JPS60153187A - レ−ザ−装置 - Google Patents
レ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPS60153187A JPS60153187A JP906684A JP906684A JPS60153187A JP S60153187 A JPS60153187 A JP S60153187A JP 906684 A JP906684 A JP 906684A JP 906684 A JP906684 A JP 906684A JP S60153187 A JPS60153187 A JP S60153187A
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- Japan
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- beam splitter
- laser
- laser beam
- power monitor
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は医療及び工業加工用に使用されるレーザー１置
のパワーモニター系に関するものである。
のパワーモニター系に関するものである。
レーザー発振器より出射されるレーザー光の出力を測定
するため↓；、従来よりビームスプリッタ−を用いてレ
ーザー光の一部を出力検出器に導き、この出力検出器の
出力から前記レーザー発振器より出射されたレーザー光
全体の出力を検出するパワーモニター系が提案されてい
る。
するため↓；、従来よりビームスプリッタ−を用いてレ
ーザー光の一部を出力検出器に導き、この出力検出器の
出力から前記レーザー発振器より出射されたレーザー光
全体の出力を検出するパワーモニター系が提案されてい
る。
このようなパワーモニター系を採用することによりレー
ザー装置本来の作業１例えば医療用レーザー装置におけ
る組織の切開、」二業加工用レーザー装置における材料
の切断等を行ないながらレーザー光の出力測定が可能と
なるが、従来のパワーモニタ二基においてはレーザー光
の偏光状態の変化によるビームスプリッタ−の反射率の
変化を考慮せず、一定方向にしか出力測定用のレーザー
光を取り出すことができない構造であったため、レーザ
ー光の偏光状態が変化するとビームスプリンターによる
反射率が変化してしまい、レーザー光の出力測定の精度
を低下させるという欠点を有していた。
ザー装置本来の作業１例えば医療用レーザー装置におけ
る組織の切開、」二業加工用レーザー装置における材料
の切断等を行ないながらレーザー光の出力測定が可能と
なるが、従来のパワーモニタ二基においてはレーザー光
の偏光状態の変化によるビームスプリッタ−の反射率の
変化を考慮せず、一定方向にしか出力測定用のレーザー
光を取り出すことができない構造であったため、レーザ
ー光の偏光状態が変化するとビームスプリンターによる
反射率が変化してしまい、レーザー光の出力測定の精度
を低下させるという欠点を有していた。
本発明は上述の点に鑑みてなされたものであり。
レーザー光の偏光状態の変化があったとしてもその影響
をできるだけ小さくするようなパワーモニター系を備え
たレーザー装置を程供することを目的とする。
をできるだけ小さくするようなパワーモニター系を備え
たレーザー装置を程供することを目的とする。
以下、図面に基づいて本発明を説明する。
第１図は本発明に係る一実施例の斜視図であり、本実施
例においてｉレーザー装置として医療用ＹＡＧレーザー
を使用している。
例においてｉレーザー装置として医療用ＹＡＧレーザー
を使用している。
共振器ジャケット１の内部には、レーザー媒質であるＹ
ＡＧロッド（図示せず）と励起用ランプ２が取付けらオ
しており、該励起用ランプ２の両端には図示しないレー
ザー電源からの電圧印加用リード＃、！？、３が接続さ
れている。また、前記共振器ジャケット１のレーザー光
出射口の外部には全反射鏡４及び部分反射鏡５が配置さ
」している。ここまでのＹＡＧレーザー発振器の構成は
既知であるのでレーザー発振機構についての説明は省略
する。前記部分反射鏡５より出射されたレーザー光６の
光軸上には、ガラス製直角プリズム２個を貼合せたビー
ムスプリッタ−７がビームスプリッタ−保持台８の段差
部に固着された状態で配置されている。
ＡＧロッド（図示せず）と励起用ランプ２が取付けらオ
しており、該励起用ランプ２の両端には図示しないレー
ザー電源からの電圧印加用リード＃、！？、３が接続さ
れている。また、前記共振器ジャケット１のレーザー光
出射口の外部には全反射鏡４及び部分反射鏡５が配置さ
」している。ここまでのＹＡＧレーザー発振器の構成は
既知であるのでレーザー発振機構についての説明は省略
する。前記部分反射鏡５より出射されたレーザー光６の
光軸上には、ガラス製直角プリズム２個を貼合せたビー
ムスプリッタ−７がビームスプリッタ−保持台８の段差
部に固着された状態で配置されている。
該ビームスプリッタ−保持台８は、側面周辺部の同一円
周上に複数個のネジ穴８ａを有し、取付は台９の上面に
形成された円弧状の凹部に円弧状の周面を当接させてビ
スｌＯを前記ネジ穴８ａに螺合させることにより、前記
取付は台９に固定されている。前−記ビームスプリッタ
−７により直角方向に反射分光されたレーザー光６ａの
光軸上には、レーザー出力検出器１１が前記ビームスプ
リッタ−保持台８の段差部に固着されている。前記レー
ザー出力検出器１１からは信号線１２が引き出されてお
り、該信号線１２の他端は、前記レーザー出力検出器１
１からの信号によってレーザー光６の全出力を検出する
検出回路１３に接続されている。
周上に複数個のネジ穴８ａを有し、取付は台９の上面に
形成された円弧状の凹部に円弧状の周面を当接させてビ
スｌＯを前記ネジ穴８ａに螺合させることにより、前記
取付は台９に固定されている。前−記ビームスプリッタ
−７により直角方向に反射分光されたレーザー光６ａの
光軸上には、レーザー出力検出器１１が前記ビームスプ
リッタ−保持台８の段差部に固着されている。前記レー
ザー出力検出器１１からは信号線１２が引き出されてお
り、該信号線１２の他端は、前記レーザー出力検出器１
１からの信号によってレーザー光６の全出力を検出する
検出回路１３に接続されている。
次に、上記実施例の作用を説明する。
通常は第１図示の如くレーザー光６の一部をビーろスプ
リッター７により水平方向に反射してパワーモニターを
行なうが、このような水平方向への反射では共振器ジャ
ケット１内部のＹＡＧロッドと励起用ランプ２の位置関
係によりレーザー光６に偏光が起こっている場合、パワ
ーモニターとしての機能が大きく損わ、ｈる。
リッター７により水平方向に反射してパワーモニターを
行なうが、このような水平方向への反射では共振器ジャ
ケット１内部のＹＡＧロッドと励起用ランプ２の位置関
係によりレーザー光６に偏光が起こっている場合、パワ
ーモニターとしての機能が大きく損わ、ｈる。
即ち、ビームスプリッタ−７による反射角は４５である
ためレーザー光６の水平方向の偏光（Ｓ偏光と称する）
と正直方向の偏光（Ｐ偏光と称する）ではその反射率が
大きく異なるが、第１図示の共振器ジャケラ１−１内部
のＹＡＧロッドと励起用ランプ２の位置関係でビームス
プリッタ−７による反射方向を水平方向とすると、ビー
ムスプリッタ−７により反射されるＳ偏光とＰ偏光の偏
光成分の比が常に一定ではなく、レーザー光６の出力変
化により変化するので、結果として出力検出器１１側へ
反射されるレーザー光６ａの割合がレーザー光６の出力
変化に比例せずに変わってしまい、パワーモニターとし
ての精度を低下させる原因と′ なる。
ためレーザー光６の水平方向の偏光（Ｓ偏光と称する）
と正直方向の偏光（Ｐ偏光と称する）ではその反射率が
大きく異なるが、第１図示の共振器ジャケラ１−１内部
のＹＡＧロッドと励起用ランプ２の位置関係でビームス
プリッタ−７による反射方向を水平方向とすると、ビー
ムスプリッタ−７により反射されるＳ偏光とＰ偏光の偏
光成分の比が常に一定ではなく、レーザー光６の出力変
化により変化するので、結果として出力検出器１１側へ
反射されるレーザー光６ａの割合がレーザー光６の出力
変化に比例せずに変わってしまい、パワーモニターとし
ての精度を低下させる原因と′ なる。
本実施例においては、上述のような場合ビス１２が螺合
するネジ穴８ａを換えることにより第２図示の如くビー
ムスプリッタ−保持台８を傾け、水平方向より約４５°
回転した方向へレーザー光６の一部を反射させて出力検
出器１１に入射させパワーモニターを行なう。こうして
ビームスプリッタ−７をレーザー光６の光軸を中心に約
４５°回転させれば、ビームスプリッタ−７によって反
射されるＳ偏光成分とＰ偏光成分の比が出力変化によっ
て変化せずに略一定となるので、レーザー光６の出力を
変えてもビームスプリッタ−７によって反射されるレー
ザー光６ａの前記レーザー光６に対する割合（つまりビ
ームスプリッタ−７の反射率）の変化は小さく、パワー
モニターとして充分使用に耐え得る精度になる。
するネジ穴８ａを換えることにより第２図示の如くビー
ムスプリッタ−保持台８を傾け、水平方向より約４５°
回転した方向へレーザー光６の一部を反射させて出力検
出器１１に入射させパワーモニターを行なう。こうして
ビームスプリッタ−７をレーザー光６の光軸を中心に約
４５°回転させれば、ビームスプリッタ−７によって反
射されるＳ偏光成分とＰ偏光成分の比が出力変化によっ
て変化せずに略一定となるので、レーザー光６の出力を
変えてもビームスプリッタ−７によって反射されるレー
ザー光６ａの前記レーザー光６に対する割合（つまりビ
ームスプリッタ−７の反射率）の変化は小さく、パワー
モニターとして充分使用に耐え得る精度になる。
また、共振器の構造の違いによってはビー１１スプリツ
ター７を傾ける角度が異なってくるが、その角度は各角
度でのレーザー光６の反射出力を測定することにより捜
し、上述の場合と同様に捜し出した適当な角度に対応す
るネジ穴８ａとビス１２を螺合させればよい。
ター７を傾ける角度が異なってくるが、その角度は各角
度でのレーザー光６の反射出力を測定することにより捜
し、上述の場合と同様に捜し出した適当な角度に対応す
るネジ穴８ａとビス１２を螺合させればよい。
以上のように、本発明によればビームスプリッタ−によ
る反射方向をレーザー光の出力変化によるビーム各プリ
ンターの反射率の変化が最も少ない方向へ任意に設定す
ることが可能となるので、パワーモニターとしてより正
確な値を検出することができる。
る反射方向をレーザー光の出力変化によるビーム各プリ
ンターの反射率の変化が最も少ない方向へ任意に設定す
ることが可能となるので、パワーモニターとしてより正
確な値を検出することができる。
尚、上記実施例においてはビームスプリッタ−としてガ
ラス製直角プリズム２個を貼合せた場合のみについて説
明したが、これに限定されるものではなく、ガラス或い
は結晶材料の平行平面板等であっても同様の効果が達成
できることは勿論である。
ラス製直角プリズム２個を貼合せた場合のみについて説
明したが、これに限定されるものではなく、ガラス或い
は結晶材料の平行平面板等であっても同様の効果が達成
できることは勿論である。
第１図及び第２図は本発明一実施例の斜視図である。
ｌ・・・共振器ジャケット
２・・・励起用ランプ （レーザー発振器）４・・・全
反射鏡 ５・・・部分反射鏡 ７・・・ビームスプリッタ− ８・・・ビームスプリッタ−保持台 ８ａ・・・ネジ六 （ビームスプリッ ９・・・取イ１け台 ター保持機構） １０・・・ビス １１・・・レーザー出力検出器 第 １ ｍ 第２図
反射鏡 ５・・・部分反射鏡 ７・・・ビームスプリッタ− ８・・・ビームスプリッタ−保持台 ８ａ・・・ネジ六 （ビームスプリッ ９・・・取イ１け台 ター保持機構） １０・・・ビス １１・・・レーザー出力検出器 第 １ ｍ 第２図
Claims (1)
- レーザー発振器と、該発振器から出射されたレーザー光
の光路中に配置され該レーザー光の一部を分光して出力
検出器に導くビームスプリッタ−とを具備し、前記出力
器の出力から前記レーザー光の全出力をモニターするレ
ーザー装置において、前記ビームスプリッタ−によるレ
ーザー光の反射方向を、前記発振器に対して所定の向き
にするビームスプリッタ−保持機構を設けたことを特徴
とするレーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP906684A JPS60153187A (ja) | 1984-01-21 | 1984-01-21 | レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP906684A JPS60153187A (ja) | 1984-01-21 | 1984-01-21 | レ−ザ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60153187A true JPS60153187A (ja) | 1985-08-12 |
| JPH0343795B2 JPH0343795B2 (ja) | 1991-07-03 |
Family
ID=11710235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP906684A Granted JPS60153187A (ja) | 1984-01-21 | 1984-01-21 | レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60153187A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006129757A1 (ja) * | 2005-06-02 | 2009-01-08 | エスティーシー株式会社 | 半導体レーザ励起固体レーザ制御装置、及びこれを備えた半導体レーザ励起固体レーザ装置、並びにこれを備えた画像形成装置 |
| JPWO2013098887A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2015-04-30 | 三菱電機株式会社 | レーザ出力測定装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5497082A (en) * | 1978-01-17 | 1979-07-31 | Mitsubishi Electric Corp | Intensity detector of laser beam |
-
1984
- 1984-01-21 JP JP906684A patent/JPS60153187A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5497082A (en) * | 1978-01-17 | 1979-07-31 | Mitsubishi Electric Corp | Intensity detector of laser beam |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006129757A1 (ja) * | 2005-06-02 | 2009-01-08 | エスティーシー株式会社 | 半導体レーザ励起固体レーザ制御装置、及びこれを備えた半導体レーザ励起固体レーザ装置、並びにこれを備えた画像形成装置 |
| US7830931B2 (en) | 2005-06-02 | 2010-11-09 | Stc Inc. | Semiconductor laser excitation solid laser device and an image formation device having the same |
| JPWO2013098887A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2015-04-30 | 三菱電機株式会社 | レーザ出力測定装置 |
| US9534953B2 (en) | 2011-12-27 | 2017-01-03 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser output measuring apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0343795B2 (ja) | 1991-07-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |