JPH0727060Y2 - スライド装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、適宜ワークの搬送に使用されるスライド装
置に係り、さらに詳しくは真直なガイド部材の外側にワ
ーク支持用のテーブルを静圧軸受を介してスライド自在
に支持し、そのテーブルとガイド部材との間にリニアモ
ータを組込む、このリニアモータの作動によってテーブ
ルをガイド部材に対して非接触の状態で移動させるよう
にしたスライド装置に関するものである。

〔従来の技術〕

上記スライド装置の従来技術といて第５図に示したもの
が存在する。このスライド装置は、真直な四角形状のガ
イド部材30の外側に、上板31、下板32および一対の側板
33から成るテーブル34をスライド自在に取付け、そのテ
ーブル34の内周面とガイド部材30との間に微小な軸受す
きま35を形成し、上記テーブル34に形成した複数のノズ
ル36から軸受すきま35に圧縮空気を供給してテーブル34
をガイド部材30に対して非接触の状態に保持するように
している。

また、テーブル34の下面両側に一対の支持板37を設け、
その支持板37の内面にマグネット38を取付け、そのマグ
ネット38とでリニアモータＭを形成するステータ39を一
対のマグネット38間に配置して基盤40で支持し、上記リ
ニアモータＭの作動によってテーブル34をガイド部材30
に沿ってスライドさせるようにしている。

〔考案が解決しようとする課題〕

ところで、上記従来のスライド装置においては、テーブ
ル34がガイド部材30を囲む筒状であり、そのテーブル34
の下側にリニアモータＭを組込んだ構成であるため、高
さが高く、大型化する不都合がある。

また、テーブル34の上板31、下板32および一対の側板3
3、33がガイド部材30の各面と平行し、かつガイド部材3
0の各面との間に形成される軸受すきま35が均一になる
ようテーブル34を精度よく組立てる必要があるため、組
立てに非常に手間がかかり、さらに、テーブル34が重量
物であるため、ストロークの長いスライド装置では、ガ
イド部材30が撓み、真直度が悪くなる不都合もある。

この発明の課題は、高さが低い小型の組立ての容易な、
真直度に優れたスライド装置を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題を解決するために、この考案においては、上
側部および両側部に平坦な案内面を有するガイド部材
と、そのガイド部材の上側案内面および両側案内面の上
部に沿ってスライド自在に設けられ、上記両側案内面と
の間に微小なスライド隙間が形成された断面コの字形の
テーブルとから成り、上記ガイド部材の上側案内面にお
ける幅方向中央部にガイド部材の長手方向に延びる溝を
形成し、その溝底部に鉄芯にコイルを巻回したステータ
を取付け、上記テーブルの下面には、上記ステータとで
リニアモータを形成する永久磁石を取付けると共に、そ
のテーブルにガイド部材の上側案内面および両側案内面
に向けて圧縮空気を噴射する複数のノズルを設け、上記
テーブルの両側下部とガイド部材の両側案内面における
下部間に吸引機構を設けた構成としている。

ここで、吸引機構として、ガイド部材の両側案内面の下
部に取付けられた強磁性体から成るプレートと、テーブ
ルの側板下部に取付けられた永久磁石とから成るもの、
あるいはガイド部材の両側案内面の下部に取付けられた
プレートと、テーブルの側板下面に設けられたポケット
およびそのポケット内に吸引力を付与する通路とから成
るものを採用することができる。

〔作用〕

上記のように構成されたスライド装置のノズルからガイ
ド部材の上側案内面および両側案内面間に圧縮空気を供
給することにより、ガイド部材との間に形成される空気
膜によって、テーブルはガイド部材に対して非接触の状
態に保持される。その状態でリニアモータを作動するこ
とにより、テーブルは、ガイド部材に対して非接触の状
態で移動する。

上記テーブルの移動時、吸引機構の吸引力はテーブルの
上板両側部を引き下げる。その引き下げ力は、リニアモ
ータの吸引力とノズルからガイド部材の案内面に噴射さ
れる圧縮空気の反発力とによって上板の両側部を押し上
げて上記上板に反りを生じさせようとする力と逆向きに
作用するため、上板に反りが生じるのを防止することが
できる。

〔実施例〕

以下、この考案の実施例を第１図乃至第４図に基づいて
説明する。

第１図乃至第３図は、この考案に係るスライド装置の第
１の実施例を示す。このスライド装置は、真直なガイド
部材１と、そのガイド部材１に沿ってスライド自在に取
付けられるテーブル２とから構成される。

ガイド部材１の上面には、幅方向の中央部に溝３が形成
され、その溝３の両側上方に形成された平坦面が案内面
４とされている。また、ガイド部材１の両側面も案内面
５とされている。

テーブル２は上板６と、その上板６の下面両側に設けら
れた一対の側板７から成っている。このテーブル２は、
上板６がガイド部材１の上側案内面４と対向し、かつ一
対の側板７が両側案内面５と対向するようガイド部材１
の外側に嵌め合わされる。

テーブル２の一対の側板７の内面間の寸法は、ガイド部
材１の両側案内面５間の寸法より少し大きくなってい
る。このため、テーブル２をガイド部材１の外側に嵌め
合わせることによって、ガイド部材１の両側案内面５と
一対の側板７の内面間に微小なスライド隙間８が形成さ
れる。

上記ガイド部材１における溝３の底部とテーブル２にお
ける上板６の下面間には、テーブル２に対して常時ガイ
ド部材側に吸引力を付与し、かつ、電流を流すことによ
り推進力を付与するリニアモータＭが組込まれている。

ここで、リニアモータＭは、鉄芯９と外側にコイル10を
巻付けたステータ11と、強磁性体から成る板状のヨーク
12に永久磁石13を取付けた複合２次側部材14とから成
り、上記ステータ11は、溝３の底部に配置され、一方、
複合２次側部材14は上板６の下面に取付けられる。

前記テーブル２の上板６および一対の側板７には、ノズ
ル15が形成され、そのノズル15に圧縮空気を供給する
と、この圧縮空気は、上板６の下面および側板７の内面
に形成した噴射溝16からガイド部材１の上側案内面４お
よび両側案内面５に向けて噴射する。

なお、圧縮空気の供給に際しては、各ノズル15をテーブ
ル２に形成した通路で連通し、その通路に圧縮空気を供
給する方法、あるいはノズル15に単独に圧縮空気を供給
する方法を採用することができる。

前記ガイド部材１の両側案内面５における下部とテーブ
ル２の側板７における下部間には、上記テーブル２の両
側部を引き下げれる吸引機構Ｘが設けられている。

吸引機構Ｘは、ガイド部材１の両側案内面５の下部に強
磁性体から成るプレート17を取付け、一方、テーブル２
の側板７の下部に、一対のヨーク18で挟まれた永久磁石
19を取付け、その永久磁石19とプレート17間に作用する
磁気吸引力によってテーブル２の両側部を引き下げるよ
うにしている。

第１の実施例で示すスライド装置は上記の構造から成
り、このスライド装置は、テーブルでワークを支持し、
そのテーブルの移動によってワークを所定の位置まで搬
送するのである。

テーブルの移動に際しては、ノズル15に圧縮空気を供給
した状態において、リニアモータＭを作動させる。

いま、ノズル15に圧縮空気を供給すると、その圧縮空気
は、噴射溝16からガイド部材１の上側案内面４および両
側案内面５に向けて噴射し、各案内面４、５との間に空
気膜を形成する。このため、テーブル２は、ガイド部材
１に対して非接触の状態に保持される。

上記の状態において、リニアモータＭを形成するステー
タ11のコイル10に電流を流すと、テーブル２に推力が付
与されるため、テーブル２は、ガイド部材１に対して非
接触の状態で移動する。

上記テーブル２を所定の位置まで移動させたのち、コイ
ル10に対する通電を停止すると、テーブル２が停止す
る。このとき、永久磁石13の吸引力によってテーブル２
に移動方向のダンピング作用が生じるため、制御回路に
電気的なダンピング要素を入れる必要がなくなり、制御
回路の容易化を図ることができる。

なお、上記ステータ11をテーブル２の下面に取付け、永
久磁石13をガイド部材１の溝３の底部に配置させた構成
のリニアモータでも、前述したダンピング作用が生じ
る。

しかし、ストロークの長いスライド装置では、長尺の永
久磁石が作りにくいこともあって、短尺の永久磁石を等
間隔に配置させるようにしなければならない。そのた
め、上記構成のリニアモータでは、永久磁石の突合せ部
で推進力の変動が発生し、精度の高いスライド装置を得
ることができない。

リニアモータＭの作動によるテーブル２の移動時、プレ
ート17と永久磁石19との間に吸引力が作用し、その吸引
力は、リニアモータＭの吸引力と、ノズル15からガイド
部材１の案内面４、５に噴射される圧縮空気の反発力と
によって上板６の両側部を押し上げて上記上板６に反り
を生じさせようとする力を軽減させるように作用する。

このため、上板６として、厚み薄い剛性の低いものを用
いることができ、スライド装置の高さ方向のコンパクト
化を図ることができる。

第４図は、この考案に係るスライド装置の第２の実施例
を示す、この第２の実施例においては、第１の実施例で
示す磁気的な吸引機構Ｘに代えて、ガイド部材１の両側
案内面５の下部にプレート20を取付け、そのプレート20
との対向する側板７の下面にポケット21を形成し、この
ポケット21に連通させた通路22に吸引力を付与して側板
７を引き下げるようにしている。

上記第２の実施例において、第１の実施例と同様の作用
効果を奏する。

〔考案の効果〕

以上のように、この考案に係るスライド装置において
は、ガイド部材に沿ってスライド自在のテーブルをコの
字形とし、そのテーブルに推力を付与するリニアモータ
をガイド部材の上側案内面に形成した溝内に収納したの
で、スライド装置の薄形化を図ることができる。

また、テーブルの両側下部とガイド部材の両側案内面に
おける下部間に設けた吸引機構の吸引力は、上記リニア
モータの吸引力とノズルから流出する圧縮空気の噴射に
よる反力とによってテーブルの上板に反りを与えようと
する力を軽減させるため、テーブルの上板の厚みを薄く
することができ、スライド装置の高さを可及的に低くす
ることができると共に、テーブルの軽量化を図ることが
できる。

さらに、テーブルは、ガイド部材の上側の嵌め合わせる
組立てであって、テーブルとガイド部材相互間における
上下方向のすきま出しが不要であるため、組立てが容易
である。

また、テーブルが計量であるため、ガイド部材を長くし
た場合でもガイド部材のたわみがきわめて小さく、スト
ロークの長いスライド装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案に係るスライド装置の第１の実施例
を示す一部切欠平面図、第２図は同上のテーブルの底面
図、第３図は第１図の縦断正面図、第４図は同上スライ
ド装置の第２の実施例を示す縦断正面図、第５図は従来
のスライド装置を示す縦断正面図である。 １……ガイド部材,2……テーブル,4……上側案内面,5…
…両側案内面,8……スライド隙間,M……リニアモータ,9
……鉄芯,10……コイル,13……永久磁石,15……ノズル,
M……吸引機構,17……プレート,19……永久磁石,20……
プレート,21……ポケット,22……通路

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】上側部および両側部に平坦な案内面を有す
   るガイド部材と、そのガイド部材の上側案内面および両
   側案内面の上部に沿ってスライド自在に設けられ、上記
   両側案内面との間に微小なスライド隙間が形成された断
   面コの字形のテーブルとから成り、上記ガイド部材の上
   側案内面における幅方向中央部にガイド部材の長手方向
   に延びる溝を形成し、その溝底部に鉄芯にコイルを巻回
   したステータを取付け、上記テーブルの下面には、上記
   ステータとでリニアモータを形成する永久磁石を取付け
   ると共に、そのテーブルにガイド部材の上側案内面およ
   び両側案内面に向けて圧縮空気を噴射する複数のノズル
   を設け、上記テーブルの両側下部とガイド部材の両側案
   内面における下部間に吸引機構を設けたスライド装置。
2. 【請求項２】前記吸引機構が、ガイド部材の両側案内面
   の下部に取付けられた強磁性体から成るプレートと、テ
   ーブルの側板下部に取付けられた永久磁石とから成る請
   求項１に記載のスライド装置。
3. 【請求項３】前記吸引機構が、ガイド部材の両側案内面
   の下部に取付けられたプレートと、テーブルの側板下面
   に設けられたポケットおよびそのポケット内に吸引力を
   付与する通路とから成る請求項１に記載のスライド装
   置。