JPS6017925A - ワイヤボンダ用ボ−ル形成装置 - Google Patents

ワイヤボンダ用ボ−ル形成装置

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JPS6017925A
JPS6017925A JP58126789A JP12678983A JPS6017925A JP S6017925 A JPS6017925 A JP S6017925A JP 58126789 A JP58126789 A JP 58126789A JP 12678983 A JP12678983 A JP 12678983A JP S6017925 A JPS6017925 A JP S6017925A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の利用分野） 本発明は放電によってワイヤの先端にボールを形成する
ワイヤボンダ用ボール形成装置に関する。
（発明の背景） 従来、スパーク放電によりワイヤの先端にボールを形成
するボール形成装置として、例えば実開昭５７−８０８
４１号公報に示す方法が知られている。この方法は、高
電圧をスイッチング素子により直接スイッチングするの
で、高価な高電圧電源及び高耐電圧スイッチング素子が
必要である。
また高電圧のみを印加するので、アークが安定しなく、
良好なボールが形成されないきいう致命的な欠点を有す
る。
ところで、最近、アークを安定させて良好なボーＩしを
形成するには、例えば特開昭５７−４０９４７号公報に
示すように、高電圧低電流を電極と且 ボールの間に与えＣアークを形成し、−井アー・りが形
成されると低電圧高電流を与えてボールを形成するのが
好ましいとされている。
しかしながら、この方法は、′醒源回路が２個必要であ
り、才た高電圧放電スイッチング手段として高電圧を直
接ナイリスタでスイッチングするため、サイリスタを動
作させる回路が必要であること等ζこより、回路が非常
に複雑になる。また放電用コンデンサとして大容量高電
圧のコンデンサを使用しなければならないので、充電時
間が遅く、ワイヤボンディングのスピードが１ワイヤ当
り０゜４〜０．６秒必要とする。また前記のように高電
圧を直接サイリスタでスイッチングするので、高電圧の
立上り及び立下りが遅く、放電時間及び放電電流の精密
な制御及び大電流出力等が困難である。
（発明の目的） 本発明の目的は、簡単な回路よりなり、ワイヤボンディ
ングのスピードが早く、かつ放電時間及び放電電流の精
密な制御が行えるワイヤボンディング用ボール形成装置
を提供することにある。
（発明の実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。ボー
ル形成時には、クランパ１でワイヤ２をクランプし、牛
ヤピラリ３１こ挿通されたワイヤ２と所定の間隙を保つ
ようにワイヤ２の先端下方ζこ放電電極４が移動させら
れる。
前記ワイヤ２の先端と放電電極４間ｌこ電圧を印加する
ボール形成装置は次のように構成されでいる。低電圧１
つ、（例えば２０（）〜３００　Ｖ　）を出力する低′
ｔｌＬＩ’Ｅ発生回路ｌ（）にはコンデンサ１１が接続
されている。コンデンサ１１の出力側では、一方の出力
線がトラノジスタ等のスイッチングＪＩ］２、ダイオー
ド１３及び放電電流調整用可変抵抗器１４を介してクラ
ンパ１こと接続され、他方の出力線が放′醒成倦４に直
接接続されでいる。前記スイッチング素子１２には放電
時間を可変する可変抵抗１５を有するタイマ】６が接続
されでいる。
従って、スイッチング素子１２の出力電圧Ｅ２は低電圧
Ｅ１より若干小さいがほぼ等しい低電圧を出力する。ま
た放電電流調整用可変抵抗器１４の出力電圧Ｅ３は前記
出力電圧１（、より若干小さい電圧、例えば２００〜３
００ｖになる。この出力電圧Ｅ。
は後記するようｌこ放電開始電圧となるので、以下、こ
の出力電圧を放′醒維持用低′Ｐげ１圧とよぶ。そこで
、電圧Ｅ１、Ｅ２．８３間は次式の関係になる。
Ｅ１ξＥ２≧Ｅ３　・・・・（１） また前記スイッチング素子１２の出力線とコンデンサ１
１の他方の出力ａｌこは変圧器１７の入力線が接続され
ており、この変圧器１７で例えば６００〜］　８００Ｖ
の出力電圧Ｅｔｆこ昇圧される。
変圧器１７の出力線側では、一方の出力線がダイオード
１８を介して前記放電電流調整用可変抵抗器１４の出力
線に接続され、他方の出力線が前記放電宙、ｌｔｉ鉱４
の入力線に接続されている。ここで、前記ダイオード１
３、】８は出力電圧Ｅ２とＥ４の相互干渉を阻止するた
めに設ドブられでいる。前記出力電圧Ｅ、にＭｉＪ記放
市維持用低電圧Ｅ３を加えた電圧１号、は後記するよう
ζこ放電開始電圧となるので、以下この′電圧ちを放電
開始用高電圧とよぶ。そこで、電圧１す２、Ｅ４．１ら
間は次式の関係になる。
ｂＢ　＞　Ｅ４　＞　Ｅ２　・・・・（２）従って、（
１）（２号式より各電圧ｇ、−Ｅ、の関係は次のように
なる。
ｂ５　＞　均＞　Ｊ！１１　”ｉ　Ｅ２　＞　Ｅ３　”
”。（３）次に作用についで説明する。低電圧発生回路
１０によりコンデンサ１１に低電圧が印加される。低５
− 電圧発生回路１０の低電圧Ｊシ、をタイマ１６で制御し
、スイッチング素子１２を駆動する。このスイッチング
素子］２の出力電圧Ｅ、は放電電流調整用可変抵抗器１
４を介して放電維持用低電圧Ｅ３となる。またスイッチ
ング素子１２の出力電圧Ｅ２の一部は変圧器１７で高電
圧Ｅ４に昇圧される。前記出力電圧Ｅ、及びＥ４は同時
に放電開始用高電圧Ｅ。
＝Ｅ３＋ｌＤ。としてワイヤ２と放電電極４間に印加さ
れる。この放電開始用高電圧シ】、により放電が開始さ
れると、変圧器１７の垂下特性ｉこよりコンデンサ１１
からの低電圧Ｅ、による電圧、即ち放電維持用低電圧Ｅ
、がワイヤ２と放電電極４間に印加され、タイマ】６で
設定された時間だけ放電が続く。この時の電圧波形及び
電流波形を第２図に示す。この場合、放電が行われなか
った時は点線のような波形になる。
このように、低電圧発生回路１０の低電圧Ｅ１（正確に
はＥ２）を昇圧器１７で昇圧させて高電圧を発生させ、
この高電圧により放電が開始されると昇圧器１７の垂下
特性ｌこより自動的に低電圧が　６− 印加されるので、回路が非常ｌこ簡単になる。また！源
として低電圧発生回路］０を使用するので、コンデンサ
１１は低電圧用で大容量のものを用いることができ、充
電時間が早くなる。その結果、ワイヤボンディングのス
ピードが１ワイヤ当り００１〜０３秒となり、生産性が
約２倍に向上する。
また低電圧発生回路１０の低電圧Ｅ１をスイッチング素
子１２でスイッチングするので、スイッチング素子１２
は高耐電圧用である必要がない。従って、スイッチング
素子１２として大電流用ダーリントノトラノジスタ等が
使用でき、立上り及び立下りが早く、放電時間及び放電
電流が精密に制御できる。
（発明の効果） 以上の説明から明らかなμ目く、本発明によれば、回路
が簡単になり、ワイヤボンディングのスピードが早く、
かつ放電時間及び放電電流の精密な制御が行える。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す回路図、第２図は放電
波形を示し、（ａ）は電圧波形図、（１）ｌは電流波形
図である。 ２・・・ワイヤ、　４・・・放電電極、１０・・低電／
Ｅ発生回路、１２・・・スイッチング素子、１７・・・
変ＩＦ：、’：”４　ｚ　１”　ｌ、１：】２・・・低
′咀圧、ト】３・・・ノヘ電維持用電圧、１弓。・・・
高電圧、Ｅ、・・・放電開始用電圧。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ワイヤと放電電極間に電圧を印加してワイヤの先端にボ
    ールを形成するワイヤボンダ用ボール形成装置において
    、低電圧発生回路と、この低電圧発生回路の低電圧をス
    イッチングするスイッチング素子と、このスイッチング
    素子の出力電圧を昇圧して高電圧を出力する変圧器とを
    備え、前記スイッチング素子の出力電圧及び前記変圧器
    の出力電圧を同時ｌこ放電開始用高電圧きして前記ワイ
    ヤと前記放電電極間に印加するように構成してなり、前
    記放電開始用高電圧による放電開始後、前記変圧器の垂
    下特性により前記スイッチング素子の出力電圧が放電維
    持低電圧として前記ワイヤと前記放電電極間に印加され
    ることを特徴とするワイヤボンダ用ボール形成装置。
JP58126789A 1983-07-11 1983-07-11 ワイヤボンダ用ボ−ル形成装置 Granted JPS6017925A (ja)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62127651A (ja) * 1985-11-28 1987-06-09 Sanshin Ind Co Ltd エンジン用潤滑装置の異物検出器

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JPS62127651A (ja) * 1985-11-28 1987-06-09 Sanshin Ind Co Ltd エンジン用潤滑装置の異物検出器
JPH0569183B2 (ja) * 1985-11-28 1993-09-30 Sanshin Kogyo Kk

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