JPS60132832A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、基板に処理を施す作業ステーションへの基板
の供給と同ステーションからの処理後の基板の排出とを
自動的に行う基板搬送装置に関する。

（従来技術） この種の装置は、一般に基板に処理を施す作業ステーシ
ョンと、未処理の基板が収納された搬入側マガジンと、
肌理後の基板が収納される搬出側マガジンとを備えてい
る１、そして搬出側マガジン内の基板は、ベルトコンベ
ヤ等の手段により作業ステーションに搬入され、ここで
処理される。処理後の基板は、さらにベルトコンベヤ等
の手段により作業ステーションから搬出され、搬出側マ
ガジン内に搬送される。

ところで作業ステーションには、搬送された基板が載置
されるターンテーブルや基板に処理を施すためのインサ
ートマシーンが設けられておシ、従って基板を搬入中搬
出するためにベルトコンベヤ等の位置が固定された手段
を用いる’ｌ−にはインサートマシーンとベルトコンベ
ヤ等とが相互に干渉し合うことになシ、このためこれら
を近接大亡ることはできなかった。従って基板の作業ス
テーションに対する正確な位置決めができないという問
題があった。

（発明の目的） 本発明の目的は１作業ステーションに設けられたイン丈
−トマシーンと基板の搬送手段とが相互に干渉１．ない
基板搬送装随を提供することにある。

（発明の構成） 本発明は、基板が収納された搬入側マガジン装置と、該
装置から所定の間隔をおいて該装置の下流側に設けられ
た搬出側マガジン装置と、両マガジン装置間に配置され
た作業ステーションと、前記搬入側マガジン装置と作業
ステーションとの間に位置しかつこれら両者間を移動自
在に設けられた着ステーションと、前記搬出側マガジン
と作業ステーションとの間に位置しかつこれら両者間を
移動自在に設けられた脱ステーショント、前記３つのス
テーション面によって構成される前記基板の搬送路沿い
に移動自在なブツシャ台と％該ブツシャ台に設けられか
つ前記搬送路沿いに位置して前記基板の後端に当接自在
な作動位置と該搬送路から離間した休止位置とを有する
出没自在なグツシャとを備えることによシ、搬送路沿い
に出没自在なブツシャによって基板を作業ステーション
に搬入した後、ブツシャを搬送路から離間さぎ、基板の
処理を行うもので、搬送後のブツシャは原点に復帰し。

次の搬送を行う、というものである。

（実施例） 以下図面に示す実施例を参照しながら本発明を説明する
と、第１図ないし第３図に示すように本発明に係る装置
は、搬入側マガジン装置１１と、同装置Ｉから所定の間
隔をおいてその下流側に配置された搬出側マガジン装置
ｎと、脚装置間に配置された作業ステーション１「と、
搬入側マガジン装置Ｉと作業ステーション■との間に位
置する着ステーション■と、搬出側マガジン装置Ｕと作
業ステーション■との間に位置する脱ステーションＶと
力為ら構成されている。

以下これら各部について説明する。

Ｅ記搬入側マガジン装［１は、基板収納棚（図示亡ず）
が設けられたマガジン１を水平方向に移動さ亡るマガジ
ン用の供給コンベヤ２と。

同コンベヤ２から搬送されてきたマガジン１を鉛直方向
に上昇さ亡るエレベータ装置３とから構成されており、
該装置３の上部には、マガジン１内の基板４を１枚づつ
着ステーション■上に送り出す送りローラ５が設けられ
ている。

上記着ステーション■は、エレベータ装置３に隣接して
設けられており、該ステーション■ｈには、基板４を搬
送するためのベルトコンベヤ６が付設されている。この
着ステーション■は、基板４がベルトコンベヤ６によっ
て搬送され、同ステーション■の先端に達すると１図示
しないエアシリンダが作動することにより下流側方向に
移動し１作業ステーションＩＩＩ　ｉの後述する搬送ガ
イドと近接状態になるようになっている。また、エアシ
リンダが不作動時には着ステーション■は作業ステーシ
ョン■とｉｔ：２５０ｍ離れた位置にもどる。

上記搬出側マガジン装置■は、］般大入側ガジン装置Ｉ
と同様に、マガジン１を下降さぎるエレベータ装＠７と
、エレベータ装置７内のマガジン１を排出する排出コン
ベヤ８とを備えている。

上記エレベータ装置７にハ、脱ステーションＶが隣接し
て設けられており、該ステーションＶ上には基板４をエ
レベータ装置７方向に送るベルトコンベヤ９′が付設さ
れている。この脱ステーションＶは１図示しないエアシ
リンダによって作業ステーション■方向に移動自在とな
っており、移動時には作業ステーション■上の搬送路と
近接状態になるようになっている。また。

着ステーション■と同様にエアシリンダが不作励時には
脱ステーションＶは作業ステーション■とは２５０調離
れた位置にもどる。

これら着ステーション■と脱ステーションＶとの間には
１作業ステーション■が設けられている。この作業ステ
ーション■にはＸ−Ｙの平面方向に移動自在なＸ−Ｙテ
ーブルｌｌａと該Ｘ−Ｙテーブル上で回転自在なターン
テーブルｌｌｂと該ターンテーブル上に位置決めされる
ワークボードｌｃが設けられている。該ワークボード上
には同定の搬送ガイドｌ［ｌｄと基板４の大きさに合わ
亡てその位置が変えられる可動の搬送ガイドｌｅａが設
けられている。また１作業ステーション■上方には基板
４に魁理を施す図示しなインサートマシンが設けられて
いるう該インサートマシンの部品挿入ヘッドのヘット中
心０は着ステーション■と脱ステーションＶとを結ぶ搬
送ガイド上からは偏位した位置にあるため。

ターンテーブル上に搬送された基板４に部品を挿着する
ときにはＸ−Ｙテーブルをヘッド中心方向に移動させ、
ターンテーブルを回動させて適宜の位置に設定する。

上記着ステーション■から作業ステーション■にかけて
グツシャ台１Ｏが設けられている。このブツシャ台１０
は、これらステーションＩｎ、ＩＶよシも上位に位置し
ておシ、その両端部上には、１対のブツシャ用シリンダ
１１．１２　（但し、　１２は図示省略）が設置されて
いる。該シリンダ１１゜１２のピストンｌｌａ、１２ａ
の先端部には、揺動リンク１３．１４　（但し、１４は
図示省略）の基端部が回転自在に増付けられておシ、そ
の先端部はブツシャ台１０に回転自在に取付けられてい
る。そして該リンク１３；１４の両端部間には、ブツシ
ャ１５゜１６の基端部が固定されてお如１図示の如く、
ピストンＩｌａ、１２ａが伸長すると、ブツシャ１５．
１６は、はぼ９０’回動してその先端部は着ステーショ
ン■及び作業ステーション川上に位置する作動位置人を
とる。これと逆にピストｙ　ｌｌａ、１２ａが退勤する
と、ブツシャ１５．１６は上記とは反対に反時計方向に
回動し１着ステーション■及び作業ステーション■と略
平行になる体止位ｄＢをとる。

上記ブツシャ台１０の長手方向沿いには、ブツシャ台摺
動シリンダ１７が設けられており、そのピストン１７ａ
の先端部に回転自在に取付けられたローラ１８は、ブツ
シャ台１０に摩擦係合し得るようになっている。このロ
ーラ１８は、ブツシャ台１Ｏよシも作業ステーション■
側寄ＤＫあって。

作業ステーション■沿いに伸張するガイドレール１９に
も摩擦係合し得るようになっており、従ってブツシャ台
１０は、ピストン１７ａの進退動に応じてその長手方向
に移動し得ることになる。

上記ガイドレール１９の先端部には、軸承部２０が取付
けられておシ、この軸承部２０には、ストツバ２１の基
端部が回転自在に取付けられている。

このストッパ２１は、その先端部が作業ステーション川
上に位置する作動位＃Ｘと１作業ステーションｍと平行
状の姿勢をとる体止位１ｔＹとの２つの位置をとること
が可能である。このストツバ２１の両端間には、ストッ
パ用シリンダ２２のピストン２２ａの先端部が取付けら
れてお）、このピストン２２ａの進退動によシストツバ
２１は回動し得るようになっている。

次に上記構成に係る装置の作用について述べる。

マガジン用の供給コンベヤ２を作動さげると。

マガジン１は第１図ないし第３図において左方向に移動
し、エレベータ装置３の昇降台２３上に載置される。こ
の昇降台２３は、駆動ユニット２４によって枢動されト
昇する。上昇が停止すると、送りローラ５が作動し、マ
ガジン１内の基板４は同ローラ５によって１枚づつ音ス
テーションＶ上のベルトコンベヤ６上に搬入され、同コ
ンベヤ６によって着ステーション■の先端部（下流側の
端部）まで搬送される。基板４が同位置に達すると、図
示しない着ステーション用のシリンダが作動し１着ステ
ーション■は作業ステーション■方向に移動する。そし
て同ステーション■の先端部が作業ステーションｍ１に
所定距離だけ進入したところで停止する。

他方脱ステーションＶも着ステーション■と同様に動作
する。即ち１着ステーション用のシリンダが作動すると
同時に図示しない脱ステーション用のシリンダも作動し
、これによって脱ステーションＶは作業ステーションｍ
方向に移動することになり、その先端部が同ステーショ
ン■上に所定距離だけ進入したところで停止する。

図示しない検知手段が１着ステーション■の停止を検知
すると、グツシャ用シリンダ１１．１２が作動し、その
ピストンｌｌａ、１２ａが伸長するため、ブツシャ１５
．１６は水平位置から約９σ回動し。

その先端部は着ステーション■及び脱ステー、ジョンＶ
上に位置する。これら両ブツシャ１５．１６の先端部は
、夫々のステーション■、ｖ上に位置する基板４の後端
側に位置するように設定されている。

次いでブツシャ台摺動シリンダ１７が作動し。

そのピストン１７ａが伸長すると、その先端部に設けら
れているローラ１８がグツシャ台１０に摩擦係合してい
るため、ブツシャ台１Ｏは下流方向に移動することにな
シ、これと共にグツシャ１５゜１６も下流方向に移動す
る。ブツシャ１５．１６は。

作動位置Ａにおいてその先端部が基板４の後端に当接自
在となっており、従ってブツシャｆ’５１０が移動する
と、ブツシャ１５．１６は基板４をその後端から押すこ
とになり、この結果基板４は下流方向に搬送され１着ス
テーション■トの基板４は作業ステーション■に、また
作業ステーション■トの基板４は脱ステーションＶ上ニ
搬入されることになる。

ところで前述したように１作業ステーション■の所定位
置には、ストッパ２１が設けられておシ、同ステーショ
ンｍ上の基板４の後端が通過すると、その先端部は同ス
テーション■Ｌに達し作動位置をとる。この位置は、基
板４が当接する位置になってお多、従ってブツシャ１５
．１６によって搬送されてきた基板４は、その先端がス
トッパ２１に当接することにより尚該位置で停止するこ
とになる。

このストツバ２１の利点は１次の点にある。即ち、基板
４には大から小首で樵々の寸法があシ。

従って基板４の寸法に応じて装置に同等カλの変更を施
さ５なければ、基板４の停止位置にばらつきが生じるこ
とになる。つまり寸法が大きい基板４は、小声い基板４
よシも寸法の差だけ短い時間で作業ステーション■に到
達するふらである。従ってこのようなばらつきをなくす
ためには、基板４の寸法に応じて装置に何等力為の変更
を施さなければならない。しかしこれでは煩しさに耐え
得ない。

そこで、、Ｕ己ストッパ２１が用いられるのである。

つまシ、ストッパ２１の正確な位置と、ブツシャ台摺動
シリンダ１７のストローク速度と、退勤時におけるピス
トン１７ａの先端からストッパ２１までの距離とが予め
わ２５．っていれば、基板４の先端がストッパ２１に達
するまでの時間がわかることになる。そこで最も寸法の
短い基板４を選び。

当該基板４がストッパ２１に達する時間を測定し。

この測定時間をタイマにセットしておき、タイマの設定
時間が満了したところでブツシャ台摺動シリンダ１７の
作動が停止するようにしておく。

このように設定しておけば、当該基板４がストツバ２１
に当接したところで基板４が停止すると共にブツシャ台
摺動シリンダ１７の作動も停［卜する。

処理を施すべき基板４の寸法が上記基板４のそれよりも
大きい場合には、最も寸法の小さい基板４よシも短い時
間でストッパ２１に到達することにな）％従って基板４
は停止Ｆするが、タイマの設定時間は満了していないた
め、ブツシャ台摺動シリンダ１７は設定時間が満了に到
るまで作動を継続する。

このようにタイマの設定時間が満了した時点で１作業ス
テー７ヨン■上にあった基板４は。

脱ステーションＶ）：に達している。

かくして着ステーション■上の基板４が作業ステーショ
ン１１１上に、ｔた作業ステーション川上の基板４が脱
ステーションＶ上に達すると。

グツシャ１５．１６及びストッパ２１は休止位置に復帰
し、ブツシャ台１０．着ステーション■及び脱ステーシ
ョンＶも夫々元の位置に復帰する。

次いで作業ステーション■のＸ−Ｙテーブル１１１ａは
搬送ガイドと直交する方向に動いて基板４を作業ステー
ション■に設けられた図示しないインサータマシンのヘ
ッドの真下に移動する。

そしてインサータマシンが作動し、基板４の所定の位置
に部品を挿着する。この間、脱ステージａンＶｋ、の基
板４は、押込みシリンダ２５及ヒコンベア９′によって
エレベータ装置７のマガジンｌ内に収納されることに々
す、収納が完ｒしたならば、押込みシリンダ２５は元の
位置に復帰する。またこの間、搬入側のマガジン内から
基板４が着ステーション■上に供給される。

尚、搬入側のエレベータ装置３内で空になったマガジン
１は、供給コンベヤ２の上方に設けられた排出コンベヤ
２ａによシ排出され、また搬出側では、排出コンベヤ８
の上方に設けられた供給コンベヤ８ａによって空のマガ
ジン１がエレベータ装置７内に供給されるようになって
ｉる。

（効　果） 本発明は５以上から明らかなように、移動自在な着俸脱
ステーションと、基板の搬送路面に出没自在なグツシャ
によって基板の搬送を行うので１作業ステーションに設
けられたインサータマシーンとの相互干渉を回避するこ
とができ。

従って１作業ステーションに対する基板の位置精度が向
上する。

また上記搬送手段は、平面沿いに移動するため、装置の
簡素化、小型化が図れることになる。

さらに、構成が簡単なため、メンテナンスが容易になシ
、シかも基板の供給、排出を一動作　″で行うことがで
きるため作業時間が短縮化される。

【図面の簡単な説明】

ｔ４１図は本発明に係る装置の概略図、第２図（ａ）　
、　（ｂ）　、　（ｃ）　、　（ｄ）は同装置の側面図
、第３図（ａ）。 山）　、　（Ｃ）　、　（ｄ）は同装置の平面図、第４
図は同装置の作用を示す説明図である。 ■　・・・搬入側マガジン装置 ■　・・・搬出側マガジン装置 ■・・・作業ステーション ■・・・着ステーション Ｖ…脱ステーション ４・・・基板 １Ｏ・・・　ブツシャ台 １５　、１６・・・ブツシャ Ａ・・・作動位置 Ｂ・・・休止位置 特許出願人　トキコ株式会社 − ，−１ 〈　〉 ”ｃｒ、４ｐ″　τμ、 ｔ、　＞、　、　、Ｉ”””昧 −レ 〜　」七」１″″′ ＼ 幾　７〈）レヘリ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （ｌ）基板が収納された搬入側マガジン装置と。 該装置から所定の間隔をおいて該装置の下流側に設けら
   れた搬出側マガジン装置と１両マガジン装置間に配置さ
   れた作業ステーションと、前記搬入側マガジン装＋Ｉｔ
   と作業ステーションとの１ｆｌＫ位置しかつこれら両者
   間を移動自在に設けられた着ステーションと、前記眼用
   側マガジンと作業ステーションとの間に位置しかつこれ
   ら両者間を移動自在に設けられた脱ステーションと、前
   記３つのステーション面によって構成される前記基板の
   搬送路沿いに移動自在なブツシャ台と、該ブツシャ台に
   設けられかつ前記搬送路面に位ｒｔ　して前記基板の後
   端に当接自転なン＠位置と該搬送路から離間した休止位
   置とを有する出没自在なブツシャとを備えていることを
   特徴とする基板搬送装置。