JPS6013044A - ハンダ付け可能な固着薄層 - Google Patents

ハンダ付け可能な固着薄層

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JPS6013044A
JPS6013044A JP59130196A JP13019684A JPS6013044A JP S6013044 A JPS6013044 A JP S6013044A JP 59130196 A JP59130196 A JP 59130196A JP 13019684 A JP13019684 A JP 13019684A JP S6013044 A JPS6013044 A JP S6013044A
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JP
Japan
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thin layer
layer
thin
metal
boron
Prior art date
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JP59130196A
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English (en)
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ハンス・フオルツ
ペ−タ−・カ−シユテン
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International Standard Electric Corp
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International Standard Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はハンダ付は可能な固着薄層に関する。
この様な薄層は王として部品に対する電気的接続部また
は部品間の機械的結合を形成するのに必要とされる。こ
れらは半導体、ガラス、またはセラミック製の基板に被
着された薄膜回路への接触部を作るのに特に有用である
。
〔解決すべき問題点〕
薄膜回路の接点領域や内部接続を作るのに銅、金または
アルミニウムの薄層が一般に真空中で被着される。これ
らの薄層は非常に高い導［率を有するという長所がある
ものの、基板に対して充分な接着性がないという欠点が
あり、そのためハンダ付けに当って特別な注意をしなけ
ればならない。
本発明の目的は、一方において容易にハンダ付けが可能
であると共に、他方において基板すなわち殆んどの場合
ガラスまたは生湯体材料である基板に良好に密着する薄
層を提供することである。
〔問題点の解決手段と作用〕
本発明によれば、前記薄層は金属と半金属から成る合金
の薄膜である。この場合、前記金属としてはコバルト、
鉄、またはこれらの組合せのどれかひとつであシ、前記
半金属としてけボロン、シリコン、ゲルマニウムまた＋
ｄそれらの組合せのどれかひとつである。
〔発明の効果〕
本発明による薄層は、従来の薄層に比較して更に薄くで
きるという迫力口の利点を有する。銅薄層では約６μｍ
　の厚さでなければならないのに対し本発明では約１０
０　ｎｍで充分となシ得る。特別な応用に対しては、本
発明の薄層が磁気的性質も備え、従って磁気センサをそ
の端子と共に単一操作で製作し得るということが重要と
なろう。ある種の応用においては、通常使用されるー・
ンダと薄層とが、非常に良く結合されてはいるものの相
互に溶は込むことはなく、従って残留物なしに再び分離
し得るということが重要となシ、ちなみに従来のハンダ
付は接続においては・・ンダと接続部との間延分離不能
の合金が形成されてしまっていた。
〔実施例の説明〕
本発明の実施例を添付図面を参照して更に詳細に説明す
る。
容易にハンダ付は可能でまたと勺わけ非常によく固着す
る接点層は、蒸着またはスパッタリングによって金属と
半金属とから成る合金の薄層を被着することによって形
成される。基板に対するこの種の薄層の接着性は薄層を
蒸着によって被着すると特に充分なものとなる。しかし
ながら、よシ良好な結果のためではなく、工程の簡略の
ためにはスパッタリングが推賞される。金属のコバルト
と鉄、および半金属のボロン、シリコン、ゲルマニウム
が充分に適していることが判明した。金属の割合は約６
０ないし９０　ａｔ％、好ましくは８０ａｔ、チと丁べ
きである。特に充分に適しているのは、コバルトとボロ
ンとから成る合金と、コバルト、鉄およびボロンから成
る合金、例えばＣＯ□Ｆｅｙ　Ｂｌｏｏ−、ｚ−、（但
し、７ｏくｚくｓｏ、４＜７＜１０．、Ｘとｙの単位は
ａｔ、チ）である。
第１図に接続部を含む磁気センサを担持するガラス基板
（１）を示す。センサ（２）は円形の領域を有する。こ
れは４本の外方に放射状に伸びるリード（３）を有する
が、このリード（３）け９０度間隔で互いにへたてられ
ている。各リード（３）はその外側端に７〜ンダ付は用
パッド（４）を有する。センサ（２）はそのリード（３
）およびノ〜ンダ付はパッド（４）と共にアモルファス
金属、Ｃ０ｙｓ　Ｆｅｓ　Ｂｚｏの薄層を一回操作で被
着させて形成される。薄層の被着中、ガラス基板１１１
は２組のリード対のどちらかと平行な方向を有する磁界
中に僅かれる。従ってこれは磁気的異方性を示し、これ
を異方性磁界（ＨＫ）によって示すことができる。電流
を（ＨＫ）に平行にセンサ（２）中に流し、センサをセ
ンサ面内で（ＨＫ）に直角な磁界中に置くと、印加磁界
強度を表わす電圧を（ＨＫ）に直角な方向から取り出す
ことができる。特別に長いリード（３）の場合、後者は
別の材料、例えばアルミニウム、でもよい。この場合は
一方でセンサ（２）とハンダ付はパッド（４）を、他方
で、リードｃ３）を別々の工程で作らなければならない
。
第２図は「真空容器フランジＪ（＋２を貫通する導体（
ｌυを示す。真空容器フランジ部分においては導体αυ
（例えば白金裂）は、外側にハンダ付は層Ｉを有するガ
ラス外囲ｑ３で封止されている。本発明によれば、ハン
ダ付は層は約８０　ａｔ、％のコバルトと２０ａｔ、％
のボロンから成る合金である。真空容器フランジ［１２
１けハンダ付は層Ｕにハ：／Ｉ’−付ケされ、真空容器
用の貫通給電絶縁端子装置が得られる。
同一の原理によって、第６図に示す様にグラスファイバ
を取付けることもできる。グラスファイバ（２）にはＣ
ｏＢ　ｊｆｌのハンダ付は薄層に）がハンダ付は用スリ
ーブに）の部分に設けられている。このハンダ付は薄層
に）とハンダ付はスリーブ（２）とがハンダ付けされて
一諸にされる。
【図面の簡単な説明】
図面はいずれも本発明の実施例を示し、第１図はガラス
基板上に被看された４木のリードと４個の・・ンダ付は
パッドを有する磁気センサの平面図、第２図は真空容器
の内部に導線を導入するための貫通給電絶縁端子装楢の
断面図、第６図はグラスファイバ取付体の断面図である
。 図中、１はガラス基板、２は磁気センサ、６はリード、
４は・・ンダ付はパッド、１１は導体、１２は真空容器
フランジ、１６はガラス外囲、１４はハンダ付は層、２
１はグラスファイバ　２２ｒｒ＋ハンダ付は用スリーブ
、２６はハンダ付は薄層、をそれぞれ示す。 代理人９Ｆ理十木村三朗

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１）コバルト、鉄、および両者の組合せのうちから選
    ばれた金属と、ボロン、シリコン、ゲルマニウムおよび
    それらの組合せのうちから選ばれた半金属とからなる合
    金層を備えたことを特徴とするハンダ付は可能な固着薄
    層。 （２）金属コバルトと半金属ボロンとから成ることを特
    徴とする特許請求の範８第１項に記載の薄層。 （３）金属コバルトおよび金属鉄と半金属ボロンとから
    成ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の薄
    層。 （４）前記合金が約６０〜９０ａｔ、チの範囲の前記金
    属を含むことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
    のｍ層。 （５）前記合金が約８０ａｔ、％の前部金属を含むこと
    を特徴とする特許請求の範囲第４項に記載の薄層。 （６１Ｃｏｘ　ＦｅｙＢ　１０６−２−　ｙ　（但し、
    ７０りｘ　＜８０　。 ４≦ｙ（１０：単位ａｔ、チ〕からなることを特徴とす
    る特許請求の範囲第４項に記載の薄層。 （７）金属と半金、属とからなる合金の層を備えたこと
    を特徴とするハンダ付轢可能な固着薄層。
JP59130196A 1983-06-28 1984-06-26 ハンダ付け可能な固着薄層 Pending JPS6013044A (ja)

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DE33231966 1983-06-28
DE19833323196 DE3323196A1 (de) 1983-06-28 1983-06-28 Loetbare haftende schicht

Publications (1)

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GB (1) GB2142567B (ja)

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