JPH0375294B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0375294B2 JPH0375294B2 JP58122072A JP12207283A JPH0375294B2 JP H0375294 B2 JPH0375294 B2 JP H0375294B2 JP 58122072 A JP58122072 A JP 58122072A JP 12207283 A JP12207283 A JP 12207283A JP H0375294 B2 JPH0375294 B2 JP H0375294B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable member
- coil
- fixed
- plate
- linear motion
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 5
- 229910000828 alnico Inorganic materials 0.000 description 6
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/40—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using ball, roller or wheel arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、小ストロークの直線運動で精密な
位置決めを必要とする分野、たとえば半導体、光
デイスク、DAD（デジタル・オーデイオ・デイス
ク）等の如き超精密加工を要する分野で利用して
好適なリニアスライドに関するものである。
位置決めを必要とする分野、たとえば半導体、光
デイスク、DAD（デジタル・オーデイオ・デイス
ク）等の如き超精密加工を要する分野で利用して
好適なリニアスライドに関するものである。
［従来の技術］
従来、工作機械等に用いられている公知の直線
運動装置の多くは、第１図に示す様な構造で、１
は下部にナツト２が固定された可動部、３は上記
可動部１を直線状に摺動自在に案内する案内部、
４は案内部３と平行に配置され、上記ナツト２と
螺合する精密ボールねじ、５は精密ボールねじ４
を回転させる回転モータである。この装置に於い
て、可動部は、回転型モータ５で精密ボールねじ
４を回転させ、その回転運動をナツト２で直線運
動に変換することによつて、案内部３上を直線状
に移動する。この装置の位置決め精度は、案内部
３の精度以上に、ナツト２及び精密ボールねじ４
の加工精度、取付精度及びバツクラツシユの大小
に影響される。ところで、近年超精密加工分野等
に於いて、小ストロークでサブミクロン精度の位
置決めが可能な直線運動装置の需要が高まつてい
る。しかし、前記の構造の装置で位置決め精度を
向上させるためには、ナツト２及び精密ボールね
じ４の加工精度及び取付精度を向上させ、バツク
ラツシユをなくするための予圧機構を設けなけれ
ばならず、装置が複雑で高価なものになる。ま
た、上記の構造では可動部１が小ストロークのも
のであつても、可動部１、案内部３、ナツト２、
精密ボールねじ４及び回転型モータ５等を組み合
わせるため装置全体が大型になるという欠点があ
つた。
運動装置の多くは、第１図に示す様な構造で、１
は下部にナツト２が固定された可動部、３は上記
可動部１を直線状に摺動自在に案内する案内部、
４は案内部３と平行に配置され、上記ナツト２と
螺合する精密ボールねじ、５は精密ボールねじ４
を回転させる回転モータである。この装置に於い
て、可動部は、回転型モータ５で精密ボールねじ
４を回転させ、その回転運動をナツト２で直線運
動に変換することによつて、案内部３上を直線状
に移動する。この装置の位置決め精度は、案内部
３の精度以上に、ナツト２及び精密ボールねじ４
の加工精度、取付精度及びバツクラツシユの大小
に影響される。ところで、近年超精密加工分野等
に於いて、小ストロークでサブミクロン精度の位
置決めが可能な直線運動装置の需要が高まつてい
る。しかし、前記の構造の装置で位置決め精度を
向上させるためには、ナツト２及び精密ボールね
じ４の加工精度及び取付精度を向上させ、バツク
ラツシユをなくするための予圧機構を設けなけれ
ばならず、装置が複雑で高価なものになる。ま
た、上記の構造では可動部１が小ストロークのも
のであつても、可動部１、案内部３、ナツト２、
精密ボールねじ４及び回転型モータ５等を組み合
わせるため装置全体が大型になるという欠点があ
つた。
［発明が解決しようとする課題］
この発明の目的は、小ストロークの直線運動で
精密な位置決めを必要とする分野で使用されるリ
ニアスライドにおいて、小型かつ高精度の位置決
めを可能にすることである。
精密な位置決めを必要とする分野で使用されるリ
ニアスライドにおいて、小型かつ高精度の位置決
めを可能にすることである。
［課題を解決するための手段］
この発明は、直線運動軸受の固定部材の間の小
さな隙間にブラシレスDCリニアモータを組み込
んで一体化した。すなわち、この発明のリニアス
ライドは、板状の固定部材１３と板状の可動部材
１４とを対向させ、互いに対向する面に可動部材
１４の移動方向に平行して直線状に伸びる平行な
２列のレース面１１，１１，１２，１２を互いに
対向させて形成し、上記互いに対向するレース面
１１，１２，１１，１２の間に転動体１５，１５
を介在させて、可動部材１４の重量に加えて可動
部材１４の移動方向と直交する方向の荷重を支承
させた直線運動軸受Ａと、上記両部材１３，１４
の互いに対向する面のどちらか一方に固定した直
流電流通電用のコイル２０と他方の部材の２本の
レース面の間に固定した永久磁石１６，１７，２
１とからなる、可動部材を移動させるための駆動
装置Ｂとからなり、上記一方の部材の対向面に固
定したコイル２０は、１本のワイヤを矩形渦巻状
に巻回して対辺をなす部分では互いに逆向きの電
流が流れるようにした、全体として薄板状のコイ
ルであつて、一組の対辺をなす部分を可動部材の
移動方向と直交させて配置し、上記他方の部材に
固定した永久磁石１６，１７，２１は、可動部材
の移動方向とコイル２０の前記一組の対辺をなす
部分と双方に対し直交する磁束を形成させる磁極
の向きに配置した構造である。
さな隙間にブラシレスDCリニアモータを組み込
んで一体化した。すなわち、この発明のリニアス
ライドは、板状の固定部材１３と板状の可動部材
１４とを対向させ、互いに対向する面に可動部材
１４の移動方向に平行して直線状に伸びる平行な
２列のレース面１１，１１，１２，１２を互いに
対向させて形成し、上記互いに対向するレース面
１１，１２，１１，１２の間に転動体１５，１５
を介在させて、可動部材１４の重量に加えて可動
部材１４の移動方向と直交する方向の荷重を支承
させた直線運動軸受Ａと、上記両部材１３，１４
の互いに対向する面のどちらか一方に固定した直
流電流通電用のコイル２０と他方の部材の２本の
レース面の間に固定した永久磁石１６，１７，２
１とからなる、可動部材を移動させるための駆動
装置Ｂとからなり、上記一方の部材の対向面に固
定したコイル２０は、１本のワイヤを矩形渦巻状
に巻回して対辺をなす部分では互いに逆向きの電
流が流れるようにした、全体として薄板状のコイ
ルであつて、一組の対辺をなす部分を可動部材の
移動方向と直交させて配置し、上記他方の部材に
固定した永久磁石１６，１７，２１は、可動部材
の移動方向とコイル２０の前記一組の対辺をなす
部分と双方に対し直交する磁束を形成させる磁極
の向きに配置した構造である。
［作用］
全体の形状及び重量をほぼ極限まで小型軽量化
しつつ、直線運動軸受の特性と、ブラシレスDC
リニアモータの特性とが合理的に結合される結
果、サブミクロン精度の位置決め機能を持つ小型
高精度のリニアスライドが得られる。
しつつ、直線運動軸受の特性と、ブラシレスDC
リニアモータの特性とが合理的に結合される結
果、サブミクロン精度の位置決め機能を持つ小型
高精度のリニアスライドが得られる。
すなわち、直線運動軸受は、板状の固定部材と
対向させて板状の可動部材を僅小な隙間をもつて
対設し、固定部材と可動部材の移動方向に走るレ
ース面間に転動体を介在させることによつて、可
動部材の移動方向と直交する方向の荷重を支え、
可動部材を円滑かつ性格に移動させる働きをする
ので案内精度が高い。
対向させて板状の可動部材を僅小な隙間をもつて
対設し、固定部材と可動部材の移動方向に走るレ
ース面間に転動体を介在させることによつて、可
動部材の移動方向と直交する方向の荷重を支え、
可動部材を円滑かつ性格に移動させる働きをする
ので案内精度が高い。
ブラシレスDCリニアモータは停止位置を無段
階に制御でき、しかも構造が簡単で、摩擦やバツ
クラツシユとは無縁であるから、サブミクロンオ
ーダーの位置決め用駆動手段として適している。
階に制御でき、しかも構造が簡単で、摩擦やバツ
クラツシユとは無縁であるから、サブミクロンオ
ーダーの位置決め用駆動手段として適している。
コイルを矩形渦巻形にして全体として薄板状に
形成して可動部材と固定部材の対向面間に配置す
ることによりブラシレスDCリニアモータの駆動
部を構成させるようにしたので、全体として薄型
コンパクトな構造で、重心バランスも良好に構成
することができる。また、ブラシレスDCリニア
モータを直線運動軸受の固定部材と可動部材の間
に組み込んだことにより、その構成要素である永
久磁石が固定部材と可動部材の間に位置すること
により、その結果、固定部材と可動部材を互いに
接近させようとする吸引磁力が作用し、レース面
間の転動体に予圧が与えられる。
形成して可動部材と固定部材の対向面間に配置す
ることによりブラシレスDCリニアモータの駆動
部を構成させるようにしたので、全体として薄型
コンパクトな構造で、重心バランスも良好に構成
することができる。また、ブラシレスDCリニア
モータを直線運動軸受の固定部材と可動部材の間
に組み込んだことにより、その構成要素である永
久磁石が固定部材と可動部材の間に位置すること
により、その結果、固定部材と可動部材を互いに
接近させようとする吸引磁力が作用し、レース面
間の転動体に予圧が与えられる。
［実施例］
第２図及び第３図は、この発明に係るリニアス
ライドの第一の実施例を示すもので、直線運動軸
受Ａと、上記直線運動軸受Ａに組み込まれた駆動
装置Ｂ、即ち直流リニアモータで構成されてい
る。直線運動軸受Ａはスライド方向に沿つて平行
に形成された２列のレース面１１，１２をその対
向面にもつ板状の固定部材１３及び板状の可動部
材１４と、上記両部材１３，１４の対向するレー
ス面１１，１２，１１，１２の間に収容された転
動体１５，１５とから成つている。
ライドの第一の実施例を示すもので、直線運動軸
受Ａと、上記直線運動軸受Ａに組み込まれた駆動
装置Ｂ、即ち直流リニアモータで構成されてい
る。直線運動軸受Ａはスライド方向に沿つて平行
に形成された２列のレース面１１，１２をその対
向面にもつ板状の固定部材１３及び板状の可動部
材１４と、上記両部材１３，１４の対向するレー
ス面１１，１２，１１，１２の間に収容された転
動体１５，１５とから成つている。
直流リニアモータＢは、固定部材１３と可動部
材１４との２列のレース面１１，１２間の中央に
配置されるもので、可動部材１４にはスライド方
向両端に、磁極の向きを逆にして２個の永久磁石
１６，１７を固設し、この２個の永久磁石１６，
１７の上部を磁性体１８で連結し、これと対向し
て固定部材１３にも磁性体１９を配置して上記永
久磁石１６，１７の磁束をスライド方向に沿つて
形成させ、かつ、この磁性体１９上に前記永久磁
石１６，１７と所定の隙間を持つて対向させ、し
かも、上記磁束と鎖交させてコイル２０を巻回配
置したものである。
材１４との２列のレース面１１，１２間の中央に
配置されるもので、可動部材１４にはスライド方
向両端に、磁極の向きを逆にして２個の永久磁石
１６，１７を固設し、この２個の永久磁石１６，
１７の上部を磁性体１８で連結し、これと対向し
て固定部材１３にも磁性体１９を配置して上記永
久磁石１６，１７の磁束をスライド方向に沿つて
形成させ、かつ、この磁性体１９上に前記永久磁
石１６，１７と所定の隙間を持つて対向させ、し
かも、上記磁束と鎖交させてコイル２０を巻回配
置したものである。
第４図及び第５図は、この発明の第二の実施例
で、上記第一の実施例の可動部材１４側に設けた
２個の永久磁石１６，１７の代わりに、アルニコ
系磁石２１を使用する場合であつて、この場合に
は、１個のアルニコ系磁石２１の両端の磁極Ｎ、
Ｓをスライド方向にして可動部材１４に取付け、
この磁石２１の両端に磁性体１８′，１８″を配置
したもので、他の構成は、前記第一の実施例と同
一である。即ち、永久磁石にアルニコ磁石を使用
するときは、上記構成とする方が効率がよい。
で、上記第一の実施例の可動部材１４側に設けた
２個の永久磁石１６，１７の代わりに、アルニコ
系磁石２１を使用する場合であつて、この場合に
は、１個のアルニコ系磁石２１の両端の磁極Ｎ、
Ｓをスライド方向にして可動部材１４に取付け、
この磁石２１の両端に磁性体１８′，１８″を配置
したもので、他の構成は、前記第一の実施例と同
一である。即ち、永久磁石にアルニコ磁石を使用
するときは、上記構成とする方が効率がよい。
上記第一及び第二実施例におけるコイル２０の
巻回配置構造は同一であつて、第６図に示す様
に、固定部材１３の磁性体１９上に、１本のコイ
ル２０を矩形渦巻状に巻回配置して、対辺をなす
部分では互いに逆向きの電流が流れるようにし
た、全体として薄板状のコイルであつて、一組の
対辺をなす部分を可動部材１４の移動方向と直交
させて配置したもので、これにより、アルニコ系
磁石２１の両磁極Ｎ、Ｓ、又は、２個の永久磁石
１６，１７の部分でコイル２０を流れる電流の向
きを逆にして磁束を横切らせることができる。即
ち、上記コイル２０に第６図で矢印イ方向に直流
電流を流せば、可動部材１４に第３図、第５図及
び第６図では右向きの推力が発生し、可動部材１
４を固定部材１３に対して右方向に移動させるこ
とができる。勿論、電流の向きを逆にすれば、可
動部材１４を逆方向に移動させることができる。
尚、可動部材１４の最大ストロークは、コイル２
０のスライド方向巻回幅ｌによつて設定される。
巻回配置構造は同一であつて、第６図に示す様
に、固定部材１３の磁性体１９上に、１本のコイ
ル２０を矩形渦巻状に巻回配置して、対辺をなす
部分では互いに逆向きの電流が流れるようにし
た、全体として薄板状のコイルであつて、一組の
対辺をなす部分を可動部材１４の移動方向と直交
させて配置したもので、これにより、アルニコ系
磁石２１の両磁極Ｎ、Ｓ、又は、２個の永久磁石
１６，１７の部分でコイル２０を流れる電流の向
きを逆にして磁束を横切らせることができる。即
ち、上記コイル２０に第６図で矢印イ方向に直流
電流を流せば、可動部材１４に第３図、第５図及
び第６図では右向きの推力が発生し、可動部材１
４を固定部材１３に対して右方向に移動させるこ
とができる。勿論、電流の向きを逆にすれば、可
動部材１４を逆方向に移動させることができる。
尚、可動部材１４の最大ストロークは、コイル２
０のスライド方向巻回幅ｌによつて設定される。
第７図は、直線運動軸受Ａの構成を変更した他
の実施例であつて、前記第一及び第二の実施例が
転動体１５を総ボール型としていたものを、保持
器２２付きに変更したもので、他の構成は前記実
施例と同一である。
の実施例であつて、前記第一及び第二の実施例が
転動体１５を総ボール型としていたものを、保持
器２２付きに変更したもので、他の構成は前記実
施例と同一である。
尚、以上の説明では直流リニアモータＢは、可
動部材１４側に永久磁石１６，１７またはアルニ
コ系磁石２１を固定した可動磁石型としたが、可
動部材１４側にコイル２０を固定した可動コイル
型直流リニアモータとしても何ら差し支えない。
動部材１４側に永久磁石１６，１７またはアルニ
コ系磁石２１を固定した可動磁石型としたが、可
動部材１４側にコイル２０を固定した可動コイル
型直流リニアモータとしても何ら差し支えない。
［発明の効果］
以上のように、この発明は、直線運動軸受の板
状の固定部材と板状の可動部材の間に、永久磁石
と矩形渦巻状に巻回し、全体として薄板状のコイ
ルとからなるブラシレスDCリニアモータを組み
込んだものであるから、縦方向、横方向ともにコ
ンパクトで、しかも、構造が簡単で案内精度およ
び軸受剛性が高く、可動部の慣性質量も小さいと
いう直線運動軸受の特性と、停止位置を無段階に
制御できるブラシレスDCリニアモータの特性と
が合理的に結合され、全体の形状及び重量をほぼ
極限まで小型軽量化し、サブミクロン精度の位置
決め機能をもつリニアスライドが容易に構成でき
る。とくに、コイルを平面渦巻形にし、全体とし
て薄板状にして板状の可動部材と板状の固定部材
の対向面間に配置することによりリニアモータの
駆動部を直線運動軸受に一体的に組み込んだの
で、全体として薄型コンパクトな構造で、重心バ
ランスも良好に構成することができる。また、永
久磁石の吸引力によつて直線運動軸受に常時予圧
を付与することになるため、案内精度および軸受
剛性が向上するという効果も得られる。
状の固定部材と板状の可動部材の間に、永久磁石
と矩形渦巻状に巻回し、全体として薄板状のコイ
ルとからなるブラシレスDCリニアモータを組み
込んだものであるから、縦方向、横方向ともにコ
ンパクトで、しかも、構造が簡単で案内精度およ
び軸受剛性が高く、可動部の慣性質量も小さいと
いう直線運動軸受の特性と、停止位置を無段階に
制御できるブラシレスDCリニアモータの特性と
が合理的に結合され、全体の形状及び重量をほぼ
極限まで小型軽量化し、サブミクロン精度の位置
決め機能をもつリニアスライドが容易に構成でき
る。とくに、コイルを平面渦巻形にし、全体とし
て薄板状にして板状の可動部材と板状の固定部材
の対向面間に配置することによりリニアモータの
駆動部を直線運動軸受に一体的に組み込んだの
で、全体として薄型コンパクトな構造で、重心バ
ランスも良好に構成することができる。また、永
久磁石の吸引力によつて直線運動軸受に常時予圧
を付与することになるため、案内精度および軸受
剛性が向上するという効果も得られる。
第１図は公知の位置決め装置の概略図、第２図
は本発明の第一の実施例を示す主要部縦断正面
図、第３図は第２図Ｘ−Ｘ線に於ける縦断側面
図、第４図は第二の実施例を示す主要部縦断正面
図、第５図は第４図のＹ−Ｙ線に於ける縦断側面
図、第６図は第４図の概略平面図、第７図は、本
発明の更に他の実施例を示す主要部縦断正面図で
ある。 １３……固定部材、１４……可動部材、１５…
…転動体、１６，１７……永久磁石、１８，１
８′，１８″，１９……磁性体、２０……コイル、
２１……アルニコ系磁石、Ａ……直線運動軸、Ｂ
……可動部材を移動させるための駆動装置（直流
リニアモータ。）
は本発明の第一の実施例を示す主要部縦断正面
図、第３図は第２図Ｘ−Ｘ線に於ける縦断側面
図、第４図は第二の実施例を示す主要部縦断正面
図、第５図は第４図のＹ−Ｙ線に於ける縦断側面
図、第６図は第４図の概略平面図、第７図は、本
発明の更に他の実施例を示す主要部縦断正面図で
ある。 １３……固定部材、１４……可動部材、１５…
…転動体、１６，１７……永久磁石、１８，１
８′，１８″，１９……磁性体、２０……コイル、
２１……アルニコ系磁石、Ａ……直線運動軸、Ｂ
……可動部材を移動させるための駆動装置（直流
リニアモータ。）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 板状の固定部材と板状の可動部材とを対向さ
せ、互いに対向する面に、可動部材の移動方向に
平行して直線状に伸びる２列のレース面を互いに
対向させて形成し、上記互いに対向するレース面
の間に転動体を介在させて、可動部材の重量に加
えて可動部材の移動方向と直交する方向の荷重を
支承させた直線運動軸受と、上記両部材の互いに
対向する面のどちらか一方に固定した直流電流通
電用のコイルと、他方の部材の２本のレース面の
間に固定した永久磁石とからなる、可動部材を移
動させるための駆動装置とからなり、 上記一方の部材の対向面に固定したコイルは、
１本のワイヤを矩形渦巻状に巻回して対辺をなす
部分では互いに逆向きの電流が流れるようにし
た、全体として薄板状のコイルであつて、一組の
対辺をなす部分を可動部材の移動方向と直交させ
て配置し、 上記他方の部材に固定した永久磁石は、可動部
材の移動方向とコイルの前記一組の対辺をなす部
分と双方に対し直交する磁束を形成させる磁極の
向きに配置したことを特徴とするリニアスライ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12207283A JPS6016335A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | リニアスライド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12207283A JPS6016335A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | リニアスライド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6016335A JPS6016335A (ja) | 1985-01-28 |
| JPH0375294B2 true JPH0375294B2 (ja) | 1991-11-29 |
Family
ID=14826945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12207283A Granted JPS6016335A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | リニアスライド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6016335A (ja) |
Families Citing this family (12)
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| JPS61293741A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-24 | Hiroshi Teramachi | テ−ブル移送装置 |
| JPS61293740A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-24 | Hiroshi Teramachi | テ−ブル移送装置 |
| JPS6228146A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-06 | Hiroshi Teramachi | リニアモ−タ付ｘｙテ−ブル |
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| JPS63160078U (ja) * | 1987-04-09 | 1988-10-19 | ||
| JP2528123Y2 (ja) * | 1987-12-03 | 1997-03-05 | 株式会社 トーキン | リニア直流モータ |
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Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49100518A (ja) * | 1973-01-31 | 1974-09-24 |
-
1983
- 1983-07-04 JP JP12207283A patent/JPS6016335A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49100518A (ja) * | 1973-01-31 | 1974-09-24 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6016335A (ja) | 1985-01-28 |
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