JPS60103181A - 無電解めつき浴 - Google Patents

無電解めつき浴

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JPS60103181A
JPS60103181A JP21181283A JP21181283A JPS60103181A JP S60103181 A JPS60103181 A JP S60103181A JP 21181283 A JP21181283 A JP 21181283A JP 21181283 A JP21181283 A JP 21181283A JP S60103181 A JPS60103181 A JP S60103181A
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magnetic
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Fumio Goto
文男 後藤
Tetsuya Aisaka
哲彌 逢坂
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/52Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating using reducing agents for coating with metallic material not provided for in a single one of groups C23C18/32 - C23C18/50

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、磁気記録媒体の膜厚方向の磁化によって記録
を行う、いわゆる垂直記録に用いる磁気記録媒体(磁性
膜)を作製するめつき浴に関するものである。
従来、一般の磁気ディスク装置、磁気テープ装置などの
磁気記録装置においては、基板上に形成された磁気記録
媒体にリング型磁気ヘッドによっで水平方向に磁化する
ことにより記録を行なっている。
しかし、水平磁化による記録には記録信号が短波長にな
るに従い、即ち記録密度の増加に従って、媒体内の反磁
界が増大して残留磁化の減衰と回転を生じ、再生出力が
著しく減少するという欠点が存在する。そこで、この問
題解決のため短波長になる程度磁界が小さくなる性質を
もつ垂直記録方式が提案され、この垂直記録に適した磁
気記録媒体としては、膜厚に垂直な方向に磁化容易軸を
もつCo Orスパッタ膜が提案されている。そして、
この垂直磁化記録方式は従来の水平方向の磁化による記
録方式に比べて高密度記録に優れていることが報告され
ている。、(特開昭52−134706号公報参照)。
ところでCo−0r膜をスパッタ法により作製する場合
、J(空系内で行うため量産性に問題がある。
このためこの様な製造上の問題点を改善して量産性に優
れた無電解めっき法により、膜面に垂直な方向に磁化容
易軸をもつ磁気記録媒体を製造する無電解Co−Ma−
Pめりき浴が見す出されている(特願昭56−9258
33、°無電解めっき浴1)。
一般に膜面にi直な方向に磁化容易となる条件は、媒体
の垂直異方性磁界Hkと減磁界の最大値4πMs(Ms
は飽和磁化)の間にHk > 4πMsの関係またはH
k/4πMs)1の関係があることである。垂直記録媒
体においては必ずしもこの条件を満たす必要はないが、
Hk/4πMs≦1でおっても大きな値をもつ程垂直磁
化容易の条件に近づいているため媒体特性として好まし
いといえる。実際に記録媒体を用いて記録密度特性を測
定した結果によってもこの傾向が示されている。例えば
、電子通信学会技術研究報告、MR82−22,198
2年10月15日では種々の特性のCo−Vスパッタ媒
体にリングヘッドを用いて垂直記録を行ない、Hk/4
πMs値が大きくなる程限界記録密度D5o(孤立波再
生出力が172となる記録密度で、媒体の記録密度の性
能を表わす値)が増加すること、またHk/4πMs値
が0.5を下回るとD5Gが急激に減少することを示し
ている。この傾向は媒体の種類、記録再生条件が異なる
場合も同様の関係にある。しかし前記無電解めっき浴に
おいてlよα−Co六方晶(磁化容易軸)が基板に対し
て垂直配向し−だ磁性膜が得られるが、飽“(11磁化
M@の低下が少なく4πMsの値が非常に大きくなるた
め垂直磁化記録の障碍となる。このためニッケルを共析
することにより(特願昭56−155706、“無電解
めっき浴1)、またニッケルに加えてレニウムを共析す
るとと忙より(1982年、金属表面技術協会、第66
回学術講演大会講演要旨集P、8゛〜9に掲載されため
っき浴、以下AT浴とよぶ)Msの低下がはかられてい
る。
ところが、06−Ni−MnP磁性膜にレニウムを共析
するために無電解めっき浴にレニウムイオンを添加した
場合、酒石酸ナトリウムを錯化剤として用いたAT浴に
おいて社めっき浴が著しく不安定となり、磁気特性の不
均一、下地基板による依存、再現性の劣化等を生じると
いう問題があった。AT浴を用いて磁気記録体例えば磁
気ディスクを作製する場合、磁気特性の不均一のために
一周の再生出力波形(エンベロープ)の一様性の低下を
招き、磁気特性の再現性が劣り浴寿命が短いため一定の
メッキ浴から極く限られた少ない数量しか得られない等
の欠点があった。また磁気特性の基板依存性が太きくp
d触媒を付与したポリイミド基板上にくらべて金属基板
を用いた場合、Hk/4πMsは大幅に減少するという
問題があった。
発明者らはこれらの問題を改善するためめっき浴組成に
ついて詳細に検討した結果法の仁とが明らかとなった。
酒石酸ナトリウムを単独に錯化剤としているAT浴にお
いては、レニウム共析量の増加が容易であるが、めっき
膜中にレニウムおよびニッケルを安定に適切量を共析す
ることが困λILであり、均一な特性の膜を再現性よく
得ることができない。Msが著しく減少するがHkの減
少も大きい。基板によってはHk/4πMsが大幅に減
少する。
他の錯化剤としてマロン酸ナトリウムを単独に錯化剤と
して用いた場合レニウムを増加してもIncは大きな値
をもつが、Msはそれ程減少しない。
このためHk/4πMsは小さな値をとる。そこで酒石
酸、マロン酸両方を同時に含む浴を検討したが、両者の
特徴を生かし好ましい磁気特性を得ることが困難であっ
た。しかし、これに更にコハク酸を加えた場合、マロン
酸と酒石酸に有効に作用し、適当な大きさのHkの値を
保ちつつMsの値を適度に減少させて好ましい磁気特性
が得られる。tためつき浴中にマロン酸、酒石酸、コハ
ク酸を同時に含むことKより、これら錯化剤の相互作用
により浴中金属イオン濃度が適切に調節される結果、め
っき浴の安定性に寄与することを見い出した。
本発明はかかる知見をもとKなされたものである。
本発明の目的は、従来の問題を改善して膜面に垂直な方
向に磁気記録するのに好ましい特性を均一に有する磁気
記録媒体を安定に製造できる無電解めっき浴を提供する
ことにある。
本発明による無電解めっき浴は、金属イオンとして少な
くともコバルトイオン、ニッケルイオン、マンガンイオ
ン、レニウムイオン、添加剤として少なくともこれら金
属イオンの還元剤、p I−1緩衝剤、pH調節剤を含
む水溶液に、前記金属イオンの錯化剤として少なくとも
マロン酸基、酒石酸基およびコハク酸基が同時に加えら
れていることを特徴としている。これKよりめっき浴の
金属イオンが適切に調節され、めっき膜の組成が一定に
保たれることにより、浴の安定化と膜特性の改善と均一
化がはかれる。
本発明において金属イオンとして用いられるコバルトイ
オン、ニッケルイオン、マンガンイオンとしては、コバ
ルト、ニッケルあるいはマンガンの硫酸塩、塩化塩、酢
酸塩などの可溶性塩を無電解めっき浴中に溶解すること
Kよって供給される。
コバルトイオンの濃度は、0.005〜1 mal/l
の範囲が用いられるが、好ましくは0.01〜0.15
mol/l!の範囲である。ニッケルイオンの濃度は、
0001〜0.5 m o 1 /lの範囲が用いられ
るが好ましくは0.005〜0.20 mo I/lの
範囲である。マンガンイオンの濃度は、0.003〜2
mol/Jの範囲が用いられるが好ましくは0.02〜
0.2mol/Jの範囲である。レニウムイオンは過レ
ニウム酸カリ、過レニウム酸アンモニウムなどの可溶性
塩により供給され、レニウムイオン濃度として0.00
01〜0.1 mat/e、好ましくは0.001〜0
.05 mol/lの範囲が用いられる。還元剤として
は次亜リン酸塩が普通に用いられるが、ヒドラジン塩類
、ホウ水素化物、ジメチルアミンボラノまたはその誘導
体等を用いることができる。
pi(緩衝剤としてはアンモニウム塩、炭酸塩、有機酸
塩などが使/?’JさIt% 0,01〜2mol/l
の範囲の濃度が用いられる。
pI4fr”4節剤としてQ」、pi(の上昇にはアノ
モニア、水酸化ナトリウムなどのアルカリが用いられ、
pHの降下には硫酸、塩酸などの酸が用いられる。
錯化剤としてのマロン酸基は、マロン酸またはマロン酸
の可溶性塩によって供給され、0.05〜z5mol/
l!の範囲の濃度が用いられる。酒石酸基は酒石酸また
は酒石酸の可溶性塩によって供給され、0.02〜1.
5 mo 1 /lの範囲の濃度が用いられる。コハク
酸基はコハク酸またはコハク酸の可溶性塩に↓って供給
され、0.(12〜1.5 mo I/Jの範囲の濃度
が用いられる。また、本発明の無電解めっき浴は基板依
存性が少ないため金属または触媒活性処理を施した非金
属基板に適用できる。
以下、本発明による無電解めっき浴の特長を比較例およ
び実施例によシ説明する。
比較例 アルミ合金基板内径100mm外径21 Onun上に
非磁性N1−P層をめっきし、その上に下記のめつき浴
およびめっき条件にて膜厚0.5μmのCo−Ni−M
n Re P合金磁性膜を形成した。
めっき浴(11 硫酸コバルト 0.06 mol/1 硫酸=yケル0.04 mol/1 硫酸−r7ガy O,03motel 過レニウム酸アンモニウム 0.003 mol/1次
亜リン酸ナトリウム 0.2 mol/1硫酸77 モ
ニタA 0.5 mol/1酒石酸ナト+) ウA 0
.5 mat/1めっき条件 めっき浴のpH’::9.2 (室温にてNH,OHで
pH調節) メッキ浴の温度=80℃ 次にこの上に珪酸モノマーを回転塗布し、 190℃で
数時間焼成して膜厚0.02μmの珪酸重合体を主成分
とする保護膜を形成した。
こうして得られ光磁気ディスクを下記の条件でFICI
C録再性特性定を行ったところ、D5o=30xctI
′xtpiの値を得た。
測定条件 ヘッドギャップ艮 0.3μm ヘッド浮上量 0.2μm しかし、−周の再生出力忙ついては、最大値の1/2以
下になる部分が一周全体の25%以上もあり、エンベロ
ープの一様性において実用上問題があった。エンベロー
プにおいて出力が最大となる部分の媒体特性はHk/4
πMs値として0.6であったが、出力が1/2となる
箇所では0.5以下であり特性の不均一が認められた。
め−りき浴の寿命に関しては次の様釦して検討を行った
。一定のめっき液(、gi100j’)において、本比
較例の前記手順と同様にして1日に20枚づつ磁気ディ
スクのめっきを行ない、めっき枚数と磁気特性の関係を
調べた。金属塩および還元剤は、各めっき日に各成分の
消費量相当分を補充した。
めっき枚数20枚ごとのHk/4πMsの変化を第1図
に示す。めっき開始時のHk/4πMsの値は0.6で
あるが、めっき枚数が増加するに従って減少し60枚め
っきが終了した時点でのHk/4πMgの値は0.5と
なシ、更にめっき枚数が増加するとHk/4πMsの値
は更に減少した。記憶媒体として実用上許容されるHk
/4πMsの値を0,5以上とすれば、前記のめっき浴
(1)から得られる磁気ディスクの数量(以下浴寿命と
いう)はめつき枚数60枚程度でしかい組成を選択した
。A−T浴においては過レニウム酸アンモニウムおよび
酒石酸す)・リウムの濃度が、浴の安定性および磁気特
性に最も影響する。
過レニウム酸アンモニウムは、0.001moI!/f
以下ではMsが大きすぎ、0.008moI!/l!以
上ではめりき速度が低下し均一な析出が極めて困難であ
り、0.003mol/lが最も好ましかった。酒石酸
ナトリウム濃度は、0.25mol/l以下では浴分解
を生じやすく、0.75moI!/l!以上では均一な
析出が困難で浴寿命も短かくなり、安定性の点で0.5
mol/lが最も好ましかった。めりき浴(1)はA−
T浴の中で好適組成であるKもかかわらず、本比較例で
示された様に安定性、磁気特性の点で問題があった。
実施例り 比較例と同様の手順で磁気ディスクを作製したが、本実
施例では下記のめっき浴を用いた。
めっき浴(2) 硫酸コバルト 0.06 mat/1 硫酸=yケル 0.10 mat/1 硫酸マンガン 0゜05 mo171 過レニウム酸アンモニウム 0.005 mo171次
亜リン酸ナトリウム 0.3 mol/l硫酸アンモニ
ウム 0.5 mat/1マロン酸ナトリウム 0.3
 mat/1酒石酸ナトリウA 0.2 mol/1コ
ハク酸ナトリウム 0.3 mol/1こうして得られ
た磁気ディスクを比較例と同様の条件で記録再生特性の
測定を行ったところ%D50= 51 KFRPIの値
を得た。−周の再生出力については、最大値の90%以
下になる部分はなく、実用上十分良好なエンベロープを
示した。ディδり一面内の媒体特性も均一であシ、平均
値のHk/4πMs = 1.05に対し±O,OS内
のバラツキであった。
めっき浴の寿命を比較例と同様にして検討した結果、め
っき枚数にょるHk/4πMsの変化として第2図が得
られた。めっき開始時のHk/4πMsの値は1.05
であシ、めっき枚数が増加するに従って減少するが、2
00枚めっきが終了した時点でも0,9であシ減少度合
は少ない。その後は減少度合が増すがHk/4πMsが
0.5となるのはめつき枚数320枚である。本実施例
では錯化剤としてマロン酸ナトリウム、酒石酸ナトリウ
ムおよびコハク酸ナトリウムを用いためつき浴を使用す
ることKより、比較例にくらべ媒体特性、記録密度特性
が著しく良好かつ均一な磁気ディスクを多数枚得ること
ができた。
実施例2 比較例と同様の手順で磁気ディスクを作製したが、本実
施例では下記のめつき浴を用いた。
めっき浴(3) 硫酸コバルト 0.06 mol/1 個Em 二yケル 0.12 mat/1硫酸マンガン
 0.04 mat/1 過レニウム酸アンモニウム 0.004 mat71次
亜リン酸ナトリウム 0.2 mol/1硫酸アンモニ
ウム 0.4 mol/1マロン酸ナトリウム ()、
1.0.2.0.3.0.4.0.5.0.6 mat
/1酒石酸ナトリウム 0.2 mol/1コハク酸ナ
トリウム 0.3 mol/1こうして得られた磁気デ
ィスクのめっき開始時のHk/4πMsの値と浴寿命(
Hk/4πMsが0.5以下となるめっき枚数)を第1
表に示す。
第1表 比較例にくらべて本実施例では、媒体特性および浴寿命
が著しく改善され、またイ尋られた磁気ディスクの記録
密度特性も良好力為つ均一であった。
実施例λ 比較例と同様の手順で磁気ディスクをイ乍製したが、本
実施例では下記のめりきW’rをmいた。
めっき浴(4) 硫酸コバルト0.07m01!/r 硫酸= y ’i k O,12rnol/l硫p −
r y カy 0.06 moi/1過レニウム酸アン
モニウム0.005 mol/1次亜リン酸ナトリウム
 0.3 mol/e硫酸7ンモニウムo、5 mol
/1 マロン酸ナトリウム 0.3 mol/1酒石酸ナトリ
ウム0.1,0.2,03,0.4.(15ma!/1
コハク酸ナトリウム 0.3 molllらうして得ら
れた磁気ディスクのめつき開始時のI−1に/4πMs
の値と、浴寿命を第2表に示す。
第2表 比較例K〈らべて本実施例では、媒体特性および浴寿命
が著しく改善され、また得られた磁気ディスクの記録密
度!t♀性も良好かつ均一でちった。
実施例4゜ 比較例と同様の手順で磁気ディスクを作製したが、本実
施例では下記のめつき浴を用いたOめりき浴(5) 硫酸:I ハル) 0.07 mol/1硫酸= y 
ケA、 0.13 mo/!/1硫p −r ン)j 
y 0.05 mol/1過レニウム酸アンモニウム 
0.004 mol/1次亜り7Wiナト!JつA 0
.25 mol/1a 酸7 ンモニウA O,4mo
l/1マロン酸ナトリウム 0.3 mol/1酒石酸
ナトリウム0.2 mat/1 コハク酸ナトリウA O,1,0,2,0,3,0,4
,0,5,06molllこうして得られた磁気ディス
クのめつき開始時のHk/4πMsの値と浴寿命を第3
表に示す。
第3表 比較例にくらべて本実施例では、媒体特性および浴寿命
が著しく改善され、また得られた磁気ディスクの記録密
度特性も良好かつ均一であった。
以上、比較例および実施例で示された様に本発明によれ
ば、磁性膜を作製するめつき浴において、金属イオンと
して少なくともコノくルトイオン、ニッケルイオン、マ
ンガンイオン、レニウムイオン、添加剤として少なくと
もこれら金属イオンの還元剤、pH緩衝剤、pH調節剤
を含む水溶液に前記金属イメンの錯化剤として少なくと
もマロン酸基、酒石酸基およびコハク酸基を同時に含む
ことにより、垂直記録媒体として優れた特性を均一に有
する磁気記録体を安定に多数得ることができる。
なお実施例では金属イオンとしてコバルトイオン、ニッ
ケルイオン、マンガンイオン、レニウムイオンのみを、
添加剤として還元剤、pH緩衝剤、pH調節剤のみを、
錯化剤としてマロン酸基、酒石酸基、コハク酸基のみを
含むめっき浴について述べたが、本発明の1j的、効果
を損わない範囲において、光沢剤、励起剤、平滑剤、応
力緩和剤、ピンホール防止剤等として前記以外の金属イ
オン、添加剤および錯化剤を加えることも可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は、比較例のめつき浴を用いて磁気ディスクを作
製した場合のめっき枚数によるHk/4πMsの変化を
示す図であシ、第2図は、実施例1のめっき浴を用いた
場合のめっき枚数によるHk/4πMsの変化を示す図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 金属イオンとして少なくともコバルトイオン、ニッケル
    イオン、マンカンイオン及びレニウムイオンを含み、添
    加剤として少なくともこれら金属イオンの還元剤、pH
    緩衝剤、p I−1調節剤を含む水溶液に1前記金属イ
    オンの錯化剤として少なく゛ともマロン酸基、酒石酸基
    およびコノ・り酸基を含むことを特徴とする無電解めっ
    き浴。
JP21181283A 1983-11-11 1983-11-11 無電解めつき浴 Granted JPS60103181A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3409815A1 (en) * 2017-06-02 2018-12-05 ATOTECH Deutschland GmbH Electroless nickel alloy plating baths, a method for deposition of nickel alloys, nickel alloy deposits and uses of such formed nickel alloy deposits

Cited By (2)

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EP3409815A1 (en) * 2017-06-02 2018-12-05 ATOTECH Deutschland GmbH Electroless nickel alloy plating baths, a method for deposition of nickel alloys, nickel alloy deposits and uses of such formed nickel alloy deposits
WO2018220220A1 (en) * 2017-06-02 2018-12-06 Atotech Deutschland Gmbh Electroless nickel alloy plating baths, a method for deposition of nickel alloys, nickel alloy deposits and uses of such formed nickel alloy deposits

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