JPS60170592A - 導波形ロボツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレーザビームを位置づけし、且つ方向づける導
波形ロボットシステムに関する。

工業上の溶接やはんだ付け、切断加工などの分野では、
移動自在のロボットアームを有するロボットによりハイ
パワーレーザ出力ビームを位置決めし、且つ方向づけて
レーザビーム導波ロボットシステムを形成することが望
まれる。主枝発振波長が１ミクロンのスペクトル範囲に
あるＮｄ　：　ＹＡＧレーザなどの高出力レーザビーム
源の場合、例えば石英ガラスファイバーなどの可撓性光
フアイバー導波路を用いてロボットのアームの長さ程度
の距離にわたって高出力レーザビームを導くことが可能
である。かかるファイバーはロボットアーム内部に導か
れるか、またはアームの側部に外部的に取り付けること
が出来る。しかしながら、現状においては、高出力赤外
レーザビーム、例えばＣＯ２レーザからの波長１０ミク
ロンのビームをガイドする可撓性光ファイバーはロボッ
トアームに必要な単一モードでは利用可能ではなく、ま
たかかるファイバーは損失が多く、脆いため実用に供す
ることは出来ない。従って、現在のファイバーを直ちに
ＣＯ２レーザビームのガイド用に用いることは出来ない
。１方、ＣＯ２赤外レーザはＮｄ：ＹＡＧ　レーザ以上
の出力を与えることが出来また多くの用途に対してＣＯ
２レーザの１０ミクロン放射は１ミクロンのＮｄ　：Ｙ
ＡＧ　放射に比べてよＩ）Ｊしたものであり、従ってＣ
Ｏ２レーザビームに適したロボットシステムを与えるこ
とが望まれる。

従って、センサーレビュー（Ｓｅｎ３ｏｒＲｅｖｉｅｗ
　）、ＰＰ６４−＝６６　（１９８３年４月）の「レー
ザ自動加工における英国各社の主要な進歩」と題する報
告に記載されたように、ロボットに固定された適切な光
導波路を通してＣＯ２レーザビームをガイドすることが
、従来の１つの方法として与えられている。コブラ（Ｃ
０ＢＲＡ　ｌとして公知の上記のレーザロボットシステ
ムはＡＳＥＡ４Ｒｂ６０ポットとフエランテイ（Ｆｅｒ
ｒａｎｔｉｌ　Ｃ０２レーザと共に関節式光ガイドを有
する。該光ガイドは、そのセグメントがロボットアーム
の対応するセグメントと平行配列に整合されるようにロ
ボットに固定されている。かかる整合によりロボットア
ームと光ガイドとは一致した運動が可能になシ、これは
次に光ガイドに作用する応力を最小にし、また３次元の
自由度を可能にする。しかしながら、このロボットシス
テムは、ロボットの寸法が大きく、また回折効果を避け
るのに必要な１０ミクロン放射用光ガイドとして用いら
れる従来の関節式アームの寸法が大きいため、その寸法
が犬きく望ましくはない。更に、かかる簡単な構成はミ
クロボットアルファロボット（Ｍｉｃｒｏｂｏｔ　Ａｌ
ｐｈａｒｏｂｏｔ　）などの望１しくは寸法がより小さ
なロボットアセンブリと共に用いることが出来ないが、
それはより小型のロボットアセンブリが、ロボットの本
体から外部に突出し光力イトを遮ぎると思われるロボッ
ト部材、例えば側面シールド部材を有するためである。

この突出側面シールド部材はミクロポンドアル’７７（
７）モータの全てを１箇所に収容するのに必要なもので
、これにより比較的コンパクトな全体にわたるロボット
アセンブリ、例えばミクロボットアルファの側面シール
ド部材を可能にすることが必要とされる。従って、ミク
ロホットアルファなどの突出側面シールド部材を有する
ロボットアセンブリと共にｃｏ２レーザで使用され得る
レーザロボットシステムを与えることが望才しくなろう
。

従来の方式の（上記の報告で提案されたような）関節式
光ガイドの他の問題点はアーム操作時に生ずるビームの
ワンダリング （ｗａｎｄｅｒｉｎｇ　Ｉにある。この作用は、（１）
入力ビームが光ガイドの軸線上に正確に入射されず、（
２）関節式光ガイドの回転角が正確に直角でない場合に
発生する。実際には、かかる状況は、少なくとも動作時
の妥当な時間幅の間は得ることが出来ず、また出力ビー
ムの正確な位置は予測出来ず、特にロボットシステムに
おいては共に望捷しくない効果である。

ＣＯ□レーザビームを位置付けし、且つ方向付ける他の
方法は、関節式アームアセンブリのレーザ出力チップを
保持して操作できるミクロボットアルファのロボットグ
リッパを使用するものであろう。即ち、それは旋回ジヨ
イント（１つのセクションを共通軸回りに相対的に回動
可能な２つのセクションに分割して関節式光ガイドアー
ムの隣接するセクシーヨンがその軸回りに回動できるよ
うにするジョイントンによって複数の剛性セクションに
分割された光ガイドである。しかしながら、この方法に
おけるレーザビーム出力の再方向づけは全ての旋回ジヨ
イントの回転を含む光ガイドセクションの複雑な再構成
を必要とするであろう。光ガイドセクションのかがる複
雑な再構成は・ロボットが光ガイドアセンブリの描く複
雑な経路に追随することを要求し、従って、レーザ出力
チップの望ましい連続回転機能を阻ＩＵ：、するであろ
う。更に、ロボット、がそのアームを再配置しようとす
る時間節式光ガイドアームが該アーム内に形成された応
力により損傷されないようにするために、ロボットのグ
リッパに力及びトルクセンサを取り付けることが必要と
なろう。しかしながら、力及びトルクセンサなどの技術
は、ロボットアームによる簡単な２リンククランクの回
転すらも未だ適切には解決されていない複雑なコンプラ
イアンス問題を与えるため現在の技術状態のロボット工
学のレベルを越えるものである。

本発明は、突出部材を有するロボットアセンブリにより
運動が制御される導波式アームアセンブリによりロボッ
トシステムに与えられる応力問題を緩和するものである
。このロボットアセンブリは１つ以上の移動自在の剛性
ロボットアームを有する。前記の導波路は共に固定接続
された剛性導波アームセグメントと剛性導波コーナセグ
メントの構成を有する。通常は、各々の導波アームセグ
メントは導波コーナセグメントより非常に長い。セグメ
ントのうちの選択したものは旋回ジヨイントを持ち、該
ジヨイントは各々の選択したセグメントの１部分の該セ
グメントのその他の部分に対する前記の選択したセグメ
ントの（共通〕軸線周シの回転を可能にし、従って隣接
セグメントの（前記の選択したセグメントに隣接する）
前記の選択したセグメントの軸線周りの回転を可能にす
る。

本発明に従って、ロボットアセンブリに取付けた導波ア
センブリを有するレーザロボットシステムは： ｌ）第１及び第２のロボット軸線４１．５及び４２．５
を各々有する第１及び第２の相互に垂直なロボット車軸
４１及び４２を有してロボットアームの運動を可能にす
る第１０ボツトアーム（第１図の６１］と、 ２）互いに直角に固定方向づけした第１及び第２の導波
アームセグメント１１及び１２にして、ロボットアセン
ブリに、第１導波アームセグメント１１が第１０ボット
軸線４１．５と同一線上に整合されるように、第２導波
アームセグメント１２が固定されてなる第１及び第２の
導波アームセグメントと、 ３）互いに直角に固定方向づけられ、これにより第１導
波コーナセグメント１３が、該セグメント１３が第１導
波アームセグメント１１に平行に方向づけられ、且つ第
２コーナセグメントが第２アームセグメントに平行に方
向づけられるように、第２導波アームセグメント１２に
固定方向づけられ、 第１コーナセグメント１３の長さが、第２アームセグメ
ントの中心を通過する軸線と、第２０ボツト車軸４２の
軸線との間の距離に等しく、これにより第２コーナセグ
メント１４が第２０ボット軸線４２．５と同一線上に整
合されてなる第１及び第２の導波コーナセグメントと、 ４）第２導波コーナセグメント１４に直角に固定方向づ
けられ、該セクション１４が旋回ジヨイントを有し、こ
れにより第３導波アームセグメント１５が第２０ポツト
軸線４２．５に垂直な面内で第２０ボツト軸線４２．５
周りに回動可能である第３導波アームセグメント１５と
からなる。

第１導波アームセグメント１１は舊た、導波アセンブリ
がロボットアセンブリの運動に応じて所定の対応する運
動を実施することを可能にする旋回ジヨイント７１を有
すると都合が良い。

前記のアセンブリには第３及び第４の並列ロボット車軸
４３及び４４と共に第２０ボツトアームセグメント６２
が付加され得ると都合良く、ここに前記の車軸の１つは
、第２０ボツトアームセグメントが第１０ボツトアーム
セグメントに対し第３０ボツト車軸４３周りに回動自在
であるよう・に前記第２のロボットアーム６２の各端部
に位置づけられるものである。更に、第３導波コーナセ
グメント１６は第３導波アームセグメント１５に直角に
固定方向づけられ、且つ第３０ボツト車軸４３の軸線と
同一線上に整合される。更に、第４導波アームセグメン
ト１７は第３導波コーナセグメント１６に直角に固定方
向づけされ得ると都合が良い。

更に、第４導波コーナセグメント１８が第４導波アーム
セクメント１７上に固定接続され、且つこれに直角に方
向づけられ、これによシ第４導波コーナセグメント１８
が第４０ポツト車軸４４の第４軸線４４．５と同一線上
に整合され得ると都合が良い。

本発明の特定の実施例においては、ロボットアセンブリ
は、通常は、側部ケーシング（側部シールドではない）
とハンドグリッパが共に除去されている。ミクロホット
アルファで与えられる。ロボットアセンブリの各種のロ
ボットアームセグメントはモータによシ制御されるケー
ブルにより位置決めされる。

通常、導波アセンブリは旋回ジヨイントを有する修正Ｂ
ｒｉｄｇｅｓ　−５ｔｒｎａｄ　形の間接導波アームア
センブリであり、１９８２年１月１２日にＴ、　Ｊ、　
Ｂｒｉｄｇｅｓ等（１２−２）により提出された「間接
式アーム放射ガイド」と題する米国特許出願番号第３３
８８７１号により完全に記載されている。

先行技術における望１しくない効果は排除可能であシ、
且つ同時に、関節式光ガイドは修正Ｂｒｉｄｇｅｓ　−
５ｔｒｎａｄ　形の関節式導波アームアセンブリを用い
ることにより望筐しい小形のロボットシステムに対して
よりコンパクトで適切になされ得る。この導波路は中空
状誘電体導波路音用いて特定の予測可能な経路内で放射
をガイドし、且つ回折に起因するビーム拡散を排除する
。結果的に、上記のＢｒｉｄｇｅｓ　−５ｔｒｎａｄ　
アームはコンパクトで、高い指向精度を有し、これ等の
特性は現在の状況での用途に適したものである。

第１図において、ロボットシステム１００は、マスター
（主）ロボットアームアセンブリ、特に以下に記載する
ように修正されたミクロボットアルファと、スレーブ（
従）導波アームアセンブリとを有する。「マスター（主
）」及び「スレーブ（従）」は、マスタロボットアセン
ブリの運動がスレーブ導波アセンブリにおける対応する
運動を与えることを意味している。マスターロボットア
ームアセンブリは上部ロボットアーム６１、ロボットフ
ォアアーム６２、及びロボット車軸４１．４２．４３．
４４、及び４５とからなる。上部ロボットアーム６１１
’ｉ：１対のロボット側部シールド６５及び６６に車軸
４２により枢支され、ベース−６３に固定される。スレ
ーブ導波アームアセンブリは比較的長いストレート剛性
導波アームセグメント１１．１２．１５．１７．１９、
及び２０と、比較的短いストレート剛性導波コーナセグ
メント１３．１４．１６、及び１８とからなる。かかる
導波セグメントの各々は、コーナ或いはアームセグメン
トのいずれであっても、次の後続セグメントに固定接続
され、また好ましくは単一モードの、中空誘電体導波路
シリンダー（凹路）を有する。適切な光源（凹路）、例
えばｃｏ２レーザからの放射ビーム２１は導波アームセ
グメント１１の端部に置かれた導波路開口部５全通して
スレーブ導波アセンブリにょシ受容される。該放射はス
トレート形導波セグーメント１１．１２．１３．１４、
・・２０を通して逐次カイトされる。光学ミラー装置（
第１図でＶｉ隠れており、第２図ではミラー３７．３８
、及び３９として示され、また第３図ではミラー３３及
び３４として示されている。）は異なる連続する導波セ
グメント間に位置づけられて１つのせグメ゛ントから出
る放射を次の引き続くセグメントに方向づけでいる。例
えば、第２図に詳細に図示したミラー３７は導波アーム
セグメント１７からの放射を導波コーナセグメント１８
に向けるために用いられる。前記の放射は、全導波セグ
メント１１〜２０全通して伝搬した後、導波アームセグ
メント２０の端部にある他の導波路間白部６全 れる。

ロボットアセンブリ（従って導波アセンプリンは技術的
に公知のギヤ、モータ、及び鍵（　ｔｅｎｄｏｎｓ　Ｉ
　’ｌ：用いて操縦される。例えば、ギヤ及びモータの
幾つかがロボットアセンブリの本体内側（側部シールド
６５及び６６の間の領域で］に配置され、導波アーム２
ｏを操縦するだめの機械的なカを伝達する残余のギヤ５
０、５１、及び５２が第２図に示される。残るモータ（
凹路）が第１図のベースプレート６３の内側に配置され
、ロボットアセンブリの軸線４１．５周りの所定の回転
θ１を与える装置として用いられる。

ロボットアセンブリの本体内に置かれた各種のモータは
ギヤを駆動し、次に該ギヤはロボットの鍵６４を運動状
態にセットする。通常はスチールケーブルの廊が、技術
的に公知のように、ロボットアームアセンブリの各種の
位置に位置づけられた一連のプーリ車輪に沿って走行し
、これによりロボットアームセグメント６１、６２、及
び４５が各々角度θ２〜θ，全通して回転自在にされ、
またロボットアームセグメント４５は車軸の形態をなし
、更に角度θ，全全通て自転自在にされ得る。

マスク及びスレーブアーム間の物理的接続は多くの形態
をとることが出来、この場合に必要なものの全ては、第
１の４つのロボット車軸４１〜４４を、各々、４つの導
波セグメント１１．１４．１６．１８の軸線と同軸に固
定整合する装置と、第５のロボット車軸４５を導波セグ
メント１９に平行に固定整合する装置により与えられる
。かかる整合はロボット動作時のマスクロボットアーム
のスレーブ導波アームにおける応力を減らすために望ま
しいものである。このため、コーナセグメント１４．１
６及び１８は、第３図により以下に詳述するように、接
続装置（第」図では略ンにより、各々、ロボット車軸４
２．４３、及び４４の、各々、軸線４２．５・４３・５
１及び４４．５と固定的に整合される。旋回ジヨイント
７１．７２．７３．７４、及び７５が、各々、導波セグ
メントの回転を可能にするために導波セグメント１１．
１４．１６．１８、及び１９内に配置される。ロボット
アセンブリの設計、特に、側部シールド６５及び６６の
位置に起因して、各々、ロボット車軸４１．４２．４３
、及び４４の、各々軸線４１．５．４２．５．４３．５
、及び４４．５の導波セグメント１１．１４．１６、及
び１８の軸線との同軸整合を与えることが重重しい。

導波セグメント１２．１３、及び１４の構成は、動作中
最小応力であることを保証するために、セグメント１２
が側部シールド６５上にわたって水平に延在し、１方セ
グメント１３がロボット軸線４２．５の導波セグメント
１４の軸線との整合を得るのに十分な長さの距離にわた
って垂直に延在するのが望ましい。このようにして、２
つのアームを整合することにより、ロボットアセンブリ
の回転軸線は導波アセンブリの対応する回転軸線と一致
し、即ち、一定の角度を通してのマスクロボットセグメ
ントの回転は同じ角度を通しての対応するスレーブアー
ム導波セグメントの回転に対応する。

第３図は、ロボットアセンブリ１００の１部を示し、導
波セグメント１４の軸線１４．５が、例えば、対応する
ロボット軸線４２．５と適切に固定整合可能な例示装置
を図示するものである。第３図に示したように、燐青銅
製機械的接続クリップ１が導波コーナセグメント１４に
、該コーナセグメント１４を適所に保持するために用い
られる１対のばね式接続クランプ２により、取付けられ
る。前記のクリップ１はねじ３に確実に接続され、該ね
じは、ロボット軸線４２．５に対して同軸にこのコーナ
セグメント１４の軸線１４．５を整合させるためにロボ
ット車軸４２に確実に接続され、且つそこから突出する
。同様の接続が、導波セグメント１６とロボット車軸４
３の間、及び導波セグメント１８とロボット車［１１１
４’４の間にも形成される。

ロボット車軸４５と導波コーナセグメント１９の間の機
械的接続が第２図に更に詳細に図示される。この接続は
２つの同等な相互に係合するギヤ５１及び５２を用いて
達成される。このギヤは、ロボット車軸４５と導波セグ
メント１９の軸線を平行に保つだけでなく、ヒトの手首
の運動に類似の導波セグメント２０の手首形の運動を与
えるためにも用いられる。

ギヤアセンブリ５０ば、自動車の差動ギヤアセンブリの
１部に類似しており、ロボットモータ（凹路）からｊ健
（図Ｊ＠）により作動され、またギヤ５２を駆動するた
め（に用いられ、該ギヤは次にギヤ５１を駆動し、かく
してこの手首式運動を可能にする。

次の値は図解を明瞭にするための代表的な寸法である。

即ち、導波アームセグメント１１の軸線２１と導波コー
ナセグメント１３の軸線との間の距離は約１０　ｏｎ＋
　（２，５４／２１ｃｍ＝　１１．２７ｃｍであり、導
波コーナセグメント１４．１６、及び１８の長さは、全
て等しく、約２．５４　ｃｍであり、導波アームセグメ
ント１５と１７の長さは共に約１７．７８ｃｒｎであり
、また導波アームセグメント１９の長さは約５ｃｍであ
る。

本発明は特定の実施例により詳述されたが、本発明の範
囲から逸脱することなく各種の変更が５１能である。例
えば、導波セグメント１８・　１９、及び２０により力
えられるリスト形動作は省略することが出来、従ってレ
ーザ放射は第４導波アームセグメント１γの端部での放
出が可能になる（ミラー３７を省略して）。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に従ってレーザビームを位置づ
け且つ方向づける導波アームアセンブリを制御するロボ
ットアームアセンブリを含むロボットシステムの斜視図
、 第２図は第１図に示したシステムの遠隔端部を一部斜視
図で示した側面図、 第３図は、本発明の一実施例である第１図に示したシス
テムの中間部分の斜視図である。 ２・・接続クランプ ５．６・・導波路開口部 １１〜２０−・・導波コーナセグメント２１・・・放射
ビーム ３３．３４．３７〜３９・・・ミラー ４１〜４５・・・ロボット車軸 ５０．５２・・・ギヤ ６１．６２・・・ロボットアーム ６３　・ベースプレート ６４・ロボットの鍵 ６５．６Ｇ・・・ロボットの側部シールド７１〜７５・
・・旋回ジヨイント １００・−ロボットシステム ＦＩＧ、／ 泗 第１頁の続き ■発明　者　スーザン　ハックウラ　アト　ル ＠発明者　チンロン　リン　ア ル メリカ合衆国　０７７３３　ニュージャーシイ、ホルム
デ、ピー・オー・ボックス　１６９（番地なし）メリカ
合衆国　０７７３３　ニュージャーシイ、ホルムデ、パ
ークシャー　コート　７

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　導波形ロボットにして、 ａ）第１のロボットアームセグメントが、該セグメント
   の、各々、第１及び第２回転全可能にする第１及び第２
   の相互に垂直な車軸と、該第２アームセグメントに対し
   て第２アームセグメントの移動を可能にする第３の車軸
   とを有してなる第１及び第２のロボットアームセグメン
   トと、 ｂ）第２車軸が固定される側面シールドと、Ｃ）更に、
   第１及び第２の導波アームセグメント、第】及び第２の
   導波コーナセグメント、及び第３の導波アームセグメン
   トにして、 各々のかかる導波セグメントが１端部で次に続くセグメ
   ントの他の端部に直角に固定接続され、第２導波コーナ
   セグメントが旋回ジヨイントを有し、第】導波アームセ
   グメントの軸線が第１０ポツト車軸の軸線と同一線上に
   整合され、第２導波コーナセグメントが第２０ボツト車
   軸の軸線と同一線上に整合されてなる第１及び第２の導
   波セグメント、第１及び第２の導波コーナセグメント、
   及び第３の導波アームセグメント によって特徴づけられる導波形ロボット。 ２、ａ）第３及び第４の相互に平行なロボット車軸を有
   する第２０ボツトアームセグメントにして、該ロボット
   車軸は該第２０ボツトアームセグメントの反対側端部に
   位置づけられ、これにより前記の第２０ボツトアームセ
   グメントは第３０ボット車軸周りの第１０ボツトアーム
   セグメントに対して回転自在となる第２０ボツトアーム
   セグメントと、 ｂ）第３導波コーナセグメントにして、該セグメントは
   旋回ジヨイントを有し、且つ該セグメントに直角をなす
   第３の導波アームセグメントに固定方向づけされた第３
   導波コーナセグメントと、 ｃ）　第３導波コーナセグメントに直角に該セグメント
   に固定方向づけされた第４導波アームセグメントと、 ｄ）第４導波アームセグメントに直角に固定方向づけさ
   れた第４導波コーナセグメントと、 ｅ）第３０ボツト車軸の軸線と同一線上に第３導波コー
   ナセグメントの軸線を整合し、且つ第４０ボツト車軸の
   軸線と同一線上に第４導波コーナセグメントの軸線を整
   合する装置とにより、 特徴づけられる特許請求の範囲第１項に記載の導波形ロ
   ボット。 ３、ａ）旋回ジヨイントを有し、且つ第５の導波アーム
   セグメントに直角に第４の導波コーナセグメントに固定
   接続された第５導波アームセグメントと、 ｂ）第６導波アームセグメントに直角に第５の導波アー
   ムセグメントに固定接続された第６導波アームセグメン
   トと、 Ｃ）第４０ボツト車軸に直角に位置づけられた第５０ポ
   ツト車軸の形態をなし、これにより第５０ポツト車軸が
   第４０ボツト車軸周りに旋回可能な第３０ボツトアーム
   と、 ｄ）第５導波アームセグメントと第５０ポツト車軸を隔
   置し、相互に平行に整合する接続装置とによシ特徴づけ
   られる特許請求の範囲第２項に記載の導波形ロボット。 ４、ａ）第３導波コーナセグメント、第４導波アームセ
   グメント、及び第４導波コーナセグメントにして、各々
   のかかるセグメントは異なる軸線を有し、また第３導波
   コーナセグメントは第３導波アームセグメントにこれ等
   の軸線が直角をなすように接続され、第４導波アームセ
   グメントと第３導波コーナセグメントが、これ等の軸線
   が直角をなすように、接続され、更に第４導波コ−１セ
   グメントが第４導波アームセグメントに、これ等の軸線
   が直角をなすように接続されてなる第３導波コーナセグ
   メント、第４導波アームセグメント、及び第４導波コー
   ナセグメントと、 ｂ）第２０ボツトアームセグメントにして、第２０ボツ
   ト軸線に平行な関節付きロボットアームアセンブリの第
   ３０ボツト軸線を有する第３０ボツト車軸周りに第１０
   ボツトアームセグメントに関して回動自在であり、該第
   １０ボツトアームセグメントに接続されたセグメントで
   あり、第３０ポツト車軸が第１０ボツトアームセグメン
   トの端部と第２０ボツトアームセグメントの端部とに近
   接配置されてな・る第２０ボツトアームセグメントと、 Ｃ）第３導波コーナセグメントの軸線を第３０ボツトの
   回動軸線と同一線上に整合し、且つ第３０ボツト軸線に
   平行で、第２０ボツトアームの他の対向端部に近接配置
   された第４０ボツト車軸の第４０ポツト軸線と同一線上
   に第４導波コーナセグメントの軸線を整合する接続装置
   にして、 第３及び第４導波コーナセグメントの各々が分離式旋回
   ジヨイントを備え、これにより第３導波コーナセグメン
   トの、対応する　旋回ジヨイントから外向きに延在する
   セクションが第３０ボツト軸線周シに自動出来、且つ第
   ４導波アームとジヨイントセグメントとが第３０ボツト
   軸線に対して回動自在となり、葦だこれにより第４導波
   コーナセグメントの、旋回ジヨイントから内向きに延在
   するセクションが第４０ボツトの回動軸線周シに回動自
   在である接続装置とによって特徴づけられる特許請求の
   範囲第３項に記載の導波形ロボット。 ５、ａ）各々が異なる軸線を有し、第５導波アームセグ
   メントと第４導波コーナセグメントとが、それ等の軸線
   が直角をなすように共に接続され、また第６導波アーム
   セグメントが第５導波アームセグメントに、それ等の軸
   線が直角をなすように接続されてなる第５及び第６導波
   アームセグメントと、ｂ）第４０ボツトの回転軸線に垂
   直な、第５０ボツトの回転軸線を有する第５０ボツト車
   軸の形態をなし、これにより第５導波アームセグメント
   の軸線と第５０ボツトの回転軸線とが平行の４１である
   第３０ボツトアームと Ｃ】　第５導波アームセグメントと第５０ボツト車軸と
   に各々固定接続され、これにより第５導波アームセグメ
   ントの軸線が第１ギヤの中心を通過し、また第５０ボツ
   トの回転軸線が第２ギヤの中心を通過してなる第１及び
   第２の相互に係合するギヤにして、 第５導波アームセグメントが分離式旋回ジヨイントを有
   し、これによす旋回ジヨイント上の第５導波アームのセ
   クションと第６導波アームセグメントとが第５導波アー
   ムセグメントの軸線周りに回動し得る第１及び第２の相
   互に係合するギヤとによって特徴づけられる特許請求の
   範囲第４項に記載の導波形ロボット。 ６、第４導波アームセグメントの長さが第３導波アーム
   セグメントの長さに等しいことを特徴とする特許請求の
   範囲第５項に記載の導波形ロボット。 ７、第２、第３、及び第４導波コーナセグメントの長さ
   が等しいことを特徴とする特許請求の範囲第５項に記載
   の導波形ロボット。