JPH0628896A - Bistによるメモリのテスト方法 - Google Patents
Bistによるメモリのテスト方法Info
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- JPH0628896A JPH0628896A JP4203196A JP20319692A JPH0628896A JP H0628896 A JPH0628896 A JP H0628896A JP 4203196 A JP4203196 A JP 4203196A JP 20319692 A JP20319692 A JP 20319692A JP H0628896 A JPH0628896 A JP H0628896A
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- JP
- Japan
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- test
- bist
- outside
- data
- cell
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- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】外部から特別な制御を必要とすることなしに正
確なテスト結果を得ることができるBISTによるメモ
リのテスト方法を提供する。 【構成】予めセルに書込みを行う段階で書込んだデータ
を一旦読み出して書き込みデータの反転データを期待値
として比較動作を行い、その比較結果を外部に知らせ
る。
確なテスト結果を得ることができるBISTによるメモ
リのテスト方法を提供する。 【構成】予めセルに書込みを行う段階で書込んだデータ
を一旦読み出して書き込みデータの反転データを期待値
として比較動作を行い、その比較結果を外部に知らせ
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、信頼性の高いメモリ用
組込み自己テスト法(BIST:Built-InSelf-Tes
t)に関するものである。
組込み自己テスト法(BIST:Built-InSelf-Tes
t)に関するものである。
【0002】
【従来の技術】カスタムLSIに搭載されるRAMの機
能テストを容易化するため、BIST技術が注目されて
いる(参考文献:(1)樹下:“VLSIのテスト容易
化設計技術の研究動向”,情報処理,vol.30,n
o.12,pp1451−1460(1989);及び
参考文献:(2)玉本:“メモリにおけるテスト容易化
設計法”,情報処理,vol.30,no.12,pp
1467−1472(1989)参照〕。この手法は、
LSIにテスト回路(BIST回路)を搭載しLSI内
部で自動的にRAMのテストを行うものである。BIS
Tの利点には次のようなものがある。 高価なテスタを必要としない(LSI外部でテスト
パタンを生成する必要がない)。 外部から直接テストできないRAMのテストにおい
て、高いテスト品質(高い故障検出率)が得られる。 必要な端子数及び配線領域が少ない。
能テストを容易化するため、BIST技術が注目されて
いる(参考文献:(1)樹下:“VLSIのテスト容易
化設計技術の研究動向”,情報処理,vol.30,n
o.12,pp1451−1460(1989);及び
参考文献:(2)玉本:“メモリにおけるテスト容易化
設計法”,情報処理,vol.30,no.12,pp
1467−1472(1989)参照〕。この手法は、
LSIにテスト回路(BIST回路)を搭載しLSI内
部で自動的にRAMのテストを行うものである。BIS
Tの利点には次のようなものがある。 高価なテスタを必要としない(LSI外部でテスト
パタンを生成する必要がない)。 外部から直接テストできないRAMのテストにおい
て、高いテスト品質(高い故障検出率)が得られる。 必要な端子数及び配線領域が少ない。
【0003】しかし以上のような利点がある反面、BI
ST回路がLSIに搭載されることから、BIST回路
の故障により正しいテスト結果が得られない危険性があ
る。この問題点を説明するため、まずBISTの概要、
使用するテストパタン(マーチパタン)、具体的なテス
ト回路構成例について述べ、次にBISTを用いる場合
の問題点について述べる。
ST回路がLSIに搭載されることから、BIST回路
の故障により正しいテスト結果が得られない危険性があ
る。この問題点を説明するため、まずBISTの概要、
使用するテストパタン(マーチパタン)、具体的なテス
ト回路構成例について述べ、次にBISTを用いる場合
の問題点について述べる。
【0004】BISTの概要 基本的に図5に示すように、パタン生成部と比較部から
構成される。図では簡単のため、4ワード×1ビット構
成のRAMに適用した場合を示してある。外部からBI
STに印加する信号/BISTから外部に出力する信号
は以下の4種類である。
構成される。図では簡単のため、4ワード×1ビット構
成のRAMに適用した場合を示してある。外部からBI
STに印加する信号/BISTから外部に出力する信号
は以下の4種類である。
【0005】BISTに印加する信号 テストモード信号TM(ハイレベル“H”でテスト
モード/ロウレベル“L”で通常動作モード) クロックTCK
モード/ロウレベル“L”で通常動作モード) クロックTCK
【0006】BISTからの出力信号 テスト結果を知らせる信号T−FAIL(RAMが
良品であれば“L”/不良品であれば“H”) テスト終了を知らせる信号T−END(テスト中は
“L”/テストが終了すると“H”)動作を述べる。T
Mが“H”になってテストモードに入ると、クロックに
従いパタン生成部からアドレス(A0,A1)、書き込
みデータ(D10)、書き込み制御信号WENが生成さ
れRAMに与えられる。またRAMから読み出されたデ
ータは比較部で期待値(正解データ)と照合され一回で
も不一致が検出されるとT−FAILが“H”となる。
一旦T−FAILが“H”に変わると、TMが“L”に
なるまで(すなわちテストモードが終了するまで)
“H”を保持する。従って、テストが終了した後にT−
FAILを確認すれば、RAMが良品か否かを判別する
ことができる。テスト終了はTENDが“H”になるこ
とで確認される。
良品であれば“L”/不良品であれば“H”) テスト終了を知らせる信号T−END(テスト中は
“L”/テストが終了すると“H”)動作を述べる。T
Mが“H”になってテストモードに入ると、クロックに
従いパタン生成部からアドレス(A0,A1)、書き込
みデータ(D10)、書き込み制御信号WENが生成さ
れRAMに与えられる。またRAMから読み出されたデ
ータは比較部で期待値(正解データ)と照合され一回で
も不一致が検出されるとT−FAILが“H”となる。
一旦T−FAILが“H”に変わると、TMが“L”に
なるまで(すなわちテストモードが終了するまで)
“H”を保持する。従って、テストが終了した後にT−
FAILを確認すれば、RAMが良品か否かを判別する
ことができる。テスト終了はTENDが“H”になるこ
とで確認される。
【0007】次にテストパタンについて説明する。テス
トパタンとしては既にRAM用に多くのパタンが提案さ
れており、BISTでもこれらのパタンを用いることが
できる。中でもマーチパタンは固定故障の全てを検出で
きしかも比較的パタン長が短いことから、機能テスト用
の標準パタンとしてよく用いられる(参考文献:(3)
M.Franklin et. al. :"Built-in self-testing of
random-acccss memorise”,Computer ,vol.2
3, no.10,pp45−56(Oct. 1990);
及び参考文献:(4)H.Koike et. al.:“A BI
ST scheme using microprogram ROM for large c
apacity mcmories" ,in Proc. ITC,pp815−
822(Sept.1990)参照〕。そこで以下、テスト
パタンとしてマーチパタンを用いることを前提に説明を
行なう。また故障としては、最も発生頻度の高くあるノ
ードが“H”または“L”に固定してしまう故障である
固定故障だけを考えて説明を行なう。図5を用いてこの
マーチパタンについて説明する。
トパタンとしては既にRAM用に多くのパタンが提案さ
れており、BISTでもこれらのパタンを用いることが
できる。中でもマーチパタンは固定故障の全てを検出で
きしかも比較的パタン長が短いことから、機能テスト用
の標準パタンとしてよく用いられる(参考文献:(3)
M.Franklin et. al. :"Built-in self-testing of
random-acccss memorise”,Computer ,vol.2
3, no.10,pp45−56(Oct. 1990);
及び参考文献:(4)H.Koike et. al.:“A BI
ST scheme using microprogram ROM for large c
apacity mcmories" ,in Proc. ITC,pp815−
822(Sept.1990)参照〕。そこで以下、テスト
パタンとしてマーチパタンを用いることを前提に説明を
行なう。また故障としては、最も発生頻度の高くあるノ
ードが“H”または“L”に固定してしまう故障である
固定故障だけを考えて説明を行なう。図5を用いてこの
マーチパタンについて説明する。
【0008】マーチパタンの概要 マーチパタンについては既に多くの改良案が提案されて
いるが、ここではその中でもハード量が少なくBIST
に適したパタンを例にして概要を述べる。マーチパタン
の実行手順は図6に示す計6ステップからなる。なおこ
の図において示されたステップアドレスとは、上記6ス
テップを識別するために用いられる3ビット(S2,S
1,S0)の信号である。各ステップの役割を以下に述
べる。 第1ステップ:最下位アドレスのセルから最上位アドレ
スのセルに向かって順番に、全セルに「0」書き込みW
「0」を行なう(バックグラウンド「0」の書き込
み)。 第2ステップ:以下に示す連続した読み出し動作と書き
込み動作を、最下位アドレスのセルから最上位アドレス
のセルに向かって順番に行なう(着目しているセルから
記憶情報を読み出し、読み出し結果が期待値(正解値)
「0」と一致しているかどうかの検査R「0」をする。
次に同じセルに対し「1」書き込みW「1」を行な
う)。 第3ステップ:以下に示す連続した読み出し動作と書き
込み動作を、最上位アドレスのセルから最下位アドレス
のセルに向かって順番に行なう(着目しているセルから
記憶情報を読み出し、読み出し結果が期待値(正解値)
「1」と一致しているかどうかの検査R「1」をする。
次に同じセルに対し「0」書き込みを行なう)。 第4ステップ:最下位アドレスのセルから最上位アドレ
スのセルに向かって順番に、全セルに「1」書き込みを
行なう(バックグラウンド「1」の書き込み)。 第5ステップ:以下に示す連続した読み出し動作と書き
込み動作を、最下位アドレスのセルから最上位アドレス
のセルに向かって順番に行なう(着目しているセルから
記憶情報を読み出し、読み出し結果が期待値(正解値)
「1」と一致しているかどうかの検査R「1」をする。
次に同じセルに対し「0」書き込みを行なう)。 第6ステップ:以下に示す連続した読み出し動作と書き
込み動作を、最上位アドレスのセルから最下位アドレス
のセルに向かって順番に行なう(着目しているセルから
記憶情報を読み出し、読み出し結果が期待値(正解値)
「0」と一致しているかどうかを検査する。次に同じセ
ルに対し「1」書き込みを行なう)。
いるが、ここではその中でもハード量が少なくBIST
に適したパタンを例にして概要を述べる。マーチパタン
の実行手順は図6に示す計6ステップからなる。なおこ
の図において示されたステップアドレスとは、上記6ス
テップを識別するために用いられる3ビット(S2,S
1,S0)の信号である。各ステップの役割を以下に述
べる。 第1ステップ:最下位アドレスのセルから最上位アドレ
スのセルに向かって順番に、全セルに「0」書き込みW
「0」を行なう(バックグラウンド「0」の書き込
み)。 第2ステップ:以下に示す連続した読み出し動作と書き
込み動作を、最下位アドレスのセルから最上位アドレス
のセルに向かって順番に行なう(着目しているセルから
記憶情報を読み出し、読み出し結果が期待値(正解値)
「0」と一致しているかどうかの検査R「0」をする。
次に同じセルに対し「1」書き込みW「1」を行な
う)。 第3ステップ:以下に示す連続した読み出し動作と書き
込み動作を、最上位アドレスのセルから最下位アドレス
のセルに向かって順番に行なう(着目しているセルから
記憶情報を読み出し、読み出し結果が期待値(正解値)
「1」と一致しているかどうかの検査R「1」をする。
次に同じセルに対し「0」書き込みを行なう)。 第4ステップ:最下位アドレスのセルから最上位アドレ
スのセルに向かって順番に、全セルに「1」書き込みを
行なう(バックグラウンド「1」の書き込み)。 第5ステップ:以下に示す連続した読み出し動作と書き
込み動作を、最下位アドレスのセルから最上位アドレス
のセルに向かって順番に行なう(着目しているセルから
記憶情報を読み出し、読み出し結果が期待値(正解値)
「1」と一致しているかどうかの検査R「1」をする。
次に同じセルに対し「0」書き込みを行なう)。 第6ステップ:以下に示す連続した読み出し動作と書き
込み動作を、最上位アドレスのセルから最下位アドレス
のセルに向かって順番に行なう(着目しているセルから
記憶情報を読み出し、読み出し結果が期待値(正解値)
「0」と一致しているかどうかを検査する。次に同じセ
ルに対し「1」書き込みを行なう)。
【0009】なお、図に示すようにバックグラウンドス
テップでは、各セルに対し2度連続して同一データを書
き込む。しかし2度目に行なう書き込み動作は、機能テ
ストをする上では意味のないダミー動作である。ダミー
動作を入れる理由を以下に述べる。バックグラウンド以
外のステップでは各セルに対し2度連続してアクセスす
る。このためバックグラウンドステップでダミー動作を
入れないと、他のステップとアドレスの周波数が異なっ
てしまい、周波数変換回路を設ける必要が生じる。そこ
でバックグラウンドステップではダミー動作を入れ、全
ステップでアドレスの周波数を一致させた。こうすれば
周波数変換回路が要らず、その分ハード量を削減するこ
とができる。
テップでは、各セルに対し2度連続して同一データを書
き込む。しかし2度目に行なう書き込み動作は、機能テ
ストをする上では意味のないダミー動作である。ダミー
動作を入れる理由を以下に述べる。バックグラウンド以
外のステップでは各セルに対し2度連続してアクセスす
る。このためバックグラウンドステップでダミー動作を
入れないと、他のステップとアドレスの周波数が異なっ
てしまい、周波数変換回路を設ける必要が生じる。そこ
でバックグラウンドステップではダミー動作を入れ、全
ステップでアドレスの周波数を一致させた。こうすれば
周波数変換回路が要らず、その分ハード量を削減するこ
とができる。
【0010】次に、図7の信号波形と図8の回路構成例
を用いて、第1ステップの各信号の動作を述べる。 アドレス信号は2サイクル毎に1ビットずつカウン
トアップする。 書き込み制御信号WENは、各サイクルで一定期間
“L”である。書き込みサイクルの後半ではWENを
“H”にする。これは書き込みのために大振幅動作させ
たビット線のレベルを、読み出し動作時のレベルに戻す
ためである。もし戻さない別のセルを選択すると、その
セルの記憶情報が破滅される危険がある)。 「0」書き込みであるから書き込みデータD10は
“L”固定である。 比較部活性化信号COMPは、書き込み動作である
から“L”固定であり、比較部は動作しない。 期待値としては書き込みデータの反転データ(すな
わち“H”)である。 比較結果取り込み信号L1はTCKの反転信号であ
る。 ラッチ回路クリア信号CLNは“H”固定(動作モ
ード)である。
を用いて、第1ステップの各信号の動作を述べる。 アドレス信号は2サイクル毎に1ビットずつカウン
トアップする。 書き込み制御信号WENは、各サイクルで一定期間
“L”である。書き込みサイクルの後半ではWENを
“H”にする。これは書き込みのために大振幅動作させ
たビット線のレベルを、読み出し動作時のレベルに戻す
ためである。もし戻さない別のセルを選択すると、その
セルの記憶情報が破滅される危険がある)。 「0」書き込みであるから書き込みデータD10は
“L”固定である。 比較部活性化信号COMPは、書き込み動作である
から“L”固定であり、比較部は動作しない。 期待値としては書き込みデータの反転データ(すな
わち“H”)である。 比較結果取り込み信号L1はTCKの反転信号であ
る。 ラッチ回路クリア信号CLNは“H”固定(動作モ
ード)である。
【0011】なお、COMPが“L”固定であることか
ら第1ステップでは比較部は動作しない。従って比較部
に印加される他の信号と期待値に関して、特に制限はな
い。しかし第2ステップ以降の動作を考えて、から
に関しては上記のように設定する。基本的にパタン生成
部では、TCKにより駆動されるカウンタの出力を用い
てテストに必要なパタンを生成する。上記の信号は、第
2ステップ以降の動作も考慮する以下の論理で生成する
ことができる。 A0=T2 WEN=〜TCK+T1・C1 D10=S0 COMP=T1・C1 期待値=〜S0 L1=〜TCK CLN=TM ここで
ら第1ステップでは比較部は動作しない。従って比較部
に印加される他の信号と期待値に関して、特に制限はな
い。しかし第2ステップ以降の動作を考えて、から
に関しては上記のように設定する。基本的にパタン生成
部では、TCKにより駆動されるカウンタの出力を用い
てテストに必要なパタンを生成する。上記の信号は、第
2ステップ以降の動作も考慮する以下の論理で生成する
ことができる。 A0=T2 WEN=〜TCK+T1・C1 D10=S0 COMP=T1・C1 期待値=〜S0 L1=〜TCK CLN=TM ここで
【0012】
【数1】 T1,T2はそれぞれTCKの2倍,4倍の周期を持つ
カウンタ出力、「〜」は反転を表し、
カウンタ出力、「〜」は反転を表し、
【0013】
【外1】 は排他的論理和を表す。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】BISTを用いてテストを行なう場合の問題点 もしBIST回路に故障が存在せずテストパタンが同一
であれば、テスタを用いて外部から行なったテスト結果
とビストで行なったテスト結果とは一致する。しかしチ
ップ内の他の回路と同様に、BIST回路も故障する可
能性がある。BISTが故障することにより発生する問
題は、以下の2種類に分けられる。 良品のRAMを不良品と判定する場合 不良品のRAMを良品と判定する場合 これらの内、特に問題となるのは後者である。何故なら
この場合には、故障の存在するLSI(不良品)を出荷
してしまうからである。従ってここでは、不良品のRA
Mを良品と判定してしまう場合が発生するか否かに着目
して問題点を述べる。BISTの概要で述べたように、
BIST回路はパタン生成部と比較部の2ブロックから
構成される。
であれば、テスタを用いて外部から行なったテスト結果
とビストで行なったテスト結果とは一致する。しかしチ
ップ内の他の回路と同様に、BIST回路も故障する可
能性がある。BISTが故障することにより発生する問
題は、以下の2種類に分けられる。 良品のRAMを不良品と判定する場合 不良品のRAMを良品と判定する場合 これらの内、特に問題となるのは後者である。何故なら
この場合には、故障の存在するLSI(不良品)を出荷
してしまうからである。従ってここでは、不良品のRA
Mを良品と判定してしまう場合が発生するか否かに着目
して問題点を述べる。BISTの概要で述べたように、
BIST回路はパタン生成部と比較部の2ブロックから
構成される。
【0015】これらのブロックの内、まずパタン生成部
に故障が存在した場合を考える。例えばパタン生成部に
故障がありアドレス信号A0が“L”固定であったとす
る。先に述べたように、マーチパタンは全ての固定故障
を検出する能力がある。しかもマーチパタンを用いたテ
ストでは、パタン生成部内に故障があるかRAM内に故
障があるかに関係なく、セルを選択する際にA0が
“L”固定であることだけが問題となる。従ってパタン
生成部内の故障により正常な入力パタンが生成されない
場合には、マーチパタンによるテストで不良と判定され
る。上記の例ではアドレスA0をとりあげたが、パタン
生成部に故障が存在することにより他のアドレス,書き
込みデータ,書き込み制御信号が正常に生成できない場
合でも全く同様にテスト結果は不良となる。従って、パ
タン生成部に故障が存在する場合には、不良品のRAM
を誤って良品と判定する危険性はなく、最悪の事態には
至らない。次に比較部に故障があった場合を考える。例
えばT−FAILを取り込むラッチ回路に故障があり、
出力(T−FAIL)が“L”固定になったとする。こ
の場合には比較部で故障を検出しても、故障情報は外部
に伝搬しない。また、たとえBIST回路に故障はなく
ても、BISTからの出力を外部へ取り出すための配線
が断線していればやはりテスト結果は外部へ伝搬しな
い。当然これらの中には、故障が存在するにもかかわら
ず外部に故障情報が伝搬しない可能性が含まれる。従っ
て、比較部に故障が存在する場合には、不良品のRAM
を良品と判定してしまう危険性がある。
に故障が存在した場合を考える。例えばパタン生成部に
故障がありアドレス信号A0が“L”固定であったとす
る。先に述べたように、マーチパタンは全ての固定故障
を検出する能力がある。しかもマーチパタンを用いたテ
ストでは、パタン生成部内に故障があるかRAM内に故
障があるかに関係なく、セルを選択する際にA0が
“L”固定であることだけが問題となる。従ってパタン
生成部内の故障により正常な入力パタンが生成されない
場合には、マーチパタンによるテストで不良と判定され
る。上記の例ではアドレスA0をとりあげたが、パタン
生成部に故障が存在することにより他のアドレス,書き
込みデータ,書き込み制御信号が正常に生成できない場
合でも全く同様にテスト結果は不良となる。従って、パ
タン生成部に故障が存在する場合には、不良品のRAM
を誤って良品と判定する危険性はなく、最悪の事態には
至らない。次に比較部に故障があった場合を考える。例
えばT−FAILを取り込むラッチ回路に故障があり、
出力(T−FAIL)が“L”固定になったとする。こ
の場合には比較部で故障を検出しても、故障情報は外部
に伝搬しない。また、たとえBIST回路に故障はなく
ても、BISTからの出力を外部へ取り出すための配線
が断線していればやはりテスト結果は外部へ伝搬しな
い。当然これらの中には、故障が存在するにもかかわら
ず外部に故障情報が伝搬しない可能性が含まれる。従っ
て、比較部に故障が存在する場合には、不良品のRAM
を良品と判定してしまう危険性がある。
【0016】この問題を回避するためには、読み出しデ
ータと期待値との間に不一致が検出された場合にT−F
AILが正しく“H”となることを外部から確認する必
要がある。このためには、外部からテスタを用いてまず
BIST自体のテストを行ない、BIST回路が良品で
あることを確認してからRAMのテストを行なえば良
い。しかしこのような手法を採れば、先に上げたBIS
Tの利点,を生かすことができない。
ータと期待値との間に不一致が検出された場合にT−F
AILが正しく“H”となることを外部から確認する必
要がある。このためには、外部からテスタを用いてまず
BIST自体のテストを行ない、BIST回路が良品で
あることを確認してからRAMのテストを行なえば良
い。しかしこのような手法を採れば、先に上げたBIS
Tの利点,を生かすことができない。
【0017】本発明の目的は、外部から特別な制御を必
要とすることなしに上記の問題を解決して正確なテスト
結果を得ることができるBISTによるメモリのテスト
方法を提供することにある。
要とすることなしに上記の問題を解決して正確なテスト
結果を得ることができるBISTによるメモリのテスト
方法を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明においては、予めセルに書き込みを行なう段
階で同時に比較部の動作を確認し外部にそのテスト結果
を知らせる。
め、本発明においては、予めセルに書き込みを行なう段
階で同時に比較部の動作を確認し外部にそのテスト結果
を知らせる。
【0019】
【作用】本発明のテスト方法を用いれば、外部から特別
な制御を必要とすることなく、また従来のBISTと同
じ端子数のままでBIST回路自体のテストを行うこと
ができる。
な制御を必要とすることなく、また従来のBISTと同
じ端子数のままでBIST回路自体のテストを行うこと
ができる。
【0020】
【実施例1】本発明の第一の実施例を図1の信号波形、
図2の回路構成例に示す。従来例との違いは、第1ステ
ップで行なっているダミー動作を書き込み動作から読み
出し動作に変更し、この読み出し動作時に比較部のテス
トを行なうところにある。動作を具体的に説明する。ダ
ミーの読み出し動作を行なうサイクルで、読み出された
データを期待値と照合する際に、期待値として書き込み
データの反転データを用いる。こうすれば照合の結果、
期待値との不一致が検出されるはずであり、このときに
正常にT−FAILが“H”になるか否かをチップ外部
から確認することができる。また一旦T−FAILが
“H”になるとL1によりラッチ回路に取り込まれラッ
チされるが、クリア信号によりクリアすることができ
る。従って、本来の比較動作を行なう第2ステップ以降
にはなんの影響も与えない。このような動作を行なわせ
るため、各信号の生成は以下のような論理に変更され
る。(変更された信号のみを示す)
図2の回路構成例に示す。従来例との違いは、第1ステ
ップで行なっているダミー動作を書き込み動作から読み
出し動作に変更し、この読み出し動作時に比較部のテス
トを行なうところにある。動作を具体的に説明する。ダ
ミーの読み出し動作を行なうサイクルで、読み出された
データを期待値と照合する際に、期待値として書き込み
データの反転データを用いる。こうすれば照合の結果、
期待値との不一致が検出されるはずであり、このときに
正常にT−FAILが“H”になるか否かをチップ外部
から確認することができる。また一旦T−FAILが
“H”になるとL1によりラッチ回路に取り込まれラッ
チされるが、クリア信号によりクリアすることができ
る。従って、本来の比較動作を行なう第2ステップ以降
にはなんの影響も与えない。このような動作を行なわせ
るため、各信号の生成は以下のような論理に変更され
る。(変更された信号のみを示す)
【0021】
【数2】
【0022】
【数3】
【0023】第1ステップにおいて比較部は、機能テス
トを行なう上では動作する必要はなく、当然比較部には
なんらのテスト結果も蓄積されていない。従って第1ス
テップであれば、比較部に対し、比較部テストのための
動作を行なわせても問題はない。比較部のテストを行な
うためには、不一致を検出した場合の動作を一回行なわ
せれば良い。しかしたとえば、ある1サイクルのみで比
較部のテストを行なわせるためには、第1ステップの中
で、その1サイクルのみに限定してテストのための動作
を行なわせなければならない。このため必要な信号の生
成には、第1の実施例に比べさらに多くのハード量を必
要とする。そこで第1の実施例としては、第1ステップ
の全てのダミー動作で比較部の検査を行なう例を示し
た。しかし当然、ある1サイクルのみで比較動作を行な
わせることも可能である。一般に機能テストを行なう時
TCKの周波数は、RAMの性能に比べ数分の一から一
桁程度低い値である。従って書き込みサイクルの後半
(WENが“H”となり実質的には読み出し動作)を用
いて、上記の手法で比較部のテストを行なうことも可能
である。
トを行なう上では動作する必要はなく、当然比較部には
なんらのテスト結果も蓄積されていない。従って第1ス
テップであれば、比較部に対し、比較部テストのための
動作を行なわせても問題はない。比較部のテストを行な
うためには、不一致を検出した場合の動作を一回行なわ
せれば良い。しかしたとえば、ある1サイクルのみで比
較部のテストを行なわせるためには、第1ステップの中
で、その1サイクルのみに限定してテストのための動作
を行なわせなければならない。このため必要な信号の生
成には、第1の実施例に比べさらに多くのハード量を必
要とする。そこで第1の実施例としては、第1ステップ
の全てのダミー動作で比較部の検査を行なう例を示し
た。しかし当然、ある1サイクルのみで比較動作を行な
わせることも可能である。一般に機能テストを行なう時
TCKの周波数は、RAMの性能に比べ数分の一から一
桁程度低い値である。従って書き込みサイクルの後半
(WENが“H”となり実質的には読み出し動作)を用
いて、上記の手法で比較部のテストを行なうことも可能
である。
【0024】
【実施例2】本発明の第2の実施例を図3に示す。第1
の実施例との違いはBIST自己テストのための期待値
をアドレス信号を用いて生成している点である。この理
由を以下に述べる。1ワードが複数ビットで構成されて
いるRAM(多ビット幅RAM)の場合には、読み出さ
れた出力に対し各ビット毎に期待値と照合しなければな
らない。この結果、1ビットでも不一致が検出されれば
T−FAIL信号を“H”に立ち上げる。このため第1
の実施例と異なり比較部において、各ビットに対する照
合回路と照合結果のORを採る部分(図3で破線で示し
た部分)に複数の並列な経路が存在する。この経路の数
は1ワード分のビット数に等しく、図3の例では4ワー
ド×2ビット構成であるから経路は以下の2通りとな
る。 Dout0に対する経路(Dout0→XOR0→OR0) Dout1に対する経路(Dout1→XOR1→OR0) 比較部のテストにおいては、上記の2通りの経路につい
てそれぞれ独立に確認しなければならない。すなわち、
Dout0に対する照合結果のみが不一致だった場合とDou
t1に対する照合結果のみが不一致だった場合の2通りの
テストを行なわなければならない。このためには、図3
の例で示せば表1に示す2種類の期待値が必要になる。
の実施例との違いはBIST自己テストのための期待値
をアドレス信号を用いて生成している点である。この理
由を以下に述べる。1ワードが複数ビットで構成されて
いるRAM(多ビット幅RAM)の場合には、読み出さ
れた出力に対し各ビット毎に期待値と照合しなければな
らない。この結果、1ビットでも不一致が検出されれば
T−FAIL信号を“H”に立ち上げる。このため第1
の実施例と異なり比較部において、各ビットに対する照
合回路と照合結果のORを採る部分(図3で破線で示し
た部分)に複数の並列な経路が存在する。この経路の数
は1ワード分のビット数に等しく、図3の例では4ワー
ド×2ビット構成であるから経路は以下の2通りとな
る。 Dout0に対する経路(Dout0→XOR0→OR0) Dout1に対する経路(Dout1→XOR1→OR0) 比較部のテストにおいては、上記の2通りの経路につい
てそれぞれ独立に確認しなければならない。すなわち、
Dout0に対する照合結果のみが不一致だった場合とDou
t1に対する照合結果のみが不一致だった場合の2通りの
テストを行なわなければならない。このためには、図3
の例で示せば表1に示す2種類の期待値が必要になる。
【0025】
【表1】
【0026】しかし第1ステップで生成される書き込み
データ及び期待値は、1ワード分の全ビットに対して一
様に「0」または「1」であり上記のようなパタンは生
成されない。そこで本実施例では、各ビット毎にアドレ
スデコーダと、期待値を切替えるためのセレクタSを付
加して必要な期待値を生成できるようにした。セレクタ
Sでは、SS=“H”で入力端子bと出力端子が導通
し、SS=“L”で入力端子aと出力端子が導通する。
具体的にはRAMに供給するアドレス信号を用いて、各
出力ビットの期待値をアドレスが変化する度に1ビット
ずつ順番に「1」(着目しているビット以外は全て
「0」)に設定する。こうすれば必要な期待値を生成す
ることができる。そこで、第1ステップでT−FAIL
が1ワード部のビット数だけ連続して立ち上がることを
外部から確認すれば、比較部が良品であることがわか
る。
データ及び期待値は、1ワード分の全ビットに対して一
様に「0」または「1」であり上記のようなパタンは生
成されない。そこで本実施例では、各ビット毎にアドレ
スデコーダと、期待値を切替えるためのセレクタSを付
加して必要な期待値を生成できるようにした。セレクタ
Sでは、SS=“H”で入力端子bと出力端子が導通
し、SS=“L”で入力端子aと出力端子が導通する。
具体的にはRAMに供給するアドレス信号を用いて、各
出力ビットの期待値をアドレスが変化する度に1ビット
ずつ順番に「1」(着目しているビット以外は全て
「0」)に設定する。こうすれば必要な期待値を生成す
ることができる。そこで、第1ステップでT−FAIL
が1ワード部のビット数だけ連続して立ち上がることを
外部から確認すれば、比較部が良品であることがわか
る。
【0027】
【実施例3】第3の実施例を図4に示す。第2の実施例
との違いは、BIST自己テスト時の期待値としてアド
レス信号そのものを用いている点である。動作を具体的
に説明する。図4の例では4ワード×2ビット構成だか
ら、例えばアドレス信号(A0,A1)をそれぞれ出力
(Dout0,Dout1)の期待値とする。こうすれば第1ス
テップの読み出し動作4サイクルで期待値は次の表2の
ようになる。
との違いは、BIST自己テスト時の期待値としてアド
レス信号そのものを用いている点である。動作を具体的
に説明する。図4の例では4ワード×2ビット構成だか
ら、例えばアドレス信号(A0,A1)をそれぞれ出力
(Dout0,Dout1)の期待値とする。こうすれば第1ス
テップの読み出し動作4サイクルで期待値は次の表2の
ようになる。
【0028】
【表2】
【0029】この表から明らかなように、必要な期待値
パタンは第2,第3サイクルで得られる。従って、例え
ば第2サイクルから第4サイクルまでの読み出しサイク
ルの照合結果(T−FAIL)を外部から確認すれば比
較部の検査を行うことができる。すなわち、各サイクル
でT−FAILが“H”になることが確認されれば、比
較部は良品であることがわかる。第1サイクルは書き込
みデータと期待値が双方とも「0」であるため、RAM
とBISTが双方とも良品であれば、T−FAILは
“L”になる。逆に言えば第1サイクルでT−FAIL
が“H”になれば、その時点でRAMあるいはBIST
に故障が存在することが判明する。
パタンは第2,第3サイクルで得られる。従って、例え
ば第2サイクルから第4サイクルまでの読み出しサイク
ルの照合結果(T−FAIL)を外部から確認すれば比
較部の検査を行うことができる。すなわち、各サイクル
でT−FAILが“H”になることが確認されれば、比
較部は良品であることがわかる。第1サイクルは書き込
みデータと期待値が双方とも「0」であるため、RAM
とBISTが双方とも良品であれば、T−FAILは
“L”になる。逆に言えば第1サイクルでT−FAIL
が“H”になれば、その時点でRAMあるいはBIST
に故障が存在することが判明する。
【0030】本実施例で期待値を生成するために必要な
ハード量は、図からわかるように切替え回路とこの切替
え回路を制御する信号の生成回路のみであり以下の式で
与えられる。 ハード量(ゲート数)=4N+2 ただしN:1ワード分のビット数 この式からN=32ビットの場合について求めてみる
と、第2の実施例で示した構成で290ゲート必要であ
るのに対し、本発明の実施例では上式から130ゲート
で済むことがわかる。ただし本実施例は、アドレス信号
数が1ワード分のビット数より小さい場合にはこのまま
では適用できない。しかし例えば4ワード×4ビット構
成を例にとると、出力4ビット(Dout0, Dout1,Dou
t2,Dout3)に対し、表2のようにアドレスを期待値と
して割り当てる。こうすれば完全ではないが、ある程度
のBIST回路に対する故障検出能力を得ることができ
る。
ハード量は、図からわかるように切替え回路とこの切替
え回路を制御する信号の生成回路のみであり以下の式で
与えられる。 ハード量(ゲート数)=4N+2 ただしN:1ワード分のビット数 この式からN=32ビットの場合について求めてみる
と、第2の実施例で示した構成で290ゲート必要であ
るのに対し、本発明の実施例では上式から130ゲート
で済むことがわかる。ただし本実施例は、アドレス信号
数が1ワード分のビット数より小さい場合にはこのまま
では適用できない。しかし例えば4ワード×4ビット構
成を例にとると、出力4ビット(Dout0, Dout1,Dou
t2,Dout3)に対し、表2のようにアドレスを期待値と
して割り当てる。こうすれば完全ではないが、ある程度
のBIST回路に対する故障検出能力を得ることができ
る。
【0031】
【表3】
【0032】これまで第1,第2,第3の実施例を用い
て述べた手法は、単体RAMに対するBIST回路の自
己テスト手法としても同様の効果がある。またこれまで
の説明ではマーチパタンを前提として説明を行なってき
たが、RAM用のテストパタンは、マーチパタンに限ら
ず全て書き込み動作から始まる。従って書き込みを行な
う段階で比較部の検査を行なう本発明の手法は、全ての
RAM用テストパタンに適用することができる。
て述べた手法は、単体RAMに対するBIST回路の自
己テスト手法としても同様の効果がある。またこれまで
の説明ではマーチパタンを前提として説明を行なってき
たが、RAM用のテストパタンは、マーチパタンに限ら
ず全て書き込み動作から始まる。従って書き込みを行な
う段階で比較部の検査を行なう本発明の手法は、全ての
RAM用テストパタンに適用することができる。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のテスト方
法を使えばBIST回路自体が正常動作することを確認
できるため信頼性の高いテストを行なうことができる。
法を使えばBIST回路自体が正常動作することを確認
できるため信頼性の高いテストを行なうことができる。
【図1】本発明の第1の実施例を示すタイムチャートで
ある。
ある。
【図2】本発明の第1の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
【図3】本発明の第2の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
【図4】本発明の第3の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
【図5】BISTの概念図である。
【図6】マーチパタンの実行手順を示す図である。
【図7】従来例のテスト方法を示すタイムチャートであ
る。
る。
【図8】従来のテスト方法を説明するためのブロック図
である。
である。
XOR 排他的論理和回路 DFF ディレイドフリップフロップ
Claims (1)
- 【請求項1】 書き込み読み出し可能なメモリのテスト
において、予めセルに「1」または「0」を書き込むス
テップで、メモリに書き込んだデータを一旦読み出し、
前記書き込んだデータの反転データを期待値として比較
動作を行ない、そのテスト結果を知らせることを特徴と
するBISTによるメモリのテスト方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4203196A JPH0628896A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | Bistによるメモリのテスト方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4203196A JPH0628896A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | Bistによるメモリのテスト方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0628896A true JPH0628896A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16470058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4203196A Pending JPH0628896A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | Bistによるメモリのテスト方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0628896A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008293652A (ja) * | 2008-08-08 | 2008-12-04 | Renesas Technology Corp | 同期型半導体記憶装置およびそのテスト方法 |
JP2010040085A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 集積回路および試験方法 |
US8412983B2 (en) | 2007-03-29 | 2013-04-02 | Fujitsu Limited | Memory test circuit, semiconductor integrated circuit, and memory test method |
-
1992
- 1992-07-08 JP JP4203196A patent/JPH0628896A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8412983B2 (en) | 2007-03-29 | 2013-04-02 | Fujitsu Limited | Memory test circuit, semiconductor integrated circuit, and memory test method |
JP2010040085A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 集積回路および試験方法 |
JP2008293652A (ja) * | 2008-08-08 | 2008-12-04 | Renesas Technology Corp | 同期型半導体記憶装置およびそのテスト方法 |
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