JPS60168061A - 論理回路試験装置 - Google Patents

論理回路試験装置

Info

Publication number
JPS60168061A
JPS60168061A JP59024082A JP2408284A JPS60168061A JP S60168061 A JPS60168061 A JP S60168061A JP 59024082 A JP59024082 A JP 59024082A JP 2408284 A JP2408284 A JP 2408284A JP S60168061 A JPS60168061 A JP S60168061A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test
address
logic circuit
circuit
under test
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP59024082A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH07104386B2 (ja
Inventor
Taro Machida
町田 太郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Takeda Riken Industries Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp, Takeda Riken Industries Co Ltd filed Critical Advantest Corp
Priority to JP59024082A priority Critical patent/JPH07104386B2/ja
Publication of JPS60168061A publication Critical patent/JPS60168061A/ja
Publication of JPH07104386B2 publication Critical patent/JPH07104386B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F11/00Error detection; Error correction; Monitoring
    • G06F11/22Detection or location of defective computer hardware by testing during standby operation or during idle time, e.g. start-up testing
    • G06F11/26Functional testing
    • G06F11/263Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences ; with adaptation of the tested hardware for testability with external testers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の分野) この発明は゛I′−導体築積回II&等の論理回路を試
験するための論理回路試験装置に関し、特に複数の被試
験論理回路を同時に試験する場合において各被試験論理
量11δの各ピンに対応するピンデータを容易且つ迅速
に設定することができる論理回路試験装置に関する。
(発明の背景) 論理回路の機能試験を行うにあたっては、論理量1G試
験装置内の試験パターン発生器より試験パターンと期待
値パターンとを発生し、その試験パターンを被試験論理
回路に加えて、その結果 被試験論理IT!111δか
ら出力されるデータと期待値パターンを比較することに
より、その被試験論理回路の良否を判定するようにして
いる。
このような論理回路試験装置の構成例を第1図に示ず。
タイミング発生器1は各種のタイミングを有するクロッ
ク信号を発生し、それらをタイミング選択回路3.4及
び試験パターン発生器2に供給する。試験パターン発生
器2はタイミング発生器1からのクロック信号によりさ
だめられる周期で試験パターンと期待値パターンを発生
ずる。試験パターンは波形整形回路5によりRZあるい
はNRZ等の波形に整形されて、タイミング選択回路か
らのクロック信号により定まるタイミングで出力され、
ドライバー7を経由して被試験論理回路9の1つの端子
ピンに供給される。ドライバ7は、被試験論理回路の各
端子ビンに応しζ与えるべきJ入駒パターンの振幅等を
定める。
期待値パターンは比較器11δ6に供給されている。
被試験論理回路9からの出力は電圧決定回路8を経由し
て比較器1?δ6に与えらねる。電圧決定回路8は被試
験論理回路9からの信リレベルを、タイミング選択回路
4から供給されるストローブ信号のタイミングで判定し
、論理1又は論理0のいずれかに決定する。比較回路6
は期待値パターンと被試験論理回路9からの出力信号を
論理比較して両者が一致するか否かを調べ、ぞの比較結
果を出力する。その比較結果が不一致のときはその被試
験論理回路は不良であるものと判断される。
第1図では簡単のために被試験論理回路9の一つの入力
端子ピンと−・つの出力端子ピンに対応する論理回路試
験装置の構ノ戊のみを示している。ずなわら、実際の論
理回路試験装置においては波形整形回路、ドライバー、
比較回路、電圧決定回路等は、被試験論理回路の端子ビ
ンの数に対応して多数個設けられている。
被試験論理回路の各端子ビンに供給すべき試験信号のタ
イミング、波形、振幅等は、その各端子ピン毎に異なり
、それらを決定するためのピンデータは論理回路の試験
の開始前にテストプロセッサ10からパスライン21を
経由してタイミング選択回路2、波形整形回MA、ドラ
イバ等にそれぞれ与えられて格納される。
最近の論理回路の複雑、高度化によりそれらを試j%・
iH−、jる論理回路試験装置も極めて複雑高度であり
且つif’l+ jlliなものとなっている。このよ
うな高価な論理回路111(験装置を用い゛ζ論理回+
+8の試験を行う場合には、可能な限り試験効率を向上
させて試験コストを低減させるごとが必要となる。従っ
て、例えば複数の論理回路を・台の論理回路試験装;ρ
C1同時にIIJ(験できることが望まれている。すな
わち、例えば、25Gピンまでのビン数の被試験論理回
路を試験できる論理同118試験装置では、40ピンの
同一のLSIを6個!lli列に同時に一式験すること
が可能であり、この、Lうにし−ribいへ金効率を十
げることかできる。
従来の論理回路ar<験装置により複数の被試験論理回
路を同時に測定する場合において、それぞれの各端子ピ
ンに必要なビンデータを、あらかじめ設定するためには
、第2図に示すような構成により行−2ていた。
このビンデータはタイミング選択回路、波形V形量路、
ドライバ等にそれぞれ設定する必要があるが、第2図に
おいては簡単のため、被試験論理回路の各端子ビンに対
応する波形整形回路にビンデータを格納′]る場合の構
成を示している。また第2図においては、2 IIIの
被試験論理回路9Δ、9 Bを試験する場合を示し“ζ
いる。
被試験論理回路9Δ、9Bのそれぞれの端子ビンに対応
して波形整形回路Fl、F2 ・・・・Fm + Fm
)1、Fm+2 ・・・・F2m、が設けられている。
これらの波形整形回路Fl、F2 ・・・・Fm SF
m+1.Fm+2 ・・・・l” 2m LSI、図に
旨いて、波形1/8形回1111であることをボずと同
時に波形整形回路内に設けられ試験曲にビンデータを格
納するためのレジスターであることを表示り、−Cいる
。テストプロセッサ10は周辺装置11 (1ボ じ、
外部記1ス1装置等)とノ(に動作して、被aS(験論
理回11δの各端子に対応するアドレスとビンデータを
パスライン21に出力する。パスライン21からのアド
レスはアドレスデコーダ12に与えられてデコードされ
、波形整形回路F 1.+ F2 ・・・・F m −
Fm+1゜l’m(2・・・ド2mの各−を順にアドレ
ス指定する。ノマスプイン21からの、ビンデータは各
波形整形回路に共通に供給され゛アドレスデコーダ12
からの信号によりIfj定された波形整形回路に格納さ
れる。
彼試験論理回11δ9A及び913は同一種類の論理回
路であるから、波形整形回路Fl とFm+1、波形整
形回路F2と1・′m12 ・・・の様に共通の!N、
!子ピンに対応する波形整形回路には同じビンデータが
格納される。
この従来の論理回路試験装置においては、このように同
一のビンデータを書き込む場合であ−、でも各波形整形
回路を一つずつ順にアドレス指定して格納するa−要が
あった。したがって、テストプロセッサ10からブUグ
ラムによりビンデータを作成して送出する場合には、テ
ストプロセッサ10により被試験論理回路の全”での端
子ピンについての各デ〜りを作成して送り出す必要があ
る。例えば波形整形回路F1とFm+1には同一のビン
データl)1を格納するにもかかわらず、波形整形回路
F1からFmまで順にビンデータを格納し得る様にした
浅さらに、波形整形回路Fm+1 にビンデータD1を
格納するための処理をプログラム上でおこなわなければ
ならない。波形整形回路F2とFm+2、・・・・波形
整形回路FmとF2mの間においても同様である。
従っ゛C1従来の論理回路試験装置により複数の論理回
路を同時測定する場合には、その試験前に行うビンデー
タの格納のためのプログラムの作成に長い時間を要する
(発明の目的) この発明の目的は複数の被試験論理則I?δを同時に測
定する場合において、その被試験論理回路の各端rピン
に対応するビンデータを試験の開始1j;1に論理回路
試験装置内の各回路に格納するためのう°ログラムの作
成を容易迅速に行うことができる論理回路試験装置を提
供する、二とにある。
(発明の概要) この発明によれば、同時に試験する論理回路の数6ご対
応してアドレス変換信号を発生ずる変換信号発生回路と
、テストプIJt!ノサからイハ給されるアドレス信号
とl記アドレス変換信号により変換されたアドレスf+
N>を発生するアドレス変換テーブルとを設ける。テス
]・プ11セッサからのアドレス信号とビ喀ンデータは
、−の被試験論理回路についてのもののみが発生され、
このアドレス信号がアドレス変換テーブルに供給される
と、変換信号発生回路からのアドレス変換信号により、
そのときの−の被1工(験論理回路の1端子ピンに対応
する他の被試験論理回路の端子ビンのアドレスが順に変
換されてアドレス変換テーブルより発生される。すなわ
ち、アドレス変換テーブルには、テストプロセッサリか
らのアドレス信号と変換信号発生回路からのアドレス変
換信号とにより指定される領域に、−の被試験論理回路
の端Iピン及びそれと共通の他の被試験論理回路の端子
ビンのアドレスが古さこ:Lれ°ζおり、これら共通の
端子ビンに対応するアドレスが、同時測定しよ・)とす
る被試験論理回路の数に応してアドレス変換テ プルか
ら順次発イl°される。
このようにして、アドレス変換テーブルにより変換され
たアドレス信号はアドレスデコーダに供給されてデコー
ドされ、各被試験論理回路の端子ピンに対応する波形整
形回路等が指定されてビンデ タが格納される。 この
ようにすることにより、テストプロセッサから試験1i
ifにビンデータを論理ml Ilδ試験装置の各回路
に格納する場合、全ての被試験論理則1?への端子ビン
についてのビンデータを発生さ・Uる必要が無く、−の
被試験論理回路についてのピンデ タのみを発生すれば
よい。したがって、ビンデータを発生し2格納するため
のプログラムの作成が容易になり短時間で行うことがC
きる。
(発明の実施例) 第3図はこの発明による論理[il[18試験装置の一
実施例を示し、第2図と対応する部分にζJ同一7.1
号をつけ゛(示しである。またこの図におい−Cは筒中
のために二I11の被試験論理回路を同時に試験するだ
めのビンデータを格納する場合についζ示している。
フリソプフはノブ16、A N D +111路15及
びカウンタ【4により、変換信号発生回路17を構成し
ている。ツリソプソ覧トノゾ1〔;のセットi+Ii5
/には)〈スライン21から第1のクロック信号が与え
られ、その出力番JAN I)回路に接続されている。
A N I)回路の他の端!・には第2のクロック信号
が与えられ、AND回路の出力はカウンタ14に接続さ
れている。カウンタI4からの信号はアドレス変換テー
ブル13に供給されている。カウンタ14の桁上げず9
号はソリノブソロノブ1 (’rをリセットするように
フリノブフlJノブ16のりt!ノド+li! f”こ
接続されている。
ケストブロセノサ■0から発生されるアト′1ノス信:
H+、+アドレス変換テーブル13に与えられ、またビ
ンノ タは全ての被試験論理回路の硝子ビンに対応する
論理量IIs試験装置の内部回11例えばこの図では、
波Jll’%曾形回+181” l ・ ・・l’ 2
m に)(通に供給されている。テスi・プロセッサ1
0から発生される゛rドレス信号とビンデータは−・の
被試験論理11.IHlδ、例えば図におい゛(被試験
論理則1/39 Aについてのもののみでよシ)6した
がってナストプロセッサ10からノマスライン21に対
して被ai(験論理回路9Δの端子ビンl、2、・・・
mに対症、するアドレス信号AI、A2、・・・・Δm
と、ビンデータDI、D2、・・・・DIllが出力さ
れる。
この実施例の動作を第4図及び第5図を用い゛C説明す
る。第4図はアドレス変換テーブル13の構成及びその
内部に格納される情報の状態をしめす。アドレス変換テ
ーブル13は例えばメモリやレジスターにより構成する
ことができる。第5図はこの実施例の動作を説明するだ
めのタイミングチャートである。
時刻L1のとき、第一のクロック信号CLK 1のタイ
ミングでパスライン2Iからアドレス信号A1とピンデ
ータDiがそれぞれアドレス変換テーブル13と各波形
整形回路F1 ・・・F2mに供給される。この実施例
ではテストプロセッサからのアドレス信号はアドレス変
換テーブル13に対する行アドレスとして、カウンタ1
4からの信号はアドレス変換テーブル13に対する列ア
ドレスとして供給されている。したがって時刻t1では
、カウンタ14からの列アドレスは0を示しており、ア
ドレス変換テーブル13ではアドレス信号A1によって
指定された番地に格納されたアドレス信号F1が読みだ
される。
クロック信号CL K 1によりフリップフロップ16
がセットされ第二のクロック信号CLK2がANl)回
路15を経由してカウンタ14に与えられる。こ0) 
CL K 2はCL K lに対して2倍の周期となる
ように設定されている。これはこの実施例においては2
個の陵試験論理回11δを同時試験する場合について示
しているからであり、もし31t!Iの被試験論理回路
を試験する1ハ合にはCLK 2.の周期はCLKlの
周期の3倍に選ばわる。またこのカウンタI4はこの例
では2進カウンタでありCL K 2が2個与えられる
と桁上げ信号4発どtしてこの信号によりフリップフロ
ップ16をりむソトする。もし31v1の被試験論理回
路を試験する場合にはこのカウンタを3進とすればよい
時刻t2のときCLK2によりカウンタ14の状態が反
転し論理Oから論理1にかわり列アドレスlを示すよう
になる。このためアドレス変換テーブル13ではアドレ
ス(11す八1 とカウンタ14がらの列アドレス信す
lとにより定まる番地に格納されたアドレス信”’jF
m+1が読みだされる。時刻t3になると次のCLl(
2によりカウンタ14が反転するが、これと同時にフリ
ップフロップI6がリセツトされてAND回路15を閉
じる。時刻t4でCLKIが与えられアドレス信号A2
、ピンデータD2が供給される。アドレス信号A2とカ
ウンタ14からの列アドレスOによってアドレス変換テ
ーブル13からアドレス信号F2が読みだされる。
このようにし“ζ、第5図Δ1〕に示すように被試験論
理回路9A、9Bの対応する端子ピンについての゛rド
レス信冒力幹rドレス変換テーブル13より発生され”
でアドレスデコーダ12に供給される。すなわちデス1
プロセツサ10より供給された、被試験論理回路9Aの
硝子ピン1.2・・・・mに対応するアドレス信号は、
被試験論理回路9A、9Bのノ(通のO!iJ子ビン(
1−m+1)、(2、rn + 2 ) ・・・・ (
m、2m)に対応するアドレス信号に変換されることに
なる。
アドレス変換テーブル13においてこのように変換され
たーYアドレス信号アドレスデコーダ12によりデコー
 ドされ、被試験論理回路9Δ及び913の+’li:
、1−f−ビンに対応する各波形整形回路Fl ・・・
・F2mを第5図A I)に示すタイミングで次次に指
定して必要なピンデータを格納する。ずなはち、例えは
第5図に示す第3のクロックC:LK3のタイミングで
、波形整形回路F1とFm+1にはピンデータDI、波
形整形回路F2とFm+2にはピンデータD2 ・・・
のように格納する。
以にの説明では簡単のため2個の被試験論理回路を同時
に試験する場合のピンデータの格納について示したが、
3個以上の論理回路を試験する場合であっても同一・の
思想に躊ずい°ζビンデ タの格納をすることができる
ことは明らかである。即ち被試験論理回、路の個数に対
応して第4図に示すアドレス変換テーブルの列アドレス
2.3・・・にアドレス変換信号が供給されるように変
換信号発生回路を構成し、アドレス変換アープ列用3に
は必要なアドレスをあらかしめ書き込んC4,<ように
すればよい。このためには、上記のよ)にCL I< 
IとCI−K 2の周期の関係、及びカウンタ14を、
同時に試験しようとする被試験論理回路の111故と対
1+c、するようにすればよい。
(発明の効果) 以1のようにこの発明によh l;l複数の被試験論理
回路を同時に試験するためのピンデータの格納の場合に
おいて、テストプロセッサからイバ給するピンデータと
゛Yアドレス一つの被試験論理回路に対応するもののみ
C,1、い、、従っζテストプl」セノ号から複数の被
試験、1^理回li8の全ての端子ピンに対応するピン
データ及び−ノ′ドレスを発生させる場合に比ベーその
ためのプログラムの作成が極めて容易になり短時間にお
こなうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は論理1tjJ路試験装置の一般的構成をボずブ
ロック図、第2図は従来の論理回路試験装置におい°ζ
複数の論理回路を試験するだめのピンデータを格納する
ための構成を示すゾロツク図、第3図はこの発明により
複数の論理回路を試験するためのピンデータを論理回+
1.%試験装置の各回路に格納するための構成を示ずブ
ロック図、第4図は第3図に示すブロック図中のアドレ
ス変換ノー プルをより、1゛1細に++Q明′→ろた
めの4既念図、第5図は第3図に示す構成の動作を説明
するためのタイミングチャー 1・である。 1:タイミング発生器 2:試験パターン発生器 3.4:タイミング選択回路 5:波形整形回路 6;比較回路 7:ドライバ 9.9A、913:被試験論理till Ifδ10:
テストブロセソサ 12ニアドレスデコーダ 13ニア1ルス変換テ ゾル I4:カウンタ 17:嚢換信−j発イ11回路

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 タイミング定住器により決定されるタイミングで試験パ
    ターン発生器より試験パターンと期待値パターンを発生
    し、その試験パターンを被試験論理回路に供給して、被
    試験論理回路から出力されるデータと期待値パターンを
    比較することにより被試験論理回路の良否を試験するよ
    うにした論理回路試験装置において、A、その論理回路
    試験装置の全体の動作を制御し、且つ論理回路の試験の
    開始前に被試験論理回路の端子ピンに対応するピンデー
    タを論理回路試験装置内の各回路に供給するためのテス
    トプロセッサと、B、複数個同時に並列に試験される被
    試験論理1ii1路の数に対応し゛Cアドレス変換信号
    を発14..−Jる変換信号発生回路と、 C6その変換信号発生回路からの信号と」記テストプロ
    セ、ザから供給されたアドレス信号とにより変換された
    アドレス信号を発生するアドレス変換テーブルと、 [)、ピンデータを入力するためそのアドレス変換テー
    ブルから供給されたアドレス信号をデコードして論理量
    11δ拭験装置の各回路に対してアドレス指定をするた
    めのアドレスデコーダと、 により構成されることを特徴とする論理回路試験装置。
JP59024082A 1984-02-10 1984-02-10 論理回路試験装置 Expired - Fee Related JPH07104386B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59024082A JPH07104386B2 (ja) 1984-02-10 1984-02-10 論理回路試験装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59024082A JPH07104386B2 (ja) 1984-02-10 1984-02-10 論理回路試験装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60168061A true JPS60168061A (ja) 1985-08-31
JPH07104386B2 JPH07104386B2 (ja) 1995-11-13

Family

ID=12128483

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59024082A Expired - Fee Related JPH07104386B2 (ja) 1984-02-10 1984-02-10 論理回路試験装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07104386B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01174800U (ja) * 1988-05-25 1989-12-12
JP2003004806A (ja) * 2001-06-19 2003-01-08 Advantest Corp 半導体デバイス試験装置
WO2007020756A1 (ja) * 2005-08-12 2007-02-22 Advantest Corporation 試験装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01174800U (ja) * 1988-05-25 1989-12-12
JP2003004806A (ja) * 2001-06-19 2003-01-08 Advantest Corp 半導体デバイス試験装置
JP4721565B2 (ja) * 2001-06-19 2011-07-13 株式会社アドバンテスト 半導体デバイス試験装置
WO2007020756A1 (ja) * 2005-08-12 2007-02-22 Advantest Corporation 試験装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07104386B2 (ja) 1995-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4503536A (en) Digital circuit unit testing system utilizing signature analysis
US5588115A (en) Redundancy analyzer for automatic memory tester
JP3216449B2 (ja) 半導体メモリの故障自己診断装置
TWI234784B (en) Memory module and memory component built-in self test
CN109524055B (zh) 基于soc ate定位存储器失效位的方法及测试系统
JPS6238600A (ja) 半導体記憶装置
US7114110B2 (en) Semiconductor device, and the method of testing or making of the semiconductor device
JP2009181600A (ja) 半導体装置
JPS60168061A (ja) 論理回路試験装置
US6374376B1 (en) Circuit, system and method for arranging data output by semiconductor testers to packet-based devices under test
US7433252B2 (en) Semiconductor memory device capable of storing data of various patterns and method of electrically testing the semiconductor memory device
JPS59166879A (ja) 集積回路装置
JPS62103894A (ja) 読取り完了信号発生回路
JP2000090693A (ja) メモリ試験装置
JPH11316259A (ja) 半導体試験装置およびこれを用いた半導体試験方法
JP2864880B2 (ja) 半導体メモリic試験装置
JP2765281B2 (ja) 半導体論理集積回路
JPH0877796A (ja) 半導体記憶装置
JPH07174827A (ja) 半導体試験装置の試験パターン発生装置
JPH0675023A (ja) 半導体メモリの故障自己診断装置
JPH02122500A (ja) 半導体メモリ
JPS58184663A (ja) テスト装置
JPS609135A (ja) Lsiの良品マツプの作成方法
JP2001305188A (ja) 半導体試験装置
JPH02203287A (ja) 集積回路の試験装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees