JPS6012604A - 透明導電性膜付き複合体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は導電性箔と透明絶縁体との面に透明導電性膜
が介在された構造の透明導電性膜付き複合体に関する。

従来の透明導電性膜付き複合体としては、ガラス板やプ
ラスチックフィルムなどの透明絶縁体上に蒸着ｔスパッ
タリング、液相メッキ法などにより金、パラジウム、酸
化インジウムなどの透明絶縁膜を形成した構造のものが
知られている。しかし、この複合体は、透明絶縁体とし
てガラス板を用いたものではこれが可撓性や軽量化の面
で劣ることから、連続的な膜形成を行いにくい、大面積
の膜形成が難しいなどの製造法上の問題点を有していた
。

また、透明絶縁体がポリエステルフィルムの如きプラス
チックフィルムの場合、これが耐熱性に劣ることが原因
で膜形成の前後に通常要求される熱処理、たとえば膜形
成前のフィルム表面にチタン系カップリング剤の如き表
面処理剤を塗布したのちこれを焼付けるための熱処理や
金、パラジウムなどの膜を形成したのちに行う熱処理〔
いずれも膜の密着性９表面硬度、耐摩耗性などの向上を
図るもの〕、あるいは膜形成後透明性などの向上を図る
ための酸化性ガス雰囲気中での熱酸化処理を、充分な条
件で行い難く、このため透明導電性膜の各種性能がガラ
ス板を絶縁体としたものに比べて著しく劣る欠点があっ
た。

このため、たとえば熱酸化処理の代りに、絶縁体の耐熱
性が特に要求されない陽極酸化処理や重クロム酸カリウ
ムによる酸化の如き化成処理が提案されているものの、
この場合設備面や条件管理面において多くの問題点を有
している。特に陽極酸化処理では膜の下地が絶縁体であ
ることによって電解のための電流容量に大きな制約があ
り、また不均一な酸化によって膜性能の均一性を損ない
やすい。

この発明者らは、以上の観点から鋭意検討した結果、透
明導電性膜を透明絶縁体上に直接付着形成するのではな
く、耐熱性および電気伝導性にすぐれる導電性箔を使用
してこの苗土に透明導電性膜を付着形成しさらにこの上
に透明絶縁体を積層した複合体とすることにより、使用
時この複合体の上記導電性箔を全面にあるいはパターン
状にエツチング除去すれば、透明絶縁体の種類に関係な
く作業性および膜性能にすぐれる複合体製品が得られる
ことを知り、この発明をなすに至った。

すなわち、この発明は、導電性箔と、この苗土に形成さ
れた透明導電性膜と、さらにこの膜上に積層された透明
絶縁体とからなることを特徴とする透明導電性膜付き複
合体に係るものである。

この発明の上記複合体は、透明導電性膜を導電性箔上に
形成するものであるから上記箔の柔軟性を利用して膜形
成作業を連続的にまた大面積で行うことができ、一方膜
形成後透明絶縁体を積層する前に、上記箔の耐熱性およ
び導電性を利用することによって、膜特性を向上させる
ための前述した如き熱処理や陽極酸化処理を所望の条件
で行うことができ、したがって透明絶縁体の種類に関係
なく透明陸、導電性、密着性１表面硬度、耐摩耗性、耐
熱性、耐薬品性などの膜性能に非常にすぐれる複合体を
製造容易に提供できるという利点がある。

そして、この複合体の導電性箔を全面的にエツチング除
去することによって従来と同様の横木の透明絶縁体と透
明導電性膜とからなる複合体製品を得ることができると
ともに、上記エツチングを部分的に行いまたこの際透明
導電性膜の一部をパターン状にエツチングすることによ
り、透明絶縁体を支持体としてこの上にパターン化され
た透明導電性膜を有しさらにこの上にパターン化された
導電性箔を有する各種の複合体製品を製造容易に提供で
きるという特徴がある。

また、上記エツチング前においては、透明導電性膜が導
電性箔に保護された状態にあることから、使用前の取り
扱いが有利となり、また外的要因に起因した膜表面の傷
発生や熱、水分、薬品などによる性能劣化をきたすおそ
れはないために、この点からも膜性能に一段とすぐれた
透明導電性膜を提供することができる。

この発明の複合体は、以上の利点、特徴を有するために
、液晶ディスプレイ、エレクトロ・クロミックディスプ
レイ、エレクトロ・ルミネッセンスディスプレイなどの
新しいディスプレイ方式における透明電極のほか、透明
物品の帯電防止や電磁波遮断などの各種用途に非常に有
利に応用することができる。

なお、この発明と同様の構造を有する複合体として、前
記従来法に準じて透明絶縁体上に直接透明導電性膜を形
成し、この上に導電性箔を積層したものが考えられる。

しかし、このものは上記箔の積層時に適宜の接着剤を介
在させる必要があるから、箔と膜との間が絶縁され箔の
一部をノ々ター状に残す場合の透明電極などへの用途に
応用できない。また上記箔を全面的にエツチング除去し
た場合でも膜上に接着剤層が残存することとなる力・ら
膜性能の低下をきたし、このため工・ンチング除去後に
さらに接着剤層を取り除く必要があり、この作業は面倒
であるとともに取り除き作業特に下地の膜の性能を損な
いやすい。

すなわち、上記構造の複合体は、透明導電性膜と導電性
箔との間に接着剤層を介在させる必要力≦ある点でこの
発明の前記複合体とは構造的にもまた作用効果の面でも
本質的に相違し、さらに透明絶縁体上に直接膜形成ｒる
場合の前記欠点を以前として有するものである。この発
明の複合体力（ｂ−。

かに有用なものであるかは上記説明によってもきわめて
明らかである。　・ 以下に、この発明の透明導電性膜付き複合体につき図面
を参考にして説明する。

第１図はこの発明の上記複合体を示したもので、１は圧
延銅箔、電解銅箔、アルミニウム箔、二・ンケル箔など
の厚みが１０〜５０μｍ程度の導電性箔、２は上記箔１
上に形成された厚みが一般に０．００２〜０．１０　μ
ｍ程度、好適には０．００４〜０．０５μＩｌ’ｌの透
明導電性膜、３はこの膜２上に積層された透明絶縁体で
ある。

透明導電性膜２は、波長７００ｍμの可視光線透過率が
５０％以上好悪として７０〜９０係を有し、また波長４
’０Ｑｔｎμの可視光線透過率が５０係以上好態として
６０〜９０％を有するような透明性を備えたものであり
、さらにその表面抵抗値が１０〜２．００　’ｏΩ／口
好態として１００〜１，０００Ω／口　を示す電気伝導
性を有している。

透明導電性膜２の材質としては、インジウム系、スズ系
、クロム系、タングステン系、タンタル系、チタン系、
ビスマス系、モリブデン系、ロジウム系、アンチモン系
、イリジウム系、レニウム系、ルテニウム系などの金属
、合金または酸化物などが、また金糸、パラジウム系、
銀系などの貴金属またはその合金などが広く含まれる。

その曲者種金属のヨウ化物、リン化物、ホウ化物、硫化
物なども使用可能である。

インジウム系としてはインジウム、インジウム−スズ、
インジウム−銀、インジウム−鉛、インジウム−ガリウ
ム、インジウム−硫黄、インジウム−燐、インジウム−
ホウ素およびこれらの酸化物などが挙げられる。スズ系
としてはスズ、スズ−亜鉛、スズ−コバルト、スズ−カ
ドミウム、スズー鉛、スズー銅、スズー銅−亜鉛、スズ
−銀、スズ−アンチモジおよびこれらの酸化物などが挙
げられる。

クロム系としてはクロム、クロム−鉄、クロム−マンガ
ン、クロム−モリブデン、クロム−バナジウム、クロム
−タングステン、クロム−チタンおよびこれらの酸化物
などが、タングステン系としてはタングステン、タング
ステン−ニッケル、タングステン−鉄、タングステン−
スズおよびこれらの酸化物などが、タンタル系としては
タンタノへタンクルータングステン、タンタル−ニッケ
ル、タンタル−コバルトおよびこれらの酸化物などが、
それぞれ挙げられる。

チタン系としてはチタン、チタン−銅およびこれらの酸
化物などが、ビスマス系としてはビスマス、ビスマス−
銅、ビスマス−鉛およびこれらの酸化物などが、モリブ
デン系としてはモリブデン、モリブデン−鉄およびこれ
らの酸化物などが、ロジウム系としてはロジウム、ロジ
ウム−タングステンおよびこれらあ酸化物などが、アン
チモン系としてはアンチモン、アンチモン−銅、アンチ
モムー白金およびこれらの酸化物などが、レニウムムー
銀およびこれらの酸化物などが、それぞれ挙げられる。

金糸としては金、金−ニッケル、金−スズ、金−銅、金
−銅一ニツケノペ金−銀、金−亜鉛、金−パラジウム−
ニッケル、金〜モリブデンおよび金−コバルトなどが、
パラジウム系としてはパラジウム−銀およびパラジウム
−白金などが、銀糸としては銀、銀−鉛などが、それぞ
れ挙げられる。

上記材質のなかから、各種メッキ法で膜形成した直後あ
るいはその後所要の酸化処理を施したのちに前記透明性
および導電性を示すだけでなく、導電性箔１の選択的エ
ツチング時にエツチング液に浸されない耐エツチング性
にすぐれたものが選ばれ、また特′に表面硬度、耐摩耗
性、可撓性および絶縁体に対する密着性などの機械的物
理的特性にすぐれ、しかも水分や薬品、熱に対して安定
である耐湿（水）性、耐薬品性および耐熱性にすぐれた
ものが賞月される。

上記観点からもつとも好適な材質としては、インジウム
系、スズ系、モリブデン系およびクロム系の金属、合金
および酸化物、金糸、パラジウム系および銀糸の金属お
よび合金などが挙げられる。

透明絶縁体３の代表的なものとしては、厚み０．５〜２
ｍ程度のガラス板または厚み２５〜１２５μｍ程度のプ
ラスチックフィルムである。上記プラスチックフィルム
のなかには、硝酸セルロース、酢酸セルロースナトのセ
ルロースエステル系樹脂かうするフィルム、エチルセル
ロース、カルボキジメチルセルロースナトのセルロース
エーテル系樹脂からなるフィルム、ポリカーボネートフ
ィルム、ポリエステルフィルムなどのフィルムや、フッ
素樹脂フィルム、ポリアミド系フィルム、エチレン−酢
酸ビニル共重合樹脂フィルム、テレフタル酸系ポリエス
テルフィルムなどの熱融着性に富むフィルムなどの各種
のフィルムが含まれる。

つぎに、上記複合体の製造法につき説明すると、まず導
電性箔１の膜形成すべき面を化学的手法ないし電解手法
により脱脂処理および平滑処理したのち、真空蒸着法や
スパッタリング法などの気相メッキ法、化学メッキや電
気メツキ法などの液相メッキ法により前記材質からなる
透明導電性膜２を形成する。膜形成の手段として特に好
適な方法は、膜形成するべき下地が導電性箔であること
の利点を活かすことができ、膜の均一性、設備面および
生産性にもすぐれる化学メッキ法および電気メツキ法で
ある。

上記膜形成後、膜の材質がインジウム系、スズ系、モリ
ブデン系、クロム系などである場合通常適宜の酸化処理
、好適には酸化性ガス雰囲気中での熱酸化処理または陽
極酸化処理を行う。この場合下地が耐熱性および電気伝
導性に富む導電性箔であることから所要な熱酸化ないし
陽極酸化条件を選択でき、これによって主として膜の透
明性を著しく向上できる。また膜の材質が金糸、パラジ
ウム系、銀糸などである場合熱処理を施して主として表
面硬度や耐摩耗性などの機械的物理的特性、さらには耐
熱性、耐薬品性などを向上させる。

さらに、上述の如き処理を施したのちに、膜２の表面に
テトラ−インプロポキンチタン、テトラ−ｎ−ブトキシ
チタン、ジヒドロキシ−ビス（ラクタト〕チタンなどの
チタン酸アリルエステル系のチタン系カップリング剤や
その他各種のシラン系カップリング剤などの表面処理剤
を塗布し高温下で焼付けることにより、膜２の表面硬度
、耐摩耗性、絶縁体に対する密着性などの機械的物理的
特性やさらに耐熱性、耐薬品性などの緒特性を向上させ
ることができる。

このようにして性能の良好な膜２を形成したのち、透明
絶縁体３を積層することにより、この発明の前記瞑合体
が得られる。上記積層手段としては２、熱融着性に富む
プラスチックフィルムでは熱圧着法が有効であり、また
ガラス板や熱融着性の低いプラスチックフィルムでは接
着剤を用いて加熱もしくは非加熱下で圧着すればよい。

接着剤としては耐熱性の点からエポキシ樹脂やアクリル
系樹脂の如き熱硬化性のものが好ましく、特に硬化剤と
して酸無水物を用いたエポキシ樹脂が透明性にすぐれて
いるため望ましい。もちろん用途目的によりエチレン−
酢酸ビニル共重合樹脂などの熱可塑性樹脂を用いた接着
剤であってもよい。

なお、特殊な積層手段として、プラスチックフィルムを
用いる代りにフィルム形成用の樹脂を液状ないし溶液状
にして膜２の表面に塗布したのち硬化ないし溶剤を揮散
させてフィルム化する塗工形式を採用してもよい。この
目的に好適な上記フィルム形成用樹脂としては、エポキ
シ樹脂〔特に硬化剤として酸無水物を用いたもの〕、ア
クリル系樹脂、セルロースエステル果樹ｌｌＬ　中ルロ
ース工−テル系樹脂、ポリカーボネート樹脂などが挙げ
られる。

つぎに、この発明の上記複合体の使用形態につき説明す
る。第２図〜第５図は上記使用形態のそれぞれ異なる例
を示したものである。

まず、第２図では、導電性箔１および透明絶縁体２をい
ずれも部分的にエツチング除去してパターン化したもの
である。この製造は、第１図に示す複合体の導電性箔１
上にパターン状のエツチングレジストを形成して露出し
ている上記箔１とその下地となる透明導電性膜２とを同
時にエツチング除去し、その後上記のエツチングレジス
トを除去して露出させた箔１の上にさらに新たなパター
ン化エツチングレジストを形成してこれによりなお露出
している箔１をその下地となる膜２が残存するように選
択的にエツチング除去すればよい。

導電性箔１とその下地の透明導電性膜２とを同時にエツ
チング除去するためのエツチング液あるいは導電性箔１
のみを選択的にエツチング除去するためのエツチング液
としては、箔１と膜２との材質に応じて適宜のものが選
ばれる。たとえば銅箔に対してはアンモニア系エツチン
グ液、塩化第二鉄系エツチング液などのなかから、アル
ミニウム箔に対しては苛性ソーダ系エツチング液、塩酸
系エツチング液などのなかから、ニッケル箔に対しては
アンモニア系エツチング液、塩化第二鉄系エツチング液
、硝酸−硫酸エツチング液などのなかから、それぞれ膜
２の材質に応じて適宜選択使用すればよい。

第３図では、上記第２図のパターン化導電性箔１上にさ
らにニッケルメッキおよび金メッキからなる電極層４を
形成したものであり、この場合上記第２図の複合体の製
造法におけるパターン状のエツチングレジストを除去し
て露出させた導電性箔１の上に前記同様に新たなパター
ン化レジストを形成してこれによりなお露出している箔
１の上゛　にニッケルメッキおよび金メッキを施し、そ
の後上記パターン化レジストを除去してこの除去部分の
箔１を選択的にエツチング除去すればよい。

第４図および第５図は、いずれも導電性箔１を全面にエ
ツチング除去して透明絶縁体３と透明導電性膜２との複
合体製品としたもめて、このうち第５図は上記膜２を特
にパターン状としたものである。上記パターン状とする
手法は、前記第２図の複合体製品における導電性箔１を
残さない以外は、第２図の場合と同様である。

以下、この発明の実施例を記載してより具体的に説明す
る。

実施例１ 厚さ３５μｍの圧延銅箔を、その片面にマスキング用フ
ィルム（日東電気工業社製商品名ＳＰＶ盃２２４）をラ
ミネートしたのち、クリーナー１６０（ジャパン・メタ
ル・フィニツシユ社製商品名）の６０９／ｌ　水からな
る浴温５０°Ｃの電解脱脂槽（陰極としてステンレス板
を使用）に浸漬して、電流密度２Ａ／ｄｄ　、処理時間
２分の条件で電解脱脂した。水洗後、りん酸６７０９／
ｌ：　水およびグリセリン１０　’Ｏｇ／ｌ　水からな
る浴温２５°Ｇの電解研摩槽（陰極として不銹鋼を使用
）に浸漬して、電流密度１０　Ａ／ｄｙ＋ｆ　、処理時
間１３分の条件で電解研摩した。

上記の前処理後、ピロリン酸スズ２１９／ｌ　水、ピロ
リン酸亜鉛ａ　ｏ　！／１２　水、ピロリン酸カリウム
２８０　！／ｌ　水およびゼラチン１　ｆｊ／ｌ　水か
らなる浴温５０°Ｃのメッキ槽〔陽極としてスズ８０重
ｉ％のスズ−亜鉛合金板を使用〕に浸漬し、電流密度０
．５　Ａ／ｄｙｆ　、メッキ時間３秒の条件で電気メッ
キすることにより、銅箔露出面にスズ含量が８０重ｆｆ
ｉ％のスズー亜鉛合金メッキからなる厚さ約０，０１μ
ｎ１の透明導電性膜を形成した。

水洗乾燥後、マスキング用フィルムを剥離除去したのち
、厚さ５μｎ１のエポキシ−酸無水物系接着剤層を形成
した透明絶縁体としての厚さ１００μＩ１１のポリエス
テルフィルムに、上記接着剤層を介して透明導電性膜が
内側となるようにローラー型プレスにより熱圧着して、
銅箔、透明導電性膜およびポリエステルフィルムからな
るこの発明の透明導電性膜付き複合体とした。

実施例２ 厚さ２５μｎ１のアルミニウム箔を、その片面に実施例
１と同じマスキング用フィルムをラミネートしたのち、
実施例１と同様に電解脱脂し、水洗後、りん酸９５０　
！／ｌ　全量およびニカワ５　Ｖｌ全量からなる浴温２
５°Ｃの電解研摩槽（陰極として不銹鋼を使用）に浸漬
して、電流密度３００Ａ／ｄｔｙｆ　、処理時間５分間
の条件で電解研摩した。

上記の前処理後、ホウフッ化カドミ撃ウムの４３重Ｊ３
Ｌ％水溶液３００．ｄ／ｊ’　水、ホウフッ化第−スズ
の４６重量％の水溶液７０ｍ１／ｌ　水、ホウ酸２０が
Ｚ’７Ｌ　ホウフッ化アンモニウム５０９／ｌ　水、ホ
ウフッ酸の４３重ｆｉ％水溶液６０ｎ４／ｌ水およびゼ
ラチン１９／ｌ水からなる浴温２５°Ｃのメッキ槽（陽
極として信金メッキチタンネットを使用）に浸漬し、電
流密度１へ４７ｄ、メッキ時間２秒の条件で電気メッキ
することにより、アルミニウム箔露出面にカドミウム含
量が７５重量％のスス−カドミウム合金メッキからなる
厚さ約０．０１μｍの薄膜を形成した。

水洗後、苛性ソーダ２８　ｇ／ｌ水および炭酸ソーダ５
０ｇ／Ｊ水からなる浴温２５°Ｇの電解槽（陰極として
鉄を使用）に浸漬し、電流密度５Ａ／ｄ、（。

処理時間１０秒の条件で電解処理して前記薄膜を多 すぐれる導電性膜とした。

水洗乾燥後、マスキング用フィルムを剥離したのち透明
導電性膜上にテトラエトキシチタン系処理剤（日本曹達
社製の商品名１′ＢＴポリマーＢ　−１０）を塗布し、
４００’Ｃで２０分間加熱し焼付ケタ。ついで、この焼
イ」け面に厚さ７５μｍのフッ素系ポリマーフィルム（
東し社製商品名ＦＥＰ）を重ね合せ、ホットプレスによ
り２７５°Ｃ１２に９Ａ＋＃の条件で数分間加熱圧着し
て、アルミニウム箔、透明導電性膜およびフッ素系ポリ
マーフィルムからなるこの発明の透明導電性膜利き複合
体とした。

実施例３ 厚さ３５μｍの電解銅箔を、その片面に実施例１と同じ
マスキング用フィルムをラミネートしたのち、実施例１
と同様に電解脱脂し、水洗後、酸性フッ化アンモニウム
−過酸化水素系の液温３２０Ｃの化学研摩液に５分間浸
漬して化学研摩した。

上記の前処理後、硫酸第一鉄（七水塩〕３９ｇ／ｌ水、
モリブデ′ン酸ソーダ〔二水塩〕２９Ｗ水およびクエン
酸ソーダ（二水塩）　７６．５９／ｌ水なる浴温３０°
Ｃのメッキ槽〔陽極として信金メツキメタンネットを使
用〕に浸漬し、電流密度０，５Ｍ曜、メッキ時間３秒の
条件で電気メッキすることにより、銅箔露出面にモリブ
デン含量が３８重量係のモリブデン−鉄合金メッキから
なる厚さ約０，０２μｎ１の薄膜を形成した。水洗後、
マスキング用フィルムを剥離したのち空気中５００°Ｃ
で３時間加熱して上記薄膜を酸化し酸化物とすることに
より、透明性にすぐれる導電性膜とした。

この導電性膜上に実施例２と同じテトラエトキシチタン
系処理剤を塗布し、４００°Ｇで２０分間焼付けた。つ
いで、この焼料は面にエポキシ−酸無水物系接着剤を５
μｍ厚に塗布しこの上に厚さ１１１１１１１のガラス板
を熱圧着して、銅箔、透明導電性膜およびガラス板から
なるこの発明の透明導電性膜付き複合体とした。

実施例４ 実施例１と同様にして電解研摩により表面を研摩した厚
さ３５μｎ１の圧延銅箔を抵抗加熱方式の真空蒸着装置
中に保ち、真空度１０　”ｍｍＨｙ（残ガス組成；酸素
２０（容Ｎ）％、他はアルゴン〕で蒸着材料としてスズ
を用いて銅箔上に厚み０．０２μｍｎの蒸着膜を形成し
た。この蒸着膜は残ガス中の酸素とスズが反応したスズ
の低級酸化物からなる不透明で白っぽいかっ色の外観を
呈していた。

次に、この蒸着膜の付いた銅箔を空気中で４００’Ｃ、
３０分間加熱処理すると、蒸着膜は透明で光沢のある膜
に変化し、下地の銅箔の色がすけて見えるようになった
。しかるのち、上記膜面にテトラエトキシチタン系処理
剤（日本曹達社製の商品名”ｌ’　Ｂ　Ｔボ！１７−Ｂ
−１０）を塗布し、４０００Ｃで２０分間加熱し焼判け
た。その後、この面に実施例１と同様に厚さ５μｍのエ
ポキシ−酸無水物系接着剤層を介して厚さ１００μｍの
ポリエステルフィルムをローラ型プレスにより熱圧着し
、銅箔、透明導電性膜およびポリエステルフィルムから
なるこの発明の透明導電性膜付き複合体とした。

上記各実施例の複合体を用いて第３図および第４図の複
合体製品を下記の方法で得、この複合体製品に付き各種
の性能を調べた結果は、後記の表に示されるとおりであ
った。

く第４図の複合体製品の製造〉 実施例１．２．′４’の複合体を、エツチング液として
実施例１，４のものでは液温４０°ｃ　、　ｐＩｇ□、
０（２ｓ０Ｃ）のアンモニア系エツチング液（上材工業
社製商品名アルファイン〕を、実施例２のものでは液温
５０°Ｃ，ＰＩ１１４（２５°Ｃ）の苛性ソーダ系エツ
チング液を用いて、スプレー型エツチャーによりエツチ
ング処理することにより各導電性箔のみを全面に選択的
にエツチング除去し、その後水洗乾燥を行って、それぞ
れ第４図に示す透明絶縁体と透明導電性膜とから複合体
製品を得た。

く第３図の複合体製品の製造〉 実施例３の複合体の銅箔上に印刷によりパターン状のエ
ツチングレジストを形成し、露出している銅箔とその下
地となる透明導電性膜とを液温５００Ｃ＋　”１１０　
（２５°Ｃ）のアンモニア系エツチング液（上材工業社
製商品名アルファイン）によりスプレー型エツチャを用
いて３分間エツチング除去した。ついで、前記のエツチ
ングレジストを溶解除去し露出させた残存する銅箔の上
にさらに新たなパターン化レジストを形成し、これによ
りなお露出している銅箔の上に厚さ３μｍのニッケルメ
ッキおよび厚さ１μｍの金メッキを順次族して電ホ揺を
形成した。

しかるのち、上記のパターン化レジストを剥離し、これ
により露出してくる銅箔を下地の透明導電性膜が残存す
るように液温５０°Ｃ、Ｉ’ｌｌ　２（２５０Ｃ→の塩
化第二鉄系エツチング液により１分間選択的にエツチン
グ除去した。その陵、水洗乾燥を行ってガラス板とこの
上にパターン化された透明導電性膜とさらにこの上にパ
ターン化された銅箔および電極層とを有する第３図に示
す複合体製品を得た。

／ なお、表中の各性能は以下の方法で測定評価した。

〈導電性〉 透明導電性膜の表面抵抗値（Ω／口〕を四探針法により
測定した。

〈透明性〉 透明絶縁体（プラスチックフィルムまたはガラ板 スλを補償光路に入れて波長７００ｍμおよび４００　
ｍμの可視光線透過率を測定した。なお、実施例３では
銅箔および電極層が設けられていない部分の透明導電性
膜につき実測した。

〈耐熱性〉 １５０°Ｃで１０分間保存したのちの表面抵抗値を測定
し、保存前の初期の表面抵抗値に対する増加率〔％〕を
調べた。

く耐アルカリ性〉 Ｊ規定の苛性ソーダ水溶液中に２５°Ｃで１時間浸漬し
たのちの表面抵抗値を測定し、浸漬前の初期の表面抵抗
値に対する増加率〔％〕を調べた。

く密着性〉 透明絶縁体と透明導電性膜との密着性を調べるために、
銅箔またはアルミニウム箔をエツチングする前の段階で
接着剤層と透明導電性膜間を剥離したときの剥離強度を
テンシロン測定機により測定した。

く面ｊ摩耗性〉 透明導電性膜の耐摩耗性を調べるために、上記膜面に対
してガーゼによる摩擦（１００ｙｙａｎを往復１００回
行ったのちの表面抵抗値を測定し、摩擦前の初期の表面
抵抗値に対する増加率（％〕　。

を調べた。

上記の結果から明らかなように、この発明の透明導電性
膜付き複合体によれば、各種の膜性能にすぐれる複合体
製品を透明絶縁体の種類に関係なく、しかも作業性良好
に製造できるものであることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の透明導電性膜付き複合体を示す断面
図、第２図〜第５図は上記複合体を用いてつくられる複
合体製品のそれぞれ異なる例を示す断面図である。 １・・・導電性箔、２・・・透明導電性膜、３・・・透
明絶縁体。 特許出願人　日東電気工業株式会社 ・　・−」１ 第１　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）導電性箔と、この苗土に形成された透明導電性膜
   と、さらにこの膜上に積層された透明絶縁体とからなる
   ことを特徴とする透明導電性膜イ」き複合体。