JPS60154786A - 撮像装置 - Google Patents

撮像装置

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JPS60154786A
JPS60154786A JP59010509A JP1050984A JPS60154786A JP S60154786 A JPS60154786 A JP S60154786A JP 59010509 A JP59010509 A JP 59010509A JP 1050984 A JP1050984 A JP 1050984A JP S60154786 A JPS60154786 A JP S60154786A
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electrode
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堺 信二
Takao Kinoshita
貴雄 木下
Akira Suga
章 菅
Akihiko Tojo
明彦 東條
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明はブルーミンクを効果的に抑制し得る撮像装置に
関する。
(従来技術) 従来特開昭56−138371号公報に示される如くC
OD等の固体イメージセンナにおいてブルーミンク防止
の為に、受光面内にオーバー・フロー・ドレインを設け
る代わりに表面再結合を利用して過剰キャリアを消滅さ
せるものが考えられている。
この方法によるものでは、受光面内の開口率を犠牲にす
る事がないので感度が高く、又集積度を向上させる事が
できるので水平解像度がアンプする1等の利点を有する
第1図〜第3図はこのような表面再結合によるプルーミ
ング防止方法について説明する為の図で。
第1図は一般的なフレーム・トランスファT型CODの
正面図である。
図中1は受光部で、感光性を有する複数の垂直転送レジ
スタから成る。
又、2は蓄積部で、遮光された複数の垂直転送レジスタ
から成る。
3は水平転送レジスタであって、蓄積部2の各垂直転送
レジスタ内の情報を同時に1ピツトシフトする事により
この水平転送レジスタに取り込み。
次いでレジスタ3を水平転送動作させるiにより出力ア
ンプ4からビデオ信号を得る事ができる。
一般に、受光部lの各垂直転送レジスタ内で形成され友
情報は標準テレビジョン方式における垂直ブランキング
期間内に、蓄積部2に垂直転送され1次の垂直走査期間
内に水平転送レジスタ3より順次1行ずつ読み出される
尚、ここで受光部1.蓄積部2.水平転送レジスタ3は
夫々2相駆動されるものとし、夫々の転送電極をp、 
l p21 p、 l p、 I PII+ Pgとし
、その転送りロックを(φPlr φp2)、(φP、
、φP4)。
(φPg rφp、)とする。
第2図はこのような転送電極P1−Pg下のポテンシャ
ル・プロフィールを示す図でおって1例えばP型シリコ
ン基板6に絶縁層5を介して設けられた各電極下には、
イオン注入等により電子から見てポテンシャルの低い部
分と高い部分とが形成されており、例えば電極P! l
 P41 Psにローレベルの電圧−■、を印加し、電
極p、 + psl piにノ・イレベルの電圧V、を
印加した時には、図中実線のようなポテンシャルが形成
される。又、電極Rr ParPllにローレベル電圧
V、を印加し、電極p、 j p、 IPgKハイレベ
ル電圧Vt ’it印加した場合には図中破線のような
ポテンシャルが形成される。
従って電極P11 Pa + Pgと電極PH、P4 
、 Pgとに交番電圧を互いに逆位相で印加する事によ
りキャリアは一方向(図では右方向)に順次転送されて
いく。
又1図中一点鎖線は電極に大きな正の電圧v8を印加し
た場合のポテンシャルを示し、このポテンシャルのウェ
ルは反転状態となる為、所定量以上の過剰なキャリアは
多数キャリアと再結合し消滅してしまう。
第3図はこのような電極電圧と内部のボテくシャルの形
状を半導体基板6の厚さ方間について示した図で1図の
ように電極電圧■、に対してはポテンシャル・ウェルは
浅くなり、過剰キャリアは絶縁層との界面において多数
キャリアと再結合する第2の状態となる。
一方、電極電圧−■IVcおいては第1の状態としての
アキュムレーション状態となり、界面周辺に多数キャリ
アが集まり易くなり、例えば不図示のチャネル・ストッ
パー領域からこの多数キャリアが供給される。
従って例えば電極P2に電圧−vlを印加する事によっ
てバリアを形成した状態で、電極P、に電圧−V、と■
、と全交互に印加する事KLf)、電極Pg下に蓄積さ
れる少数キャリアは所定量以下に制限される。
しかし、このような電荷再結合を用いたイメージセンサ
−では再結合の為のクロック信号が出力信号に混入し雑
音になるという欠点があった。
これはムービー撮影を行なう場合には比較的目立危ない
が、スチル撮影を行なう場合には無視し得ない欠点とな
ってしまう。
(目 的) 本発明はこのような従来技術の欠点を解消し得る撮像装
置を提供する事を目的としている。
特にノイズ及び消費電力の少ない撮像装置を提供する事
を目的としている。
(実施例) 以下実施例に基づき不発[Jll−説明する。
第4図は本発明に係る撮像素子音用いた撮像装置の一例
を示す図である。本実施例では一相駆動方式のフレーム
トランスファー型CODの場合につき説明する。
図中第1−第3図と同じ符番のものは同じ要素を示す。
UODは受光部1の蓄積部2に対して反対側に設けられ
た過剰電荷排出用のオーバー・フロー・ドレインであっ
て、一定の正電VoniCよりバイアスされている。
本実施例では受光部に転送りロックφ、fと共に。
過剰電荷を表面再結合中心でホールと再結合させて消滅
する為のクロック信号Bが印加されている。
又、蓄積部2.水平転送レジスタ3には夫々転送用Ωク
ロンクφps 、φSが印加されている。
CKDはこれらのクロックパルスφPI 、φAm 、
φpg。
φε等を撮像素子に供給する為の制御手段としてのクロ
ックドライバー、 CKGはこれらのパルスを形成する
為のタイミング信号を発生するクロックジェネレータ、
 PAPはプロセスアンプ、ECDハエンコーダーであ
って、アンプPAP ’i介したビデオ信号はこのエン
コーダによって例えばNTSC信号のような標準テレビ
ジョン方式の信号に変換される。
MSはクロックドライバーCKDによる各種パルスの出
力状態を切換える為のモード設定回路であジ、再結合用
のクロックφすの周波数を切換え得る。
又、該モード設定回路はアナログゲー) AGの開閉を
制御する。
RCCは記録装置である。又、SWlはスチル信号記録
用のスイッチで、このスイッチをONすると。
後述の如く自動的にモード設定回路をメチル用のモード
に設定し、ドライバCKD i制御すると共に所定のタ
イミングで1フイールド又はlフレーム期間ゲートAC
を開く。
第5図は受光部1と蓄積部2の境界領域の断面の電極構
造及びポテンシャルの概略を示す図である。
図中PPIは受光部の転送りロックφP1を印加する転
送電極、 PAIIは再結合クロックφムBを印加する
為の再結合手段としての再結合制御電極、 PPIIは
蓄積部の転送りロックφP8ヲ印加する転送電極。
6Eはオーバーフロードレインを構成するη領域である
図の実線のポテンシャル状態はφPI 、φP8として
ローレベルの電圧を印加し、φムBとしてハイレベルの
電圧を印加した場合のものであり、破線はφp+ 、φ
ps ’Z’ハイレベル、φ^nkローレベルとした場
合のものである。
尚、基板6内にはイオン注入により図示のようなボテン
シャルの階段が形成されている。又、電極Pp五、 P
pa 、 PARIcよって蔽われていない絶縁層の下
部即ち絶縁層と半導体基板との境界部分には図示はして
いないが、仮想電極(Virtual electro
de)を構成する為の例えばP型反転層が形成されてい
る。
従って電極に蔽われていない半導体領域内のボテンシャ
ルは各電極へのバイアスによって変化しないようになっ
ている。
第6図は第5図示の領域における電極パターンの例を示
す図である。
C8はチャネルストップであって、水平方向の電荷の移
′aを阻止する。
第4〜第6図示の実施例によれば、電荷再結合の為の電
極PABの巾を転送電極PPIの巾よりも充分小さくで
きるので過剰電荷を除去する場合に除去効率を高くでき
る。
又、−相駆動方式のCODイメージ七ンサに於いて電荷
の再結合動作を転送動作と独立して行なう事ができる。
しかも5本実施例の撮@素子の再結合制御用構造はチャ
ネルストップと同一プロセスで製造可能な電極用のポリ
シリコンゲート形成ステップ及び内部ポテンシャルの階
段を形成する為のイオン注入ステップで形成する事がで
きる。
次に第7図はスイッチsv/IがOFFのとき、即ちム
ービー撮影モードにおいて第4図示の撮像素子全駆動す
る為にクロックドライバー〇KD jり出力されるクロ
ックパルスφAB 、φPI 、φps 、4g及びア
ンプ40出力VOUT等の波形図でおる。
1テレビジヨンフイールド毎に得られる垂直同期信号V
o (C同期して時刻1.−1.及びt4〜t4の間に
垂直ブランキング信号VBLICが出力される。
又% HIILKは水平ブランキング信号である。先ず
時刻〜t、 、 t、”−t、 、 t、〜にかけての
蓄積期間中にφPIのレベルk Vlとv2の略中間レ
ベルであるV6レベルに固定する。又、各蓄積期間の終
了時点でフィールド毎にφpt k立上げるか、立下げ
るかを切換えている。
これにつき説明すると、蓄積期間中はφPiをV「レベ
ルにする事に工υ、第8図(a)に示す如く、転送電極
Ppx下の基板内と仮想電極下の基板内に夫々ポテンシ
ャルウェルA、Cが形成され、夫々のウェルに電荷が蓄
積される。
この蓄積期間の内の各水平ブランキング期間に第7図の
如く、パルスφムBが複数個供給される為電極Pia下
のポテンシャルは第8図(a)のよウニ上下するが、こ
のポテンシャルが下がった時にできるウェルB内の電荷
の内絶縁層5近傍に集められた過剰電荷はポテンシャル
が上がった時にはホールと再結合するので消滅し、ウェ
ルAKは漏れ込まない。
次いで時刻t1〜t、及び1.〜t、にかけてφ^lを
複数パルス供給する事により垂直転送直前の過剰電荷を
除去する。
更に1時刻t2〜t、及びtσ〜t−の間に受光部工と
蓄積部2の垂直方向の画素数に相肯する数のクロックφ
PI 、φP8が同相で供給される。
これにより受光部l内の各画素セル内の電荷は蓄積部内
の対応する蓄積セル内に転送されて蓄積される。
この時1本発明では再結合電極PAIIに印加するクロ
ックφ^11ヲ■4VC固定する。
この電圧V、は例えば第9図示の如く電極PAN下のポ
テンシャルレベルが仮想電極部のポテンシャルレベルの
上限と下限の間に位置するような電圧値である。
ここで前述した如く、各蓄積期間の終了時点でφPIを
立上げるか、立下げるかをフィールド毎に切換えている
即ち、第7図時刻t1までの第1フイールドの蓄積期間
中にウェルA、C(もしくはB)にはいる電荷量をそれ
ぞれ第8図(a)のようにAINT HBINT。
CINTとする・次に第7図時刻t、から始まる垂直転
送時は第8図(b)に示すごとく、転送のはじめにφp
lk中間レベルし、から■、レベルに立上げることによ
って■′と■、■′と■・・・の部分に蓄積された電荷
が加算しされ、蓄積部に転送されていく。又、第2フイ
ールドは転送のはじめにφpx k中間レベルV、から
−V、に立下けることによって■と■′。
■と■′、■と■′・・・の部分に蓄積されx!荷を加
算する。
このようにフィールド毎に加算される電荷の組み合わせ
を変えることによってインクレース動作をおこなわせる
このように構成することにエフ少ない画素数でインター
レース効果を持たせる事ができると共に、暗電流レベル
もフィールド毎に変化せず、フリッカも生じにくい。
垂直転送が終了すると1時刻t、〜t4 、 ts〜の
間にクロックφP8とφ8とによって蓄積部の電荷が水
平周期に同期して1行ずつ読み出され、水平ライン信号
として出力される。この期間t、〜tj。
t1〜は標準テレビジョン信号の垂直走査期間に相当し
ている。
次に第1θ図はスチルモード撮影を行なう為にスイッチ
SWI f ON シ2場合のタイミングチャートであ
る。任意の時刻to Kスイッチ8W1 i ONする
と次の垂直ブランキングパルスVILEの立下り(時刻
tm)に同期して設定回路MSよシ後述のスチルモード
用のMODEφの信号が出力される。
このMODEφの信号は1次の垂直ブランキングパルス
VILtの立上り時点1.まで保持される。
又、このMODEφの信号が出力されている間φ^1は
電位V、に又、φP1は電位V、 K固定される。又。
スイッチswlをON した直後の垂直同期信号VDV
C同期してエフイールド期間(ts〜1+)アナログゲ
−) AGがONとなる。
その他のパルスに関しては、第7図と同様である。
従ってスイッチSW1を0NL7’C後のvDに同期し
てエフイールドをパルスφPg 、φSにより読み出す
間アナログゲー) AGがこの信号を記録装置RCCに
導びきlフィールドの記録を行なう。
又、この間特に時刻t8〜t6にがけてφ^Bは0定レ
ベルなので信号Voa丁読み出し中にノイズが乗ること
がなく、又消費電力もセーブできる0又、この間(1,
〜ta)において受光部l内のポテンシャルバリアはほ
とんどの間1892のバリアよりも低くなっている。即
ち、第5図において領域Xのポテンシャルは破線の如く
なっており、領域Yのポテンシャルは実線の如くなって
いるので、たとえφムBが動作していなくてもオーバー
フローした電荷は蓄積部にはほとんど漏れ込まない。
叉、受光部1の蓄積部2と逆@JKオーバーフロードレ
インを設けているので、受光部l内のオーバーフローし
た電荷は電源VOD vc排出されてしまう。
尚、蓄積部内の領域Xのポテンシャルはパルスφpgに
より水平ブランキング期間だけ下がるが。
有効な画像信号(時刻1.までに形成された画像信号)
はその都度蓄積部2内を第4図下方に移動していくので
、このパルスφpsがハイレベルの間に受元部1シク漏
れ込む電荷は無視し得る。
次にクロックドライバーCKDの構成例を第11図に示
すと共に、そのタイミングチャートを第12図に示す。
第11.第12図中φDはl水平期間に2回発生するパ
ルス、 TRGはクレーム転送を行なう為のフレーム転
送トリガーパルスであって、一般には垂直ブランキング
期間或いはこれに関連したタイミングで出力される。
又、このパルスTRGは例えば特願昭58−61.09
8号に示されるように垂直ブランキング期間以外の任意
のタイミングで出力されるものであっても良い。その場
合には1画像蓄積時間をこのパルスTRGのタイミング
によって制御することもできる。
又、D1〜D4はDフリップフロップ、 ORI〜OR
4はORゲート、 GNTはカウンタ、 SGはφP+
 、φP8を形底するパルス発生回路、 SW2〜SW
5はアナログスイッチ、 DIVI−DIV2はイ分周
器、 AI −A6はANDゲート、 N0RIはNO
Rゲートである。
DクリップフロップDluパルスTRG 6クロツクと
し、入力りは常にハイレベルになっている為。
TRGによるトリガ(時刻b)で出力Tlがハイレベル
となる。
したがって、Dフリンプ70ングD2 、 D3 Kよ
一すクロツクφD2ヶ分だけ遅れて(時刻t、)T2が
発生し、これによってDIはクリアされ、 TIはロー
レベルとなる。このT1のハイレベル区間の長さはDフ
リップフロップの数の増減に、mりで減少又は増大させ
得る。本例ではこの区間t?〜tsTh i水平期間と
しているが、D2’i略せば(3() H区間となる。
T2がハイレベルになりた後1時刻tIでDフリップフ
ロップD4の出力T3がハイレベルとなり、所定のクロ
ックの後、カウンタCNTの出力CARRYによって7
リツプフロツプD3 、 D4がクリアされ(時刻t、
。) T2 、 T3がローレベルになってフレーム転
送は終了する。
φPI 、φpg等はφPI 、φpg発生回路SGで
第7図示の如く発生L7得るので、ここでは特に示さ々
い。
水平ブランキング信号HILKはアンドゲートA1を介
することによってT2がハイレベルの間口−レベルとさ
れており、アントゲルトAlの出力はオアグー) OR
2においてTIとの論理和によりT4となる。
従ってT4は垂直転送区間t、〜t、oを除く水平ブラ
ンキング期間と、出力T2の直前部分の出力Tlのハイ
レベル期間t7〜ts、いずれかの期間ノ・イレベルと
なる。
クロック信号CLK 、分周器DIVI −DIV2の
分周信号及びモード設定回路MSの出力はANDケート
A2〜A5に供給されており1次のような関係が成り立
り。
即ち、モード設定回路MS工9の出力5ELI =H。
SELφ=H(以降MODE3と呼ぶ)のとき、 OR
グー) OR3の出力T5としてはクロックCLKがそ
のまま出力され、 5ELI = H、SELφ=L(
以降MODE2と呼ぶ)のときT5はクロックCLK 
(D%分周出力となる。
又、5ELL = L 、 SELφ=H(以降MOD
EIと呼ぶ)のときT5はクロックCLKのに分周出力
となり、5ELI =、L 、 SELφ=I、(以降
MODEφと呼ぶ)のときT5は常にHレベルとなる。
尚、 TIは垂直転送の直前にφhsを供給する為のタ
イミングパルスでノ・イレベルの間にφ^Bを供給する
又、 T3は垂直転送の為のタイミングノ(ルスでハイ
レベルの間にφPI 、φl’lによる垂直転送を行な
わせる。
尚、第4図示スイッチSWlがOFFの間はモード設定
回路により選択されたモードMODE1〜3に応じてφ
^1の周期が決まり、第7図示の如きタイミングでφJ
mが供給される。
又、φp+ 、φpgがパルス発生回路SGより出力さ
れる。これらのパルスのタイミングは第7図示のような
ものである。
又、一旦スイッチ8W1がONすると、その直後の水平
走査期間回路MSがMODEφとなるので、5ELL=
 L 、 SELφ=Lとなり、出力第11図T6が)
・イレペルとなり、φA3は電位■3となる。又、この
間アナログスイッチSW2がb側に切換わ!1.φP!
は電位十V、に固定される。
以上説明しに如く1本実施例ではパルスφム1がフレー
ム転送期間の直前に所定時間供給され、転送直前の過剰
電荷が除去されるのでスミア或いはブルーミングを起こ
す事がない。
又、撮像素子からのビデオ出力を1フイールド又は1フ
レームだけ記録する場合にφ^11を一定電位にストッ
プしているので節電でき、しかもノイズが混入しない。
又、このとき受光部内のポテンシャルバリアが蓄積部内
のポテンシャルバリアよpはとんどの時間低くなるよう
なされているので、信号読み出し中におけるブルーミン
グの影響が蓄積部からの読み出し信号に及ばない。
更に又、受光部の蓄積部と反対側にオーバーフロードレ
インを設けているので、こ9間のオーバーフロー電荷を
速やかに除去できる。
尚1以上の説明では一相駆動方式のフレーム転送型CC
Dの例について述べたが、本発明は多相駆動方式のCO
Dイメージセンサ−においても同様に適用可能であるこ
とは言うまでもない。又、 CODに限らず画像信号を
電荷に変換して蓄積するタイプのイメージセンサ−全て
に適用可能である事も明らかである。
又1本実施例ではMODEφの間φPi ”” v宜s
φムn=Vsとしているが、φP夏=V3.φAll 
= v、としても蓄積部内のバリアエフは低くなるので
同様の効果が得られる。又、本実施例では、モード設定
手段からの信号5ELL 、 SELφにエフφA11
だけでなく、φpxのポテンシャルレベルをコントロー
ルできるようにしているので、クロックドライバーの入
力ビン数を減少することができる。
(効 果) 本発明によれば、ステルモードで記録を行なう場合にφ
AB及びφp1を一定電位としているので節電ができ、
ノイズが混入しない。
又、このときこの電位が電子からみて蓄積部の電位より
低くなるようにしているので受光部でブルーミングが発
生しても蓄積部に混入しない。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のCODイメージセンサ−の模式図、第2
図は第1図示センサーの駆動方法を説明する図、第3図
は表面電荷再結合の原理を説明する図、第4図は本発明
の撮像装置の構成例を示す図、第5図は本発明の撮像装
置に適した撮像素子の構造例を示す断面模式図、第6図
は第5図示素子の電極パターン例を示す図、第7図は本
発明の撮像装置のムービーモードでの駆動タイミングチ
ャート。 第8図(a) 、 (b)は同モードにおける夫々所定
のタイミングにおけるポテンシャル状態を説明する図。 第9図は電極PAR下のポテンシャルにつき説明する図
、第1O図はステルモードにおけるタイミングチャート
、第11図はクロックドライバーの構成例を示す図、第
12図はその0部タイミング図。 l・・・受光部、2・・・蓄積部、 PAIL・・・再
結合手段としての再結合制御電極、 CKD・・・制御
手段としてのクロックドライバー 特許出願人 キャノン株式会社 −5i − 第3図 R−F’656

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光学像を電荷信号に変換する受光部と、該受光部内の電
    荷の一部全多数キャリアと再結合させる為の再結合手段
    と、前記受光部内の電荷信号を蓄積する蓄積部と、該蓄
    積部の信号を読み出す間、前記受光部内のポテンシャル
    状態を所定の一定レベルとなるよう前記再結合手段を含
    む受光部を制御する制御手段とを有する撮像装置。
JP59010509A 1984-01-18 1984-01-23 撮像装置 Granted JPS60154786A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59010509A JPS60154786A (ja) 1984-01-23 1984-01-23 撮像装置
DE3546841A DE3546841C2 (de) 1984-01-18 1985-01-15 Bildaufnahmevorrichtung
DE19853501138 DE3501138A1 (de) 1984-01-18 1985-01-15 Bildaufnahmevorrichtung
US07/129,946 US4774585A (en) 1984-01-18 1987-11-25 Image pickup apparatus
US07/196,853 US4821105A (en) 1984-01-18 1988-05-17 Image pickup apparatus

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