JPS5991411A - 光導波路素子 - Google Patents

光導波路素子

Info

Publication number
JPS5991411A
JPS5991411A JP57201654A JP20165482A JPS5991411A JP S5991411 A JPS5991411 A JP S5991411A JP 57201654 A JP57201654 A JP 57201654A JP 20165482 A JP20165482 A JP 20165482A JP S5991411 A JPS5991411 A JP S5991411A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
optical fiber
substrate
light
light guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57201654A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Yasuhara
安原 毅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Fuji Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd, Fuji Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Priority to JP57201654A priority Critical patent/JPS5991411A/ja
Publication of JPS5991411A publication Critical patent/JPS5991411A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/30Optical coupling means for use between fibre and thin-film device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は部品点数を少なくして小形、安価な光導波路を
形成できる光導波路素子に関するものであって、光応用
Ptl測機器等に適用できるものである。
次に従来技術を図面を参照して説明する。
第1図は従来のN:Nカプラの構成図、第2図は従来の
一ルーズの双方向光信号伝送端末部の構成図である。
第1図において、1は光を拡散させるミキシングロッド
、2.3はレンズ、4,5はそれぞれ一木もしくは複数
本の光ファイバであって、ミキシングロッド1とレンズ
2または3との間、レンズ2と光ファイバ4との間およ
びレンズ3と光ファイバ5との間はそれぞれ光が透過可
能なように接合されている。故にこの場合、光ファイバ
4の中の一木の光ファイバからレンズ2に入射した光信
号d1、ミキシングロッド1で拡散されてレンズ3を介
して該レンズ3に接合されたすべての本数の光ファイバ
5に出射し、また複数本の光ファイバ4がらレンズ2に
同時に入射した光信号は、ミキシングロッド1で混合、
拡散されて光ファイバ5に出射する。したがって仁のN
:Nカプラは、−個または複数個の入力光信号を複数個
の光イー号として出力するので、光応用の開側または情
報伝送システムに適用して信号の結合や分岐を行なうの
に便利な素子である。
第2図において、11は発光素子、1lalllBはそ
の電気端子、21は受光素子、21 a l 218は
その電気端子、12 、22は光信号中継用の光ファイ
バ、32は光信号伝送用の光ファイバ、13,23.3
3 はロッドレンズ、40はハーフミラ−である。この
図において、発光素子11からの光信号は光ファイバ1
2、ロッドレンズ13、ハーフミラ−40、ロッドレン
ズ33を経て光ファイバ32に送出され、光ファイバ3
2からの光信号はロッドレンズ33、ハーフミラ−40
、ロッドレンズ23、光ファイバ22を経て受光素子2
1で受光される。すなわち光ファイバ32は送光用と受
光用との双方向の光信号の伝送に兼用して使用されてい
る。したがって第1図の端末部は、送光用と受光用との
側二本の信号伝送用の光ファイバを用いて光46号の送
受を行なうように構成したーループの双方向用端末部に
比べて、信号伝送用の光ファイバの本敷を少なくできる
ので該光ファイバの敷設コストを安価にすることができ
るという特徴がある。
しかしながら、第1図のN:Nカブラにおいては光f信
号の結合9分岐を行々うのにレンズ2,3およびミキシ
ングロッド1を必要とし、第2図の端末部°Cは送信と
受イ11との一ループの信号系で光ファイバ12 、2
2、ロッドレンズ13 、23 、33、/S−フミラ
ー40を必要とし、このため第1図のカブラおよび第2
図の端末部のいずれにおいでも、光路を形成さ建るため
の部品点数が多いので信頼性に欠けるうえ、コストが高
い、光の減哀が大きい、占有空間が大きいなどの欠点が
あシ、従来これらの欠点は第1図のカプラや第2図の端
末部を複数個用いて複雑な信号伝送系を構成する場合、
解決を袈する特に重要な問題であった。
本発明は以上の欠点を除去して、簡単に光路を形成でき
る光導波路素子を得ることを目的とするものであって、
この目的は、第1の基板の表面に光フアイバ接続口と光
ガイドとを設け、前記光ガイドの端部を前記光フアイバ
接続口に開口させて、前記第1の基板の前記表面に第2
の基板を接合するか、または、第1の基板の表面に光フ
アイバ接続口と光ガイドとを設け、前記光ガイドの端面
を前記第1の基板のA1,1部に開口させ、前記光ガイ
ドの前記第1の基板の前記端部に開口した前記端面とは
反灼側の端面を前記光フアイバ接続口に開口させて、前
記第1の基板の前記表面に第2の基板を接合するかしで
、レンズ、ミキシングロッド。
光信号中継用の光ファイバ、・・−フミラー等を介する
ことなく送光用光ファイバからの光信号を受光用光ファ
イバに伝送し、あるいは発光素子による光信号を光信号
伝送用の光ファイバに伝送し、あるいは光信号伝送用の
光ファイバからの光信号を受光素子に伝送するなどの自
在な経路の光路の形成を可能にする、以Fに説明するよ
うな光導波路素子によって達成される。
次に本発明における第1の発明の実施例を図面にもとづ
いて説明する。
同図(/!は第2の基板52の一部を破断して示した平
面図、同図(B)は側面図、第4図は第3図における第
1の基板51の構成図であって同図(A)は平面図、同
図(B)は側面図、同図(C)は同図四のX−X断面図
である。各図において第1図におけると同一の機能を有
する部分には同一の符号が付し”Cある。
第3図および第4図において、51および52はそれぞ
れ石英または多成分ガラスまたはプラスチック等の月利
からなる11は同一の屈折率を有する第1および第2の
基板、53は、基板51を光フアイバ4蓑たは5の外径
と同程紋の深さに全長にわたって婢状にエツチングした
後、該エツチング部に、基板510両端附近を除いて基
板51または52の屈折率よシも大きい屈折率を有する
材料を埋め込んで形成した光ガイドである。光ファイバ
4.5の各外径は11は同一寸法である。光ガイド53
は基板51の前記両端附近には埋め込まれていないので
、ことの埋め込まれていないエツチング部が、光ファイ
バ4または5の接続される光ファイバ接続1勝a、51
bを形成している。し7′1cがっ又光ガイド53は、
その両端部53 aおよび53bがそれぞれ光ファイバ
h→ノ℃ロfilaお工び511)に1+jl”:] 
していることになる。
第1の基(に51の)°〔ツガイド53が埋め込゛まれ
た■jb、平坦に郁[磨された後、同様に平坦に便磨き
れた第2の基板52の面との間で接着剤に接合が行なわ
ilで、基板5■と52とで光j21.波路素子50が
形成されている。
光ファイバ4,5は、基板51と!j2とを接合する前
に、ぞれそれ光ガ・jド53の各端面538 、53 
+)に接着または融着によって該光ガイド53と接合さ
れている。
したがってこの場合、送光用光ファイノ(4から光ガイ
ド53に入射した)′0は、該光ガイド53で拡11シ
されて光ガ・fド53に接合されたすべての本数の受光
用光ファイバ5に出射する。このためこのP、I:Nカ
プラにおいてtよ、第1図におけるようンlレンズおよ
びミ・v−シングロッド系に代えて光4波路累イ50を
とができることになる。この先導波路素子50は第1 
L+?Iのレンズ、ミキシングロッドで構成される光路
系に比べて小形、安価に光路系を構成で釣る特徴がある
仄に本発明における第2の発明の実施例を図面にもとづ
いて説明j−る。
J 5図は本出願の第2の発明による先導波路素子を用
いた双方向光信号伝送端末部の一実施例の構成図であっ
て同図(へは平面■、同図(]3)は側面図、同図(C
)は同図(13)におりる要部Sの拡大図、第6図は第
5図における送光用光導波路素子610の基板61の構
成図であって同図(5)は平面図、同図(B)は4+1
1面図、同図(C)は同図(A)のY−Y断面図、第7
図は第5図におり〕る受光用光導波路素子620の基板
62のtドア成図であって同図(A)は平面図、同■(
B)は側面図、同図(C)は同図穴のZ−Z断面図であ
る。fP、 5図ないし;is 7図において第2図に
おけると同一の機能を有する部分には同一の符号が付(
7てめる。
板63とからなる光4波路板で、基板61 、62 F
まそjしぞれ仕切板63に接着ilJで接合されて、基
板61 、62および仕切板63が一体となっ゛C光纏
波路板60全形属している。仕切板63は基板61 、
62と同じ材料で形成さ2”しているので、後に説明す
る理由で基板61と62とのfj、fjの光f^弓の漏
話は発生しない。11.21はそJt(れ儀にMQ !
!、lj ’Jるようにして基板6J、、fj2の各端
部に接合されたLl山等の発光素子、フメトダ(、d−
ドごyの受光素子、61a+62ai、Jそれぞれ基板
6.1+62に設けらjtた矩形断面の病状をした一ロ
晶1または複数個の光ファイバ接続口、32はその端部
が光フアイバ接続口61aと628とによって形成され
た方形の穴に挿入され′C後に説明するよりにし−Ci
yr記/?5基板61.62に接合された光ノア・イバ
、611)、62bは後に説明するそれぞれ基板61.
62に設けられた送光用)Y、ガイド、受光用光ガイド
である。
この場ば、基板61と仕切板63とで送光用光導波路素
子610が構成され、基板62と仕切板63とで受光用
光導波路素子620が構成されているので、この各光4
波路累イ610,620はそれぞれ基板61.62を第
1の基板とし、仕切板63を共通の第2の基板とする光
導波路床イである。
第6図および第7図において、61.62Fiそれぞれ
石莢または多成勺ガラスまたはプラスチック等の月X;
」〃・らなZ)うj・J[、;状の)□(1反、””’
+62bはそれ−亡れ)・冒fyj5J、 、62 ’
%:、M’s 51blにおりル光ファイバ32ツタ1
行の与・IIu Lti−の深さで、−・端か基板61
.62の各ひとつの端部Gl(1,62dにIjl +
−1シ、簡一端とtよ反対側のJ′孟、O<、光ファイ
バ↑dkプじ日filn、(i2aか名−個の場合ケ2
シ1メト](に、該接続口61a+62aが複数個の場
合はその個数に+)岐しで、基板64.62のそれぞれ
他のMin部6’lC+62cに開[」するような矩形
断面の溝状にエップンノした後、該エラ1フク部に、基
板61゜62のそハぞれの端41+61c、62cの名
附近を隙い1基板6Jまたは62の屈折率よりも太きい
ル)」ノ1率を有する月利を埋め込んて)V成した光力
イトである。01a+62aは、ぞれイ、゛れ前記の溝
状のエップンク部の基板61.62における端部61C
162Cの附近が、光ガイド61.b、62bによって
充填されていないことによって形成さ11た光フアイバ
接続口tある。したかって光ガイド61b、62b i
J 、ぞれぞれその一端面が第1の基板として基板61
.fj2の各ひとつの端部61d、62dに開口し、該
端部61d、62dに尻目した端面とは反対側の端面が
それぞれ光ファイバ接続口61a+62aに開口してい
ることになる。
第5図ないし第7図において、光ファイノく接続口6]
a162aは、第5図において説明し7fr、ように、
基板61と62とがそれぞれ光ガイド61b、62bの
側を内側にして仕切板63を介して接合されて、光ファ
イバ32を挿入できる方形の穴を形成し、うみように数
量2位置1寸法等が構成されている。第5図に示した光
ファイバ32は、その端部がこの方形の穴に捜入されて
、この穴内に開口している光ガイド61b、62t)の
各端面と挿入された光ファイツク32の端面とが接着ま
たは融着によって共に接合されたものである。発光素子
11.受光素子21は、それぞれ基板61.62の各端
部6]、d、62dにおける光ガ・イド61b、62b
の開口面に接合されている。
第5図に示した双方向光信号伝送端末部+、:i: J
ソ、ヒに説明したよりな構成であるから、図示されてし
)ない端子を介して亀気伯号を発光素子Jlに加、する
と該素子11に光信号が発生し、この光fR”Iは、尤
ガイド61bの屈折率が周囲に存在する基板(1;r、
−、Lび該基&61と同じ利−料で形成さ)また仕切板
63のに11折率よりも高いので、咳基板61および該
仕切板63に漏れることなく光ガイド61bのみを通っ
て、その光フアイバ接続口61aにおける開口面に達し
、この開口面に接合された光ファイバ32に入射する。
また光ファイバ32を通って第5図の端末部に送られて
来た光信号は、該光ファイバ32に接合した光フアイバ
接続口62aにおける光ガイド62bの開口面から該光
ガイド62bに入射するが、この場合も光ガイド62b
の屈折率が基板62および仕切板63の各屈折率よりも
高いので、光ファイバ32からの光信号は該基板62お
よび該仕切板63に漏れることなく光ガイド62bのみ
を辿って受光素子21に入射する。したがって第5図の
光信号伝送端末部においては、発光素子11で発生した
光信号は光導波路板60に接続されたすべての光ファイ
バ32に送出され、該光ファイバ32かも送られて来た
光信号はすべて受光素子21によって検出される。この
ため−光ファイバ32の中の一本の光ファイバによって
−ループの双方向の光信号伝送が可能であシ、第5図で
は光ファイバ32が四本図示されているので四ループの
双方向新信号伝送が可能である。
第5図の端末部は、光導波路板60を本発明による送光
用の光導波路素子610と受光用の光導波路素子620
とで構成し、送光用と受光用とを兼用した光ファイバ3
2を該導波路板60に接続することによって双方向の光
信号の伝送を可能としたものであるが、本発明による送
光用光導波路素子610と発光素子11と光フフイバ4
とだりを用いることにより、−個の発光素子11の光信
号を一個所棟たり。
複数個D[に送出する信号発生器を、また本発明による
受光用光梼波路素子620と受光素子21と光ファイバ
32とだりを用いることにより、−個所または複数個所
からの光信号を一個の受光素子21で検出する受信器を
構成できることは明らかである。
したがって第5図の端末部は、第2図において説明した
光信号中絹ζ用の光ファイバ12.22、ロッドレンズ
13 、23 、33 、ハーフミラ−4oのような多
数の部品を用いて構成した従来の双方向光信号伝送端末
部とは異なり、一体化された一個の光導波路板60によ
って双方向光信号伝送を−ルーズは勿論のこと多ループ
についても行なうことができるので、−ルーズの双方向
光信号伝送しか行なえない第2図の端末部と比べても光
路系が簡単であるという特徴があり、この特徴は双方向
光信号伝送のループ数が多くなる程顕著になることは明
らかである。
次に本発明の詳細な説明する。
すなわち、本出願の第1の発明においては、第3図およ
び第4図で説明したように、第1の基板510表面をエ
ツチングして光フアイバ接続口51aおよび51bとな
る部分を除いて該エツチング部に光ガイド53を埋め込
み、この光ガイド53がある基板510面に第2の基板
52を接合して光ガイド53の両端面53a、53bを
それぞれ光ファづ、バ接続口51a151b K開口さ
せて光導波路素子50を形成したので、このような光導
波路素子50に一本または複数本の送光用光ファイバ4
および受光用光ファイバ5を接合してN:Nカプラを構
成すると、従来の第1図えることができるので光路系が
簡単に構成でき、このため本山にiの第1の発明によi
Lば、部品点数が少なく、シたがって小形、安価で高信
頼性であり、かつ光の減衰の小さい光導波路素子を構成
できる効果がある。
また本出願の第2の発明においては、第5図ないし第7
図で説明したように、第1の基板としての基板61の表
面を、一端が基板61の端部61 dに開口し、該一端
とは反対側の端が、光フアイバ接続口61 aが一個の
場合は直接に、該接続口6]、 aが複数個の場合はそ
の個数に分岐しで、基板61の端部61Cに開口するよ
うに溝状にエツチングし、光フアイバ接続口61aとな
る、該エツチング部の基板61における端部61Cの附
近を除いて該エツチング部に送光用としての光ガイド6
1bを埋め込み、該光ガイド61bの存在する基板61
0面に第2の基板としての仕切板63を接合して、光ガ
イド61bの一端面を第1の基板としての基板61の端
部61dに開口さぜ、光ガイド61bの該端部61d側
とは反対の側の端mlを光フアイバ接続口61aに開口
させて送光用の光導波路素子610を形成し、さらにま
た、第1の基板としての基板620表面を、一端が基板
62の端部62d如開口し、該一端とは反対側の端部ζ
光ファイバ接続口628が一個の場合は直接に、該接続
口62aが複数個の場合はその個数に分岐して、基板6
2の端部62Cに開口するよう姉溝状にエツチングし、
光フアイバ接続口62aとなる、該エツチング部の基板
62における端部62cの附近を除いて該エツチング部
に受光用としての光ガイド62bを埋め込み、該光ガイ
ド62bの存在する基板620面に第2の基板としての
仕切板63を接合して、光ガイド62bの一端面を第1
の基板としての基板62の端部62dに開[コさせ、光
ガイド62bの該端部62d側とは反対の側の端面を光
フアイバ接続口628 K開口させて受光用の光導波路
素子620を形成したので、送光用光導波路素子610
と受光用光導波路素子620とで光導波路板60が形成
され、このような送光用光導波路素子61.0の基板6
jの端部61dにおりる光ガイド61bの−E1面に発
光素子11を接合し、受光用光導波路素子620の基板
62の端部62dにおける光ガイド62bの開口面に受
光素子21を接合し、送光用光導波路素子610の光フ
アイバ接続口61aと受光用光導波路素子(320の光
フアイバ接続口62aとで形成された方形の穴に光ファ
イバ32を挿入し、該光ファーイバ32の端面を光フア
イバ接続口61aおよび62aに開口している光ガイド
61bおよび62bの端面に共に接合して双方向の光信
号伝送7iAi PilIを構成”ノーると、この構成
におい°Cは、従来は第2図で説明し/こように、−ル
ープの双方向光48号伝送端末部を、層成するの罠さえ
発光素子11、受光素子21および信号伝送用の光ファ
イバ32のほかにイハ号中継用の光ファイバ12.22
、ロッドレンズ13 、23 、33、ハーフミラ−4
0のように多くの部品を必要としていたものが、−ルー
ズの場合は勿1tiaのこと、多ループの場合において
も、発光素子11、受光素子21お3Lび信号伝送用の
光ファイバ32のほかにはただ一蘭の光導波路板60を
必要とするたけであるから光路系の結成が簡単で、この
ため本出願の第2の発明による光導波路素子を用いると
、部品点数が少なく、シたがって小形、安価で高f菖頼
付であり、かつ光の減艮の小さい多ループの双方向)°
0悄号伝送端末部を構成できるという幼芽゛:がある。
【図面の簡単な説明】
第1し」は従来のi+I : Nカプラの構成図、第2
図は従来の一ルーズの双方向光信号伝送端末部の結成図
、第3図は本出願の第1の発明による光導波路素子を用
いたN:Nカプラの一実施例の構成図であって、同図(
A)は平・面図、同図(B)は側面図、第4図は第3崗
における基板51の結成図であって、同図(A) &:
l、平面図、同図(B) t、v側面図、同図(C)は
同図(へのX−X断面図、第5図は本出願による第2の
発明による光/−)波路素−子を用いた双方向光信号伝
送端末部の一実施例の構成図であっ′C1同図(Alは
平面図、同図(81tJ、側面図、同図(Cj組同図(
!3)における要部Sの拡大[S?l、第6図tま第5
図における送光用光導波路素子610の基板61の構成
図てあっt、同図(〜は平面図、同図(n)は側面図、
同図(C)は同図(5)のY−Y断面図、第7図は第5
PAにおける受光用光導波路素子620の基板62の構
成図であって、同図(A)は平面図、同図CBl lr
t側面図、同図(C)は同図(へのz−Z断面ν1であ
る。 各図において、50.610 、620・・光導波路素
子、51、−61 ’+ 62−M−1の基板、51R
+51b、61a+62a ・−光フアイバ接続口、5
2・・・第2の基板、53.61b、62b・・光ガイ
ド、538.531) ・・・光ガイドの端面、61C
161d !62C、62d−第1の基板の端部、63
・・・第2の基板としての仕切板。 君、埋入4[J里子 山 口   μm第1図 第2図 第3図 (A)         (B) 第4図 (A)       (B)   (C)X+−1 (C) オ6図 (C) オフ図 (C) 57−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)第1の基板の表面に光フアイバ接続口と光ガイドと
    を設け、前dC光ガイドの端面を前記光フアイバ接続「
    」に開口させて、前記第1の基板の前記表面に第2の基
    板を接合したことを特徴とする光導波路素子。 2)第1の基板の表面に光フアイバ接続口と光ガイドと
    を設け、前記光ガイドの端面を前記第1の基板の端部に
    開口さ植、前記光ガイドの前記第1の基板の前LAM部
    に開口した前記端面とは反対側の端面を前記光フアイバ
    接続口に開口させて、前記第1の基板の前記表面に第2
    の基板を接合したことを特徴とする先導波路素子。
JP57201654A 1982-11-17 1982-11-17 光導波路素子 Pending JPS5991411A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57201654A JPS5991411A (ja) 1982-11-17 1982-11-17 光導波路素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57201654A JPS5991411A (ja) 1982-11-17 1982-11-17 光導波路素子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5991411A true JPS5991411A (ja) 1984-05-26

Family

ID=16444673

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57201654A Pending JPS5991411A (ja) 1982-11-17 1982-11-17 光導波路素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5991411A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02156211A (ja) * 1988-12-08 1990-06-15 Sumitomo Electric Ind Ltd 平面光導波路と光ファイバとの結合補助装置
EP1441247A1 (en) * 2003-01-22 2004-07-28 Fuji Xerox Co., Ltd. Light signal transmitting device and signal processing device
EP1443348A2 (en) * 2003-01-28 2004-08-04 Fuji Photo Film Co., Ltd. Sheet-type optical conductor and two-way communication system using the sheet-type optical conductor
EP1560050A1 (en) * 2004-01-28 2005-08-03 Fuji Photo Film Co., Ltd Sheet light guide and communication system using the same

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003118128A (ja) * 2001-09-06 2003-04-23 Nano Dynamics Inc 圧電式プリンタヘッドとその製造方法
JP2006069204A (ja) * 2004-08-06 2006-03-16 Canon Inc 液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッド用基板の製造方法
JP2008087478A (ja) * 2006-10-02 2008-04-17 Samsung Electronics Co Ltd インクジェットプリントヘッド及びその製造方法
JP2009544503A (ja) * 2006-07-28 2009-12-17 ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. 流体吐出装置及び製造方法
JP2012126107A (ja) * 2010-12-17 2012-07-05 Canon Inc インクジェット記録ヘッドの製造方法
CN103072378A (zh) * 2011-10-25 2013-05-01 珠海纳思达电子科技有限公司 一种液体喷头及其制造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003118128A (ja) * 2001-09-06 2003-04-23 Nano Dynamics Inc 圧電式プリンタヘッドとその製造方法
JP2006069204A (ja) * 2004-08-06 2006-03-16 Canon Inc 液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッド用基板の製造方法
JP2009544503A (ja) * 2006-07-28 2009-12-17 ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. 流体吐出装置及び製造方法
JP2008087478A (ja) * 2006-10-02 2008-04-17 Samsung Electronics Co Ltd インクジェットプリントヘッド及びその製造方法
JP2012126107A (ja) * 2010-12-17 2012-07-05 Canon Inc インクジェット記録ヘッドの製造方法
CN103072378A (zh) * 2011-10-25 2013-05-01 珠海纳思达电子科技有限公司 一种液体喷头及其制造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02156211A (ja) * 1988-12-08 1990-06-15 Sumitomo Electric Ind Ltd 平面光導波路と光ファイバとの結合補助装置
EP1441247A1 (en) * 2003-01-22 2004-07-28 Fuji Xerox Co., Ltd. Light signal transmitting device and signal processing device
US7039274B2 (en) 2003-01-22 2006-05-02 Fuji Xerox Co., Ltd. Light signal transmitting device and signal processing device
EP1443348A2 (en) * 2003-01-28 2004-08-04 Fuji Photo Film Co., Ltd. Sheet-type optical conductor and two-way communication system using the sheet-type optical conductor
EP1560050A1 (en) * 2004-01-28 2005-08-03 Fuji Photo Film Co., Ltd Sheet light guide and communication system using the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4317614A (en) Fiber optic bus manifold
US4878728A (en) Multilayer integrated optical device
JPH10123373A (ja) 導波路型光モジュール
JPS5991411A (ja) 光導波路素子
WO2021245774A1 (ja) 光モニタデバイス
US11391896B2 (en) Optical input/output arrangement for photonic integrated circuits
JPH05203830A (ja) 光合分波器
JP3000900B2 (ja) 光カプラ
JP2579092B2 (ja) 双方向光伝送用wdmモジュ−ル
JPS628605Y2 (ja)
JPH055811A (ja) 導波路形光結合器
JP2000121867A (ja) 半導体受光装置、双方向光半導体装置及び光合分波装置
JPS60159821A (ja) 光分岐結合器
JPS63296006A (ja) 3波長用双方向光合波分波装置
JPS6298305A (ja) 導波形光合分波回路
JP2778236B2 (ja) 導波路型光合分波器及びそれを用いた光伝送用モジュール
JP4504935B2 (ja) 光合分波モジュール
JPS638444B2 (ja)
JPH03126002A (ja) 双方向アクセスカプラ
JP2001050857A (ja) 光線路試験システム
JPH04349405A (ja) 光結合回路
JPS6070406A (ja) プラスチツク製光分岐器及びそれを用いた交番バイパス型光回路
JPH01192232A (ja) 光データ伝送システム
JPS6153899B2 (ja)
JPS60201306A (ja) 光デバイス