JPS6016335A - リニアスライド - Google Patents
リニアスライドInfo
- Publication number
- JPS6016335A JPS6016335A JP12207283A JP12207283A JPS6016335A JP S6016335 A JPS6016335 A JP S6016335A JP 12207283 A JP12207283 A JP 12207283A JP 12207283 A JP12207283 A JP 12207283A JP S6016335 A JPS6016335 A JP S6016335A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear
- permanent magnet
- slide
- linear slide
- linear motor
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/40—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using ball, roller or wheel arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発側は、小ストロークの直保運励で精命な位置犬め
ｔ必要とする分野、例えば半導体、光ディスク、Ｊ）Ａ
Ｊ）（デジタ゛ル・オーディオ・ディスク）等の即き超
請密〃ロエｔ−妥する分野で利用して好適なリニアスラ
イドに関するものである。
ｔ必要とする分野、例えば半導体、光ディスク、Ｊ）Ａ
Ｊ）（デジタ゛ル・オーディオ・ディスク）等の即き超
請密〃ロエｔ−妥する分野で利用して好適なリニアスラ
イドに関するものである。
（”）〜従来技術
従来、工作偶成−Ｖに用いらｎている公用の直・尿連助
装置の多くは、第１図に示す逮な１槍遺で、（１）は゛
ド祁にナツト（２）が１ｍｌ定されン辷ロＪ′幼部、（
３）Ｖよ上記町！１ＪＩＪ部（１） ｆ ｏ直線状に摺
動目在に案内する采丙郡、（４）は案内部（３）と、平
行に配置され、上記ナンド（２）と解合する精密ボール
ねじ、（５）ｖ′ｉ、精密ボールねしく４）を回伝駆切
させる回示型モータである。この装ｄ ｖＣｔ）ミいて
、−」゛切部Ｌｌ） Ｗよ回ご版型モータ（５）で楕モ
ボールねじ（４）金回Ｉ訳させ、その回転運動でナンド
（２）によって直猟連助に変換し、系内ム１鳴上を直、
星状に、し７する。この装置の位１１１決め精度は、糸
内部（３）の精度以上に、ナンド（２）及びｆｉｉ 田
ボールねじ（４）の加工。、１ノ叉、」医１寸４ｈ度及
びバンクラッシュの大小に影、１１１１される。ところ
で、肛′ｄＦ−超請督〃ロエ分４等に汝いて、小ストロ
ークでサブミクロン４δ度の立直犬めが町杷な直・尿連
励装−の蒲要が高まっている。しかし、１」口記の講造
の装置で立直決め精度金向上させるためには、ナツト（
２）及び４４密ボールねじ（４）の加工精度及び取付積
度を同上させ、バンクラッシュｔなくする７ヒめの予圧
懺溝を設けなければならず、装置が複雑で編価なものに
なる。′ｉた、上記の４慮ではｏＪｄＪ都（１）が小ス
トロークのものでアラても、”Ｊ ｄＪ＝ｉ＜ （ｉ）
、來内部（３）、ナ７ ） １２］、Ｋｎ督廣−ルねし
く４）及び回伝型モータ（５）等を組み合わせるため装
置は全体が大型になるという欠点があった。
装置の多くは、第１図に示す逮な１槍遺で、（１）は゛
ド祁にナツト（２）が１ｍｌ定されン辷ロＪ′幼部、（
３）Ｖよ上記町！１ＪＩＪ部（１） ｆ ｏ直線状に摺
動目在に案内する采丙郡、（４）は案内部（３）と、平
行に配置され、上記ナンド（２）と解合する精密ボール
ねじ、（５）ｖ′ｉ、精密ボールねしく４）を回伝駆切
させる回示型モータである。この装ｄ ｖＣｔ）ミいて
、−」゛切部Ｌｌ） Ｗよ回ご版型モータ（５）で楕モ
ボールねじ（４）金回Ｉ訳させ、その回転運動でナンド
（２）によって直猟連助に変換し、系内ム１鳴上を直、
星状に、し７する。この装置の位１１１決め精度は、糸
内部（３）の精度以上に、ナンド（２）及びｆｉｉ 田
ボールねじ（４）の加工。、１ノ叉、」医１寸４ｈ度及
びバンクラッシュの大小に影、１１１１される。ところ
で、肛′ｄＦ−超請督〃ロエ分４等に汝いて、小ストロ
ークでサブミクロン４δ度の立直犬めが町杷な直・尿連
励装−の蒲要が高まっている。しかし、１」口記の講造
の装置で立直決め精度金向上させるためには、ナツト（
２）及び４４密ボールねじ（４）の加工精度及び取付積
度を同上させ、バンクラッシュｔなくする７ヒめの予圧
懺溝を設けなければならず、装置が複雑で編価なものに
なる。′ｉた、上記の４慮ではｏＪｄＪ都（１）が小ス
トロークのものでアラても、”Ｊ ｄＪ＝ｉ＜ （ｉ）
、來内部（３）、ナ７ ） １２］、Ｋｎ督廣−ルねし
く４）及び回伝型モータ（５）等を組み合わせるため装
置は全体が大型になるという欠点があった。
いう 発明の１削
この発明は、直尿ａ助呆丙ハｊこと枢動部とを一体に４
或する仁とによって、小を、かつ、［陥請度の位置汲め
かげ歳なリニアスライド金提供することｔＥＩＩ：１′
１ｊとするものである。
或する仁とによって、小を、かつ、［陥請度の位置汲め
かげ歳なリニアスライド金提供することｔＥＩＩ：１′
１ｊとするものである。
（→ 発明の構成
この発側は、４助部材とｄ猟状に駆動するリニアスライ
ドに次いて、（ロ）足部材、可動ｈ１り材及びその両４
１４に配される伝切体で構成される直保運助１１１Ｉ１
文の上記−足側部材或いは可動部材の何れか一方の部材
上に、スライド方向１１ＣＧって磁束が形１祝される請
求に永久磁石金−役し、上記他方の部材上に上記−束と
鎖交し、かつ、１斤定の隙間ｆ： ｆ？ｆだせて上記永
久磁石と対向する６ぷにコイル金巻回装置してリニアス
ライド金小型で、しかも、尚精度の位は大めが可能な様
に構成したものである。
ドに次いて、（ロ）足部材、可動ｈ１り材及びその両４
１４に配される伝切体で構成される直保運助１１１Ｉ１
文の上記−足側部材或いは可動部材の何れか一方の部材
上に、スライド方向１１ＣＧって磁束が形１祝される請
求に永久磁石金−役し、上記他方の部材上に上記−束と
鎖交し、かつ、１斤定の隙間ｆ： ｆ？ｆだせて上記永
久磁石と対向する６ぷにコイル金巻回装置してリニアス
ライド金小型で、しかも、尚精度の位は大めが可能な様
に構成したものである。
（（１）歩く絶倒
第、、２図及び第３図は、この発明に泳るリニアスライ
ドの第一のズ施例をボナもので、直猟運、υＪ袖文（勾
と、上記は尿連動誦文（Ｎに組み込まれｌζ匣υｉｆリ
ニア七−タ（Ｂ）で構成されている。上記直１−ｉ運動
袖受（勾はスライド方向に后って平行にル成さｎ ｆＣ
，２列のレース面すリリ乃でその対向面にもつ一定０１
り材す萄及び町ｄＪ品材ｕ燭と、上記岡都祠１ｉ３１ｊ
４）の対向するレース面（ｌす（ＩＪＪ）同に収容さｎ
た伝ＪｊＪ ％ １１５）とから、灰っている。上記Ｉ
Ｊｉ ％Ｅリニアモータ（ｊ３）は、Ｆｌｌ定部材Ｏ場
とＪ’初ｄｉ≦利圓との２列のレース面（１す（ｉＬＭ
の中央に配置されるものでり動部材−１４）にはスライ
ド方向両端に、磁極の向きを逆にして−２１１！の永久
磁石ｖＧｌ同を１１１！ｌ役し、この２１固の永久磁石
１．ｌｉｕηの上部を鍼往体州で連ｍｌし、こ！Ｌと対
向して副足部材霞にも憾性体購を記ｄして上記永久磁石
ｌ、ＩＱｌｌηの鍼束ｔスライド方回に屑りてノβノス
させ、かつ、この厭住坏俵匈上Ｖこ１再記水久燻石−８
１同と所定の猷１ｔＪ ｉ持って対向させ、しかも、上
記磁束と鎖交さｔてコイルＩＩ：Ｌｌ）τ巻回配ｄし／
辷ものである。
ドの第一のズ施例をボナもので、直猟運、υＪ袖文（勾
と、上記は尿連動誦文（Ｎに組み込まれｌζ匣υｉｆリ
ニア七−タ（Ｂ）で構成されている。上記直１−ｉ運動
袖受（勾はスライド方向に后って平行にル成さｎ ｆＣ
，２列のレース面すリリ乃でその対向面にもつ一定０１
り材す萄及び町ｄＪ品材ｕ燭と、上記岡都祠１ｉ３１ｊ
４）の対向するレース面（ｌす（ＩＪＪ）同に収容さｎ
た伝ＪｊＪ ％ １１５）とから、灰っている。上記Ｉ
Ｊｉ ％Ｅリニアモータ（ｊ３）は、Ｆｌｌ定部材Ｏ場
とＪ’初ｄｉ≦利圓との２列のレース面（１す（ｉＬＭ
の中央に配置されるものでり動部材−１４）にはスライ
ド方向両端に、磁極の向きを逆にして−２１１！の永久
磁石ｖＧｌ同を１１１！ｌ役し、この２１固の永久磁石
１．ｌｉｕηの上部を鍼往体州で連ｍｌし、こ！Ｌと対
向して副足部材霞にも憾性体購を記ｄして上記永久磁石
ｌ、ＩＱｌｌηの鍼束ｔスライド方回に屑りてノβノス
させ、かつ、この厭住坏俵匈上Ｖこ１再記水久燻石−８
１同と所定の猷１ｔＪ ｉ持って対向させ、しかも、上
記磁束と鎖交さｔてコイルＩＩ：Ｌｌ）τ巻回配ｄし／
辷ものである。
第グｌＡスび第ｊ−〇・よ、この発明の第二の医施例で
、上記第一の実施例の可動部材１１４Ｊ側に設けｌ′こ
、２１向の永久磁石ＩＩｅＬ＋７）の代りに、アルニコ
系Ｋｄ石−υτ匣用する場合であって、この場倚には、
／ｌＩｄのアルニコ系磁石ンυＣての両磁極Ｎ、Ｓ・と
スライド方向両端Ｖこして町薊部祠υ勺に収１すけ、こ
の磁石α刀の両端Ｖこ蝋・注坏ａｉｕυτ記Ｆｄ シｉ
ζもので、池の４成は、Ｕｕ記第−のメ絶倒と同一であ
、０ｏｂｉＩ］ｌ）、永久磁石にアルニコＯａ石を使用
するとさは、上記４威とするガが、彷４−がよ＾０上記
第−及び第二メ厖例に２けるコイル鴎の巷回配直博ｊ戊
は同一でのって、第３図に示す、織に、−足部材す３）
の鰍性体ｌｌ１ｌｌｌ上に、／不のコイル：ｍ） ｆ矩
ル両巻状に巻回記ｍ Ｌ ｔｔもので、これによジ、ア
ルニコ系磁石回の１，１Ｕ磁他Ｎ、 ８部、又は、２１
１１！ｉｌの永久磁石、Ｉ［ＩＩｌηの都ｊでコイル西
τ流ｎ６−流の向さ茫逆にして鍼東を償Ｃらせることか
でぼる。即ち、上記コイル１１０７に第ｇ凶で大中（イ
ン方向には侃電１ｊｆ、イ流せば、町切μｍく材Ｕ荀に
第３図、第５図及びｆｊ６凶で石刀回の郁カが元止し、
−Ｊ′助部材ｔ１４）τ回定１ｊ１り材崗に対して石宵
口にφ助さぜることがでさる。勿論、−流の１１さｔ７
ＶＣ”すれば、−＋Ｊ助部材（１４）を逆方向にジーさ
せることかでさる０尚、Ｉｊ１′助部材（貝の最大スト
ロークは、コイル四のスライド力回巻回・＋ｌ：Ａ （
１）によって設定される。
、上記第一の実施例の可動部材１１４Ｊ側に設けｌ′こ
、２１向の永久磁石ＩＩｅＬ＋７）の代りに、アルニコ
系Ｋｄ石−υτ匣用する場合であって、この場倚には、
／ｌＩｄのアルニコ系磁石ンυＣての両磁極Ｎ、Ｓ・と
スライド方向両端Ｖこして町薊部祠υ勺に収１すけ、こ
の磁石α刀の両端Ｖこ蝋・注坏ａｉｕυτ記Ｆｄ シｉ
ζもので、池の４成は、Ｕｕ記第−のメ絶倒と同一であ
、０ｏｂｉＩ］ｌ）、永久磁石にアルニコＯａ石を使用
するとさは、上記４威とするガが、彷４−がよ＾０上記
第−及び第二メ厖例に２けるコイル鴎の巷回配直博ｊ戊
は同一でのって、第３図に示す、織に、−足部材す３）
の鰍性体ｌｌ１ｌｌｌ上に、／不のコイル：ｍ） ｆ矩
ル両巻状に巻回記ｍ Ｌ ｔｔもので、これによジ、ア
ルニコ系磁石回の１，１Ｕ磁他Ｎ、 ８部、又は、２１
１１！ｉｌの永久磁石、Ｉ［ＩＩｌηの都ｊでコイル西
τ流ｎ６−流の向さ茫逆にして鍼東を償Ｃらせることか
でぼる。即ち、上記コイル１１０７に第ｇ凶で大中（イ
ン方向には侃電１ｊｆ、イ流せば、町切μｍく材Ｕ荀に
第３図、第５図及びｆｊ６凶で石刀回の郁カが元止し、
−Ｊ′助部材ｔ１４）τ回定１ｊ１り材崗に対して石宵
口にφ助さぜることがでさる。勿論、−流の１１さｔ７
ＶＣ”すれば、−＋Ｊ助部材（１４）を逆方向にジーさ
せることかでさる０尚、Ｉｊ１′助部材（貝の最大スト
ロークは、コイル四のスライド力回巻回・＋ｌ：Ａ （
１）によって設定される。
第２図乃至第７０図は、１は猟迎薊補欠（Ａ）部の醇成
τ反更した他のズ施例であって、まず、第７図は１３１
」記第−及び第二の去施濤ｐ、１／Ｊ休リリを総ボール
産としていたものｔ１保持器、ｔ′４寸さに友丈したも
ので、他の４収ＶよＩＪＱ記大施例と１１−でるる。
τ反更した他のズ施例であって、まず、第７図は１３１
」記第−及び第二の去施濤ｐ、１／Ｊ休リリを総ボール
産としていたものｔ１保持器、ｔ′４寸さに友丈したも
ので、他の４収ＶよＩＪＱ記大施例と１１−でるる。
また第ｉ図上２云切体（１５）のレース面（ｔｌ） Ｆ
Ｊを固定部材μ場と可動部材σ慟との両−曲には漱対四
ｊニｌスしたものでｔり夕、４２図は、１１足部材ｊｌ
樽とげ動部材ｕｌとのＩＩＩＩＵ闇面にそれぞ！Ｌ可面
く芋ｊ（ｐ材−Ｓｌ ｅ介してレース面ｔｌｌ）ｕ匂・
七対同形成したものであり、ｆＪ／θ図は、向尼部材崗
とり動部材υ旬とのＩＩＩ（１対回曲に萌面コ子）？溝
Ｖ刹刺をノｅ或し、谷＋４．４４Ｉ〆弔の上ド隅部にツ
イヤ−Ｖ匈ｗａ＋ ２配直して、このフイギー≠６１
（４でレース面・ｆ形成させ／ζものである。
Ｊを固定部材μ場と可動部材σ慟との両−曲には漱対四
ｊニｌスしたものでｔり夕、４２図は、１１足部材ｊｌ
樽とげ動部材ｕｌとのＩＩＩＩＵ闇面にそれぞ！Ｌ可面
く芋ｊ（ｐ材−Ｓｌ ｅ介してレース面ｔｌｌ）ｕ匂・
七対同形成したものであり、ｆＪ／θ図は、向尼部材崗
とり動部材υ旬とのＩＩＩ（１対回曲に萌面コ子）？溝
Ｖ刹刺をノｅ或し、谷＋４．４４Ｉ〆弔の上ド隅部にツ
イヤ−Ｖ匈ｗａ＋ ２配直して、このフイギー≠６１
（４でレース面・ｆ形成させ／ζものである。
尚、以上の説明では直流リニアモータ（Ｂ）は、ＩｊＪ
′薊部材圓側に永久磁石川、１θま／ヒはアルニコ系磁
石圓ｆｒ、副足し／ヒ町助燻石型としたが、９助部材１
１勾−にコイル函・七−疋し／を可動コイル型直流リニ
アモータとしても河ら圧し文えない。
′薊部材圓側に永久磁石川、１θま／ヒはアルニコ系磁
石圓ｆｒ、副足し／ヒ町助燻石型としたが、９助部材１
１勾−にコイル函・七−疋し／を可動コイル型直流リニ
アモータとしても河ら圧し文えない。
（へ）２６例の効果
以上説明し′ｆｃ謙に、この発明は直嶽運励袖父内部ｆ
−直流リニアモータを一体的にｉ＃ｉφ込んｌビＡ１保
ｆ反び調圧不要で、小型、かつ、１１精度の位置決めが
９売なリニアスライド七提共でさる。まに直流諮リニア
モータは回１版産モータと比較して４盾が簡単であり、
６１り晶点奴も少ないため、コスト及び故障率の低減が
１１■［厄である。
−直流リニアモータを一体的にｉ＃ｉφ込んｌビＡ１保
ｆ反び調圧不要で、小型、かつ、１１精度の位置決めが
９売なリニアスライド七提共でさる。まに直流諮リニア
モータは回１版産モータと比較して４盾が簡単であり、
６１り晶点奴も少ないため、コスト及び故障率の低減が
１１■［厄である。
文に一般の伝が９拙文は、積度及び１．１１性金向上−
するために軸支に予圧ｔ〃ｕえるが、本＝Ａ明のリニア
スライドに〃ミいてＶま、永久磁石またはアルニコ系磁
石の吸引力及び町、ＪＪ部材の口重によって＋１１ｉｉ
１文にｆ圧が１口わるｌ’ｔめ、池に候維な予圧′鯰、
ぼｒ設ける必要がない。
するために軸支に予圧ｔ〃ｕえるが、本＝Ａ明のリニア
スライドに〃ミいてＶま、永久磁石またはアルニコ系磁
石の吸引力及び町、ＪＪ部材の口重によって＋１１ｉｉ
１文にｆ圧が１口わるｌ’ｔめ、池に候維な予圧′鯰、
ぼｒ設ける必要がない。
第７図は公用の立直決め装材の概略図、第２凶は木兄例
の第一の去施例を示す主要部縦萌正聞凶、第３図は第２
図Ｘ−Ｘ、銀に於ける縦ｓＤ側聞図、４２図は第二の天
施同を不す土要部縦萌正面図、第ｊ図ｖ′ｉ第グ図のｘ
−ｒ尿にＩミけるイ従−ｒ闇囲図、第２図は第７図の・
就略Δト面図、弗２図乃至第１０図ｅよ、夫々、木兄例
の文に能のメ施例を示す主要部、縦ｄ［正面図でるる。 ｌＪ場＠−一定部材、す荀・・ｒＪｆ蛎部材、四・・汰
励体、ｉｌｆ％ｌ−η−・永久磁石、崗ｉ１〜州隣Ｏ・
蝋性本、−・・コイル、圓・・アルニコ系磁石、（勾・
・Ｉｌｉ猟連助φ由文、（Ｂ）・・直流−リニアモータ
。 陀 ｌ「１ 一パＯＩ、−ご□ ’；”／Ｉ’ 珀４０ ：、’Ｓ ０図 喝７ い 蕗８艷］′ｊ 第１０図
の第一の去施例を示す主要部縦萌正聞凶、第３図は第２
図Ｘ−Ｘ、銀に於ける縦ｓＤ側聞図、４２図は第二の天
施同を不す土要部縦萌正面図、第ｊ図ｖ′ｉ第グ図のｘ
−ｒ尿にＩミけるイ従−ｒ闇囲図、第２図は第７図の・
就略Δト面図、弗２図乃至第１０図ｅよ、夫々、木兄例
の文に能のメ施例を示す主要部、縦ｄ［正面図でるる。 ｌＪ場＠−一定部材、す荀・・ｒＪｆ蛎部材、四・・汰
励体、ｉｌｆ％ｌ−η−・永久磁石、崗ｉ１〜州隣Ｏ・
蝋性本、−・・コイル、圓・・アルニコ系磁石、（勾・
・Ｉｌｉ猟連助φ由文、（Ｂ）・・直流−リニアモータ
。 陀 ｌ「１ 一パＯＩ、−ご□ ’；”／Ｉ’ 珀４０ ：、’Ｓ ０図 喝７ い 蕗８艷］′ｊ 第１０図
Claims (1)
- （１） 町Ｉ４１Ｊ部材を直線状に駆動するリニアスラ
イドに云いて、−足部材、ｃＪｌ″助部材及びその両４
１副に配される転励体で構成される直徹運助袖文の上記
一定部材或いｄ町Ｉ＃部材の何れか一方の部材上に、ス
ライド方向に旧って磁束が形成さｎる様に永久磁石金−
設し、上記他方の部材上に、上記磁未と鎖交し、かつ、
所定の隙間金持たせて上記永久磁石と対間する謙にコイ
ル全巻回＆＆ｉ直させた’Ｊ ｔ’ ￥８改とするリニ
アスライド
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12207283A JPS6016335A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | リニアスライド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12207283A JPS6016335A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | リニアスライド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6016335A true JPS6016335A (ja) | 1985-01-28 |
| JPH0375294B2 JPH0375294B2 (ja) | 1991-11-29 |
Family
ID=14826945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12207283A Granted JPS6016335A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | リニアスライド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6016335A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6176247A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-18 | Hiroshi Teramachi | 直線案内装置 |
| JPS61191844U (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-29 | ||
| JPS61293741A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-24 | Hiroshi Teramachi | テ−ブル移送装置 |
| JPS61293740A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-24 | Hiroshi Teramachi | テ−ブル移送装置 |
| FR2585277A1 (fr) * | 1985-07-26 | 1987-01-30 | Teramachi Hiroshi | Table x-y pour machines-outils |
| JPS6288532A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-23 | Amada Co Ltd | 工作機械のテ−ブル駆動用リニアモ−タ |
| JPS63160078U (ja) * | 1987-04-09 | 1988-10-19 | ||
| JPH0190281U (ja) * | 1987-12-03 | 1989-06-14 | ||
| JPH0215837U (ja) * | 1988-07-14 | 1990-01-31 | ||
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