JPS60109258A - 炭化珪素配線板 - Google Patents

炭化珪素配線板

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Publication number
JPS60109258A
JPS60109258A JP58216889A JP21688983A JPS60109258A JP S60109258 A JPS60109258 A JP S60109258A JP 58216889 A JP58216889 A JP 58216889A JP 21688983 A JP21688983 A JP 21688983A JP S60109258 A JPS60109258 A JP S60109258A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistor
silicon carbide
glass
resistance value
carbide substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58216889A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiyuki Horibe
堀部 芳幸
Yoshihiro Miya
宮 好宏
Mamoru Kamiyama
上山 守
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP58216889A priority Critical patent/JPS60109258A/ja
Publication of JPS60109258A publication Critical patent/JPS60109258A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C17/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/06Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
    • H01C17/065Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thick film techniques, e.g. serigraphy
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C17/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/22Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
    • H01C17/24Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material
    • H01C17/242Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material by laser

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は炭化珪素配線板の改良に関する。
従来から、アルミナ等の酸化物セラミックスを配線板用
基板として用いる場合には、厚膜法、薄膜法、メッキ法
、高融点金属焼付法等がちシ、これらの技術はほぼ確立
している。しかし、炭化珪素基板に対して同様な手法を
用いて配線板を作成した場合、導体の接着力が弱く、ま
た特に厚膜法では、導体、抵抗体が発泡する等の問題点
が発生する。更に抵抗体形成後レーザトリミングした場
合、炭化珪素基板の電気絶縁性が低下し基板を通して電
流がリークしたりするため抵抗値が一定せず、また高抵
抗を含む回路を形成できないという問題が発生する。
本発明は、これらの欠点のない炭化珪素配線板を提供す
ることを目的とするものである。
本発明は電気絶縁性を有する炭化珪素基板と抵抗体との
間にガラスグレーズ層を形成してなる炭化珪素配線板に
関する。
本発明において、抵抗体としては、酸化ルテニウム、カ
ーボン等を主成分とする厚膜抵抗体が用いられ、またガ
ラスグレーズとしては、アルミナ。
シリカ、マクネシア、カルシア、酸化ビスマス。
酸化亜鉛、ホウ酸等の1種又は2種以上からなるガラス
が用いられる。
炭化珪素基板としては、電気絶縁性を有する炭化珪素基
板を用いるこ゛とが必要であり 19100cm以上の
絶縁性を有する炭化珪素基板が好ましい。
る 電気絶縁性を有しない炭化珪素基板を用いか廖とパ ライン間の絶縁がとれないため回路を形成することがで
きない。
焼成電性については特に制限はなく、従来公知の温度で
焼成し、また焼成雰囲気は特に制限はないが大気中で行
なうことが好ましい。
以下実施例により本発明を説明する。
嚢施例1 アルミナ(24,5重量%)、シリカ(47,9重量%
)、マグネシア(18,7重量%)、カルシア(8,9
重量%)から成るガラス粉末100重′量部に、結合剤
としてエチルセルロース6重量部、溶剤としてテルピネ
オール40重量部を添加して。
らいかい機にて均一に混合してガラスグレーズ用ペース
トを得た。
次に第1図に示す如(10100口以上の絶縁性を有す
る炭化珪素基板1(日立製作新製、商品名5C−101
)上の抵抗体を形成する部分に前述のガラスグレーズ用
ペーストをスクリーン印刷し。
大気中で1200℃で焼成してガラスグレーズ層2を得
た。その後銀−パラジウム導体ペースト(住友金属鉱山
製、商品名C−4260)をスクリーン印刷し、600
℃で焼成して導体3を得た。
その後抵抗体ペースト(住友金属鉱山製、商品名R12
H及び1(141−1)をガラスグレーズ層2の上にス
クリーン印刷し、大気中で600℃で焼成し抵抗体4を
形成した炭化珪素配線板を得た。
次に得られた炭化珪素配線板の特性をガラスグレーズ層
2を形成しないで炭化珪素基板1上に直接導体3及び抵
抗体4を形成した炭化珪素配線板と比較して第1表に示
す。更に形成した抵抗体4をレーザー) IJミングし
た結果も合わせて第1表に示す。
第1表 実施例2 酸化亜鉛(62重量%)、酸化ホウ素(20重量%)、
シリカ(15重量%)、アルミナ(3重量%)からなる
ガラス粉末100重量部に、結合剤としてエチルセルロ
ース6重量部、溶剤とじてテルピネオール40重量部添
加し、以下実施例1と同様の方法でガラスグレーズ用ペ
ーストを得た。
次に実施例1と同様の方法で炭化珪素基板1上に前述の
ガラスグレーズ用ペーストをスクリーン印刷し、大気中
で850℃で焼成してガラスグレーズ層2を得た。その
後実施例1と同様の導体ペースト及び抵抗体ペーストを
用い、実施例1と同様の方法で印刷、焼成して導体3及
び抵抗体4を形成した炭化珪素配線板を得た。
次に得られた炭化珪素配線板の特性をガラスグレーズ層
2を形成しないで炭化珪素基板1上に直接導体3及び抵
抗体4を形成した炭化珪素配線板と比較して第2表に示
す。更に形成した抵抗体4をレーザー) IJミングし
た結果も合わせて第2表に示す。
第2表 第1表及び第2表かられかるように本発明になる炭化珪
素配線板は、抵抗値の精度が良好であり。
かつレーザートリミング後の抵抗値のばらつきの少ない
ことがわかる。
本発明は電気絶縁性を有する炭化珪素基板と抵抗体との
間にガラスグレーズ層を形成するので従来の炭化珪素配
線板に比較し抵抗体の抵抗値精度できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例になる炭化珪素配線板の断面図
である。 符号の説明 1・・・炭化珪素基板 2・・・ガラスグレーズ層3・
・・導体 4・・・抵抗体 代理人 弁理士 若 林 邦 彦

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、電気絶縁性を有する炭化珪素基板と抵抗体上の間に
    ガラスグレーズ層を形成してなる炭化珪素配線板。
JP58216889A 1983-11-17 1983-11-17 炭化珪素配線板 Pending JPS60109258A (ja)

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JP58216889A JPS60109258A (ja) 1983-11-17 1983-11-17 炭化珪素配線板

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JP58216889A JPS60109258A (ja) 1983-11-17 1983-11-17 炭化珪素配線板

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JP58216889A Pending JPS60109258A (ja) 1983-11-17 1983-11-17 炭化珪素配線板

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0415571A2 (en) * 1989-08-07 1991-03-06 Ford Motor Company Limited Layered thick film resistors and method for producing same
FR2942934A1 (fr) * 2009-03-09 2010-09-10 Eurocopter France Procede pour appliquer un produit electriquement conducteur, liquide lors de son application, sur un support afin de relier deux elements electriquement conducteurs.

Cited By (4)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0415571A2 (en) * 1989-08-07 1991-03-06 Ford Motor Company Limited Layered thick film resistors and method for producing same
EP0415571A3 (en) * 1989-08-07 1991-03-13 Ford Motor Company Limited Layered thick film resistors and method for producing same
FR2942934A1 (fr) * 2009-03-09 2010-09-10 Eurocopter France Procede pour appliquer un produit electriquement conducteur, liquide lors de son application, sur un support afin de relier deux elements electriquement conducteurs.
EP2229040A1 (fr) * 2009-03-09 2010-09-15 Eurocopter Procédé pour appliquer un produit èlectriquement conducteur, liquide lors de son application, sur un support afin de relier deux éléments électriquement conducteurs

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