JPS5998540A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPS5998540A JPS5998540A JP57206175A JP20617582A JPS5998540A JP S5998540 A JPS5998540 A JP S5998540A JP 57206175 A JP57206175 A JP 57206175A JP 20617582 A JP20617582 A JP 20617582A JP S5998540 A JPS5998540 A JP S5998540A
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- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
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- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置、特に、耐湿性の良好な非ハーメチ
ックの半導体装置に関する。
ックの半導体装置に関する。
従来、いわゆるガラスーエポシキ材料よりなるパッケー
ジを用いた半導体装置においては、第1図に示すように
、ガラス−エポキシ材料よりなるパッケージのベース1
の凹部にペレット2をボンディングしかつワイヤ3をボ
ンディングした後、ペレット2およびワイヤ3をボッテ
ィングレジン4により封止している、 ところが、この封止構造は、ポツティングレジン4が硬
質であり、気密性が良くなく、耐湿性が低下するやその
ため、ワイヤ3の腐食等が発生し易く、回路素子の信頼
性も低下し易いという問題があった。
ジを用いた半導体装置においては、第1図に示すように
、ガラス−エポキシ材料よりなるパッケージのベース1
の凹部にペレット2をボンディングしかつワイヤ3をボ
ンディングした後、ペレット2およびワイヤ3をボッテ
ィングレジン4により封止している、 ところが、この封止構造は、ポツティングレジン4が硬
質であり、気密性が良くなく、耐湿性が低下するやその
ため、ワイヤ3の腐食等が発生し易く、回路素子の信頼
性も低下し易いという問題があった。
本発明の目的は、前記した問題点を解決し、耐湿性が良
好で、高い信頼性を得ることのできる半導体装置を提供
することにある、 以下、本発明を図面に示す一実施例にしたがって詳細に
説明する。
好で、高い信頼性を得ることのできる半導体装置を提供
することにある、 以下、本発明を図面に示す一実施例にしたがって詳細に
説明する。
第2図は本発明による半導体装置の一実施例を示す断面
図である、 この実施例において、パッケージのベースlはガラス−
エポキシ材料で作られている、このベース1の中央の凹
部内には、ペレット2がボンディングされている。この
ペレット2のポンディングパッドとベースlの導電層は
ワイヤ3をボンディングすることにより互いに電気的に
接続され、図示しない外部導電系路を経てパッケージの
外部との電気的導通な行なう。
図である、 この実施例において、パッケージのベースlはガラス−
エポキシ材料で作られている、このベース1の中央の凹
部内には、ペレット2がボンディングされている。この
ペレット2のポンディングパッドとベースlの導電層は
ワイヤ3をボンディングすることにより互いに電気的に
接続され、図示しない外部導電系路を経てパッケージの
外部との電気的導通な行なう。
前記ペレット2およびワイヤ3は、チップコ−トレジン
として軟質のレジン5をゲル状態でボッティングしてコ
ーティングすることにより気密性良く封止されている。
として軟質のレジン5をゲル状態でボッティングしてコ
ーティングすることにより気密性良く封止されている。
そのため、ベースlの上面の周辺近くにはレジン5の流
出を防止するための突壁6がベース1と一体的に形成さ
れ、レジン5はこの突壁6で囲まれた部分にボッティン
グにより供給され、充填される。
出を防止するための突壁6がベース1と一体的に形成さ
れ、レジン5はこの突壁6で囲まれた部分にボッティン
グにより供給され、充填される。
さらに、本実施例においては、前記軟質のレジン5を外
力から機械的に保護するため、樹脂材料またはセラミッ
ク等よりなるキャップ8が接着剤7によりベースlの上
面の外周近くに接着されている。このキャップ8は琳に
軟質のレジン5を外力から機械的に保護するだけで足り
るので、キャップ8とベース1との間の気密性は特に厳
格には要求されない、 本実施例の半導体装置によれば、チップコートレジンと
して軟質のレジン5を用いてペレット2とワイヤ3を封
止しているので、レジン5とペレット2およびワイヤ3
との接着性(密着性)が良好であり、使用による熱膨張
差等でレジン5がペレット2およびワイヤ3から剥離す
ることがなく、極めて良好な耐湿性が得られ、ワイヤ3
の腐食を防止することができる。
力から機械的に保護するため、樹脂材料またはセラミッ
ク等よりなるキャップ8が接着剤7によりベースlの上
面の外周近くに接着されている。このキャップ8は琳に
軟質のレジン5を外力から機械的に保護するだけで足り
るので、キャップ8とベース1との間の気密性は特に厳
格には要求されない、 本実施例の半導体装置によれば、チップコートレジンと
して軟質のレジン5を用いてペレット2とワイヤ3を封
止しているので、レジン5とペレット2およびワイヤ3
との接着性(密着性)が良好であり、使用による熱膨張
差等でレジン5がペレット2およびワイヤ3から剥離す
ることがなく、極めて良好な耐湿性が得られ、ワイヤ3
の腐食を防止することができる。
また、本実施例では、軟質のレジン5がキャップ8によ
り外力から機械的に保護されているので、レジン5の封
止機能は何ら妨げられることがなく、レジン5.ワイヤ
3およびペレット2に外力が加わらないため、高い信頼
度を確保することができる。
り外力から機械的に保護されているので、レジン5の封
止機能は何ら妨げられることがなく、レジン5.ワイヤ
3およびペレット2に外力が加わらないため、高い信頼
度を確保することができる。
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
他の様ルな変形が可能である。
他の様ルな変形が可能である。
以上説明したように、本発明によれば、非ハーメチック
の半導体装置の耐湿性を向上させ、ワイヤの腐食等を防
止でき、高い信頼性を得ることができる。
の半導体装置の耐湿性を向上させ、ワイヤの腐食等を防
止でき、高い信頼性を得ることができる。
第1図は従来の非ハーメチックの半導体装置の一例を示
す断面図、 第2図は本発明による半導体装置の一実施例を示す断面
図である。 l・・・パッケージのベース、2・・・ペレット、3・
・・ワイヤ、5・・・軟質のレジン、6・・・突壁、7
・・・接着剤、8・・・キャップ。 第 1 図 社日立製作所デバイス開発セン タ内 0発 明 者 大塚寛治 小平市上水本町1450番地株式会 社日立製作所デバイス開発セン タ内 0発 明 者 森反俊幸 小平市上水本町1450番地株式会 社日立製作所デバイス開発セン タ内 193−
す断面図、 第2図は本発明による半導体装置の一実施例を示す断面
図である。 l・・・パッケージのベース、2・・・ペレット、3・
・・ワイヤ、5・・・軟質のレジン、6・・・突壁、7
・・・接着剤、8・・・キャップ。 第 1 図 社日立製作所デバイス開発セン タ内 0発 明 者 大塚寛治 小平市上水本町1450番地株式会 社日立製作所デバイス開発セン タ内 0発 明 者 森反俊幸 小平市上水本町1450番地株式会 社日立製作所デバイス開発セン タ内 193−
Claims (1)
- 1、ガラス−エポキシ材料よりなるパッケージのベース
に取り付けたペレットおよびワイヤをレジンにより封止
した半導体装置において、ペレットおよびワイヤを軟質
のレジンで封止し、このレジンを外力から保護するキャ
ップをベースに取り付けてなることを特徴とする半導体
装置、
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57206175A JPS5998540A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57206175A JPS5998540A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5998540A true JPS5998540A (ja) | 1984-06-06 |
Family
ID=16519048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57206175A Pending JPS5998540A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5998540A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61150245A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-08 | Hitachi Micro Comput Eng Ltd | 半導体装置 |
US4986241A (en) * | 1989-02-23 | 1991-01-22 | Nissan Motor Company, Ltd. | Internal combustion engine air-fuel ratio control system including alcohol sensor back-up control arrangement |
US5261297A (en) * | 1992-10-09 | 1993-11-16 | Japan Electronic Control Systems Co., Ltd. | Control system for automotive automatic transmission |
JPH08288426A (ja) * | 1995-04-20 | 1996-11-01 | Nec Corp | 半導体装置 |
-
1982
- 1982-11-26 JP JP57206175A patent/JPS5998540A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61150245A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-08 | Hitachi Micro Comput Eng Ltd | 半導体装置 |
US4986241A (en) * | 1989-02-23 | 1991-01-22 | Nissan Motor Company, Ltd. | Internal combustion engine air-fuel ratio control system including alcohol sensor back-up control arrangement |
US5261297A (en) * | 1992-10-09 | 1993-11-16 | Japan Electronic Control Systems Co., Ltd. | Control system for automotive automatic transmission |
JPH08288426A (ja) * | 1995-04-20 | 1996-11-01 | Nec Corp | 半導体装置 |
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