に対する材料
評価指数（FD）は次の（２）式で表される。 ここで、tanδ：材料の誘電正接 （１）、（２）式からFv、FDの値が大きい程優れた焦
電体用の材料であると云える。つまり、温度変化に対す
る自発分極の変化が大きい程、云い替えれば、焦電係数
（λ）の値が大きい程、また比誘電率（εｒ）の値が小
さい程、さらには誘電正接（tanδ）の値が小さい程、
焦電性能が優れていると云える。 インピーダンス変換タイプの赤外線検出器は第１図に
示す等価回路からなる。 第１図において、１は焦電体、２はFET、Rgは抵抗、R
sは抵抗である。このような等価回路において、焦電体
は外部回路の浮遊容量の影響を受けるので、検出器から
発生するノイズを低減する必要から、比誘電率（εｒ）
の値は200以上の大きさを有することが必要である。 一方、後者の電流モード検知タイプの場合、焦電体の
温度変化に対する発生焦電流が大きければ大きいほど高
感度のものである。したがって、検出感度は焦電体の容
量とは無関係で、焦電係数のより大きな材料が高感度の
ものとなる。 この電流モード検知タイプの赤外検出器は第２図に示
す等価回路からなる。 第２図において、10は焦電体、11は高入力インピーダ
ンスを持つ演算増幅器、12は帰還抵抗である。 また、両者のタイプに共通する要件として、焦電性が
消滅する温度、すなわち、キュリー温度が少なくとも15
0℃以上の材料が安価に提供されることが実用の上から
望ましい。 従来、この種の焦電効果を利用した焦電型赤外検出素
子用の材料としては、硝酸グリシン（TGS）、SBN（SrxB
a1-xNb2O8）、チタン酸鉛形磁器、チタン酸ジルコン酸
鉛系磁器などがある。 （従来技術の問題点） 上記した種々の材料のうち、TGS、SBNはキュリー点が
低く、分極が困難で、使用温度範囲が狭いため、実際に
は実用には供しにくい。 また、チタン酸鉛系磁器はその分極温度が200℃前後
と高く、電極材料の選択が難しい。また、薄肉化すると
強度が十分に得られにくく、これまた実用に供すること
が難しい。 これに対して、チタン酸ジルコン酸鉛系磁器あるいは
これに第３成分を含有させた変性チタン酸ジルコン酸鉛
系磁器は分極処理条件、その他焦電特性が実用的である
ため、現在もっとも広く利用されている。 このうち、具体的な組成として、Pb（Sn1/2Sb1/2）O3
−PbTiO3−PbZrO3からなる主成分に、副成分としてMn
O2、CoO、Cr2O3などを添加含有したものがあり、焦電性
能として実用上比較的良好ではあるが、十分な比誘電率
が得られず、誘電正接の値が大きく、あるいはさらに大
きな焦電係数が必要であるなどの点でまだ改善すること
余地が残されている。 （問題を解決しようとする手段） この本発明者は、錫酸アンチモン酸鉛−チタン酸鉛−
ジルコン酸鉛を主成分とする磁器組成物において、鉛の
一部をCa、Sr、Baの少なくとも１種以上で置換するとと
もに、副成分としてMg、Cr、Mnのうち少なくとも１種を
添加含有することにより、誘電率、誘電正接を改善し、
さらにはキュリー温度を150℃以上にすることを見出
し、インピーダンス変換タイプの場合には、出力電圧感
度に対する材料評価指数（Fv）、およびノイズを含めた
比検出率（Ｄ＊）に対する材料評価指数（FD）を改善す
ることができるに至った。また、鉛の一部をアルカリ土
類で置換することにより、焦電係数そのものを増加さ
せ、電流モードの検知方式に有利な材料を見出すことが
できた。 すなわち、この発明にかかる焦電素子用磁器組成物
は、錫酸アンチモン酸鉛−チタン酸鉛−ジルコン酸鉛を
主成分とし、 この主成分を次の一般式で表したとき、 （Pb１−αＡα）［（SnβSb１−β）xTiyZrz］O3 主成分に対して、Mg、Cr、Mnのうち少なくとも１種がそ
れぞれ0.3〜2.5原子％添加含有されていることを特徴と
するものである ただし、式中、ＡはCa、Ba、Srのうち少なくとも１
種。 0.01≦α≦0.10 0.25≦β≦0.75 0.01≦ｘ≦0.20 0.05≦ｙ≦0.97 0.02≦ｚ≦0.94 上記した組成物において、Pbの一部をＡ、つまり、C
a、Sr、Baの少なくとも１種以上で置換しているが、そ
の置換量であるαを0.01〜0.10としているのは、0.01未
満では焦電係数の増加効果がみられず、一方、0.10を超
えると反強誘電性（antiferoelectric）となり、焦電体
としての特性を有しなくなるからである。 また、βを0.25〜0.75としたのは、この範囲をはずれ
ると、緻密な焼結体が得られないからである。 また、ｘの値を0.01〜0.20としたのは、0.01未満にな
ると焼結が困難になり、一方、0.20を越えると、焼結が
困難になるとともに、キュリー点が顕著に低下し実用的
なものにならなくなる。 またｙの値を0.05〜0.97としたのは、0.05未満になる
と反強誘電体（antiferroelectric）となり、焦電体と
しての特性が得られなくなる。一方、0.97を越えると、
焼結体が得られにくくなる。 また、ｚの値を0.02〜0.94としたのは、0.02未満にな
ると焼結が困難になる。一方、0.94を越えると、反強誘
電体（antiferroelectric）となり、焦電体としての特
性が得られなくなる。 上記した主成分に対して、副成分として、Mg、Ca、Mn
のうち少なくとも１種をそれぞれ0.3〜2.5原子％添加含
有されている。 このうち、Mgは粒成長を抑制する効果があり、研磨等
の加工が行いやすくなる。しかしながら、その添加含有
範囲をはずれると、その効果がなくなり、さらにtanδ
の値が大きくなり、材料評価指数（FD）が小さくなる。 またCrは熱エージングを繰返しても分極がれないとい
う効果を有するが、その添加含有範囲をはずれると、添
加効果が顕著に現れなくなる。 また、Mnはtanδを小さくして、材料評価指数（FD）
を大きくするが、その添加含有範囲をはずれると、その
添加含有効果がなくなる。 （効果） この発明にかかる焦電素子用磁器組成物によれば、鉛
の一部がCa、Sr、Baの少なくとも１種で置換されるとと
もに、副成分としてMg、Cr、Mnのうち少なくとも１種を
添加含有して共存させることにより、誘電率、誘電正接
を改善し、さらにはキュリー温度を150℃以上にするこ
とができるという効果を有する。 したがって、インピーダンス変換タイプに用いた場
合、出力電圧感度に対する材料評価指数（Fv）、および
ノイズを含めた比検出率（Ｄ＊）に対する材料評価指数
（FD）を改善することができるという効果を奏する。 また、焦電係数の大きさのみが感度を左右する電流モ
ードタイプに用いた場合、アルカリ土類置換により、こ
の発明範囲内の組成のものではいずれも焦電係数を増加
させることができるという効果を奏する。 （実施例） 以下に、この発明を実施例にしたがって詳細に説明す
る。 素原料として、Pb3O4、SnO2、Sb2O3、TiO2、CaCO3、S
rCO3、BaCO3、PbCrO2、MnO2、MgOを用い、第１表に示す
組成の磁器が得られるように秤量し、各原料を約16時間
湿式混合した。混合された原料を乾燥したのち、900℃
で３時間仮焼した。 この各仮焼原料を有機バインダとともに10〜20時間湿
式粉砕し、乾燥させたのち、60メッシュの篩に通して整
粒した。この整粒粉末を用いて750〜1000Kg/cm2の圧力
で、20×30mm、厚み1.2mmの矩形板に成形した。この成
形板を1150〜1250℃の温度で２時間焼成して磁器板を作
成した。 この磁器板を研磨盤にで厚み0.5mmの厚みに研磨し、
両面に焼付型の銀電極を形成した。これを絶縁油の中に
浸漬し、銀電極に3.0〜4.0Kv/mmの直流電圧を印加して
分極処理した。 この分極済の磁器板からダイサーで10×10mmの正方形
板を切り出し、測定用の試料とした。 各試料の測定結果を第２表に示した。 各特性の測定条件は以下の通りである。 比誘電率:25℃、1KHz 誘電正接:25℃、1KHz 焦電係数：−25℃〜＋85℃の範囲で1.8℃/minの昇温速
度で試料温度を一定速度で昇温させ、この時に発生する
焦電流をエレクトロメーターで測定し、この電流値を有
効電極面積、昇温速度で除して求めた。表の値は25℃で
の値である。 密度 :25℃、アルキメデス法により求めた。 比熱 ：ルビーレーザーのフラッシュ光の短時間照射
により試料の表面に吸収された熱量が内部を貫通し、試
料全体が熱平衡に達するまでの裏面の温度変化を測定
し、その温度変化曲線から算出して求めた。 比較例として、Ca、Ba、SrによるPbサイト置換を行っ
ていない組成について、その焦電特性を第３表に示し
た。 第２表と第３表をから、Ti/Zr/（Sn1/2Sb1/2）の比が
同じ組成の特性を比較する。たとえば、試料番号１と2
1、４、18と24を比較すれば、λ、Fv、FDともこの発明
の組成のものが優れている。また、Ca、Ba、Srのいずれ
で置換しても、少なくとも焦電係数の改善効果が現れて
いる。特に、試料番号15、17と31を比較すると、λ、
Fv、FDとも大幅な改善効果がある。 なお、比較例として、各種の焦電材料とその特性を第
４表に例示した。 第４表において、LiTaO3は高価であり、工業的な利用
の点で難点を有する。また、Pb4.95Ba.05Ge3O11もLiTaO
3ほどではないとしても比較的高価であり、これもまた
工業上の利用の点で難点がある。またPbTiO3は焼結性が
わるく、磁器化が困難なであるという問題点を有する。 以上の実施例から明らかなように、この発明にかかる
焦電素子用磁器組成物によれば、少なくとも焦電係数の
増大をもたらす。したがつて、この点から電流モード検
知タイプの感度を向上させることができる。また、λ、
Fv、FDとも大幅に上昇し、いずれの検知方法の感度も上
昇する。さらにはキュリー温度は150℃以上の値を有す
るものが得られる。
赤外線を吸収することによって、その焦電体の温度変化
に起因する自発分極の変化を信号として利用するもので
ある。 焦電体より発生する電荷の処理回路には、大きく分け
て次の２つのタイプがある。 １つは、電界効果トランジスタ（FET）を用いたイン
ピーダンス交換タイプである。もう１つは、発生電流を
直接高入力インピーダンスを持つ演算増幅器に入力して
増幅する電流モード検知タイプである。 前者のインピーダンス変換タイプの場合、出力電圧感
度に対する材料評価指数（Fv）は次の（１）式で表され
る。 Fv＝λ/Cp・ｄ・εｒ ……（１） ここで、λ：焦電係数、Cp:比熱、d:密度 εr:比誘電率 また、ノイズを含めた比検出率（Ｄ＊）に対する材料
評価指数（FD）は次の（２）式で表される。 ここで、tanδ：材料の誘電正接 （１）、（２）式からFv、FDの値が大きい程優れた焦
電体用の材料であると云える。つまり、温度変化に対す
る自発分極の変化が大きい程、云い替えれば、焦電係数
（λ）の値が大きい程、また比誘電率（εｒ）の値が小
さい程、さらには誘電正接（tanδ）の値が小さい程、
焦電性能が優れていると云える。 インピーダンス変換タイプの赤外線検出器は第１図に
示す等価回路からなる。 第１図において、１は焦電体、２はFET、Rgは抵抗、R
sは抵抗である。このような等価回路において、焦電体
は外部回路の浮遊容量の影響を受けるので、検出器から
発生するノイズを低減する必要から、比誘電率（εｒ）
の値は200以上の大きさを有することが必要である。 一方、後者の電流モード検知タイプの場合、焦電体の
温度変化に対する発生焦電流が大きければ大きいほど高
感度のものである。したがって、検出感度は焦電体の容
量とは無関係で、焦電係数のより大きな材料が高感度の
ものとなる。 この電流モード検知タイプの赤外検出器は第２図に示
す等価回路からなる。 第２図において、10は焦電体、11は高入力インピーダ
ンスを持つ演算増幅器、12は帰還抵抗である。 また、両者のタイプに共通する要件として、焦電性が
消滅する温度、すなわち、キュリー温度が少なくとも15
0℃以上の材料が安価に提供されることが実用の上から
望ましい。 従来、この種の焦電効果を利用した焦電型赤外検出素
子用の材料としては、硝酸グリシン（TGS）、SBN（SrxB
a1-xNb2O8）、チタン酸鉛形磁器、チタン酸ジルコン酸
鉛系磁器などがある。 （従来技術の問題点） 上記した種々の材料のうち、TGS、SBNはキュリー点が
低く、分極が困難で、使用温度範囲が狭いため、実際に
は実用には供しにくい。 また、チタン酸鉛系磁器はその分極温度が200℃前後
と高く、電極材料の選択が難しい。また、薄肉化すると
強度が十分に得られにくく、これまた実用に供すること
が難しい。 これに対して、チタン酸ジルコン酸鉛系磁器あるいは
これに第３成分を含有させた変性チタン酸ジルコン酸鉛
系磁器は分極処理条件、その他焦電特性が実用的である
ため、現在もっとも広く利用されている。 このうち、具体的な組成として、Pb（Sn1/2Sb1/2）O3
−PbTiO3−PbZrO3からなる主成分に、副成分としてMn
O2、CoO、Cr2O3などを添加含有したものがあり、焦電性
能として実用上比較的良好ではあるが、十分な比誘電率
が得られず、誘電正接の値が大きく、あるいはさらに大
きな焦電係数が必要であるなどの点でまだ改善すること
余地が残されている。 （問題を解決しようとする手段） この本発明者は、錫酸アンチモン酸鉛−チタン酸鉛−
ジルコン酸鉛を主成分とする磁器組成物において、鉛の
一部をCa、Sr、Baの少なくとも１種以上で置換するとと
もに、副成分としてMg、Cr、Mnのうち少なくとも１種を
添加含有することにより、誘電率、誘電正接を改善し、
さらにはキュリー温度を150℃以上にすることを見出
し、インピーダンス変換タイプの場合には、出力電圧感
度に対する材料評価指数（Fv）、およびノイズを含めた
比検出率（Ｄ＊）に対する材料評価指数（FD）を改善す
ることができるに至った。また、鉛の一部をアルカリ土
類で置換することにより、焦電係数そのものを増加さ
せ、電流モードの検知方式に有利な材料を見出すことが
できた。 すなわち、この発明にかかる焦電素子用磁器組成物
は、錫酸アンチモン酸鉛−チタン酸鉛−ジルコン酸鉛を
主成分とし、 この主成分を次の一般式で表したとき、 （Pb１−αＡα）［（SnβSb１−β）xTiyZrz］O3 主成分に対して、Mg、Cr、Mnのうち少なくとも１種がそ
れぞれ0.3〜2.5原子％添加含有されていることを特徴と
するものである ただし、式中、ＡはCa、Ba、Srのうち少なくとも１
種。 0.01≦α≦0.10 0.25≦β≦0.75 0.01≦ｘ≦0.20 0.05≦ｙ≦0.97 0.02≦ｚ≦0.94 上記した組成物において、Pbの一部をＡ、つまり、C
a、Sr、Baの少なくとも１種以上で置換しているが、そ
の置換量であるαを0.01〜0.10としているのは、0.01未
満では焦電係数の増加効果がみられず、一方、0.10を超
えると反強誘電性（antiferoelectric）となり、焦電体
としての特性を有しなくなるからである。 また、βを0.25〜0.75としたのは、この範囲をはずれ
ると、緻密な焼結体が得られないからである。 また、ｘの値を0.01〜0.20としたのは、0.01未満にな
ると焼結が困難になり、一方、0.20を越えると、焼結が
困難になるとともに、キュリー点が顕著に低下し実用的
なものにならなくなる。 またｙの値を0.05〜0.97としたのは、0.05未満になる
と反強誘電体（antiferroelectric）となり、焦電体と
しての特性が得られなくなる。一方、0.97を越えると、
焼結体が得られにくくなる。 また、ｚの値を0.02〜0.94としたのは、0.02未満にな
ると焼結が困難になる。一方、0.94を越えると、反強誘
電体（antiferroelectric）となり、焦電体としての特
性が得られなくなる。 上記した主成分に対して、副成分として、Mg、Ca、Mn
のうち少なくとも１種をそれぞれ0.3〜2.5原子％添加含
有されている。 このうち、Mgは粒成長を抑制する効果があり、研磨等
の加工が行いやすくなる。しかしながら、その添加含有
範囲をはずれると、その効果がなくなり、さらにtanδ
の値が大きくなり、材料評価指数（FD）が小さくなる。 またCrは熱エージングを繰返しても分極がれないとい
う効果を有するが、その添加含有範囲をはずれると、添
加効果が顕著に現れなくなる。 また、Mnはtanδを小さくして、材料評価指数（FD）
を大きくするが、その添加含有範囲をはずれると、その
添加含有効果がなくなる。 （効果） この発明にかかる焦電素子用磁器組成物によれば、鉛
の一部がCa、Sr、Baの少なくとも１種で置換されるとと
もに、副成分としてMg、Cr、Mnのうち少なくとも１種を
添加含有して共存させることにより、誘電率、誘電正接
を改善し、さらにはキュリー温度を150℃以上にするこ
とができるという効果を有する。 したがって、インピーダンス変換タイプに用いた場
合、出力電圧感度に対する材料評価指数（Fv）、および
ノイズを含めた比検出率（Ｄ＊）に対する材料評価指数
（FD）を改善することができるという効果を奏する。 また、焦電係数の大きさのみが感度を左右する電流モ
ードタイプに用いた場合、アルカリ土類置換により、こ
の発明範囲内の組成のものではいずれも焦電係数を増加
させることができるという効果を奏する。 （実施例） 以下に、この発明を実施例にしたがって詳細に説明す
る。 素原料として、Pb3O4、SnO2、Sb2O3、TiO2、CaCO3、S
rCO3、BaCO3、PbCrO2、MnO2、MgOを用い、第１表に示す
組成の磁器が得られるように秤量し、各原料を約16時間
湿式混合した。混合された原料を乾燥したのち、900℃
で３時間仮焼した。 この各仮焼原料を有機バインダとともに10〜20時間湿
式粉砕し、乾燥させたのち、60メッシュの篩に通して整
粒した。この整粒粉末を用いて750〜1000Kg/cm2の圧力
で、20×30mm、厚み1.2mmの矩形板に成形した。この成
形板を1150〜1250℃の温度で２時間焼成して磁器板を作
成した。 この磁器板を研磨盤にで厚み0.5mmの厚みに研磨し、
両面に焼付型の銀電極を形成した。これを絶縁油の中に
浸漬し、銀電極に3.0〜4.0Kv/mmの直流電圧を印加して
分極処理した。 この分極済の磁器板からダイサーで10×10mmの正方形
板を切り出し、測定用の試料とした。 各試料の測定結果を第２表に示した。 各特性の測定条件は以下の通りである。 比誘電率:25℃、1KHz 誘電正接:25℃、1KHz 焦電係数：−25℃〜＋85℃の範囲で1.8℃/minの昇温速
度で試料温度を一定速度で昇温させ、この時に発生する
焦電流をエレクトロメーターで測定し、この電流値を有
効電極面積、昇温速度で除して求めた。表の値は25℃で
の値である。 密度 :25℃、アルキメデス法により求めた。 比熱 ：ルビーレーザーのフラッシュ光の短時間照射
により試料の表面に吸収された熱量が内部を貫通し、試
料全体が熱平衡に達するまでの裏面の温度変化を測定
し、その温度変化曲線から算出して求めた。 比較例として、Ca、Ba、SrによるPbサイト置換を行っ
ていない組成について、その焦電特性を第３表に示し
た。 第２表と第３表をから、Ti/Zr/（Sn1/2Sb1/2）の比が
同じ組成の特性を比較する。たとえば、試料番号１と2
1、４、18と24を比較すれば、λ、Fv、FDともこの発明
の組成のものが優れている。また、Ca、Ba、Srのいずれ
で置換しても、少なくとも焦電係数の改善効果が現れて
いる。特に、試料番号15、17と31を比較すると、λ、
Fv、FDとも大幅な改善効果がある。 なお、比較例として、各種の焦電材料とその特性を第
４表に例示した。 第４表において、LiTaO3は高価であり、工業的な利用
の点で難点を有する。また、Pb4.95Ba.05Ge3O11もLiTaO
3ほどではないとしても比較的高価であり、これもまた
工業上の利用の点で難点がある。またPbTiO3は焼結性が
わるく、磁器化が困難なであるという問題点を有する。 以上の実施例から明らかなように、この発明にかかる
焦電素子用磁器組成物によれば、少なくとも焦電係数の
増大をもたらす。したがつて、この点から電流モード検
知タイプの感度を向上させることができる。また、λ、
Fv、FDとも大幅に上昇し、いずれの検知方法の感度も上
昇する。さらにはキュリー温度は150℃以上の値を有す
るものが得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は焦電材料を用いた電流モードタイプの赤外線検
出器の等価回路図である。 第２図は焦電材料を用いたインピーダンス変換タイプの
赤外線検出器の等価回路図である。 １は焦電体、２は高入力インピーダンスを有する演算増
幅器、Rfは帰還抵抗である。 11は焦電体、２はFET、Rgは抵抗、Rsは抵抗である。
出器の等価回路図である。 第２図は焦電材料を用いたインピーダンス変換タイプの
赤外線検出器の等価回路図である。 １は焦電体、２は高入力インピーダンスを有する演算増
幅器、Rfは帰還抵抗である。 11は焦電体、２はFET、Rgは抵抗、Rsは抵抗である。
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．錫酸アンチモン酸鉛−チタン酸鉛−ジルコン酸鉛を
主成分とし、 この主成分を次の一般式で表したとき、 （Pb１−αＡα）［（SnβSb１−β）xTiyZrz］O3 主成分に対して、Mg、Cr、Mnのうち少なくとも１種がそ
れぞれ0.3〜2.5原子％添加含有されていることを特徴と
する焦電素子用磁器組成物。 ただし、式中、ＡはCa、Ba、Srのうち少なくとも１種。 0.01≦α≦0.10 0.25≦β≦0.75 0.01≦ｘ≦0.20 0.05≦ｙ≦0.97 0.02≦ｚ≦0.94
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62315685A JP2833751B2 (ja) | 1987-12-14 | 1987-12-14 | 焦電素子用磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62315685A JP2833751B2 (ja) | 1987-12-14 | 1987-12-14 | 焦電素子用磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01157463A JPH01157463A (ja) | 1989-06-20 |
| JP2833751B2 true JP2833751B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=18068323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62315685A Expired - Lifetime JP2833751B2 (ja) | 1987-12-14 | 1987-12-14 | 焦電素子用磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2833751B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5131899A (ja) * | 1974-09-12 | 1976-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
| JPS5913803A (ja) * | 1982-07-14 | 1984-01-24 | 株式会社荏原製作所 | ボイラ系における缶水濃縮状態制御装置 |
-
1987
- 1987-12-14 JP JP62315685A patent/JP2833751B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01157463A (ja) | 1989-06-20 |
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