JPS60133517A - 磁気抵抗効果型磁気ヘツド - Google Patents
磁気抵抗効果型磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS60133517A JPS60133517A JP23975783A JP23975783A JPS60133517A JP S60133517 A JPS60133517 A JP S60133517A JP 23975783 A JP23975783 A JP 23975783A JP 23975783 A JP23975783 A JP 23975783A JP S60133517 A JPS60133517 A JP S60133517A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- magnetoresistive
- magnetoresistance effect
- height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
- G11B5/3929—Disposition of magnetic thin films not used for directly coupling magnetic flux from the track to the MR film or for shielding
- G11B5/3932—Magnetic biasing films
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はバイアス磁界を印加した磁気抵抗効果屋磁気ヘ
ッドに関し、さらには、バイアス磁界発生手段として硬
磁性薄膜を用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドに関する。
ッドに関し、さらには、バイアス磁界発生手段として硬
磁性薄膜を用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドに関する。
磁気抵抗効果型磁気ヘッドでは、パーマロイ等の軟磁性
の薄膜を磁気抵抗効果膜として用い、十分な感度と線型
性を持たすため、第１図に示す如く、磁気抵抗効果膜１
ｏの近傍に硬磁性薄膜２゜を配し、硬磁性薄膜の発生す
る磁界をバイアス磁界とし、さらにヘッドとしての分解
能を上げるために、両側に軟磁性膜３０．３１を両側に
配している。この場合、硬磁性膜２ｏから発生する磁束
は、硬磁性膜の上下の端部に表われる自由磁極のため、
軟磁性膜３０と磁気抵抗効果膜１ｏとに分流し、さらに
磁気抵抗効果膜１ｏに流れる磁束の一部は、軟磁性膜３
１にも分流し、著しく、バイアス効果を弱めてしまう。
の薄膜を磁気抵抗効果膜として用い、十分な感度と線型
性を持たすため、第１図に示す如く、磁気抵抗効果膜１
ｏの近傍に硬磁性薄膜２゜を配し、硬磁性薄膜の発生す
る磁界をバイアス磁界とし、さらにヘッドとしての分解
能を上げるために、両側に軟磁性膜３０．３１を両側に
配している。この場合、硬磁性膜２ｏから発生する磁束
は、硬磁性膜の上下の端部に表われる自由磁極のため、
軟磁性膜３０と磁気抵抗効果膜１ｏとに分流し、さらに
磁気抵抗効果膜１ｏに流れる磁束の一部は、軟磁性膜３
１にも分流し、著しく、バイアス効果を弱めてしまう。
これ防ぐために、硬磁性膜と磁気抵抗効果膜の高さを同
一とすることが考えられるが、フォトリソグラフィー技
術を用いて磁性膜や絶縁膜を形成するため、マスクの位
置合せ精度が±１μｍ程贋あ０、実質上実現は極めて困
嬉である。
一とすることが考えられるが、フォトリソグラフィー技
術を用いて磁性膜や絶縁膜を形成するため、マスクの位
置合せ精度が±１μｍ程贋あ０、実質上実現は極めて困
嬉である。
本発明は、磁気抵抗効果膜に十分なバイアス磁界を与え
て、十分な感度と線型性を有する磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドを提供することを目的とする。
て、十分な感度と線型性を有する磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドを提供することを目的とする。
本発明は、磁気抵抗効果膜にバイアス磁界強度を与える
硬磁性膜の磁気記録媒体対向面からの高さを、磁気抵抗
効果膜の磁気記録媒体対向面からの高さよりも低くした
ことを特徴とする。こうすることにより、磁気抵抗効果
膜に効率よくバイアス磁界を印加でき、かつ、製造上の
各磁性膜の位置合せ精度に依らない、ヘッド特性の安定
した磁気抵抗効果型磁気ヘッドが実現できる。
硬磁性膜の磁気記録媒体対向面からの高さを、磁気抵抗
効果膜の磁気記録媒体対向面からの高さよりも低くした
ことを特徴とする。こうすることにより、磁気抵抗効果
膜に効率よくバイアス磁界を印加でき、かつ、製造上の
各磁性膜の位置合せ精度に依らない、ヘッド特性の安定
した磁気抵抗効果型磁気ヘッドが実現できる。
本発明の実施例を第２図に示す。本発明では、非磁性の
基板３６上にシールド用軟磁性膜３０゜絶縁膜３５を第
２図のように形成し、硬磁性膜２０の磁気記録媒体４０
の対向面からの高さを磁気抵抗効果膜１０の高さよりも
低くしている。この時、磁気抵抗効果膜内のバイアス磁
界による磁化の分布は、第３図に実線６０で示す如くな
り、従来の方法（破線７０）に比べてより強く磁化され
ていることが分る。しかも、Ｍ気抵抗効未膜内でより一
様な分布に近付いている。図中Ａ点が磁気抵抗効果膜ｌ
Ｏの上端を示し、Ｂ点が本発明（第２図）での硬磁性ｆ
ｓ２０の上端を示している。
基板３６上にシールド用軟磁性膜３０゜絶縁膜３５を第
２図のように形成し、硬磁性膜２０の磁気記録媒体４０
の対向面からの高さを磁気抵抗効果膜１０の高さよりも
低くしている。この時、磁気抵抗効果膜内のバイアス磁
界による磁化の分布は、第３図に実線６０で示す如くな
り、従来の方法（破線７０）に比べてより強く磁化され
ていることが分る。しかも、Ｍ気抵抗効未膜内でより一
様な分布に近付いている。図中Ａ点が磁気抵抗効果膜ｌ
Ｏの上端を示し、Ｂ点が本発明（第２図）での硬磁性ｆ
ｓ２０の上端を示している。
磁気抵抗効果膜内の点Ａ１ Ｂの間で本発明の場合、磁
化が逆転しているが、実際のヘッドの場合、信号磁化５
０からの磁束は、磁気抵抗効果膜の媒体対向面付近で最
大となり、高さ方向（ｙ方向）にはほぼ指数函数的に減
衰するため、点ＡＢ間での逆転した磁化の影響は無視で
きる。
化が逆転しているが、実際のヘッドの場合、信号磁化５
０からの磁束は、磁気抵抗効果膜の媒体対向面付近で最
大となり、高さ方向（ｙ方向）にはほぼ指数函数的に減
衰するため、点ＡＢ間での逆転した磁化の影響は無視で
きる。
次に本実施例の効果について具体的にのべる。
本実施例では、硬磁性膜２０としてＣｏ −Ｐｔ膜（Ｂ
ｒ−ｓｏｏｏＧ）を磁気抵抗効果膜１０としてパーマロ
イ膜を、絶縁膜３５として５ｉｎ２膜を用いた。
ｒ−ｓｏｏｏＧ）を磁気抵抗効果膜１０としてパーマロ
イ膜を、絶縁膜３５として５ｉｎ２膜を用いた。
従来例は、磁気抵抗効果膜の高さ１５μｔｎ、硬磁性膜
高さ２０ ｐｍ、磁気抵抗効果膜とＶ磁性膜の間の絶縁
膜の厚み０．３μｍ１磁気抵抗効果膜と両側のシールド
膜までの距［０，８μｍとした。この時第４図に破＋ｌ
ｉ！９０で示すような再生波形が得％となりた。
高さ２０ ｐｍ、磁気抵抗効果膜とＶ磁性膜の間の絶縁
膜の厚み０．３μｍ１磁気抵抗効果膜と両側のシールド
膜までの距［０，８μｍとした。この時第４図に破＋ｌ
ｉ！９０で示すような再生波形が得％となりた。
本実施例で、磁気抵抗効果膜１０の高さ１５μｍ１硬磁
性膜２０の高さ１３μｍとした時（他の寸法は従来の方
法と同じ）第４図の実＃８０で示す孤立磁化の再生波形
が得られ先に定義した上下非対称は３％以下が得られ、
出力振幅（ＩＶ＋Ｉ＋ＩＶ−１）も約２倍となった。こ
れは磁気抵抗効果膜ｔこ十分なバイアス磁界が印加して
いることを表わし、本発明が極めて有効であることを示
している。
性膜２０の高さ１３μｍとした時（他の寸法は従来の方
法と同じ）第４図の実＃８０で示す孤立磁化の再生波形
が得られ先に定義した上下非対称は３％以下が得られ、
出力振幅（ＩＶ＋Ｉ＋ＩＶ−１）も約２倍となった。こ
れは磁気抵抗効果膜ｔこ十分なバイアス磁界が印加して
いることを表わし、本発明が極めて有効であることを示
している。
本実施例では、基板３６上に軟磁性膜３Ｏを形成しシー
ルド膜とした例について述べたが、基板３６をフェライ
ト等の軟磁性の部材として、シールド膜を兼ねた場合に
ついても、シールド膜３１を軟磁性の部材としても、同
様の効果が期得できることは明らかである。
ルド膜とした例について述べたが、基板３６をフェライ
ト等の軟磁性の部材として、シールド膜を兼ねた場合に
ついても、シールド膜３１を軟磁性の部材としても、同
様の効果が期得できることは明らかである。
以上の如く、本発明によれば磁気抵抗効果膜に効率よく
バイアス磁界を印加でき、しかも製造上の各磁性膜の位
置合せｎ度に依らないヘッド特性の安定した磁気抵抗効
果型磁気ヘッドが実現できる。
バイアス磁界を印加でき、しかも製造上の各磁性膜の位
置合せｎ度に依らないヘッド特性の安定した磁気抵抗効
果型磁気ヘッドが実現できる。
第１図は、従来例を説明するための図、第２図は本発明
による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面図、第３図は、
磁気抵抗効果膜内の磁化状態を説明するための図％Ｍｆ
Ｊ４図は従来と本発明の磁気抵抗効果型磁気へ、ドから
得られる再生波形の一例を比較して示す図である。 １Ｏ・・・磁気抵抗効果膜、２０・・・硬磁性膜。 ３０．３１・・・軟磁性膜、３５・・・絶縁膜、３６・
・・基板、４０・・・磁気記録媒体、５０・・・記録磁
化。
による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面図、第３図は、
磁気抵抗効果膜内の磁化状態を説明するための図％Ｍｆ
Ｊ４図は従来と本発明の磁気抵抗効果型磁気へ、ドから
得られる再生波形の一例を比較して示す図である。 １Ｏ・・・磁気抵抗効果膜、２０・・・硬磁性膜。 ３０．３１・・・軟磁性膜、３５・・・絶縁膜、３６・
・・基板、４０・・・磁気記録媒体、５０・・・記録磁
化。
Claims (1)
- パーマロイ等の所望の磁気抵抗効果膜を用い、当該磁気
抵抗効果膜にバイアス磁界強度を与える手段として、硬
磁性の部材を具備し、それらの両側を軟磁性の部材では
さむ構造とした磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、当
該硬磁性部材の磁気記録媒体対向面からの高さを、該磁
気抵抗効果膜の高さよりも低くしたことを特徴とする磁
気抵抗効果型磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23975783A JPS60133517A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23975783A JPS60133517A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60133517A true JPS60133517A (ja) | 1985-07-16 |
Family
ID=17049466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23975783A Pending JPS60133517A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60133517A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03244170A (ja) * | 1990-02-22 | 1991-10-30 | Nec Corp | 磁気抵抗効果素子及び磁気抵抗効果ヘッド |
-
1983
- 1983-12-21 JP JP23975783A patent/JPS60133517A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03244170A (ja) * | 1990-02-22 | 1991-10-30 | Nec Corp | 磁気抵抗効果素子及び磁気抵抗効果ヘッド |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS62184616A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド | |
| JPS60133517A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド | |
| JP3024218B2 (ja) | 磁気信号検出装置 | |
| JP2701748B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子およびそのバイアス印加方法 | |
| JPS6050612A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド | |
| JPH0719343B2 (ja) | 磁気抵抗型磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS5987617A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH08203032A (ja) | 磁気抵抗効果再生ヘッド | |
| JPH048852B2 (ja) | ||
| JPS6050607A (ja) | 垂直磁気記録再生ヘツド | |
| JPH011112A (ja) | 磁気抵抗効果型ヘッド | |
| JPS63129511A (ja) | 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘツド | |
| JPS6288122A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘツドにおけるバイアス磁界印加方法 | |
| JPS58189819A (ja) | 磁気抵抗効果ヘツド | |
| JPS61258322A (ja) | 磁気抵抗効果ヘツド | |
| JPS5994225A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS647485B2 (ja) | ||
| JPS61237218A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘツドにおけるバイアス付与方法 | |
| JPS61196418A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH0668420A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS59168917A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド | |
| JPS61214259A (ja) | 磁気転写素子 | |
| JPH0115927B2 (ja) | ||
| JPH01169710A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS62239308A (ja) | 磁気抵抗型磁気ヘツド |