JPS60131634A - 磁気記録媒体の製造方法及びその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野゛］ 本発明は、フィルム状ベースに大きな付着強度で磁気記
録層を形成可能とする磁気記録媒体の製造方法及びその
製造装置に関する。

［発明の技術的背貝とその問題点］ 従来、磁気記録媒体としては、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリアミド等の非磁性基板上にｒＦｅ２Ｏ３，Ｆ
ｅ３０ａ、Ｇｏ　・ｒＦｅ２Ｏ３、Ｃ０−Ｆｅ３Ｏ４等
の酸化鉄系磁性粉末、ＣｒＯ２等の磁性粉末あるいは合
金磁性粉末を塩化ビニール酢酸ビニル共重合体、スチレ
ン−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレタン
樹脂等の有機バインダー中に分散したものを塗布し、乾
燥さぜた塗布形磁気記録媒体が広く使用されていた。

一方、近年、磁気記録再生装置は、小型化、高密度化の
傾向にあり、高密度記録への要求の高まりとともに、強
磁性金属薄膜を磁気記録層とする金１［膜形の磁気記録
媒体が提案され、実用化への努力が種々行われており、
一部商品化されている。従来の塗布形磁気記録媒体では
、主として強磁性金属より飽和磁束密度の小さい金属酸
化物を磁性材料として使用しているため、高密度記録に
必要な薄形化が信号出力の低下をもたらすため限界にき
ていた。一方、金側■Ｑ形の磁気記録媒体は磁束密度が
塗布形の数倍で、減磁が少なく、高密度記録に優れてい
るという長所を持っている。

この金属薄膜形の磁気記録媒体をビデオテープレコーダ
用の磁気テープに使用すると、該磁気テープには高速度
で回転駆動される磁気ヘッドが摺接されるため、蒸着等
により形成された磁気配録層（磁性層）の付着強度が大
きくないと磁性層が剥れたりする等耐久性が問題となる
。

上記蒸着によって、磁性層を形成する場合、フィルムベ
ース表面が油分子等で汚れてない清浄な状態にあれば、
付着強度を大きく形成できるので、従来は真空蒸着装置
内で蒸着する前に、プラスティックフィルムベースに（
蒸着される）金属の付着力を上げるために、グロー放電
処理が行われていた。しかしながら、グロー放電処理は
、真空槽内でのフィルムベース表面に付着した（高真空
にする手段に広く用いられている）油拡散ポンプとか接
続部に用いられる真゛空グリース等の油分子を飛散除去
させて金属薄膜のフィルムベースへの付着力を大きくす
るのみでなく、フィルムベースの表面にダメージを与え
る等の不都合な副作用があった。又、フィルムベースに
あらかじめ下地コーティングを施した場合にも、グロー
放電処理の際、コーティングの性質の劣化させる虞れが
ある。

［発明の目的］ 本発明は上述した点にかんがみてなされたもので、プラ
スティックのフィルム状ベース又は下地層の特性を劣化
させることなく、蒸着等で形成される磁性層の付着強度
を大きくできる磁気記録媒体の製造方法及びその製造装
置を提供することを目的とする。

［発明の概要］ 本発明の製造方法は、蒸着又はスパッタリング等による
磁性層形成工程における蒸着又はスパッタリングの前に
所定の表面粗さより粗くしないで、且つ低温に保持した
低温ローラにて真空槽内のフィルムベースの表面に付着
した油分子等を前記低温ローラにて接触させて吸着除去
した後、蒸着又はスパッタリングを行うようにすること
によって、フィルム、ベースへの磁性層の付着力を大き
くできるようにしである。又、本発明の製造ａｈは、磁
性口形成用の装置において、上記低温ローラを設けて榊
成されている。

［発明、の実施例］ 以下５、図面を参照して本発明を具体的に説明する・、
　。

第１図及、１．び、第２図は本発明に係り、第１図は本
発明の製造方法に用いられる（１実施例、の製造装置を
形成する）蒸着装置を示し、第２図は第１図の要部を拡
大して、示、す。

Ｍ１図に示ずように（磁性層を蒸着によって形成、する
・磁性・層１形成、装置としての）蒸艙装ｕ１は、真空
槽２内に１ｘ下の部材を収納して形成されている。　・
　・ 即ち、真空１１２内には回転可能な巻出軸３が配設され
、該巻出軸３に巻回されたポリエステルフィルムベース
４は低温に冷却された回転可能な低温ローラ５外周に当
接するようにしてその前方のクーリングキャン６の側部
外周に沿って移動されるようになっている。このクーリ
ングキャン６の側部外周に沿って形成したキャンマスク
７で覆われていない部分を移動する際、クーリングキャ
ン６の略下方に配置したるつは８からフィルムベース４
の外周側の面に、強磁性金属９′を（面に）斜めに蒸着
して高抗磁力の磁性層１０を形成するようになっている
。しかしてクーリングキャン６の外周に沿って移動し、
途中で磁性層１０が形成された磁気テープ１１は、アイ
ドルローラ１２を経て巻取軸１３に巻き取られるように
なっている。

どころで上記巻出軸３と、クーリングキャン６配設され
た本発明の要部となる回転可能な低温ローラ５は十分低
温に保持されており、該低温ローラ５の外周に当接され
るフィルムベース４の表面に付着した油分子等を接触し
た際に吸着して、フィイレムベース４表面を清浄にする
ようにしである。上記フィルムベース４が当接する部分
以外の低温０−ラ５の外周はローラマスク１．４で覆わ
れ、真空４！２内を飛行している油分子等を吸着しない
ようにしである。

上記低温Ｏ−ラ５の温度及びその面精度９条件を変えて
行った実施例を次のよでになった。

実施例−１ 油拡散ポンプを用いた真空蒸着装置１において、予めポ
リエステルフィルムベース４を約１０分間真空中に露出
させ、その後に低温ローラ５を経て００７５％−Ｎ１２
５％合金を約１５０Ｏ人の膜厚に蒸着！行い、磁気テー
プ１１を形、成した。この場合低温ローラ５の（Ｊｌｓ
　、８　０６．、Ｏｌによる）面精度が、約ｏ、１−ｓ
Ｊ：１．下のものを用い、低温ロール５の温度を一２０
℃付近、−１０℃付近、０℃付近、２０℃付近にそれぞ
れ設定した状態で顎造した磁気テープにおける磁性層１
０の付着強度を調べるため、セロハンテープによる引き
はがしテストを行った。この引きはがしテスト←おいて
、磁性層１０のはがれ面積が０％のものを○印、０〜１
０％のものをΔ印、１０％以上のものをｘ印で表わすと
第１表に示す結果となった。

第　１　表 上記第１表から温度が一１０℃付近の温度以下の場合に
は付着強度を大きくできることが分る。

実施例−２ 低温ローラ５の面精度を約０．２−８として形成した磁
気テープに対して上記実施例−１と同様の測定を行った
。この結果を第２表に示す。

第　２　表 上記第１表及び第２表から本発明の製造方法における蒸
着工程（又は蒸着前処理工程）においで、低温ローラ５
はその面精度を約０．１−８以下とし、その温度を約−
１０℃以下にしたものを用いて吸着除去処理した後に蒸
着すると、磁性層１゜の付着強度の大きい磁気テープ１
１を製造できることがわかる。

尚、本発明はビデオ用、音声用あるいはコンピュータ用
磁気テープ等の他に磁気ディスク等の磁気記録媒体の製
造用にも適用できるものである。

又、上記ビデオ用に比べて音声用の磁気テープの場合に
は磁性層の付着強度は多少低いものでも使用できる場合
があり、゛第１表におけるΔ印の条件のもの、つまり面
精度が０．１−８で約Ｏ℃に保持した低温ローラ５を用
いて製造する場合も本発明に属する。又、同様に第２表
におけるΔ印の条件のもの、つまり面精度が０．２−８
で、約−２０℃に保持した低温ローラ５を用いて製造す
る方法及び製造装駅も本発明に属する。

尚、上述の実施例においては、低温ローラ５は単数配設
されているあみであるが、複数配設して第１のもので大
部分の付着分子を除去し、次のもの等後段側でより完全
に吸着除去するように構成することもできる。この場合
、前段側と後段側で濃度とか面精度を変えてより確実に
吸着除去したりするようにすることもできる。又、複数
設けた低温ローラを簡単に取り換えられるようにするこ
ともできる。例えば大径の回転板に取り付けた複数の低
温ローラを適宜使用後に所定の角度回転しとなく迅速且
つ簡単に使用するようにｉ成することもできる。

尚、上述においては磁性層１０を形成する手段として真
空蒸着装置を用いているが、本発明はこれに限定される
ものでなく、例えば第２図における破線で示すように電
子、イオン、その他を強磁性金属９に衝突させて強磁性
金属原子を数比させる支バッタリングによって磁性層を
形成する場合においても同様に適用できるものである。

文、蒸着あるいはスパッタリングの他のイオンプレニテ
゛インク法等でも良い。

尚、磁性Ｑ１Ｏは、Ｇｏ７５％−Ｎ＋　２５％合金に限
らず、その組成が異るものであっても良いし、Ｃｏ、Ｆ
ｅ、Ｎｉ、　Ｃｕ、　Ａｕ、その他の金属の単体又は合
金で形成した強磁性金属原子を用いることができる。

又、フィルムベースも、ポリエステル類の材料に限らず
ポリアミド、ポリカーボネートその他の合成樹脂材料を
用いてフィルム状ないし板状に形成したものであっても
良い。

尚、本発明は蒸着等によって磁性層１０を形成する前に
吸着除去してフィルムベース４表面を清浄にすることが
その特徴であり、この工程を除く他の工程が上述した実
施例と異るものについても本発明に属するものである。

［発明の効果］ 以上述べたように本発明によれば、蒸着あるいはスパッ
タリング停によって磁性層を形成する前に適宜の面精度
を有し、且つ低温に保持された低温ローラに当接させて
フィルムベースの表面の付着分子を吸着除去して該表面
を清浄にするようにしであるので、蒸着又はスパッタリ
ング等で形成された磁性層の付着力を大きくできる磁気
記録媒体を製造できる。従って、磁気ヘッドが摺接され
るビデオテープ等に用いても耐久性を高くすることがで
きる。又、簡単な構成であるので低コストで品質の向上
を達成できる。・

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明に係り、第１図は本発明の製
造方法に用いられφ蒸着装置の構成の概略を示す断面図
、第２図は第１図における低温ローラ周辺部を拡大して
示す断面図である。 １・・・蒸着装Ｕ　？・・・真空槽 ３・・・巻出軸　、　４・・・フィルムベース５・・・
低温Ｏ−ラ　。 ６・・・クーリングキャン　ニア・・・キャンマスク８
・・・るつは　９・・・強磁性金属 １０・・・磁性層　１．１・・・磁気テープ１２・・・
アイドルローラ　１３・・・巻取軸１４・・・ローラマ
スク

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気記録媒体の製造工程におけるポリエステル等
   のフィルム状ベース上に強磁性金属を真空蒸着あるいは
   スパッタリング等によって磁性層を形成する磁性層形成
   装置において、前妃頁空蒸着あるいはスパッタリング等
   の前に、所定の面ｌｉ痕を有し、且つ所定の温度以下に
   設定した低温ローラに前記フィルム状ベースの磁性層が
   形成される面を接触させてフィルム状ベース表面の付着
   分子の吸着除去する工程を行うことを特徴とする磁気記
   録媒体のＩｔ造方法。　□
2. （２）前記所定の面ＩＩ痕は、低温ローラの温度が約−
   ２０℃以下に保持される場合にはＪＩＳ　Ｂ１２Ｏ３に
   おける表面あらさ約０．２−８より粗くしないことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体の製
   造方法。
3. （３）前記所定の面精度は、低温ローラの温度が約０℃
   以下に保持される場合にはＪＩＳ　Ｂ　０６０１におけ
   る表面あらさ約０．１−８より粗くしないことを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体の製造方
   法。
4. （４）磁気記録媒体を製造するために、ポリエステル等
   のフィルム状ベース上に強磁性金属を真空蒸着あるいは
   スパッタリング等によって磁性層を形成する磁性層形成
   装置において、所定の面精度を有し、且つ所定の温度以
   下に保持される低温ローラを設けることによって、該低
   温ローうにてフィルム状ベース表面に付着した分子を吸
   着除去する手段を形成したことを特徴とする磁気記録媒
   体め製造装置。
5. （５）□前記低温ローラは、少くとも約０℃以下に保持
   したことを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の磁気
   記録媒体の製造装置。
6. （６）前記低温ローラは、その面精度がＪＩＳＢ　０６
   ０１における表面あらさ約０．１−８より粗くしないこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の磁気記録媒
   体の製造装置０