JP2002034231A - リニアスライダ - Google Patents
リニアスライダInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 永久磁石とコア間の磁気的空隙の幅が磁気吸
引力による変化せずに、推力の変動をなくすことができ
る、小型・軽量のリニアスライダを提供する。 【解決手段】 固定台１に平行に対向配置されたフレー
ム１４と、フレーム１４を案内支持する一対の第１のリ
ニアガイド２と、固定台１上に垂直に配設した界磁ヨー
ク６と永久磁石７よりなるリニアモータ５の固定子と、
コア８にコイル９を巻回したリニアモータ５の可動子と
を備えたリニアスライダにおいて、フレーム１４をコ字
状断面に、固定台１を平板状断面として、フレーム１４
の脚部１４Ａと固定台１との間に第１リニアガイド２を
配置してある。また、リニアモータ５の固定子を固定台
１上の中央に配置し、リニアモータ５の可動子をフレー
ム１４の脚部１４Ａの内側に配置して、リニアモータ５
の固定子のフレーム１４側とフレーム１４の凹部１４Ｂ
との間に第２のリニアガイド１１を配置した。
引力による変化せずに、推力の変動をなくすことができ
る、小型・軽量のリニアスライダを提供する。 【解決手段】 固定台１に平行に対向配置されたフレー
ム１４と、フレーム１４を案内支持する一対の第１のリ
ニアガイド２と、固定台１上に垂直に配設した界磁ヨー
ク６と永久磁石７よりなるリニアモータ５の固定子と、
コア８にコイル９を巻回したリニアモータ５の可動子と
を備えたリニアスライダにおいて、フレーム１４をコ字
状断面に、固定台１を平板状断面として、フレーム１４
の脚部１４Ａと固定台１との間に第１リニアガイド２を
配置してある。また、リニアモータ５の固定子を固定台
１上の中央に配置し、リニアモータ５の可動子をフレー
ム１４の脚部１４Ａの内側に配置して、リニアモータ５
の固定子のフレーム１４側とフレーム１４の凹部１４Ｂ
との間に第２のリニアガイド１１を配置した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工作機または半導
体製造装置等のテーブル送りに利用されるリニアスライ
ダに関するものである。
体製造装置等のテーブル送りに利用されるリニアスライ
ダに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、工作機または半導体製造装置等の
テーブル送りに利用されると共に、リニアモータによ
り、テーブルを固定台に対して自在に移動させることの
できるリニアスライダは、図５のようになっている。図
５は、従来のリニアモータにおける推力方向から見た正
断面図を示している。なお、図では、界磁極の両側で電
機子が対向配置される磁束貫通型構造で、かつ、ムービ
ングコイル形のリニアモータの例を用いて説明する。図
において、３１は固定台、３２は固定台３１上で左右両
端に設けたガイドレール、３３はガイドレール３２と対
でリニアガイドを構成するスライダ、３４はガイドレー
ル３２上の長手方向（紙面と垂直方向）に沿って移動す
るように設けた平板状のフレームであって、フレーム３
４の上面には被搭載物を載置する図示しないテーブルを
固定する。３５はリニアモータ、３６は固定台３１上に
垂直に固定した界磁ヨーク、３７は界磁ヨーク３６を固
定台３１に固定するヨーク支持板、３８は界磁ヨーク３
６上の長手方向（紙面と垂直方向）に沿って複数並べて
配設した永久磁石、３９は永久磁石３８と磁気的空隙を
介して対向配置され、電磁鋼板を積層して成るコア、４
０はコア３９の巻線収納部に巻回して成るコイルで、コ
イル４０の周囲を図示しない樹脂モールドによりコア３
９に固着している。４１はコア３９をフレーム３４に固
定するためのコの字状をしたコア支持板である。特に、
コア付きのリニアモータの場合において、電機子部のコ
イル４０に電流を流して励磁し、可動子がリニアガイド
の長手方向に向かって走行する時に、可動子に１０００
Ｎ乃至３０００Ｎの推力が働き、永久磁石３８とコア３
９間の磁気的空隙部では推力の数倍におよぶ磁気吸引力
が働いているため、リニアモータ３５は、界磁ヨーク３
６と永久磁石３８とからなるリニアモータ界磁部（固定
子）の両面にコア３９とコイル４０とからなるリニアモ
ータ電機子部（可動子）を構配置することで磁気吸引力
を相殺させるようにしている。
テーブル送りに利用されると共に、リニアモータによ
り、テーブルを固定台に対して自在に移動させることの
できるリニアスライダは、図５のようになっている。図
５は、従来のリニアモータにおける推力方向から見た正
断面図を示している。なお、図では、界磁極の両側で電
機子が対向配置される磁束貫通型構造で、かつ、ムービ
ングコイル形のリニアモータの例を用いて説明する。図
において、３１は固定台、３２は固定台３１上で左右両
端に設けたガイドレール、３３はガイドレール３２と対
でリニアガイドを構成するスライダ、３４はガイドレー
ル３２上の長手方向（紙面と垂直方向）に沿って移動す
るように設けた平板状のフレームであって、フレーム３
４の上面には被搭載物を載置する図示しないテーブルを
固定する。３５はリニアモータ、３６は固定台３１上に
垂直に固定した界磁ヨーク、３７は界磁ヨーク３６を固
定台３１に固定するヨーク支持板、３８は界磁ヨーク３
６上の長手方向（紙面と垂直方向）に沿って複数並べて
配設した永久磁石、３９は永久磁石３８と磁気的空隙を
介して対向配置され、電磁鋼板を積層して成るコア、４
０はコア３９の巻線収納部に巻回して成るコイルで、コ
イル４０の周囲を図示しない樹脂モールドによりコア３
９に固着している。４１はコア３９をフレーム３４に固
定するためのコの字状をしたコア支持板である。特に、
コア付きのリニアモータの場合において、電機子部のコ
イル４０に電流を流して励磁し、可動子がリニアガイド
の長手方向に向かって走行する時に、可動子に１０００
Ｎ乃至３０００Ｎの推力が働き、永久磁石３８とコア３
９間の磁気的空隙部では推力の数倍におよぶ磁気吸引力
が働いているため、リニアモータ３５は、界磁ヨーク３
６と永久磁石３８とからなるリニアモータ界磁部（固定
子）の両面にコア３９とコイル４０とからなるリニアモ
ータ電機子部（可動子）を構配置することで磁気吸引力
を相殺させるようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術で
は、仮に界磁ヨーク３６の中心が固定台３１の中心に対
して左右に偏心して取付けられていると、可動子を推力
方向に走行させたときに、磁気吸引力によって永久磁石
３８とコア３９の間にある磁気的空隙の幅Ｇ１、Ｇ２の
何れか一方が広く他方が狭くなり、しかも界磁ヨーク３
６が固定台３１に片持ち支持されているためたわみを生
じやすく、磁気的空隙の幅Ｇ１、Ｇ２の寸法精度がさら
に悪化して推力が変動するという問題があった。また、
コア支持板４１の内側両面に固着されたコア３９にも、
磁気吸引力が働いており、フレーム３４にコア支持板４
１を片持ちで支持してため、フレーム３４のコア３９を
固着する部分にたわみが生じ、永久磁石３８とコア３９
の間にある磁気的空隙の幅Ｇ１、Ｇ２の寸法精度に悪影
響を与え、推力が変動するという問題があった。その結
果、リニアモータ３５の可動子の推力が変動すると、可
動子をリニアガイドに沿って移動させた場合に可動子の
ヨーイングやローリング方向の運動精度を悪化させ、リ
ニアガイドの摩擦抵抗による寿命低下や位置決め精度が
悪くなるという問題があった。そこで、磁気吸引力によ
って、永久磁石３８とコア３９間における磁気的空隙の
幅Ｇ１、Ｇ２に差が生じた際のたわみを少なくするため
に、界磁ヨーク３６の板厚またはコア支持板４１のコア
固着部分の板厚を厚くするなどして剛性を高めようとす
ると、かえって界磁ヨーク３６、コア支持板４１が大型
化し、重量が大きくなるという問題があった。本発明
は、上記問題を解決するためになされたものであり、永
久磁石と電機子のコア間における磁気的空隙の幅が磁気
吸引力による変化することなく、推力の変動をなくすこ
とができると共に、小型・軽量のリニアスライダを提供
することを目的とする。
は、仮に界磁ヨーク３６の中心が固定台３１の中心に対
して左右に偏心して取付けられていると、可動子を推力
方向に走行させたときに、磁気吸引力によって永久磁石
３８とコア３９の間にある磁気的空隙の幅Ｇ１、Ｇ２の
何れか一方が広く他方が狭くなり、しかも界磁ヨーク３
６が固定台３１に片持ち支持されているためたわみを生
じやすく、磁気的空隙の幅Ｇ１、Ｇ２の寸法精度がさら
に悪化して推力が変動するという問題があった。また、
コア支持板４１の内側両面に固着されたコア３９にも、
磁気吸引力が働いており、フレーム３４にコア支持板４
１を片持ちで支持してため、フレーム３４のコア３９を
固着する部分にたわみが生じ、永久磁石３８とコア３９
の間にある磁気的空隙の幅Ｇ１、Ｇ２の寸法精度に悪影
響を与え、推力が変動するという問題があった。その結
果、リニアモータ３５の可動子の推力が変動すると、可
動子をリニアガイドに沿って移動させた場合に可動子の
ヨーイングやローリング方向の運動精度を悪化させ、リ
ニアガイドの摩擦抵抗による寿命低下や位置決め精度が
悪くなるという問題があった。そこで、磁気吸引力によ
って、永久磁石３８とコア３９間における磁気的空隙の
幅Ｇ１、Ｇ２に差が生じた際のたわみを少なくするため
に、界磁ヨーク３６の板厚またはコア支持板４１のコア
固着部分の板厚を厚くするなどして剛性を高めようとす
ると、かえって界磁ヨーク３６、コア支持板４１が大型
化し、重量が大きくなるという問題があった。本発明
は、上記問題を解決するためになされたものであり、永
久磁石と電機子のコア間における磁気的空隙の幅が磁気
吸引力による変化することなく、推力の変動をなくすこ
とができると共に、小型・軽量のリニアスライダを提供
することを目的とする。
【０００４】
【問題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
め、請求項１の本発明は、固定台に平行に対向配置され
たフレームと、前記フレームの両側に設けられ、かつ、
前記フレームを移動自在に案内支持するガイドレールと
スライダからなる一対の第１のリニアガイドと、前記固
定台上に垂直に互いに対向するように間隔を置いて２個
配設してなるリニアモータ界磁部と、前記リニアモータ
界磁部と一定の空隙を介して対向配置されたリニアモー
タ電機子部とを備え、前記リニアモータ界磁部と前記リ
ニアモータ電機子部の何れか一方を固定子に他方を可動
子として、可動子を前記第１のリニアガイド上に沿って
往復動させるようにしたリニアスライダにおいて、前記
フレームをコ字状の断面形状とし、前記固定台を平板状
の断面形状とすると共に、前記フレームを構成する脚部
と前記固定台との間に前記第１のリニアガイドを配置し
てあり、前記リニアモータの固定子を前記固定台上の中
央に配置し、可動子を前記フレームの脚部の内側に配置
すると共に、前記リニアモータの固定子のフレーム側と
前記フレームを構成する凹部との間に第２のリニアガイ
ドを配置したものである。請求項２の本発明は、請求項
１に記載のリニアスライダにおいて、前記リニアモータ
界磁部は磁性体からなる界磁ヨークに沿って交互に磁極
が異なる複数の永久磁石より構成されると共に、前記リ
ニアモータ電機子部はコアにコイルを巻装して構成され
たものである。請求項３の本発明は、請求項１に記載の
リニアスライダにおいて、前記リニアモータ界磁部は磁
性体からなる界磁ヨークに沿って交互に磁極が異なる複
数の永久磁石より構成されると共に、前記リニアモータ
電機子部はコイルを樹脂モールドにより偏平状に固着し
て構成されたものである。請求項４の本発明は、固定台
に平行に対向配置された被搭載物を保持するフレーム
と、前記フレームの両側に設けられ、かつ、前記フレー
ムを移動自在に案内支持するガイドレールとスライダか
らなる一対の第１のリニアガイドと、前記固定台上に垂
直に互いに対向するように間隔を置いて２個配設してな
るリニアモータ界磁部と、前記リニアモータ界磁部と一
定の空隙を介して対向配置されたリニアモータ電機子部
とを備え、前記リニアモータ界磁部と前記リニアモータ
電機子部の何れか一方を固定子に他方を可動子として、
可動子を前記第１のリニアガイド上に沿って往復動させ
るようにしたリニアスライダにおいて、前記フレームを
平板状の断面形状とし、前記固定台をコ字状の断面形状
とすると共に、前記フレームと前記固定台を構成する脚
部との間に前記第１のリニアガイドを配置してあり、前
記リニアモータの可動子を前記フレームの下側中央に配
置し、固定子を前記固定台の脚部の内側に配置すると共
に、前記リニアモータの可動子の固定台側と前記固定台
を構成する凹部との間に第２のリニアガイドを配置した
ものである。請求項５の本発明は、請求項４に記載のリ
ニアスライダにおいて、前記リニアモータ界磁部は磁性
体からなる界磁ヨークに沿って交互に磁極が異なる複数
の永久磁石より構成されると共に、前記リニアモータ電
機子部はコアにコイルを巻装して構成されたものであ
る。請求項６の本発明は、請求項４に記載のリニアスラ
イダにおいて、前記リニアモータ界磁部は磁性体からな
る界磁ヨークに沿って交互に磁極が異なる複数の永久磁
石より構成されると共に、前記リニアモータ電機子部は
コイルを樹脂モールドにより偏平状に固着して構成され
たものである。
め、請求項１の本発明は、固定台に平行に対向配置され
たフレームと、前記フレームの両側に設けられ、かつ、
前記フレームを移動自在に案内支持するガイドレールと
スライダからなる一対の第１のリニアガイドと、前記固
定台上に垂直に互いに対向するように間隔を置いて２個
配設してなるリニアモータ界磁部と、前記リニアモータ
界磁部と一定の空隙を介して対向配置されたリニアモー
タ電機子部とを備え、前記リニアモータ界磁部と前記リ
ニアモータ電機子部の何れか一方を固定子に他方を可動
子として、可動子を前記第１のリニアガイド上に沿って
往復動させるようにしたリニアスライダにおいて、前記
フレームをコ字状の断面形状とし、前記固定台を平板状
の断面形状とすると共に、前記フレームを構成する脚部
と前記固定台との間に前記第１のリニアガイドを配置し
てあり、前記リニアモータの固定子を前記固定台上の中
央に配置し、可動子を前記フレームの脚部の内側に配置
すると共に、前記リニアモータの固定子のフレーム側と
前記フレームを構成する凹部との間に第２のリニアガイ
ドを配置したものである。請求項２の本発明は、請求項
１に記載のリニアスライダにおいて、前記リニアモータ
界磁部は磁性体からなる界磁ヨークに沿って交互に磁極
が異なる複数の永久磁石より構成されると共に、前記リ
ニアモータ電機子部はコアにコイルを巻装して構成され
たものである。請求項３の本発明は、請求項１に記載の
リニアスライダにおいて、前記リニアモータ界磁部は磁
性体からなる界磁ヨークに沿って交互に磁極が異なる複
数の永久磁石より構成されると共に、前記リニアモータ
電機子部はコイルを樹脂モールドにより偏平状に固着し
て構成されたものである。請求項４の本発明は、固定台
に平行に対向配置された被搭載物を保持するフレーム
と、前記フレームの両側に設けられ、かつ、前記フレー
ムを移動自在に案内支持するガイドレールとスライダか
らなる一対の第１のリニアガイドと、前記固定台上に垂
直に互いに対向するように間隔を置いて２個配設してな
るリニアモータ界磁部と、前記リニアモータ界磁部と一
定の空隙を介して対向配置されたリニアモータ電機子部
とを備え、前記リニアモータ界磁部と前記リニアモータ
電機子部の何れか一方を固定子に他方を可動子として、
可動子を前記第１のリニアガイド上に沿って往復動させ
るようにしたリニアスライダにおいて、前記フレームを
平板状の断面形状とし、前記固定台をコ字状の断面形状
とすると共に、前記フレームと前記固定台を構成する脚
部との間に前記第１のリニアガイドを配置してあり、前
記リニアモータの可動子を前記フレームの下側中央に配
置し、固定子を前記固定台の脚部の内側に配置すると共
に、前記リニアモータの可動子の固定台側と前記固定台
を構成する凹部との間に第２のリニアガイドを配置した
ものである。請求項５の本発明は、請求項４に記載のリ
ニアスライダにおいて、前記リニアモータ界磁部は磁性
体からなる界磁ヨークに沿って交互に磁極が異なる複数
の永久磁石より構成されると共に、前記リニアモータ電
機子部はコアにコイルを巻装して構成されたものであ
る。請求項６の本発明は、請求項４に記載のリニアスラ
イダにおいて、前記リニアモータ界磁部は磁性体からな
る界磁ヨークに沿って交互に磁極が異なる複数の永久磁
石より構成されると共に、前記リニアモータ電機子部は
コイルを樹脂モールドにより偏平状に固着して構成され
たものである。
【０００５】
【本発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基
づいて説明する。図１は、本発明の第１の実施例を示す
リニアモータの推力方向から見た正断面図である。な
お、本発明が従来と同じ構成要素については同一符号を
付してその説明を省略し、異なる点のみ説明する。図に
おいて、１は固定台、２は第１のリニアガイド、３はガ
イドレール、４はスライダ、５はリニアモータ、６は界
磁ヨーク、７は永久磁石、８はコア、９はコイル、１１
は第２のリニアガイド、１２はガイドレール、１３はス
ライダ、１４はフレームである。本発明が従来と異なる
点は、以下のとおりである。フレーム１４をコ字状の断
面形状とし、固定台１を平板状の断面形状とすると共
に、フレーム１４を構成する脚部１４Ａと固定台１との
間に第１リニアガイド２を配置し、リニアモータ５の固
定子を固定台上の中央に配置し、可動子をフレーム１４
の脚部１４Ａの内側に配置した点である。また、リニア
モータ５の固定子のフレーム１４側とフレーム１４を構
成する凹部１４Ｂとの間に第２のリニアガイド１１を配
置した点である。このリニアモータ５の可動子は、コア
８にコイル９を巻装して図示しない樹脂モールドにより
固着して構成し、固定子は界磁ヨーク６の長手方向に沿
って設けた永久磁石７を配置して構成している（ムービ
ングコイル型リニアモータ）。次に動作について説明す
る。リニアモータ電機子部のコイル５に電流を流して励
磁すると、可動子に推力が発生すると共に、可動子が固
定子に対して第１および第２のリニアガイド２、１１に
沿って、永久磁石７とコア８間における空隙の幅Ｇ１、
Ｇ２を一定に保ちながら自在に走行移動する。したがっ
て、本実施例はリニアスライダに第１及び第２のリニア
ガイド２、１１を設け、可動子が固定子に対して相対的
に走行した際に、界磁ヨーク６の中心を磁気的空隙Ｇ
１、Ｇ２間の中心に位置するように規制する構成にした
ので、磁気吸引力により界磁ヨーク６が磁気的空隙Ｇ
１、Ｇ２の何れか一方側に偏心するのを防ぐことができ
る。また、従来構造では片持ちであった界磁ヨーク６を
両端支持しているので、界磁ヨーク６の磁気吸引力に対
するたわみの剛性が向上させることができ、その結果、
磁気吸引力に差が生じた際の界磁ヨークのたわみが少な
くし、界磁ヨーク６の板厚を薄くしても磁気的空隙の精
度を維持し、界磁ヨークを小型・軽量化することができ
る。また、その結果、磁気的空隙の幅Ｇ１、Ｇ２の寸法
精度に悪影響を与えることはないので、リニアモータ５
の推力が変動するといった問題が解消され、可動子を第
１および第２のリニアガイド２、１１に沿って移動させ
た場合に可動子のヨーイングやローリング方向の運動精
度を悪化させたり、リニアガイドの摩擦抵抗による寿命
低下や位置決め精度が悪くなるという問題も一切なくす
ことができる。
づいて説明する。図１は、本発明の第１の実施例を示す
リニアモータの推力方向から見た正断面図である。な
お、本発明が従来と同じ構成要素については同一符号を
付してその説明を省略し、異なる点のみ説明する。図に
おいて、１は固定台、２は第１のリニアガイド、３はガ
イドレール、４はスライダ、５はリニアモータ、６は界
磁ヨーク、７は永久磁石、８はコア、９はコイル、１１
は第２のリニアガイド、１２はガイドレール、１３はス
ライダ、１４はフレームである。本発明が従来と異なる
点は、以下のとおりである。フレーム１４をコ字状の断
面形状とし、固定台１を平板状の断面形状とすると共
に、フレーム１４を構成する脚部１４Ａと固定台１との
間に第１リニアガイド２を配置し、リニアモータ５の固
定子を固定台上の中央に配置し、可動子をフレーム１４
の脚部１４Ａの内側に配置した点である。また、リニア
モータ５の固定子のフレーム１４側とフレーム１４を構
成する凹部１４Ｂとの間に第２のリニアガイド１１を配
置した点である。このリニアモータ５の可動子は、コア
８にコイル９を巻装して図示しない樹脂モールドにより
固着して構成し、固定子は界磁ヨーク６の長手方向に沿
って設けた永久磁石７を配置して構成している（ムービ
ングコイル型リニアモータ）。次に動作について説明す
る。リニアモータ電機子部のコイル５に電流を流して励
磁すると、可動子に推力が発生すると共に、可動子が固
定子に対して第１および第２のリニアガイド２、１１に
沿って、永久磁石７とコア８間における空隙の幅Ｇ１、
Ｇ２を一定に保ちながら自在に走行移動する。したがっ
て、本実施例はリニアスライダに第１及び第２のリニア
ガイド２、１１を設け、可動子が固定子に対して相対的
に走行した際に、界磁ヨーク６の中心を磁気的空隙Ｇ
１、Ｇ２間の中心に位置するように規制する構成にした
ので、磁気吸引力により界磁ヨーク６が磁気的空隙Ｇ
１、Ｇ２の何れか一方側に偏心するのを防ぐことができ
る。また、従来構造では片持ちであった界磁ヨーク６を
両端支持しているので、界磁ヨーク６の磁気吸引力に対
するたわみの剛性が向上させることができ、その結果、
磁気吸引力に差が生じた際の界磁ヨークのたわみが少な
くし、界磁ヨーク６の板厚を薄くしても磁気的空隙の精
度を維持し、界磁ヨークを小型・軽量化することができ
る。また、その結果、磁気的空隙の幅Ｇ１、Ｇ２の寸法
精度に悪影響を与えることはないので、リニアモータ５
の推力が変動するといった問題が解消され、可動子を第
１および第２のリニアガイド２、１１に沿って移動させ
た場合に可動子のヨーイングやローリング方向の運動精
度を悪化させたり、リニアガイドの摩擦抵抗による寿命
低下や位置決め精度が悪くなるという問題も一切なくす
ことができる。
【０００６】図２は、本発明の第２の実施例を示すリニ
アモータの推力方向から見た正断面図である。図におい
て、１０はコア支持板、１５はリニアモータ、１６は界
磁ヨークである。第２の実施例が、第１の実施例と異な
る点は、リニアモータ５の可動子を構成する位置と固定
子を構成する位置において、界磁ヨーク１６と永久磁石
７とからなる界磁部と、コア８にコイル９を巻装してな
る電機子部とを入れ替えて配置する構成にした点である
（ムービングマグネット型リニアモータ）。なお、動作
については、第１の実施例と同じであるため、説明を省
略する。第２の実施例は、このような構成にしたので、
第１の実施例と同様に、永久磁石と電機子のコア間にお
ける磁気的空隙の幅を磁気吸引力により変化させること
なく、推力の変動をなくすことができると共に、小型・
軽量のリニアスライダを提供することができる。
アモータの推力方向から見た正断面図である。図におい
て、１０はコア支持板、１５はリニアモータ、１６は界
磁ヨークである。第２の実施例が、第１の実施例と異な
る点は、リニアモータ５の可動子を構成する位置と固定
子を構成する位置において、界磁ヨーク１６と永久磁石
７とからなる界磁部と、コア８にコイル９を巻装してな
る電機子部とを入れ替えて配置する構成にした点である
（ムービングマグネット型リニアモータ）。なお、動作
については、第１の実施例と同じであるため、説明を省
略する。第２の実施例は、このような構成にしたので、
第１の実施例と同様に、永久磁石と電機子のコア間にお
ける磁気的空隙の幅を磁気吸引力により変化させること
なく、推力の変動をなくすことができると共に、小型・
軽量のリニアスライダを提供することができる。
【０００７】図３は、本発明の第３の実施例を示すリニ
アモータの推力方向から見た正断面図である。図におい
て、１７はフレーム、１８は固定台、１９はリニアモー
タである。第３の実施例が、第１、第２の実施例と異な
る点は、フレーム１７を平板状の断面形状とし、固定台
１８をコ字状の断面形状とすると共に、フレーム１７と
固定台１８を構成する脚部１８Ａとの間に第１リニアガ
イド２を配置してあり、リニアモータ１９の可動子をフ
レーム１７の下側中央に配置し、固定子を固定台１８の
脚部１８Ａの内側に配置すると共に、リニアモータ１９
の可動子の固定台１８側と固定台１８を構成する凹部１
８Ｂとの間に第２のリニアガイド１１を配置した点であ
る（ムービングマグネット型リニアモータ）。なお、動
作については、第１の実施例と同じであるため、説明を
省略する。第３の実施例は、このような構成にしたの
で、第１、第２の実施例と同様に、永久磁石と電機子の
コア間における磁気的空隙の幅を磁気吸引力により変化
させることなく、推力の変動をなくすことができると共
に、小型・軽量のリニアスライダを提供することができ
る。
アモータの推力方向から見た正断面図である。図におい
て、１７はフレーム、１８は固定台、１９はリニアモー
タである。第３の実施例が、第１、第２の実施例と異な
る点は、フレーム１７を平板状の断面形状とし、固定台
１８をコ字状の断面形状とすると共に、フレーム１７と
固定台１８を構成する脚部１８Ａとの間に第１リニアガ
イド２を配置してあり、リニアモータ１９の可動子をフ
レーム１７の下側中央に配置し、固定子を固定台１８の
脚部１８Ａの内側に配置すると共に、リニアモータ１９
の可動子の固定台１８側と固定台１８を構成する凹部１
８Ｂとの間に第２のリニアガイド１１を配置した点であ
る（ムービングマグネット型リニアモータ）。なお、動
作については、第１の実施例と同じであるため、説明を
省略する。第３の実施例は、このような構成にしたの
で、第１、第２の実施例と同様に、永久磁石と電機子の
コア間における磁気的空隙の幅を磁気吸引力により変化
させることなく、推力の変動をなくすことができると共
に、小型・軽量のリニアスライダを提供することができ
る。
【０００８】図４は、本発明の第４の実施例を示すリニ
アモータの推力方向から見た正断面図である。第４の実
施例が第３の実施例と異なる点は、リニアモータの可動
子を構成する位置と固定子を構成する位置において、界
磁ヨーク１６と永久磁石７とからなる界磁部と、コア８
にコイル９を巻装してなる電機子部とを入れ替えて配置
する構成にした点である（ムービングコイル型リニアモ
ータ）。なお、動作については、第１の実施例と同じで
あるため、説明を省略する。第４の実施例は、このよう
な構成にしたので、第１乃至第３の実施例と同様に、永
久磁石と電機子のコア間における磁気的空隙の幅を磁気
吸引力により変化させることなく、推力の変動をなくす
ことができると共に、小型・軽量のリニアスライダを提
供することができる。なお、本実施例のリニアスライダ
では、コア付きのリニアモータの事例を用いて説明した
が、この他に、界磁ヨークと永久磁石より構成されるリ
ニアモータ界磁部と、コイルを樹脂モールドにより偏平
状に固着してなるリニアモータ電機子部とで構成するコ
アレスリニアモータを用いるようにしても良く、リニア
モータの形式に限定されることはない。
アモータの推力方向から見た正断面図である。第４の実
施例が第３の実施例と異なる点は、リニアモータの可動
子を構成する位置と固定子を構成する位置において、界
磁ヨーク１６と永久磁石７とからなる界磁部と、コア８
にコイル９を巻装してなる電機子部とを入れ替えて配置
する構成にした点である（ムービングコイル型リニアモ
ータ）。なお、動作については、第１の実施例と同じで
あるため、説明を省略する。第４の実施例は、このよう
な構成にしたので、第１乃至第３の実施例と同様に、永
久磁石と電機子のコア間における磁気的空隙の幅を磁気
吸引力により変化させることなく、推力の変動をなくす
ことができると共に、小型・軽量のリニアスライダを提
供することができる。なお、本実施例のリニアスライダ
では、コア付きのリニアモータの事例を用いて説明した
が、この他に、界磁ヨークと永久磁石より構成されるリ
ニアモータ界磁部と、コイルを樹脂モールドにより偏平
状に固着してなるリニアモータ電機子部とで構成するコ
アレスリニアモータを用いるようにしても良く、リニア
モータの形式に限定されることはない。
【０００９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の実施例によ
れば、リニアスライダに第１及び第２のリニアガイドを
設け、可動子が固定子に対して相対的に走行した際に、
界磁ヨークの中心または電機子部の中心を磁気的空隙間
の中心に位置するように規制する構成にしたので、磁気
吸引力により界磁ヨークが磁気的空隙の何れか一方側に
偏心するのを防ぐことができる効果がある。また、従来
構造では片持ちであった界磁ヨークを両端支持している
ので、界磁ヨークの磁気吸引力に対するたわみの剛性が
向上させることができ、その結果、磁気吸引力に差が生
じた際の界磁ヨークのたわみが少なくし、界磁ヨークの
板厚を薄くしても磁気的空隙の精度を維持し、界磁ヨー
クを小型・軽量化することができる効果がある。。ま
た、その結果、磁気的空隙の幅の寸法精度に悪影響を与
えることはないので、、リニアモータ５の推力が変動す
るといった問題が解消され、可動子をリニアガイドに沿
って移動させた場合に可動子のヨーイングやローリング
方向の運動精度を悪化させたり、リニアガイドの摩擦抵
抗による寿命低下や位置決め精度が悪くなるという問題
も一切なくすことができる効果がある。
れば、リニアスライダに第１及び第２のリニアガイドを
設け、可動子が固定子に対して相対的に走行した際に、
界磁ヨークの中心または電機子部の中心を磁気的空隙間
の中心に位置するように規制する構成にしたので、磁気
吸引力により界磁ヨークが磁気的空隙の何れか一方側に
偏心するのを防ぐことができる効果がある。また、従来
構造では片持ちであった界磁ヨークを両端支持している
ので、界磁ヨークの磁気吸引力に対するたわみの剛性が
向上させることができ、その結果、磁気吸引力に差が生
じた際の界磁ヨークのたわみが少なくし、界磁ヨークの
板厚を薄くしても磁気的空隙の精度を維持し、界磁ヨー
クを小型・軽量化することができる効果がある。。ま
た、その結果、磁気的空隙の幅の寸法精度に悪影響を与
えることはないので、、リニアモータ５の推力が変動す
るといった問題が解消され、可動子をリニアガイドに沿
って移動させた場合に可動子のヨーイングやローリング
方向の運動精度を悪化させたり、リニアガイドの摩擦抵
抗による寿命低下や位置決め精度が悪くなるという問題
も一切なくすことができる効果がある。
【図１】本発明の第1の実施例を示すリニアモータの推
力方向から見た正断面図である。
力方向から見た正断面図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示すリニアモータの推
力方向から見た正断面図である。
力方向から見た正断面図である。
【図３】本発明の第3の実施例を示すリニアモータの推
力方向から見た正断面図である。
力方向から見た正断面図である。
【図４】本発明の第４の実施例を示すリニアモータの推
力方向から見た正断面図である。
力方向から見た正断面図である。
【図５】従来のリニアモータの推力方向から見た正断面
図である。
図である。
１ 固定台 ２ 第１のリニアガイド ３ ガイドレール ４ スライダ ５ リニアモータ ６ 界磁ヨーク ７ 永久磁石 ８ コア ９ コイル １０ コア支持板 １１ 第２のリニアガイド １２ ガイドレール １３ スライダ １４ フレーム １５ リニアモータ １６ 界磁ヨーク １７ フレーム １８ 固定台 １９ リニアモータ ２０ リニアモータ
Claims (6)
- 【請求項１】固定台に平行に対向配置されたフレーム
と、前記フレームの両側に設けられ、かつ、前記フレー
ムを移動自在に案内支持するガイドレールとスライダか
らなる一対の第１のリニアガイドと、前記固定台上に垂
直に互いに対向するように間隔を置いて２個配設してな
るリニアモータ界磁部と、前記リニアモータ界磁部と一
定の空隙を介して対向配置されたリニアモータ電機子部
とを備え、前記リニアモータ界磁部と前記リニアモータ
電機子部の何れか一方を固定子に他方を可動子として、
可動子を前記第１のリニアガイド上に沿って往復動させ
るようにしたリニアスライダにおいて、 前記フレームをコ字状の断面形状とし、前記固定台を平
板状の断面形状とすると共に、前記フレームを構成する
脚部と前記固定台との間に前記第１のリニアガイドを配
置してあり、 前記リニアモータの固定子を前記固定台上の中央に配置
し、可動子を前記フレームの脚部の内側に配置すると共
に、前記リニアモータの固定子のフレーム側と前記フレ
ームを構成する凹部との間に第２のリニアガイドを配置
したことを特徴とするリニアスライダ。 - 【請求項２】前記リニアモータ界磁部は磁性体からなる
界磁ヨークに沿って交互に磁極が異なる複数の永久磁石
より構成されると共に、前記リニアモータ電機子部はコ
アにコイルを巻装して構成される請求項１に記載のリニ
アスライダ。 - 【請求項３】前記リニアモータ界磁部は磁性体からなる
界磁ヨークに沿って交互に磁極が異なる複数の永久磁石
より構成されると共に、前記リニアモータ電機子部はコ
イルを樹脂モールドにより偏平状に固着して構成される
請求項１に記載のリニアスライダ。 - 【請求項４】固定台に平行に対向配置された被搭載物を
保持するフレームと、前記フレームの両側に設けられ、
かつ、前記フレームを移動自在に案内支持するガイドレ
ールとスライダからなる一対の第１のリニアガイドと、
前記固定台上に垂直に互いに対向するように間隔を置い
て２個配設してなるリニアモータ界磁部と、前記リニア
モータ界磁部と一定の空隙を介して対向配置されたリニ
アモータ電機子部とを備え、前記リニアモータ界磁部と
前記リニアモータ電機子部の何れか一方を固定子に他方
を可動子として、可動子を前記第１のリニアガイド上に
沿って往復動させるようにしたリニアスライダにおい
て、 前記フレームを平板状の断面形状とし、前記固定台をコ
字状の断面形状とすると共に、前記フレームと前記固定
台を構成する脚部との間に前記第１リニアガイドを配置
してあり、 前記リニアモータの可動子を前記フレームの下側中央に
配置し、固定子を前記固定台の脚部の内側に配置すると
共に、前記リニアモータの可動子の固定台側と前記固定
台を構成する凹部との間に第２のリニアガイドを配置し
たことを特徴とするリニアスライダ。 - 【請求項５】前記リニアモータ界磁部は磁性体からなる
界磁ヨークに沿って交互に磁極が異なる複数の永久磁石
より構成されると共に、前記リニアモータ電機子部はコ
アにコイルを巻装して構成される請求項４に記載のリニ
アスライダ。 - 【請求項６】前記リニアモータ界磁部は磁性体からなる
界磁ヨークに沿って交互に磁極が異なる複数の永久磁石
より構成されると共に、前記リニアモータ電機子部はコ
イルを樹脂モールドにより偏平状に固着して構成される
請求項４に記載のリニアスライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000219193A JP2002034231A (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | リニアスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000219193A JP2002034231A (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | リニアスライダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002034231A true JP2002034231A (ja) | 2002-01-31 |
Family
ID=18714015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000219193A Pending JP2002034231A (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | リニアスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002034231A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005525979A (ja) * | 2002-01-31 | 2005-09-02 | インベンテイオ・アクテイエンゲゼルシヤフト | 特に乗客搬送用のエレベータ |
| EP1617545A2 (en) | 2004-07-16 | 2006-01-18 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Linear motor for use in machine tool |
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| KR100692388B1 (ko) | 2005-12-21 | 2007-03-12 | 유동옥 | 단상 선형 모터 |
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-
2000
- 2000-07-19 JP JP2000219193A patent/JP2002034231A/ja active Pending
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