JPS60104940A - 感光材料の製造方法 - Google Patents
感光材料の製造方法Info
- Publication number
- JPS60104940A JPS60104940A JP21375983A JP21375983A JPS60104940A JP S60104940 A JPS60104940 A JP S60104940A JP 21375983 A JP21375983 A JP 21375983A JP 21375983 A JP21375983 A JP 21375983A JP S60104940 A JPS60104940 A JP S60104940A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive
- coating
- solvent
- acid
- drying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔発明の分野〕
本発明は感光利科の製造方法に関するものであり、特に
電子線照射により非銀感光性組成物の塗膜中の溶剤の残
存量を所望範囲内となるまで減少させる工程を含む感光
月料の製造方法に関するものである。 〔従来技術〕 従来、感光性ジアゾ化合物や光重合性組成物などのよう
な非銀感光性組成物を紙、プラスチックシート、金員板
などの支持体上に設けてなる感光材料を製造するには、
先ず非銀感光性組成物を適当な溶剤に溶解又は分散した
感光液を支持体上に塗布したのち、熱線を照射したり、
熱風を吹きつけるなどして乾燥する方法が広く採用され
ていたが、このような方法で支持体上の感光液塗膜が粘
着性のない状態にまで乾燥しても残留性の高い溶媒が塗
膜中にかなり残存していることが通例であった。このよ
うに溶媒がかなりの量で塗膜中に残存する感光材料は、
感度１階調、現像速度などの写真的特性が不安定となっ
てしまう為、塗膜の粘着性がない状態になった後におい
ても更に乾燥を継続して塗膜中の残存溶剤を除かなけれ
ばならず、乾燥に要する時間が長くなってしまう上、熱
エネルギーの消費が膨大となってしまうという問題があ
った。また逆に感光液塗膜中の溶媒含有量が少なくなり
過ぎると、感光材料の現像が進行しなくなると（八う欠
点が生じてしまう為、塗膜中の溶媒残存量が所望の範囲
となるように制御する必要があるが、従来の乾燥方法で
は支持体の厚さによって残留溶媒の量が変動してしまう
ため、このような制御が極めて面倒であるという問題が
あった。 〔発明の目的〕 従って、本発明の目的は短時間で効率のよい乾燥工程を
含む感光拐料の製造方法を提供することである。本発明
の別の目的は、感光液塗膜中の溶媒含有月、を所望範囲
に容易に制御できる乾燥工程を含む感光材料の製造方法
を提供することである。 〔発明の措成〕 本発明者は、上記目的を達成すべく、特に電子線照射技
術に着目して種々検討を重ねた結果、〇−キノンジアジ
ド化合物、アジド化合物、ジアゾ樹脂などのような感光
性物質よシなる非銀感光性組成物は、電子線を照射をし
ても７メガラド以下の範囲であれば感光することがなく
、かつ非銀感光性組成物の溶剤溶液の塗膜中に存在する
当該溶剤が電子線照射により所望の範囲にまで迅速に減
少させることができることを見い出した。即ち、本発明
は支持体上に、非銀感光性組成物の溶剤溶液を塗布し、
乾燥して該非銀感光性組成物の塗膜を形成し几のち、該
塗膜に゛電子紛を照射して該塗膜中の溶剤の残存量を所
望の範囲内となるまで減少させることを特徴とする感光
月料の製造方法である。 以下、本発明による感光材料の製造方法について、添付
図面によって説明する。 第１図は２本発明の製造方法を実施するための塗布、乾
燥１巻取りラインの略断面口であり、貯液槽（図示され
ていない。）に収納されている感光液が定置送液ポンプ
Ｐにより塗布ヘッドｌに供給され、エクストルージョン
ビー下部にて連続走行するウェブ（支持体）３にバッキ
ングローラ≠に懸架された部分において塗布される。こ
のとき、減圧室コを前記塗布ヘッドｌの下部に吊設して
。 真空ポンプ等によりこの室を減圧状態とすることにより
感光液のビードの安定化が図られる。感光液が塗布され
たウェブ３は、反塗布側面を複数の搬送ローラｔで支持
されつつ乾燥装置ｊにて熱風。 赤外線ランプ、誘導加熱などの手段を用いて、感光液塗
膜が粘着性を示さなくなる程度まで、より好ましくは感
光液塗膜中の溶剤含有量が７０〜３０重量％の範囲とな
るように乾燥される。このようにして乾燥された感光液
塗膜中には、依然として溶剤が残存するので１次いで宿
５子線照射装置乙により電子線が照射され、塗膜中の溶
剤含有量が所望の範囲、一般的にＦｉλ〜ｇ重景％とな
るまで減少させられる、このときの電子線の照射風は７
メガラド以下、より好ま１７＜１３メガラド以下となる
ように設定される。かくして塗膜中の溶剤旦が所望の範
囲にまで減少されたのち、ウェブは巻取機７に巻き取ら
れる。 本発明に使用しうる非銀感光性組成物としては、以下の
ようなものが含まれる。 （１）ジアゾ樹脂からなる組成物 ｐ−ジアゾジフェニルチミンとパラホルムアルデヒドと
の綜合物に代表されるジアゾ樹脂は、水溶性のものでも
、水不溶性のものでも良いが、好ましくは、水不溶性か
つ通常の有機溶媒に可溶性のものが使用される。特に好
ましいジアゾ化合物トシては、ｐ−ジアゾフェニルアミ
ンとホルムアルデヒド又はアセトアルデヒドとの縮合物
の塩。 例エバフェノールｊ貝、フルオロカプリン酸塩、及びト
リイソゾロビルナフタレンスルポン酸、≠。 グービフェニルジスルホン酸、ｊ−二トロオルトートル
エンスルホン酸、！−スルポサリチル酸、λ、！−ジメ
チルベンゼンスルポン酸、−一二トロベンゼンスルホン
酸、３−クロ−ロベンゼンスルホン酸、３−ブロモベン
ゼンスルポン酸、λ−クロローよｍ＝トロベンゼンスル
ボン酸、λ−フルオロカプリルナフタレンスルポン酸、
ｌ−ナフトール−！−スルホン酸、−一メトキシー弘−
ヒドロオキシ−よ一ベンゾイルーベンゼンスルホン酸及
びパラトルエンスルホン酸などのスルポン酸の塩などの
ように一分子中に２個以上のジアゾ基を有する化合物で
ある。この他望ましいジアゾ樹脂としては上記の塩を含
むコ、ｊ−ジメトキシ−ｊ−Ｉ）−）リルメルヵプトン
ベンゼンジ了ゾニウムとホルムアルデヒドの縮合物、λ
、ｊ−ジメトキシー≠−モリホリノベンゼンジアゾニウ
ムとボルルアルデヒドまたはアセトアルデヒドとの縮合
物が含まれる。 また、英国特許第１．Ｊ／、２．り、２！号明細書に記
載されているジアゾ樹脂も好咬しい。 ジアゾ樹脂は、単独でレジストの作成に使用される感光
物となり得るが、好ましくはバインダーと共に使用され
る。 かかるバインダーとしては、ｑＩ＋ｔ々の高分子化合物
が使用され得るが、ヒドロキシ、アミン、カルボン酸、
アミド、スルホンアミド、活性スチレン。 チオアルコール、エポキシ等の基を含むものが好ましい
。このような好ましいバインダ゛−には、英国特許第１
，３ｊθ、ｓ、２脂号明細書に記されているシェラツク
、英国特許第ｉ、ｔｔｔｔｏ、り７脂号および米国特許
第１／−、／１３．．２７を号の各明細書に記されてい
るようなヒドロキシエチル了クリレート単位−またはヒ
ドロキシエグールメタクリレート単位を主なる緑り返し
単位として含むポリマー、米国特許第Ｊ 、７ｊ／ 、
Ｊ、１７号明細書に記されているポリアミド樹脂、英国
特許第ｉ、ｏ７≠、３り２号明細書に記さ詐ているフェ
ノール樹脂および例えばポリビニルフォルマール樹脂、
ポリビニルブチラール樹脂のようなポリビニルアセター
ル樹脂、米国特許第３ 、６１，０ 、０り７公明細書
に記されている線状ポリウレタンｔｌ脂、ポリビニルア
ルコールのフタレート化樹脂、ビスフェノールＡとエピ
クロルヒドリンから縮合されたエポキシ樹脂、ポリ了ミ
ノスチレンやポリアルキル−ｒミノ（メタ）了クリレー
トのようなアミン基を含ムホリマー、酢酸セルロース、
セルロースアルキルエーテル、セルロースアセテートフ
タレート等のセルロースｎ等が包含される。 バインダーの含有量は、感光性レジスト形成性組成物中
にｔｉ−ｏ〜りｊ重ｆ１￥９６含まれているのが適当で
ある。バ・ｆングーの量が多くなｉｌ、ばＩ Ｉ’！Ｉ
Ｉち、ジアゾ樹脂の量が少なくなれば）感光性は当然大
になるが、ｉ・−６時安定性が吐下する。最ｉＦｌのバ
インダーのト１．は約７０〜りθ重、叶％である。 ジアゾ＜９・１脂からなる組成物には、更に、米国特許
ｌ：３，２３６．ｔ＋ら号明細書に記載されている燐酸
、染料や顔料などの添加剤を加えることができる。 特に好ましい０−キノンジアジドイビ合物は０−ナフト
キノンジアジド化合物であり、例えば米国特許第２．７
ｔｔ、１１１号、同第ａ、ｙｇ７゜０ ？ ２−＠、同
第２，７７２．り７コ号、同第２゜ｉｓり、／７．２号
、同第２．りθ７．Ｊ４を号。 同第３．θゲｔ、ｉｉｏ号、同第３．０４ｔ１．．１７
７号、同第３ＩＯ≠４．／／！号、同第３．０ヶ６．／
／Ｉ号１回ｇｆ、３．０４ｔ６．／／り号、同第３．θ
１ＬＬ４ 、 ／２０号、同第３．０≠４．／λ１号、
同第３．Ｏμ４．／、２．２号、同第３．Ｏ’１ｔ、１
２３号、同第３．０７．／、４ｔ３０号、同第３．１０
．２．ざＯり号、同第３，１０７．、≠＋１号、同第３
，６３５，７０り号、同第Ｊ 、 Ａ４（７。 ≠弘３号の各明細書をはじめ、多数の刊行物に記されて
おり、これらは好適に使用することができる。これらの
内でも、行に芳香族ヒドロキシ化合１勿の０−ナフトキ
ノンジアジドスルホン酸ニスデルまたは０−ナフトキノ
ンジアジドカルボン酸エステル、および芳香族了ミノ化
合物の０−ナフトキノンジ丁シトスルホン酸アミドまた
は０−ナフ］・キノンジアジドカルボン酸アミドが好ま
しく、管に米ｒｊＡ特許第３，６３１，７０９号明細書
に記されているピロガロールとアセトンとの縮合物に０
−ナフトキノンジアジドスルホン酸をエステル反応させ
たもの、米国特許第弘、０λｒ、ｉｉ１号明細書に記さ
れている末端にヒドロキシ基を有するポリエステルに０
−ナフトキノンジアジドスルホン酸、または０−ナフト
キノンジアジドカルボン酸をエステル反応させたもの、
英国特許第７゜ゲタ４’ 、Ｏｕ３号明細■に記されて
いるよりなｐ−ヒドロキシスチレンのホモポリマーまｆ
ｃはこれと他の共重合し得るモノマーとの共重合体に〇
−ナフトキノンジ了シトスルホン酸または０−ナフトキ
ノンジアジドカルボン酸をエステル反応させたものは非
常にすぐれている。 これらの０−キノンジ了シト化合物は、単独で使用する
ことができるが、アルカリ可溶性樹脂と混合して用いた
方が好ましい。好適なアルカリ可溶性樹脂には、ノボラ
ック型フェノール樹脂が含まれ、具体的には、フェノー
ルホルムアルデヒド樹脂、０−クレゾールホルムアルデ
ヒド樹脂、１ｎ−クレゾールホルムアルデヒド樹脂など
が含まれる。更に米国特許第Ｖ、／２３．２７り号明細
書に記されている様に上記のようなフェノール樹脂ト共
ニ、ｔ−ブチルフェノールホルムアルデヒド樹脂のよう
な炭素数３〜ｇのアルキル基で置換されたフェノールま
たはクレゾールとホルムアルデヒドとの化合物とを併用
すると、より一層好ましい。アルカリ可溶性樹脂は、感
光性レジスト形成性組成物の全重量を基準として中に約
ＳＯ〜約ｇｊ重量、より好ましくはｘｏ−ｒｏ重聞９６
、含有させられる。 ０−キノンジ了シト化合物からなる感光性組成物には、
必要に応じて更に顔料や染料、可塑剤などを含有させる
ことができる、 （３）感光性アジド化合物からなる組成物適当な感光性
了シト化合物としてはアジド基が直接又はカルボニル基
又はスルホニル基を介して芳香環に結合している芳香族
アジド化合物である。 これらは光によりアジド基が分解して、ナイトレンを生
じ、ナイトレンが」１１々の反応を起こして不溶化する
ものである。好ましい芳香族丁シト化合物としては、ア
ジドフェニル、アジドスチリル、了シトベンザル、アジ
ドベンゾイル及び゛アジドシンナモイルの如き基を７個
又はそれ以上含む化合Ｑｔ＋で、たとえば≠ ｐ／−ジ
了シトカルコン、弘−アジド−＜ｚ’−（ｌ／−一丁ジ
ドベンゾイルエトキシ）カルコン＋Ｎ、Ｎ−ビスーｐ−
了ジドベンザルーｐ−フェニレンジアミン、／、２．Ａ
−）す（ｔｌ ／−アジドベンゾキシ）ヘキーリーン、
コー了シトー３−クロロ−ベンゾキノン１．２．≠−ジ
アジドー≠′−エトキシアゾベンゼン、λ、６−ジ（４
Ｌ′−アジドベンザル）−弘−メチルシクロヘキサノン
、≠、≠′−ジアジドベンゾフェノン、λ、ｊ−ジ了シ
トー３．６−シクロロベンゾキノン、λ、ｊ−ビス（≠
−丁レジトスチリル−／。 ３、弘−オキサジアゾール、λ−（弘−アジドシンナモ
イル）チオフェン、認、ｊ−ジ（４ｔ′−アジドベンザ
ル）シクロヘキサノン、弘、≠′−ジアジドジフェニル
メタン、／−（≠−丁ジドフェニル）−ｊ−フリル−コ
ーベンターλ、≠−ジエンーｌ−オン、ｌ−（≠−丁ジ
ドノエニル）−！−（≠−メトキシフェニル）−ペンタ
−／、４Ｚ−ジエン−３−オン、／−（４Ｌ−アジドフ
ェニル）−Ｊ−（／−ナフチル）プロペン−／−オン、
／−（ｌ／、−アジドフェニル）−３−（弘−ジメチル
了ミノフェニル）−プロパン−／−メン、ｌ−（≠−丁
ジドフェニル）−ｊ−フェニル−／、弘−ペンタジエン
−３−オフ、／−（≠−丁ジトフエ＝＃ ） −３−（
４’−二トロフェニル）−２−プロペン−７−オン、／
−（弘−アジドフェニル）−Ｊ−（，２−フリル）−コ
ープ口はノーｌ−叶ン、／１．２．４−トリ（４ｃ ／
−アジドベンゾキシ）ヘキサ７、λ、６−ピスー（４ｔ
−アジドベンジリジン−ｐ−ｔ −ブチル）シクロヘキ
サノン、≠、ｌＩ−′−ジアジドジベンザル了セトン、
ｖ、ｌＩ’−ジアジトスナルベン−λ、２′−ジスルホ
ン酸、Ｖ′−アジドベンザルアセトフエノンーλ−スル
ホン酸、ゲ、≠′−ジアジドスチルベン−α−カルボン
酸、ジー（弘−丁ジドーλ′−ヒト
電子線照射により非銀感光性組成物の塗膜中の溶剤の残
存量を所望範囲内となるまで減少させる工程を含む感光
月料の製造方法に関するものである。 〔従来技術〕 従来、感光性ジアゾ化合物や光重合性組成物などのよう
な非銀感光性組成物を紙、プラスチックシート、金員板
などの支持体上に設けてなる感光材料を製造するには、
先ず非銀感光性組成物を適当な溶剤に溶解又は分散した
感光液を支持体上に塗布したのち、熱線を照射したり、
熱風を吹きつけるなどして乾燥する方法が広く採用され
ていたが、このような方法で支持体上の感光液塗膜が粘
着性のない状態にまで乾燥しても残留性の高い溶媒が塗
膜中にかなり残存していることが通例であった。このよ
うに溶媒がかなりの量で塗膜中に残存する感光材料は、
感度１階調、現像速度などの写真的特性が不安定となっ
てしまう為、塗膜の粘着性がない状態になった後におい
ても更に乾燥を継続して塗膜中の残存溶剤を除かなけれ
ばならず、乾燥に要する時間が長くなってしまう上、熱
エネルギーの消費が膨大となってしまうという問題があ
った。また逆に感光液塗膜中の溶媒含有量が少なくなり
過ぎると、感光材料の現像が進行しなくなると（八う欠
点が生じてしまう為、塗膜中の溶媒残存量が所望の範囲
となるように制御する必要があるが、従来の乾燥方法で
は支持体の厚さによって残留溶媒の量が変動してしまう
ため、このような制御が極めて面倒であるという問題が
あった。 〔発明の目的〕 従って、本発明の目的は短時間で効率のよい乾燥工程を
含む感光拐料の製造方法を提供することである。本発明
の別の目的は、感光液塗膜中の溶媒含有月、を所望範囲
に容易に制御できる乾燥工程を含む感光材料の製造方法
を提供することである。 〔発明の措成〕 本発明者は、上記目的を達成すべく、特に電子線照射技
術に着目して種々検討を重ねた結果、〇−キノンジアジ
ド化合物、アジド化合物、ジアゾ樹脂などのような感光
性物質よシなる非銀感光性組成物は、電子線を照射をし
ても７メガラド以下の範囲であれば感光することがなく
、かつ非銀感光性組成物の溶剤溶液の塗膜中に存在する
当該溶剤が電子線照射により所望の範囲にまで迅速に減
少させることができることを見い出した。即ち、本発明
は支持体上に、非銀感光性組成物の溶剤溶液を塗布し、
乾燥して該非銀感光性組成物の塗膜を形成し几のち、該
塗膜に゛電子紛を照射して該塗膜中の溶剤の残存量を所
望の範囲内となるまで減少させることを特徴とする感光
月料の製造方法である。 以下、本発明による感光材料の製造方法について、添付
図面によって説明する。 第１図は２本発明の製造方法を実施するための塗布、乾
燥１巻取りラインの略断面口であり、貯液槽（図示され
ていない。）に収納されている感光液が定置送液ポンプ
Ｐにより塗布ヘッドｌに供給され、エクストルージョン
ビー下部にて連続走行するウェブ（支持体）３にバッキ
ングローラ≠に懸架された部分において塗布される。こ
のとき、減圧室コを前記塗布ヘッドｌの下部に吊設して
。 真空ポンプ等によりこの室を減圧状態とすることにより
感光液のビードの安定化が図られる。感光液が塗布され
たウェブ３は、反塗布側面を複数の搬送ローラｔで支持
されつつ乾燥装置ｊにて熱風。 赤外線ランプ、誘導加熱などの手段を用いて、感光液塗
膜が粘着性を示さなくなる程度まで、より好ましくは感
光液塗膜中の溶剤含有量が７０〜３０重量％の範囲とな
るように乾燥される。このようにして乾燥された感光液
塗膜中には、依然として溶剤が残存するので１次いで宿
５子線照射装置乙により電子線が照射され、塗膜中の溶
剤含有量が所望の範囲、一般的にＦｉλ〜ｇ重景％とな
るまで減少させられる、このときの電子線の照射風は７
メガラド以下、より好ま１７＜１３メガラド以下となる
ように設定される。かくして塗膜中の溶剤旦が所望の範
囲にまで減少されたのち、ウェブは巻取機７に巻き取ら
れる。 本発明に使用しうる非銀感光性組成物としては、以下の
ようなものが含まれる。 （１）ジアゾ樹脂からなる組成物 ｐ−ジアゾジフェニルチミンとパラホルムアルデヒドと
の綜合物に代表されるジアゾ樹脂は、水溶性のものでも
、水不溶性のものでも良いが、好ましくは、水不溶性か
つ通常の有機溶媒に可溶性のものが使用される。特に好
ましいジアゾ化合物トシては、ｐ−ジアゾフェニルアミ
ンとホルムアルデヒド又はアセトアルデヒドとの縮合物
の塩。 例エバフェノールｊ貝、フルオロカプリン酸塩、及びト
リイソゾロビルナフタレンスルポン酸、≠。 グービフェニルジスルホン酸、ｊ−二トロオルトートル
エンスルホン酸、！−スルポサリチル酸、λ、！−ジメ
チルベンゼンスルポン酸、−一二トロベンゼンスルホン
酸、３−クロ−ロベンゼンスルホン酸、３−ブロモベン
ゼンスルポン酸、λ−クロローよｍ＝トロベンゼンスル
ボン酸、λ−フルオロカプリルナフタレンスルポン酸、
ｌ−ナフトール−！−スルホン酸、−一メトキシー弘−
ヒドロオキシ−よ一ベンゾイルーベンゼンスルホン酸及
びパラトルエンスルホン酸などのスルポン酸の塩などの
ように一分子中に２個以上のジアゾ基を有する化合物で
ある。この他望ましいジアゾ樹脂としては上記の塩を含
むコ、ｊ−ジメトキシ−ｊ−Ｉ）−）リルメルヵプトン
ベンゼンジ了ゾニウムとホルムアルデヒドの縮合物、λ
、ｊ−ジメトキシー≠−モリホリノベンゼンジアゾニウ
ムとボルルアルデヒドまたはアセトアルデヒドとの縮合
物が含まれる。 また、英国特許第１．Ｊ／、２．り、２！号明細書に記
載されているジアゾ樹脂も好咬しい。 ジアゾ樹脂は、単独でレジストの作成に使用される感光
物となり得るが、好ましくはバインダーと共に使用され
る。 かかるバインダーとしては、ｑＩ＋ｔ々の高分子化合物
が使用され得るが、ヒドロキシ、アミン、カルボン酸、
アミド、スルホンアミド、活性スチレン。 チオアルコール、エポキシ等の基を含むものが好ましい
。このような好ましいバインダ゛−には、英国特許第１
，３ｊθ、ｓ、２脂号明細書に記されているシェラツク
、英国特許第ｉ、ｔｔｔｔｏ、り７脂号および米国特許
第１／−、／１３．．２７を号の各明細書に記されてい
るようなヒドロキシエチル了クリレート単位−またはヒ
ドロキシエグールメタクリレート単位を主なる緑り返し
単位として含むポリマー、米国特許第Ｊ 、７ｊ／ 、
Ｊ、１７号明細書に記されているポリアミド樹脂、英国
特許第ｉ、ｏ７≠、３り２号明細書に記さ詐ているフェ
ノール樹脂および例えばポリビニルフォルマール樹脂、
ポリビニルブチラール樹脂のようなポリビニルアセター
ル樹脂、米国特許第３ 、６１，０ 、０り７公明細書
に記されている線状ポリウレタンｔｌ脂、ポリビニルア
ルコールのフタレート化樹脂、ビスフェノールＡとエピ
クロルヒドリンから縮合されたエポキシ樹脂、ポリ了ミ
ノスチレンやポリアルキル−ｒミノ（メタ）了クリレー
トのようなアミン基を含ムホリマー、酢酸セルロース、
セルロースアルキルエーテル、セルロースアセテートフ
タレート等のセルロースｎ等が包含される。 バインダーの含有量は、感光性レジスト形成性組成物中
にｔｉ−ｏ〜りｊ重ｆ１￥９６含まれているのが適当で
ある。バ・ｆングーの量が多くなｉｌ、ばＩ Ｉ’！Ｉ
Ｉち、ジアゾ樹脂の量が少なくなれば）感光性は当然大
になるが、ｉ・−６時安定性が吐下する。最ｉＦｌのバ
インダーのト１．は約７０〜りθ重、叶％である。 ジアゾ＜９・１脂からなる組成物には、更に、米国特許
ｌ：３，２３６．ｔ＋ら号明細書に記載されている燐酸
、染料や顔料などの添加剤を加えることができる。 特に好ましい０−キノンジアジドイビ合物は０−ナフト
キノンジアジド化合物であり、例えば米国特許第２．７
ｔｔ、１１１号、同第ａ、ｙｇ７゜０ ？ ２−＠、同
第２，７７２．り７コ号、同第２゜ｉｓり、／７．２号
、同第２．りθ７．Ｊ４を号。 同第３．θゲｔ、ｉｉｏ号、同第３．０４ｔ１．．１７
７号、同第３ＩＯ≠４．／／！号、同第３．０ヶ６．／
／Ｉ号１回ｇｆ、３．０４ｔ６．／／り号、同第３．θ
１ＬＬ４ 、 ／２０号、同第３．０≠４．／λ１号、
同第３．Ｏμ４．／、２．２号、同第３．Ｏ’１ｔ、１
２３号、同第３．０７．／、４ｔ３０号、同第３．１０
．２．ざＯり号、同第３，１０７．、≠＋１号、同第３
，６３５，７０り号、同第Ｊ 、 Ａ４（７。 ≠弘３号の各明細書をはじめ、多数の刊行物に記されて
おり、これらは好適に使用することができる。これらの
内でも、行に芳香族ヒドロキシ化合１勿の０−ナフトキ
ノンジアジドスルホン酸ニスデルまたは０−ナフトキノ
ンジアジドカルボン酸エステル、および芳香族了ミノ化
合物の０−ナフトキノンジ丁シトスルホン酸アミドまた
は０−ナフ］・キノンジアジドカルボン酸アミドが好ま
しく、管に米ｒｊＡ特許第３，６３１，７０９号明細書
に記されているピロガロールとアセトンとの縮合物に０
−ナフトキノンジアジドスルホン酸をエステル反応させ
たもの、米国特許第弘、０λｒ、ｉｉ１号明細書に記さ
れている末端にヒドロキシ基を有するポリエステルに０
−ナフトキノンジアジドスルホン酸、または０−ナフト
キノンジアジドカルボン酸をエステル反応させたもの、
英国特許第７゜ゲタ４’ 、Ｏｕ３号明細■に記されて
いるよりなｐ−ヒドロキシスチレンのホモポリマーまｆ
ｃはこれと他の共重合し得るモノマーとの共重合体に〇
−ナフトキノンジ了シトスルホン酸または０−ナフトキ
ノンジアジドカルボン酸をエステル反応させたものは非
常にすぐれている。 これらの０−キノンジ了シト化合物は、単独で使用する
ことができるが、アルカリ可溶性樹脂と混合して用いた
方が好ましい。好適なアルカリ可溶性樹脂には、ノボラ
ック型フェノール樹脂が含まれ、具体的には、フェノー
ルホルムアルデヒド樹脂、０−クレゾールホルムアルデ
ヒド樹脂、１ｎ−クレゾールホルムアルデヒド樹脂など
が含まれる。更に米国特許第Ｖ、／２３．２７り号明細
書に記されている様に上記のようなフェノール樹脂ト共
ニ、ｔ−ブチルフェノールホルムアルデヒド樹脂のよう
な炭素数３〜ｇのアルキル基で置換されたフェノールま
たはクレゾールとホルムアルデヒドとの化合物とを併用
すると、より一層好ましい。アルカリ可溶性樹脂は、感
光性レジスト形成性組成物の全重量を基準として中に約
ＳＯ〜約ｇｊ重量、より好ましくはｘｏ−ｒｏ重聞９６
、含有させられる。 ０−キノンジ了シト化合物からなる感光性組成物には、
必要に応じて更に顔料や染料、可塑剤などを含有させる
ことができる、 （３）感光性アジド化合物からなる組成物適当な感光性
了シト化合物としてはアジド基が直接又はカルボニル基
又はスルホニル基を介して芳香環に結合している芳香族
アジド化合物である。 これらは光によりアジド基が分解して、ナイトレンを生
じ、ナイトレンが」１１々の反応を起こして不溶化する
ものである。好ましい芳香族丁シト化合物としては、ア
ジドフェニル、アジドスチリル、了シトベンザル、アジ
ドベンゾイル及び゛アジドシンナモイルの如き基を７個
又はそれ以上含む化合Ｑｔ＋で、たとえば≠ ｐ／−ジ
了シトカルコン、弘−アジド−＜ｚ’−（ｌ／−一丁ジ
ドベンゾイルエトキシ）カルコン＋Ｎ、Ｎ−ビスーｐ−
了ジドベンザルーｐ−フェニレンジアミン、／、２．Ａ
−）す（ｔｌ ／−アジドベンゾキシ）ヘキーリーン、
コー了シトー３−クロロ−ベンゾキノン１．２．≠−ジ
アジドー≠′−エトキシアゾベンゼン、λ、６−ジ（４
Ｌ′−アジドベンザル）−弘−メチルシクロヘキサノン
、≠、≠′−ジアジドベンゾフェノン、λ、ｊ−ジ了シ
トー３．６−シクロロベンゾキノン、λ、ｊ−ビス（≠
−丁レジトスチリル−／。 ３、弘−オキサジアゾール、λ−（弘−アジドシンナモ
イル）チオフェン、認、ｊ−ジ（４ｔ′−アジドベンザ
ル）シクロヘキサノン、弘、≠′−ジアジドジフェニル
メタン、／−（≠−丁ジドフェニル）−ｊ−フリル−コ
ーベンターλ、≠−ジエンーｌ−オン、ｌ−（≠−丁ジ
ドノエニル）−！−（≠−メトキシフェニル）−ペンタ
−／、４Ｚ−ジエン−３−オン、／−（４Ｌ−アジドフ
ェニル）−Ｊ−（／−ナフチル）プロペン−／−オン、
／−（ｌ／、−アジドフェニル）−３−（弘−ジメチル
了ミノフェニル）−プロパン−／−メン、ｌ−（≠−丁
ジドフェニル）−ｊ−フェニル−／、弘−ペンタジエン
−３−オフ、／−（≠−丁ジトフエ＝＃ ） −３−（
４’−二トロフェニル）−２−プロペン−７−オン、／
−（弘−アジドフェニル）−Ｊ−（，２−フリル）−コ
ープ口はノーｌ−叶ン、／１．２．４−トリ（４ｃ ／
−アジドベンゾキシ）ヘキサ７、λ、６−ピスー（４ｔ
−アジドベンジリジン−ｐ−ｔ −ブチル）シクロヘキ
サノン、≠、ｌＩ−′−ジアジドジベンザル了セトン、
ｖ、ｌＩ’−ジアジトスナルベン−λ、２′−ジスルホ
ン酸、Ｖ′−アジドベンザルアセトフエノンーλ−スル
ホン酸、ゲ、≠′−ジアジドスチルベン−α−カルボン
酸、ジー（弘−丁ジドーλ′−ヒト
【１キシベンザル）
アセトン・−２−スルホン酸、弘−アジドベンザルアセ
トフエノンーコ−スルホン酸、−一アシトー／、弘−ジ
ベンゼンスルホニル了ミノナフタレン、≠、４Ｌ′−ジ
アジド−スチルベン−２゜λ′−ジスルホン酸了ニリド
等をあげることが出来る。 またこれらの低分子量芳香族アジド化合物ｌ以外にも特
公昭４Ｌ≠−タ０１／−７号、同４’４−３／１３７号
、同ｌＬｔよ一タロ７３号、同≠ｊ−２ＩＬｔ９／！号
、同≠よ一２６７／３号、特開昭ｊθ−ｊ７０．２月、
同３０−１’４ｔ３０２号、同３Ｏ−１ｒｌ１３０３号
、同！３−１２りｇ≠号の各公報に記載のアジド基含有
ポリマーも適当である、 これらの感光性アジド化合物は、好ましくけバインダー
としての高分子化合物と共に使用される。 好ましいバインダーとしてはアルカリ可溶性樹脂があり
、例えばシェラツク、ロジンなどの天然（財脂、例えば
フェノールホルムアルデヒド向脂、ｍ−クレゾールホル
ムアルデヒド樹脂などのノボラック型フェノール樹脂、
例えばポリアクリル酸。 ポリメタクリル酸、メタクリル酸−スチレン共重合体、
メタクリル酸−アクリル酸メチル共重合体、スチレン−
無水マレイン酸共重合体なとの不飽オロカルボンロ′Ｓ
の単独重合体１グヒはこれと他の共取合し得るモノマー
との共重合体、ポリ酢酸ビニルの部分または完全けん化
物を例えばアセトアルデヒド、ベンズアルデヒド、ヒド
ロキシベンズアルデヒド、カル；３ミギシベンズアルデ
ヒドなどのアルデヒドで部分アセタール化した４１ｒＩ
脂、ポリヒドロキシスチレンなどが含１れる。更に、例
えはセルロースメチルニーデル、セルロースエチルエー
テルなどのセルロースアルキルエーテル類をはじめとす
る有枦溶媒ＢＪ溶性桐脂もバインターとして使用できる
。 バインターｔｉｔ、感光性アジド化合物からなる組成物
の全重量に対して約ｉｏ重量タロから約りＯ６重開°９
６の軸回で含梅させることが好ましい。 感光性アジトゴヒ台物からなる組成物には、更に染料や
顔料、例えはフタル酸エステル、燐酸エステＡ、脂肪族
カルボン酸エステル、り刊コール類、スルフォンアミド
類などの可塑剤、例えばミヒラーケトン、ターフルオレ
ノン、／−ニトロピレン、／、Ｉ−ジニトロピレン、λ
−クロロー／、、２−ベンズアントラキノン、λ−ブロ
モー／、２−ベンズアントラキノン、ピレン−／、６−
キノン。 ２−クロロ−７、ｌ−フタロイルナフタレン、シアノア
クリジンなどの増感剤などの添加剤を加えることができ
る。 ！１ 重合体主釦又は側釦に感光性基として −Ｃ）Ｉ ＝ ＣＩＩ −Ｃ−を含むポリエステル類、
ポリ！１ アミド類、ポリカーボネート類のような感光性重合体を
主成分とするもの（例えば米国特許第３゜０３０．２０
１号、同第３．７０７．３７３号及び同第３，１Ａｊ３
，２３７号の各明細書に記載されているような化合物）
；シンナミリデンマロン酸ｅの（コープ口はリデン）マ
ロン酸化合物及び二官能性グリコール類から誘導される
感光性ポリエフチル類を主成分としたもの（例えば米国
特許第２．りｔ４．１７ｇ号及び同第３．／７３，７ｇ
７号の各明細書に記載されているような感光性重合体１
；ポリビニールアルコール、ＰＡ１’Ｊ、）、セルロー
ス及びその類似物のような水酸基含有重合体のケイ皮酸
エステル類（例えば米国特許２７Ｎ ２＋ Ａり０．Ｆ
ｔｔ号、同第λ、７３２．３７λ号、同第−、７３２．
３ｏ１号等の各明細書に記、ｊ、ｌ、されているような
感光性重合体）等が包含される。これらの組成物中には
他に増感剤、安定化剤、司ｐ、ｆｊ；剤、顔料や染料等
を含脣せることかできる。 組成物 この組成物は、好ましくは、（ａ）少なくども２個の末
端ビニル基を有するビニル、Ｉ￥Ｉｈ′Ｌ体、（ｂ）光
重合開始剤及び（Ｃ）バインダーとしての高分子化合物
からなる。 成分（ａ）のビニル単量体としては、特公昭３ｊ−ｊＯ
り３号、ｌは公昭３ター／’Ａ７／り号、特公昭弘≠−
、２１７．２７号の各公報等に記載される。ポリオール
のアクリル酸またはメタクリル酸エステル、すなワチジ
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチ
レングリコールジ（メタ）アクリレート、はメタエリス
リトールトリ（メタ）アクリレ−］・、トリメチロール
プロ／ｅントリ（メタ）アクリレートＡＴＦ、あるいは
メチし７ンビス（メタ）アクリルアミド、エチレンビス
（メタ）アクリルアミドの様なビス（メタ）アクリルア
ミド辺、あるいはウレタン恭を・含崩する小胞１１１厘
量体、例えばジー（，２′−メタクリロキシ：［チル）
−一。 弘−トリレンジウレタン、ジー（２／−アク１ノロキシ
エチル）トリメチレンジウレタン等の様なジ１−ルモ／
゛（メタ）アクリレートとジイソシアネートとの反応生
成物等が掲げられる。 成分（ｂ）の光重合開始剤としては、トリえは、Ｊ。 コーサー著「ライト・センシシテイブ・システムズｊ第
ｊ章に記載されているよりなカル）ドニル化合物、有機
硫ν？化合物、過硫化物、レドックス系化合物、アゾ並
びにジアゾ化合物、ノ・ロゲン化合物、光還元性色素な
どがある。更に具体的には英１”ｊｌ ４７ｒ、ｊＦＩ
”Ｈ’ｒ ’ ＋ ４’ ！り、！６３号明（ｌｎｙ２
（の中に開示されている。 一方、成分（Ｃ）のバインダーとしては公知の種々のボ
ＩＩ ＝ｒ−ヲ使用することができる。具体的なバイン
ダーの詳細は、米国特許第ｐ、ｏ７．２．ｓ、ｔ７月明
９１１１ヤ１に記されている。更に英国慣許第１゜ψｊ
９ 、 タ１，３号明細書に記されている地力化ポリオ
レフィンは、特に好ましいパインターでき）る。 成分（ａ）と成分（Ｃ）け重飛比で／：りから６：ヴの
範囲で組合せ含セされる。また成分（１〕）は成分（ａ
）を基準として＋ ｏ、！ｉ〜１０爪懲゛％σ−鴫１ｊ
囲で含有させられろう 光重合性組成物には、更に、熱′ＴＩ′１．合禁ＩＥ剤
、可塑剤、染本１やｆ＠ ｆ：ｌを含有させることがで
きる。 上記のような非銀Ｖへ光性組成物！−１適当な溶剤に溶
）γトされて感光液とされるが、そのときの当該組成物
の総重量の濃度は一般にｊへ・２０重基量の範囲から選
ばれる。ｔｊＰましい溶剤には、エチレンジクロライド
、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メチルセロ
ソルブ、エヂルセロソルブ、メチルセロンルヲアセテー
ト、トルエン、エチルアセテート、ジメチルホルアミド
、メタノール、エタノールなどが含まれ、これらは必要
に応じて２種以上組み合わせて用いられる。このような
感光液の支持体上への塗布量は感光材料の用途に応じて
変わるため、−概には決められないが、例えば感光性平
版印刷版の場合１ＣＶｉ、非銀感光性組成物の塗布重量
で約０．６−４１９／ｍ とされる。 他方１本発明に使用しうる支持体としては、紙、プラス
チックス（例えばボ１１エチレン、ポリプロピレン、ポ
リスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ナイロン、
酢酸セルロースなど）および該プラスチックスと紙を貼
合、＠た材料、アルミニウム、亜鉛、鉄等の金属板およ
び該金鵬板と紙、プラスチックス等を貼合せた材ｆ）お
よび金属等が蒸着された紙もしくはプラスチックスフィ
ルムなどが有用である。これ等の支持体は、目的により
使い分けられる。例えば感光性平版印刷版の場合には、
米国特許第λ、７／≠、ｏｔｔ、号明細書に記載されて
いる如く、珪酸ナトリウム水溶液に浸漬処理されたアル
ミニウム板、米国特許第３．／ｌ／、１７４１号明細書
に開示され−（いるように砂目立てした後陽極酸化処理
したアルミニウム板、英国特許第１．２０１．２．２４
Ｌ号明細書に開示されているようにアルミニウム板を塩
１２電解浴中で交流で電解し、続いて硫酸電解浴中で陽
極酸化したアルミニウム板等が使用できる。 〔発明の効果〕 不発明によれば、感光液塗膜中の溶剤の残存量：を主と
して電子線の照射によって所望の範囲となるように減少
させるので、従来のような熱風で溶剤の残存ｕ？減少さ
せる方法に比し、乾燥装置内のウェブ走行距離を少なく
とも３０９６短かくすることができる。従って、従来必
要とされていた乾燥装置のスペースを節減することがで
きる上、使用される熱エネルギーも大巾に低減させるこ
とができる。 更に、従来の方法では感光液およびその塗布量が同一で
あっても支持体の厚さ、 ｒｌ】が変わると、乾燥東件
（例えば熱風の風量、温度など）を変えたり、著しい場
合にはウェブの搬送スピードを変えなければ感光層中の
溶剤の残存量を所望の範囲とすることができなかったが
１本発明によれば電子線の照射量を適宜調整するという
簡単な方法により感光層中の溶剤の残存量を制御するこ
とができる。 〔実施例〕 以下、本発明を実施例によって更に詳細に説明する。な
お、％は他に指定のない限シ１基量％を意味する。 ニウム板＠ｒｏ ０ｃに保った第３リン酸ナトリウムの
ｉｏ％水溶液に３分間浸漬させて脱脂したのち、ナイロ
ンブックで砂目立てした後、硫酸水素ナトリウム３％水
溶液でデスマット処理を行った。 このアルミニウム板ｆ７００ｃの珪酸ナトリウム１．１
％水溶液で１分間処理して、支持体とした。 この支持体に感光液（Ａ）を第１図の装置にて。 毎分５０メートルのスピードで２３ＣＣ／ｍ２の塗布量
で塗布し、その後１ｏｏ０ｃ、スリット風速７ｍ／秒の
ノズル型乾燥装置にて３０秒間で膜面にヘトつきのない
状態に乾燥したのち、第１図に示す電子線照射装置にて
、０．ｊ、／、３、！または７メガラドの条件で電子線
照射を行い感光性平版印刷版を作製した。 比較例１） 実施例１に示す方法で作製された支持体上に感光液（Ａ
）を第１図に示す方法で同様に塗布し、１０Ｏ０Ｃ，ス
リット風速７ｍ／秒のノズル型乾外装置にて６０秒間で
乾燥し、感光性平版印刷版を作製した。 感光液（Ａ） ナフトキノン−／、２−ジアジ ドータースルホニルクロライ ドとピロガロール−アセトン 樹脂とのエステル化合物・・・曲・・／、ｒ重量部クレ
ゾール・ポルムアルデヒド 樹脂 ・・・・・・・・・３．ｔ ＃ デトラヒドロ無水フタル酸・・・・・・・・・ｏ、、ｉ
ｔＭ量部ナフトキノン−／、２−ジ アジド−≠−スルホニル クロライド ・・・・・・０．０≠ Ｉオイルヅルー＋
ｔ０３ （オ リエント化学工業■製）・・・・・・０．０に ｆメチ
ルエチルケトン ・・・・・・ｌ≠、ｊ ＃、２−メト
キシエチルアセテ ート ・・・・・３３．タ ｌ 上記した方法により作製した感光性平版印刷版の塗膜中
に残件するコーメトキシエチルアセテートの量をガスク
ロマトグラフィー装置により調べた結果を表／に示す。 表７に示された結果から明らかな様に、電子線照射音用
いる方式により、乾燥時間の半減が可能であり、照射量
により残留溶剤駄の制御が可能であることが判る。 実施例、２） 厚さ０．１１ｍｍのＪＩＳＡｉｌｏｏ機７７ｔ、ミニラ
ム板をｒｏ ０ｃに保たれた第３リン酸ソーダの１０％
水溶液に３分間浸漬して脱脂し、ナイロンブラシで砂目
立後、ｔθ０Ｃのアルミン酸ソーダ水溶液で約７０秒間
エツチングし、次に硫酸水素ナトリウム３％水溶液でデ
スマットした。このアルミニウム板ｆ２０％硫酸中で、
２Ａ／ｄｍの電流密襄で２分間陽極酸化し、その後７０
０Ｃのケイ酸ソーダ２．３％水溶液で１分間処理し、支
持体とした。 この支持体上に次の感光液（Ｂ）を第７図に示す装置、
にて、毎分３０メートルのスピードで３θＣｃ／ｍ２の
塗布量で塗布し、その後１０００Ｃ、スリット風速Ａｍ
／秒のノズル型乾燥装置にて、３０秒間で膜面にベトつ
きのない状態に乾燥した後、２１）７図に示す電子線照
射装置にて、０．！、／、３、ｊ、７Ｍｒａｄの１８１
：！注で電子線照射所・行い、感光性平版印刷版を作製
した。 比較例２） 実施例／に示す方法で作製されたアルミニウム板（ＩＩ
） Ｋ 感＞’ｆ；液（Ｔ３ ） ｆ ｊ４％ ｉ
ｌＪ、＋に】１りず方法ニテ。 同様に塗布し、１ＯＯ０Ｃ、スリット風速ｔｎＩ／秒の
ノズル型乾燥装置にて６０秒間で乾１＊；し、感光性平
版印刷１；シ葡作製し１ζ。 感光液（Ｂ） コーヒドロキシエチルメタクリ レート共重合体 ・・・・・・・・０．７重置部ｐ−ジ
アソ°シフニーニルアミンと パラボルムアルデヒドの縮合 物の２−メトキシ−グーヒド ロオキシー５−ベンゾイルベ ンゼンスルホン酸塩 ・・・・・Ｏ９／ 〃オイルブル
ーー４＃０３（オリゴ ント化学工業偕）製） ・・・・・・０ 、０３ 〃コ
ーメトギ７エタノール ・・・・・ １０ 〃メタノー
ル ・・・・・・・・・６．６重量部上記した方法によ
り作製した感光性平版印刷版の塗膜中に残存するコーメ
トキシエタノールの伯を・ガスクロマトグラフィー装置
、により調べた結果を表２［（示す。 表２に示すように電子線照射を用いる方式により乾燥時
間の半減が可能でおり、照射量により。 残留溶剤の制御が可能であることが判る。
アセトン・−２−スルホン酸、弘−アジドベンザルアセ
トフエノンーコ−スルホン酸、−一アシトー／、弘−ジ
ベンゼンスルホニル了ミノナフタレン、≠、４Ｌ′−ジ
アジド−スチルベン−２゜λ′−ジスルホン酸了ニリド
等をあげることが出来る。 またこれらの低分子量芳香族アジド化合物ｌ以外にも特
公昭４Ｌ≠−タ０１／−７号、同４’４−３／１３７号
、同ｌＬｔよ一タロ７３号、同≠ｊ−２ＩＬｔ９／！号
、同≠よ一２６７／３号、特開昭ｊθ−ｊ７０．２月、
同３０−１’４ｔ３０２号、同３Ｏ−１ｒｌ１３０３号
、同！３−１２りｇ≠号の各公報に記載のアジド基含有
ポリマーも適当である、 これらの感光性アジド化合物は、好ましくけバインダー
としての高分子化合物と共に使用される。 好ましいバインダーとしてはアルカリ可溶性樹脂があり
、例えばシェラツク、ロジンなどの天然（財脂、例えば
フェノールホルムアルデヒド向脂、ｍ−クレゾールホル
ムアルデヒド樹脂などのノボラック型フェノール樹脂、
例えばポリアクリル酸。 ポリメタクリル酸、メタクリル酸−スチレン共重合体、
メタクリル酸−アクリル酸メチル共重合体、スチレン−
無水マレイン酸共重合体なとの不飽オロカルボンロ′Ｓ
の単独重合体１グヒはこれと他の共取合し得るモノマー
との共重合体、ポリ酢酸ビニルの部分または完全けん化
物を例えばアセトアルデヒド、ベンズアルデヒド、ヒド
ロキシベンズアルデヒド、カル；３ミギシベンズアルデ
ヒドなどのアルデヒドで部分アセタール化した４１ｒＩ
脂、ポリヒドロキシスチレンなどが含１れる。更に、例
えはセルロースメチルニーデル、セルロースエチルエー
テルなどのセルロースアルキルエーテル類をはじめとす
る有枦溶媒ＢＪ溶性桐脂もバインターとして使用できる
。 バインターｔｉｔ、感光性アジド化合物からなる組成物
の全重量に対して約ｉｏ重量タロから約りＯ６重開°９
６の軸回で含梅させることが好ましい。 感光性アジトゴヒ台物からなる組成物には、更に染料や
顔料、例えはフタル酸エステル、燐酸エステＡ、脂肪族
カルボン酸エステル、り刊コール類、スルフォンアミド
類などの可塑剤、例えばミヒラーケトン、ターフルオレ
ノン、／−ニトロピレン、／、Ｉ−ジニトロピレン、λ
−クロロー／、、２−ベンズアントラキノン、λ−ブロ
モー／、２−ベンズアントラキノン、ピレン−／、６−
キノン。 ２−クロロ−７、ｌ−フタロイルナフタレン、シアノア
クリジンなどの増感剤などの添加剤を加えることができ
る。 ！１ 重合体主釦又は側釦に感光性基として −Ｃ）Ｉ ＝ ＣＩＩ −Ｃ−を含むポリエステル類、
ポリ！１ アミド類、ポリカーボネート類のような感光性重合体を
主成分とするもの（例えば米国特許第３゜０３０．２０
１号、同第３．７０７．３７３号及び同第３，１Ａｊ３
，２３７号の各明細書に記載されているような化合物）
；シンナミリデンマロン酸ｅの（コープ口はリデン）マ
ロン酸化合物及び二官能性グリコール類から誘導される
感光性ポリエフチル類を主成分としたもの（例えば米国
特許第２．りｔ４．１７ｇ号及び同第３．／７３，７ｇ
７号の各明細書に記載されているような感光性重合体１
；ポリビニールアルコール、ＰＡ１’Ｊ、）、セルロー
ス及びその類似物のような水酸基含有重合体のケイ皮酸
エステル類（例えば米国特許２７Ｎ ２＋ Ａり０．Ｆ
ｔｔ号、同第λ、７３２．３７λ号、同第−、７３２．
３ｏ１号等の各明細書に記、ｊ、ｌ、されているような
感光性重合体）等が包含される。これらの組成物中には
他に増感剤、安定化剤、司ｐ、ｆｊ；剤、顔料や染料等
を含脣せることかできる。 組成物 この組成物は、好ましくは、（ａ）少なくども２個の末
端ビニル基を有するビニル、Ｉ￥Ｉｈ′Ｌ体、（ｂ）光
重合開始剤及び（Ｃ）バインダーとしての高分子化合物
からなる。 成分（ａ）のビニル単量体としては、特公昭３ｊ−ｊＯ
り３号、ｌは公昭３ター／’Ａ７／り号、特公昭弘≠−
、２１７．２７号の各公報等に記載される。ポリオール
のアクリル酸またはメタクリル酸エステル、すなワチジ
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチ
レングリコールジ（メタ）アクリレート、はメタエリス
リトールトリ（メタ）アクリレ−］・、トリメチロール
プロ／ｅントリ（メタ）アクリレートＡＴＦ、あるいは
メチし７ンビス（メタ）アクリルアミド、エチレンビス
（メタ）アクリルアミドの様なビス（メタ）アクリルア
ミド辺、あるいはウレタン恭を・含崩する小胞１１１厘
量体、例えばジー（，２′−メタクリロキシ：［チル）
−一。 弘−トリレンジウレタン、ジー（２／−アク１ノロキシ
エチル）トリメチレンジウレタン等の様なジ１−ルモ／
゛（メタ）アクリレートとジイソシアネートとの反応生
成物等が掲げられる。 成分（ｂ）の光重合開始剤としては、トリえは、Ｊ。 コーサー著「ライト・センシシテイブ・システムズｊ第
ｊ章に記載されているよりなカル）ドニル化合物、有機
硫ν？化合物、過硫化物、レドックス系化合物、アゾ並
びにジアゾ化合物、ノ・ロゲン化合物、光還元性色素な
どがある。更に具体的には英１”ｊｌ ４７ｒ、ｊＦＩ
”Ｈ’ｒ ’ ＋ ４’ ！り、！６３号明（ｌｎｙ２
（の中に開示されている。 一方、成分（Ｃ）のバインダーとしては公知の種々のボ
ＩＩ ＝ｒ−ヲ使用することができる。具体的なバイン
ダーの詳細は、米国特許第ｐ、ｏ７．２．ｓ、ｔ７月明
９１１１ヤ１に記されている。更に英国慣許第１゜ψｊ
９ 、 タ１，３号明細書に記されている地力化ポリオ
レフィンは、特に好ましいパインターでき）る。 成分（ａ）と成分（Ｃ）け重飛比で／：りから６：ヴの
範囲で組合せ含セされる。また成分（１〕）は成分（ａ
）を基準として＋ ｏ、！ｉ〜１０爪懲゛％σ−鴫１ｊ
囲で含有させられろう 光重合性組成物には、更に、熱′ＴＩ′１．合禁ＩＥ剤
、可塑剤、染本１やｆ＠ ｆ：ｌを含有させることがで
きる。 上記のような非銀Ｖへ光性組成物！−１適当な溶剤に溶
）γトされて感光液とされるが、そのときの当該組成物
の総重量の濃度は一般にｊへ・２０重基量の範囲から選
ばれる。ｔｊＰましい溶剤には、エチレンジクロライド
、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メチルセロ
ソルブ、エヂルセロソルブ、メチルセロンルヲアセテー
ト、トルエン、エチルアセテート、ジメチルホルアミド
、メタノール、エタノールなどが含まれ、これらは必要
に応じて２種以上組み合わせて用いられる。このような
感光液の支持体上への塗布量は感光材料の用途に応じて
変わるため、−概には決められないが、例えば感光性平
版印刷版の場合１ＣＶｉ、非銀感光性組成物の塗布重量
で約０．６−４１９／ｍ とされる。 他方１本発明に使用しうる支持体としては、紙、プラス
チックス（例えばボ１１エチレン、ポリプロピレン、ポ
リスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ナイロン、
酢酸セルロースなど）および該プラスチックスと紙を貼
合、＠た材料、アルミニウム、亜鉛、鉄等の金属板およ
び該金鵬板と紙、プラスチックス等を貼合せた材ｆ）お
よび金属等が蒸着された紙もしくはプラスチックスフィ
ルムなどが有用である。これ等の支持体は、目的により
使い分けられる。例えば感光性平版印刷版の場合には、
米国特許第λ、７／≠、ｏｔｔ、号明細書に記載されて
いる如く、珪酸ナトリウム水溶液に浸漬処理されたアル
ミニウム板、米国特許第３．／ｌ／、１７４１号明細書
に開示され−（いるように砂目立てした後陽極酸化処理
したアルミニウム板、英国特許第１．２０１．２．２４
Ｌ号明細書に開示されているようにアルミニウム板を塩
１２電解浴中で交流で電解し、続いて硫酸電解浴中で陽
極酸化したアルミニウム板等が使用できる。 〔発明の効果〕 不発明によれば、感光液塗膜中の溶剤の残存量：を主と
して電子線の照射によって所望の範囲となるように減少
させるので、従来のような熱風で溶剤の残存ｕ？減少さ
せる方法に比し、乾燥装置内のウェブ走行距離を少なく
とも３０９６短かくすることができる。従って、従来必
要とされていた乾燥装置のスペースを節減することがで
きる上、使用される熱エネルギーも大巾に低減させるこ
とができる。 更に、従来の方法では感光液およびその塗布量が同一で
あっても支持体の厚さ、 ｒｌ】が変わると、乾燥東件
（例えば熱風の風量、温度など）を変えたり、著しい場
合にはウェブの搬送スピードを変えなければ感光層中の
溶剤の残存量を所望の範囲とすることができなかったが
１本発明によれば電子線の照射量を適宜調整するという
簡単な方法により感光層中の溶剤の残存量を制御するこ
とができる。 〔実施例〕 以下、本発明を実施例によって更に詳細に説明する。な
お、％は他に指定のない限シ１基量％を意味する。 ニウム板＠ｒｏ ０ｃに保った第３リン酸ナトリウムの
ｉｏ％水溶液に３分間浸漬させて脱脂したのち、ナイロ
ンブックで砂目立てした後、硫酸水素ナトリウム３％水
溶液でデスマット処理を行った。 このアルミニウム板ｆ７００ｃの珪酸ナトリウム１．１
％水溶液で１分間処理して、支持体とした。 この支持体に感光液（Ａ）を第１図の装置にて。 毎分５０メートルのスピードで２３ＣＣ／ｍ２の塗布量
で塗布し、その後１ｏｏ０ｃ、スリット風速７ｍ／秒の
ノズル型乾燥装置にて３０秒間で膜面にヘトつきのない
状態に乾燥したのち、第１図に示す電子線照射装置にて
、０．ｊ、／、３、！または７メガラドの条件で電子線
照射を行い感光性平版印刷版を作製した。 比較例１） 実施例１に示す方法で作製された支持体上に感光液（Ａ
）を第１図に示す方法で同様に塗布し、１０Ｏ０Ｃ，ス
リット風速７ｍ／秒のノズル型乾外装置にて６０秒間で
乾燥し、感光性平版印刷版を作製した。 感光液（Ａ） ナフトキノン−／、２−ジアジ ドータースルホニルクロライ ドとピロガロール−アセトン 樹脂とのエステル化合物・・・曲・・／、ｒ重量部クレ
ゾール・ポルムアルデヒド 樹脂 ・・・・・・・・・３．ｔ ＃ デトラヒドロ無水フタル酸・・・・・・・・・ｏ、、ｉ
ｔＭ量部ナフトキノン−／、２−ジ アジド−≠−スルホニル クロライド ・・・・・・０．０≠ Ｉオイルヅルー＋
ｔ０３ （オ リエント化学工業■製）・・・・・・０．０に ｆメチ
ルエチルケトン ・・・・・・ｌ≠、ｊ ＃、２−メト
キシエチルアセテ ート ・・・・・３３．タ ｌ 上記した方法により作製した感光性平版印刷版の塗膜中
に残件するコーメトキシエチルアセテートの量をガスク
ロマトグラフィー装置により調べた結果を表／に示す。 表７に示された結果から明らかな様に、電子線照射音用
いる方式により、乾燥時間の半減が可能であり、照射量
により残留溶剤駄の制御が可能であることが判る。 実施例、２） 厚さ０．１１ｍｍのＪＩＳＡｉｌｏｏ機７７ｔ、ミニラ
ム板をｒｏ ０ｃに保たれた第３リン酸ソーダの１０％
水溶液に３分間浸漬して脱脂し、ナイロンブラシで砂目
立後、ｔθ０Ｃのアルミン酸ソーダ水溶液で約７０秒間
エツチングし、次に硫酸水素ナトリウム３％水溶液でデ
スマットした。このアルミニウム板ｆ２０％硫酸中で、
２Ａ／ｄｍの電流密襄で２分間陽極酸化し、その後７０
０Ｃのケイ酸ソーダ２．３％水溶液で１分間処理し、支
持体とした。 この支持体上に次の感光液（Ｂ）を第７図に示す装置、
にて、毎分３０メートルのスピードで３θＣｃ／ｍ２の
塗布量で塗布し、その後１０００Ｃ、スリット風速Ａｍ
／秒のノズル型乾燥装置にて、３０秒間で膜面にベトつ
きのない状態に乾燥した後、２１）７図に示す電子線照
射装置にて、０．！、／、３、ｊ、７Ｍｒａｄの１８１
：！注で電子線照射所・行い、感光性平版印刷版を作製
した。 比較例２） 実施例／に示す方法で作製されたアルミニウム板（ＩＩ
） Ｋ 感＞’ｆ；液（Ｔ３ ） ｆ ｊ４％ ｉ
ｌＪ、＋に】１りず方法ニテ。 同様に塗布し、１ＯＯ０Ｃ、スリット風速ｔｎＩ／秒の
ノズル型乾燥装置にて６０秒間で乾１＊；し、感光性平
版印刷１；シ葡作製し１ζ。 感光液（Ｂ） コーヒドロキシエチルメタクリ レート共重合体 ・・・・・・・・０．７重置部ｐ−ジ
アソ°シフニーニルアミンと パラボルムアルデヒドの縮合 物の２−メトキシ−グーヒド ロオキシー５−ベンゾイルベ ンゼンスルホン酸塩 ・・・・・Ｏ９／ 〃オイルブル
ーー４＃０３（オリゴ ント化学工業偕）製） ・・・・・・０ 、０３ 〃コ
ーメトギ７エタノール ・・・・・ １０ 〃メタノー
ル ・・・・・・・・・６．６重量部上記した方法によ
り作製した感光性平版印刷版の塗膜中に残存するコーメ
トキシエタノールの伯を・ガスクロマトグラフィー装置
、により調べた結果を表２［（示す。 表２に示すように電子線照射を用いる方式により乾燥時
間の半減が可能でおり、照射量により。 残留溶剤の制御が可能であることが判る。
第１図は本発明を実施する為の塗布、乾燥、巻取りライ
ンの略断面図である。 ハ・・塗布ヘッド λ・・・減圧室 ３・・・ウェブ ≠・・・バックアップローラ！・・・
乾燥装置 ６・・・電子線照射装置７・・・巻取機
ンの略断面図である。 ハ・・塗布ヘッド λ・・・減圧室 ３・・・ウェブ ≠・・・バックアップローラ！・・・
乾燥装置 ６・・・電子線照射装置７・・・巻取機
Claims (1)
- 支持体上に、非銀感光性組成物の溶剤溶液を塗布し、乾
燥して該非銀感光性組成物の塗膜を形成したのち、該塗
膜に電子線を照射して該塗膜中の溶剤の残存量を所望の
範囲内となるまで減少させることを特徴とする感光材料
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21375983A JPS60104940A (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 感光材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21375983A JPS60104940A (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 感光材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60104940A true JPS60104940A (ja) | 1985-06-10 |
| JPH0367256B2 JPH0367256B2 (ja) | 1991-10-22 |
Family
ID=16644553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21375983A Granted JPS60104940A (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 感光材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60104940A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5405720A (en) * | 1985-08-07 | 1995-04-11 | Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. | Radiation-sensitive composition containing 1,2 quinonediazide compound, alkali-soluble resin and monooxymonocarboxylic acid ester solvent |
-
1983
- 1983-11-14 JP JP21375983A patent/JPS60104940A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5405720A (en) * | 1985-08-07 | 1995-04-11 | Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. | Radiation-sensitive composition containing 1,2 quinonediazide compound, alkali-soluble resin and monooxymonocarboxylic acid ester solvent |
| US5494784A (en) * | 1985-08-07 | 1996-02-27 | Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. | Method of pattern formation utilizing radiation-sensitive resin composition containing monooxymonocarboxylic acid ester solvent |
| US5925492A (en) * | 1985-08-07 | 1999-07-20 | Jsr Corporation | Radiation-sensitive resin composition utilizing monooxymonocarboxylic acid ester solvent |
| US6228554B1 (en) | 1985-08-07 | 2001-05-08 | Jsr Corporation | Radiation-sensitive resin composition |
| US6270939B1 (en) | 1985-08-07 | 2001-08-07 | Jsr Corporation | Radiation-sensitive resin composition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0367256B2 (ja) | 1991-10-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4387139A (en) | Elastomeric, ethylenically unsaturated polyurethanes and radiation polymerizable mixtures containing such polyurethanes | |
| JPH06502931A (ja) | プリンティングプレート | |
| JPS6370243A (ja) | 感光性組成物 | |
| JPH0140336B2 (ja) | ||
| JPS5953836A (ja) | 感光性平版印刷版 | |
| GB2030309A (en) | Photosensitive material for forming a printing plate | |
| US4557994A (en) | Light-sensitive printing plate with patterned matting layer | |
| JPS63172152A (ja) | 層支持体および感光性層を有する感光性複写材料およびその製法 | |
| JPS6368831A (ja) | 感光性組成物 | |
| JPS60104940A (ja) | 感光材料の製造方法 | |
| JPS6120939A (ja) | 平版印刷版用感光性組成物 | |
| US4547454A (en) | Photosensitive multi-layer material and preparation of adhesive layers employed therein | |
| JPS62115150A (ja) | 感光性組成物 | |
| JPS60191261A (ja) | 感光性平版印刷版の製版法 | |
| JPS60122948A (ja) | 感光性平版印刷版の製造方法 | |
| JPS6032174B2 (ja) | 版木及びレリ−フ版木を製造するための改良された光重合可能な物質 | |
| JPS6119026B2 (ja) | ||
| JPH01255859A (ja) | 感光性平版印刷版の製造方法 | |
| JPH032867A (ja) | 感光性平版印刷版 | |
| JPH0446341A (ja) | 感光性印刷版の製造方法 | |
| JPH04217256A (ja) | ジアゾ樹脂含有感光材料の現像方法 | |
| JPH06317896A (ja) | 感光性平版印刷版の製造方法 | |
| JPS626253A (ja) | 感光性組成物 | |
| JP3276201B2 (ja) | 感光性平版印刷版 | |
| JPS63254443A (ja) | 感光性組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |