JPS60136360A - ペレツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、ペレットの管理内容の認識、たとえばペレッ
トの形成工程、ペレットの検査工程またはペレットの種
顛等の認識に適用して特に有効な技術に関するものであ
る。

［背景技術］ 一般に、半導体装置のペレットはりソグラフイ技術とス
パフタリングまたは蒸着等のデボジョン技術を繰り返す
細かい作業工程を経て形成される。

これらの連続した工程を正確に行うために、予め形成し
ておくか、または各工程毎に形成する認識部で次工程を
判別する方法を採用することが考えられる。

また、形成した回路パターンの検査内容、たとえば配線
寸法等の情報に関する認識部をもペレットの一部に形成
しておくと、検査を容易に行うことができる効果もある
。

さらに、前記認識部はりソゲラフイエ程のマスクの位置
合わせ等の目印としての利用も重要である。

前記認識部をペレットに形成する方法としては、回路パ
ターンの一部、たとえば特定のスルーホールまたは配線
１１等に認識機能を付与して、該回路パターンそのもの
を利用して形成することも考えられる。

ところが、前記方法は非常に微細なパターンで形成され
ている回路の一部を利用するものであるため、その認識
部自体の検索に時間を要したり、また微細であるが故に
誤認したりし易いという問題があることが、本発明者に
よって見い出された。

［発明の目的］ 本発明の目的は、ベレットの形成工程または検査内容等
を正確にかつ迅速に認識するための技術を提供すること
にある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

［発明の概要］ 本願において開示きれる発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、ベレットの形成工程等の情報を備えた認識部
を回路パターンの一部または該パターン内部に分散して
形成することなく、回路形成部周囲の任意の位置に複数
情報を集中させた認識部を独立して形成することにより
、記録されている情報を正確にかつ確実に読み取ること
ができるようにし、前記目的を達成するものである。

［実施例１コ 第１図は、本発明による実施例Ｉであるべし。

トの概要を平面図で示したものである。

本実施例のベレットは、概ねシリコン（Ｓｉ）基４ｆｊ
、　１のほぼ中央部に広い形状の配線形成部２が破線で
示すように形成されているもので、さらに、該配線形成
部周囲のベレットのコーナ一部に認識部３が情報を一箇
所に集中させた状態で形成されてなるものである。

前記のように、多くの情報を一箇所に集中させることに
より、記録されている情報を正確にかつ容易に判読する
ことができ、さらに該情報を文字、図形もしくは記号ま
たはこれらの任意の組合せで記録することにより、高密
度の情報を有する認識部を形成することができる。

なお、前記認識部は、予め形成しておいてもよく、また
ベレットの回路形成の各工程毎に情報を書き加えて行く
こともできる。

たとえば、ペレット上面全体にホトレジストを被着した
状態で、回路パターンを露光、現像する際に、同時にペ
レットコーナ一部のホトレジスト膜に所定情報を記録し
て認識部の１つとして利用することもできる。また、Ｉ
Ｃのベースを形成するためにＳｉ基板をエツチングする
際に、同時にベレットコーナ一部をもエツチングして認
識部を形成することもできる。

各工程毎に、エツチング等で認識部を形成する方法を採
用することにより、前の工程で形成した認識部は絶縁層
をスパッタリング等で形成したために、該認識部を光学
的手段によっては判読できなくなる場合であっても、そ
の都度、後の工程の情報を記録することができるので、
工程の自動化を容易に行うことができる。

［実施例２］ 第２図は、本発明による実施例２であるベレットの概略
を平面図で示したものである。

本実施例２のベレットは、認識部３が２箇所に丁度対向
する位置のコーナ一部に形成されているもので、他の構
成はほぼ実施例１のベレットと同様のものである。

前記ペレットのように、２箇所に認識部を形成すること
により、さらに多くの情報を記録することができるもの
である。

し効果］ （１）、ベレットの回路形成部周囲の任意の位置に情報
を集中させた認識部を独立して形成することにより、記
録されている情報を容易にかつ正確に判読することがで
きるので、工程等の認識を迅速にかつ正確に行うことが
できる。

＋２１．　認識部を文字、図形もしくは記号またはこれ
らを任意に組み合わせて形成することにより、多くの情
報を高密度に記録した認識部を形成することができる。

（３）、前記＋１１および（２）により、ベレットの回
路形成工程または検査等の精密な管理を迅速にかつ正確
に行うことができる。

（４）、前記（１）により、マスク等の位置合わせの目
印を容易に認識することができるので、回路形成作業の
能率を向上させることができる。

（５）、前記（１）〜（４）により、回路形成工程、検
査工程等の自動化を容易に行うことができる。

（６）、前記１１１により、ペレットの種類の判別を容
易に行うことができる。

（７）、前記（１）により、完成したペレットの形成工
程または材料等の追跡を容易に行うことができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

たとえば、実施例では認識部を１または２箇所に形成し
たものについて示したが、これに限るものでないことは
いうまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による実施例１であるペレットを示す
概略平面図、 第２図は、本発明による実施例２であるペレットを示す
概略平面図である。 １・・・Ｓｉ基板、２・・・配線形成部、３・・・認識
部。 第　１　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、回路形成部周囲の任意の位置に認識部が形成されて
   いるペレット。 ２、認識部が複数の情報を集中して形成されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のペレット。 ３、認識部が文字、図形もしくは記号またはこれらの任
   意の組合せで形成されていることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項または第２項記載のペレット。