JPS58148089A - レ−ザ式のパイプ加工装置 - Google Patents
レ−ザ式のパイプ加工装置Info
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- JPS58148089A JPS58148089A JP58021379A JP2137983A JPS58148089A JP S58148089 A JPS58148089 A JP S58148089A JP 58021379 A JP58021379 A JP 58021379A JP 2137983 A JP2137983 A JP 2137983A JP S58148089 A JPS58148089 A JP S58148089A
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- 210000002310 elbow joint Anatomy 0.000 claims description 62
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 6
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/10—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece using a fixed support, i.e. involving moving the laser beam
- B23K26/103—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece using a fixed support, i.e. involving moving the laser beam the laser beam rotating around the fixed workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/20—Bonding
- B23K26/21—Bonding by welding
- B23K26/24—Seam welding
- B23K26/28—Seam welding of curved planar seams
- B23K26/282—Seam welding of curved planar seams of tube sections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、被加工片を回わしてその種々の表面部分にレ
ーザビームを当てることができないような環境において
レーザにより被υロエ片に加工操作tat装置に係る。
ーザビームを当てることができないような環境において
レーザにより被υロエ片に加工操作tat装置に係る。
レーザによって相料會溶接したり切断したシするように
加工する使用目的の中で、円筒状の被加工片上回わして
その種々の表面部分にレーザビームを当てることができ
々いために被加工片の周囲をめぐるようにレーザビーム
の焦点上動かすことを必要とする使用目的は多数ある。
加工する使用目的の中で、円筒状の被加工片上回わして
その種々の表面部分にレーザビームを当てることができ
々いために被加工片の周囲をめぐるようにレーザビーム
の焦点上動かすことを必要とする使用目的は多数ある。
このよう々使用目的の1つは、パイプの区分同志を現場
で溶接して連続し九パイプラインを形成することである
。
で溶接して連続し九パイプラインを形成することである
。
この場合には、被加工片上回わすことができず、2つの
パイプ区分tクランプした突合せ接合部の周囲をめぐる
ようにレーザビームの集束ヘッドを動かζねばならない
。レーザビームは、パイプの表面にはy直角に入射する
ように維持しなければならないと共に、完全々溶接を確
保するためにはパイプの周囲に1つの完全な円を描く以
上にレーザビームを動かさねばならない。V−ザビーム
【用いて成る長さのパイプt−2つに切断する場合にも
これと同じようにすることが必要である。
パイプ区分tクランプした突合せ接合部の周囲をめぐる
ようにレーザビームの集束ヘッドを動かζねばならない
。レーザビームは、パイプの表面にはy直角に入射する
ように維持しなければならないと共に、完全々溶接を確
保するためにはパイプの周囲に1つの完全な円を描く以
上にレーザビームを動かさねばならない。V−ザビーム
【用いて成る長さのパイプt−2つに切断する場合にも
これと同じようにすることが必要である。
本発明によれば、レーザビームで加工さるべき固定の被
加工片が配置された位置をめぐる閉じ九経路1cりどる
ようにされたキャリジに取り付けられていて、レーザビ
ームが被加工片に直角に入射するようレーザビームを維
持すると共にレーザビームを被加工片の表面に集束させ
るよう々集束ヘッドと、この集束ヘッドを固定のV−ザ
ビームガイドVC接続する可動性のレーザビームガイド
とt具備し、この可動性の7−ザビームガイドは、27
0°以上の角度運動を各々行なえる少なくとも311m
の光学エルボ継手と、その1つの光学エルボ継手からの
レーザビームを他の継手へ反射させそしてここから上記
集束ヘッドへと反射させる手段とt備え、第1の上記光
学エルボ継手は上記集束ヘッドに組合わされており、第
2の上記光学エルボ継手は上記固定のレーザビームガイ
ドに組合わこれており、そしてオ6の上記光学エルボ継
手は上記第1及び第2の光学エルボ継手の中間にあって
これらから離嘔れており、その離間距離は、上記可動性
のビームガイドが被加工片に接触することなく被加工片
のP1囲に1つの完全彦円を描く以上に上記集束へ7に
″を動かすことができるような距離であることを特徴と
するレーザ式加工装置が提供寧れる。
加工片が配置された位置をめぐる閉じ九経路1cりどる
ようにされたキャリジに取り付けられていて、レーザビ
ームが被加工片に直角に入射するようレーザビームを維
持すると共にレーザビームを被加工片の表面に集束させ
るよう々集束ヘッドと、この集束ヘッドを固定のV−ザ
ビームガイドVC接続する可動性のレーザビームガイド
とt具備し、この可動性の7−ザビームガイドは、27
0°以上の角度運動を各々行なえる少なくとも311m
の光学エルボ継手と、その1つの光学エルボ継手からの
レーザビームを他の継手へ反射させそしてここから上記
集束ヘッドへと反射させる手段とt備え、第1の上記光
学エルボ継手は上記集束ヘッドに組合わされており、第
2の上記光学エルボ継手は上記固定のレーザビームガイ
ドに組合わこれており、そしてオ6の上記光学エルボ継
手は上記第1及び第2の光学エルボ継手の中間にあって
これらから離嘔れており、その離間距離は、上記可動性
のビームガイドが被加工片に接触することなく被加工片
のP1囲に1つの完全彦円を描く以上に上記集束へ7に
″を動かすことができるような距離であることを特徴と
するレーザ式加工装置が提供寧れる。
本発明の1つの態様においては、上記第2の光学エルボ
継手は、これが取り付けられた上記固定のレーザビーム
ガイドの部分の軸と一致した軸のまわりで回転すること
ができ、そして集束ヘッドのキャリジは同じ軸に対して
枢着運動される単1軸のジンバルフレームに取り付けら
れ九軌道上を動くように限定され、これにより上記ジン
バルの軸に直角な平面内のい刀λなる向きに被加工片の
軸があっても被加工片にレーザビームを作用させること
ができる。
継手は、これが取り付けられた上記固定のレーザビーム
ガイドの部分の軸と一致した軸のまわりで回転すること
ができ、そして集束ヘッドのキャリジは同じ軸に対して
枢着運動される単1軸のジンバルフレームに取り付けら
れ九軌道上を動くように限定され、これにより上記ジン
バルの軸に直角な平面内のい刀λなる向きに被加工片の
軸があっても被加工片にレーザビームを作用させること
ができる。
以下、添付図面をお照し、本発明を一例として説明する
。
。
牙1図を説明すれば、軌道を回ゎる形式のレーザ溶接機
/切断機は、キャリジ2に取り付けられた集束ヘッド1
t−備え、キャリジ2は基板5の穴4を取り巻く軌道3
上七走行する。基板5は、支持構造体7の1iit−形
成する耳軸6に取り付けられる。支持構造体7は単1軸
のジンパルフレームとして動く。集束ヘッド1は、キャ
リジ2が軌道5に沿って動く時に集束ヘッド10半住方
向の整列が維持されるような位置でキャリジ2に固定さ
れる。参照番号8で一般的に示され九可動性のレーザビ
ームガイドは集束ヘッド1を固定のレーザビームガイド
9に接続する。レーザビームガイド9の固定部分は一方
の耳輪6の中心上貫通している。保鰻の目的で、可動性
のレーザビームガイド8には関節連結式の外部ケース1
0が設けられている。可動性のレーザビームガイド8は
6つのエルボ継手11.12及び13t−備えている。
/切断機は、キャリジ2に取り付けられた集束ヘッド1
t−備え、キャリジ2は基板5の穴4を取り巻く軌道3
上七走行する。基板5は、支持構造体7の1iit−形
成する耳軸6に取り付けられる。支持構造体7は単1軸
のジンパルフレームとして動く。集束ヘッド1は、キャ
リジ2が軌道5に沿って動く時に集束ヘッド10半住方
向の整列が維持されるような位置でキャリジ2に固定さ
れる。参照番号8で一般的に示され九可動性のレーザビ
ームガイドは集束ヘッド1を固定のレーザビームガイド
9に接続する。レーザビームガイド9の固定部分は一方
の耳輪6の中心上貫通している。保鰻の目的で、可動性
のレーザビームガイド8には関節連結式の外部ケース1
0が設けられている。可動性のレーザビームガイド8は
6つのエルボ継手11.12及び13t−備えている。
エルボ継手11は集束ヘッド1へ光を伝え、エルボ継手
12は可動性のレーザビームガイド8t−固定のレーザ
ビームガイド9へ接続し、そしてエルボ継手16は他の
2つのエルボ継手の中間にある。外部ケース10には対
応する関節連結が与えられている。エルボ継手11.1
2及び16については以下で詳細に説明する。各エルボ
継手はその動きが自在であり、2709以上の角度運動
を行々える。
12は可動性のレーザビームガイド8t−固定のレーザ
ビームガイド9へ接続し、そしてエルボ継手16は他の
2つのエルボ継手の中間にある。外部ケース10には対
応する関節連結が与えられている。エルボ継手11.1
2及び16については以下で詳細に説明する。各エルボ
継手はその動きが自在であり、2709以上の角度運動
を行々える。
このことと、エルボ継手対11と13.12と16とが
互いに離れている0ととによって、基板5の穴4七通し
て突出する被加工片に可動性ビームガイド8が接触する
ことなく、軌道3に1回以上まわるように集束ヘッド1
會動かすことができる。
互いに離れている0ととによって、基板5の穴4七通し
て突出する被加工片に可動性ビームガイド8が接触する
ことなく、軌道3に1回以上まわるように集束ヘッド1
會動かすことができる。
例えば、基板5の穴4を通る40単位の公称直径tもつ
パイプ20の形式の被加工片を溶接したり切断したpす
る九めには、基板5の平面に垂直なエルボ継手11の回
転軸は基板5の穴4の中心に対し半径70単位の円を描
くように動かねばならず、エルボ継手12の対応回転軸
は基板5の穴4の中心から110単位の距離になければ
ならず、そしてエルボ継手11と13.12と16の対
応回転軸間の分離距離は各々132.9及び92.9
巣位でなければならない。
パイプ20の形式の被加工片を溶接したり切断したpす
る九めには、基板5の平面に垂直なエルボ継手11の回
転軸は基板5の穴4の中心に対し半径70単位の円を描
くように動かねばならず、エルボ継手12の対応回転軸
は基板5の穴4の中心から110単位の距離になければ
ならず、そしてエルボ継手11と13.12と16の対
応回転軸間の分離距離は各々132.9及び92.9
巣位でなければならない。
このよう彦寸法會もつ可動性ビームガイド8の動きが第
2図に示されている。可動性レーザビームガイド8の動
きは対称的であるから、完全な円の半分しか示してない
。■と示された位置から動き始めて位置■へ進みそして
位置■へ進む。他の半分の動きは図示された動きと鏡像
関係をもつ動きである。動き始めの位置は、パイプ20
の区分の完全な接合又は切断を確保するように集束ヘッ
ド1の光学軸21が1つの完全な作動サイクルにおいて
670”回転するような位置である。
2図に示されている。可動性レーザビームガイド8の動
きは対称的であるから、完全な円の半分しか示してない
。■と示された位置から動き始めて位置■へ進みそして
位置■へ進む。他の半分の動きは図示された動きと鏡像
関係をもつ動きである。動き始めの位置は、パイプ20
の区分の完全な接合又は切断を確保するように集束ヘッ
ド1の光学軸21が1つの完全な作動サイクルにおいて
670”回転するような位置である。
第6図は成る形式のエルボ継手の構造を示している。こ
の形式のエルボ継手においては、エルボ継手の光線入力
部66及び光線出力部64に光線入力ミラー31及び光
線出力ミラー32が各々取り付けられる。エルボ継手の
光線入力部66及び光−出力部34は短い中間区分65
によって接続され、この中間区分65はジャーナルベア
リング36を組み込んでおり、エルボ継手の中間区分3
5の長手軸65′に対してエルボ継手の光線入力部65
と出力854と1互いに回転させることができる。エル
ボ継手の光線入力部66は、別のジャーナルベアリング
38t−含む継手によって、レーザビームガイドの関連
区分67へ接続される。
の形式のエルボ継手においては、エルボ継手の光線入力
部66及び光線出力部64に光線入力ミラー31及び光
線出力ミラー32が各々取り付けられる。エルボ継手の
光線入力部66及び光−出力部34は短い中間区分65
によって接続され、この中間区分65はジャーナルベア
リング36を組み込んでおり、エルボ継手の中間区分3
5の長手軸65′に対してエルボ継手の光線入力部65
と出力854と1互いに回転させることができる。エル
ボ継手の光線入力部66は、別のジャーナルベアリング
38t−含む継手によって、レーザビームガイドの関連
区分67へ接続される。
ベアリング68は、エルボ継手の光線入力部66fv−
ザビームガイドの区分67の長手軸672に対して回転
できるようにする。エルボ継手の光線出力部64はレー
ザビームガイドの関連区分69にしつかシと接続芒れる
。ベアリング66及び38によシエルボ継手に目在な動
きが与えられる。
ザビームガイドの区分67の長手軸672に対して回転
できるようにする。エルボ継手の光線出力部64はレー
ザビームガイドの関連区分69にしつかシと接続芒れる
。ベアリング66及び38によシエルボ継手に目在な動
きが与えられる。
ミラー61及び62は、レーザビームガイドの区分67
.65及び69の長手軸67′、65′ 及び39′
が同一平面にある時にばラー61及び62が平行になり
且つレーザビームガイドの区分67.65及び69の長
手軸67′、35′及び39′に対して45@の角度と
なるように、配置される。従って上記の軸はミラー31
及び62によって形成される光学系の光学軸を形成する
。レーザビームガイドの区分37の軸37′に沿ってエ
ルボ継手に入るレーザ放射ビーム4oは、エルボ継手の
光線入力部66と光線出力部34との相対位置に拘りな
く、レーザビームガイドの区分39の軸69′に沿って
エルボ継手から出る。
.65及び69の長手軸67′、65′ 及び39′
が同一平面にある時にばラー61及び62が平行になり
且つレーザビームガイドの区分67.65及び69の長
手軸67′、35′及び39′に対して45@の角度と
なるように、配置される。従って上記の軸はミラー31
及び62によって形成される光学系の光学軸を形成する
。レーザビームガイドの区分37の軸37′に沿ってエ
ルボ継手に入るレーザ放射ビーム4oは、エルボ継手の
光線入力部66と光線出力部34との相対位置に拘りな
く、レーザビームガイドの区分39の軸69′に沿って
エルボ継手から出る。
上記の説明通、9に実施出来るためには、ペアリン/3
6及び68が高品質なものであることt必要とすると共
にエルボ継手の部品の製造及び組立に相当の注意會払う
ことが必要である。第4図はこれらの条件を緩和するこ
とのできる形式のエルボ継手上水している。一般的彦構
造原理は前記したエルボ継手の場合と同じであるから、
エルボ継手の構造は再び詳細には説明せず、前記のエル
ボ継手の部品と同様の部品は同じ8照番号で示しである
。2つの形式のエルボ継手は次のよう力点が異なる。即
ち、第4図のエルボ継手では、ミラー61及び32が前
場って正確に揃えられるのではなく、その一方(第4図
では出力ミラー62でおるがこれVi2つのミラーのい
ずれでもよい9が2つの垂直軸に対して動けるように取
シ付けられ、セしてエルボ継手から出るレーザビーム4
0がエルボ継手の光線入力部63及び出力部64の相対
位fllK$J F)なくレーザビームガイドの区分3
9の軸69′に沿つ九ものとなるようにミラーの整列を
維持するサーボ機構41が設けられている。これはエル
ボ継手の構造に相当の精度が必要とされるためであり、
このようにすれば、特にジャーナルベアリング66及び
38の精度上緩和できる。サーボ機構41の九めの所要
の入力部@を発生するために、何らかの便利な形式のレ
ーザビーム位置センサ、例えばダイヤフラム42が使用
感れ、このダイヤフラム42は4つの部分46に分けら
れていて、その各々には温度センサ44が組合わされて
いる。
6及び68が高品質なものであることt必要とすると共
にエルボ継手の部品の製造及び組立に相当の注意會払う
ことが必要である。第4図はこれらの条件を緩和するこ
とのできる形式のエルボ継手上水している。一般的彦構
造原理は前記したエルボ継手の場合と同じであるから、
エルボ継手の構造は再び詳細には説明せず、前記のエル
ボ継手の部品と同様の部品は同じ8照番号で示しである
。2つの形式のエルボ継手は次のよう力点が異なる。即
ち、第4図のエルボ継手では、ミラー61及び32が前
場って正確に揃えられるのではなく、その一方(第4図
では出力ミラー62でおるがこれVi2つのミラーのい
ずれでもよい9が2つの垂直軸に対して動けるように取
シ付けられ、セしてエルボ継手から出るレーザビーム4
0がエルボ継手の光線入力部63及び出力部64の相対
位fllK$J F)なくレーザビームガイドの区分3
9の軸69′に沿つ九ものとなるようにミラーの整列を
維持するサーボ機構41が設けられている。これはエル
ボ継手の構造に相当の精度が必要とされるためであり、
このようにすれば、特にジャーナルベアリング66及び
38の精度上緩和できる。サーボ機構41の九めの所要
の入力部@を発生するために、何らかの便利な形式のレ
ーザビーム位置センサ、例えばダイヤフラム42が使用
感れ、このダイヤフラム42は4つの部分46に分けら
れていて、その各々には温度センサ44が組合わされて
いる。
一応の機能を果友す装置を構成するためには前記したよ
うに6つのエルボ継手が必要とはれるだけであるが、製
造エラーを許容するためKは、可動性レーザビームガイ
ド8の区分の1つにもう1つのエルボ継手を含ませるこ
とが望ましい。或いは又、可動性レーザビームガイド8
0区分の19に伸縮自在の継手を設けることもできる。
うに6つのエルボ継手が必要とはれるだけであるが、製
造エラーを許容するためKは、可動性レーザビームガイ
ド8の区分の1つにもう1つのエルボ継手を含ませるこ
とが望ましい。或いは又、可動性レーザビームガイド8
0区分の19に伸縮自在の継手を設けることもできる。
エルボ継手12の光線入力部のジャーナルベアリングと
耳軸6とによってレーザビームガイド8及び9の固定部
と可動部と1回転できることによシ、固定のレーザビー
ムガイド9の長手軸に一紋する軸に対して基板5を動か
すことができる。従って基板50回転軸に垂直な平面内
でのパイプ20の軸の向@VCは拘シなく、パイプ20
4C対して必要とされるレーザビームの向きを維持する
ことができる。
耳軸6とによってレーザビームガイド8及び9の固定部
と可動部と1回転できることによシ、固定のレーザビー
ムガイド9の長手軸に一紋する軸に対して基板5を動か
すことができる。従って基板50回転軸に垂直な平面内
でのパイプ20の軸の向@VCは拘シなく、パイプ20
4C対して必要とされるレーザビームの向きを維持する
ことができる。
第1図は本発明によるパイプ溶接tl!/切断機の概略
因、 第2図は第1図の装置の動き會示す図、第3図#′i、
第1図の装置に組み込むことのできる成る形式の光学エ
ルボ継手の縦断面図、セして第4図は第1図の装置に組
み込むことのできる第2の型式の光学エルボ継手の縦断
面図である。 1・・・集束ヘッド 2・・・キャリジ 6・・・軌道
4・・・穴 5・・・基板 6・・・耳軸 7・・・支
持構造体8・・・可動性レーザビームガイド 9・・・固定のレーザビームガイド 10・・・外部ケース 11,12.13・・・エルボ
継手20・・・パイプ 31.32・・・ミラー
66・・・光線入力部 34・・・光線出力部65・
・・中間区分 36.38・・・ジャーナルベアリング
41・・・サーボ機構 42・・・ダイヤフラム44
・・・温度センサ
因、 第2図は第1図の装置の動き會示す図、第3図#′i、
第1図の装置に組み込むことのできる成る形式の光学エ
ルボ継手の縦断面図、セして第4図は第1図の装置に組
み込むことのできる第2の型式の光学エルボ継手の縦断
面図である。 1・・・集束ヘッド 2・・・キャリジ 6・・・軌道
4・・・穴 5・・・基板 6・・・耳軸 7・・・支
持構造体8・・・可動性レーザビームガイド 9・・・固定のレーザビームガイド 10・・・外部ケース 11,12.13・・・エルボ
継手20・・・パイプ 31.32・・・ミラー
66・・・光線入力部 34・・・光線出力部65・
・・中間区分 36.38・・・ジャーナルベアリング
41・・・サーボ機構 42・・・ダイヤフラム44
・・・温度センサ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 レーザビームで加工さるべき固定の被加工片(2
0)が配置され九位置をめぐる閉じた経路tたどるよう
にされたキャリジ(2)K取り付けられていて、レーザ
ビームが被加工片(20)に直角に入射するようレーザ
ビームを維持すると共にレーザビームを被加工片(20
)の表面に集束させるよう々集束ヘッド(1)と、この
集束ヘッド(1)t−固定のV−ザビームガイド(9)
に接続する可動性のレーザビームガイド(8)とt−具
備し、この可動性のレーザビームガイド(8ンは、27
0°以上の角度運動を各々行なえる少なくとも3Ilの
光学エルボ継手(11,12,16)と、1つの光学エ
ルボ継手からレーザビームt 別の光学エルボ継手へ反
射させそしてそこから上記集束ヘッド(1)へと反射さ
せる手段(51,32)と金備え、第1の上記光学エル
ボ継手(11)は上記集束ヘッド(1)に組合わされて
2す、第2の上記光学エルボ継手(12)は上記固定の
レーザビームガイド(9)に組合わされており、セして
第3の上記光学エルボ継手(16)は上記第1及び第2
の光学エルボ継手(11,12)の中間にあってこれら
から離されており、この鴫関距閣は、上記可動性のビー
ムガイド(8)が被加工片(20)に接触することなく
被加工片(20)の周囲に1つの完全な円を描く以上に
上記集束ヘッド(1)を動かすことができるような距離
であることを特徴とするレーザ式加工装置。 2、上記第2の光学エルボ継手(12)は、これが取り
付けられた上記固定のレーザビームガイド(9)の部分
の軸と一致した軸のまわりで回転することができ、そし
て上記集束ヘッド(1)のキャリジ(2)は同じ軸に対
して枢着運動される単1軸のジンバルフレーム(5)K
取り付けられ九軌道(5〕上を動くように限定され、こ
れにより上記ジンバルの軸に直角な平面内のいかなる向
きに被加工片(20)の軸があっても被加工片(20)
にレーザビームを作用させることができる%Ff請求の
範囲第1項に記載のレーザ式加工装置。 6、各々の上記光学エルボ継手(11,12,13)は
、2つの垂直軸に対して動かされる取付部に設けられた
ミラー(62)と、上記光学エルボ継手(11,12,
13) 1通るレーザビームの位tiit上記光学エル
ボ継手(11,12,13) の光学軸に対して感知し
てこれに関連した電気信号音発生する手段(42,43
,44) と、上記レーザビームの経路を上記光学エ
ルボ継手(11,12,13)の光学軸と同軸的圧させ
るように上記可動のミラー (32)の向きを変えるサ
ーボ111$1(41) 、!−’に備えている特許請
求の範囲第1項又は第2項に記載のレーザ式加工装置。
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