JPH0215837U - - Google Patents

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JPH0215837U
JPH0215837U JP9329888U JP9329888U JPH0215837U JP H0215837 U JPH0215837 U JP H0215837U JP 9329888 U JP9329888 U JP 9329888U JP 9329888 U JP9329888 U JP 9329888U JP H0215837 U JPH0215837 U JP H0215837U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案に係るスライド装置の第１
の実施例を示す一部切欠平面図、第２図は同上の
縦断正面図、第３図は同上のテーブルの底面図、
第４図は同上スライド装置の第２の実施例を示す
縦断正面図、第５図は同上スライド装置の第３の
実施例を示す縦断正面図、第６図は同上スライド
装置の第４の実施例を示す縦断正面図、第７図は
同上テーブルの底面図、第８図は第４実施例のス
ライド装置における振動試験結果を示すグラフ、
第９図は第１実施例のスライド装置における振動
試験結果を示すグラフ、第１０図は従来のスライ
ド装置を示す断面図である。 １……ガイド部材、２……テーブル、４……上
側案内面、５……両側案内面、８……スライド隙
間、Ｍ……リニアモータ、１５……ノズル、Ｘ，
Ｘ′……吸引機構、２３……静圧軸受部、２４…
…ランド部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上側部および両側部に平坦な案内面を有す
    るガイド部材と、そのガイド部材の上側案内面お
    よび両側案内面の上部に沿つてスライド自在に設
    けられ、上記両側案内面との間に微少なスライド
    隙間が形成された断面コの字形のテーブルとから
    成り、上記ガイド部材の幅略中央部に長手方向に
    延びる溝を形成して、上記テーブルとガイド部材
    との間において、上記ガイド部材には鉄芯及び該
    鉄芯に巻回したコイル、上記テーブルの下面には
    永久磁石を夫々対向配置してテーブルに推進力を
    付与するリニアモータを構成し、上記テーブルに
    は、ガイド部材の上側案内面および両側案内面に
    向けて圧縮空気を噴射する複数のノズルを設けた
    スライド装置。 (2) テーブルの両側下部とガイド部材の両側案
    内面における下部間に吸引機構を設けた請求項１
    記載のスライド装置。 (3) ガイド部材の上側案内面及び両側案内面の
    うち少なくとも一方と対向するテーブルの面に、
    静圧軸受部と、ランド部とを設け、上記静圧軸受
    部にノズルの先端を開口させた請求項１記載のス
    ライド装置。
JP1988093298U 1988-07-14 1988-07-14 スライド装置 Expired - Fee Related JPH0727060Y2 (ja)

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JPH0727060Y2 JPH0727060Y2 (ja) 1995-06-21

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11294456A (ja) * 1998-04-09 1999-10-26 Nippon Seiko Kk 静圧空気軸受直線案内装置
JP2012152892A (ja) * 2011-01-21 2012-08-16 Fritz Studer Ag 移動式キャリッジと直線ガイドを備えた装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5123111U (ja) * 1974-08-09 1976-02-20
JPS6016335A (ja) * 1983-07-04 1985-01-28 Ntn Toyo Bearing Co Ltd リニアスライド
JPS61209838A (ja) * 1985-03-12 1986-09-18 Omron Tateisi Electronics Co 一軸ステ−ジ
JPS6321537U (ja) * 1986-07-28 1988-02-12

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JPH0727060Y2 (ja) 1995-06-21

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