JPS5990246A - レ−ザ記録媒体 - Google Patents

レ−ザ記録媒体

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JPS5990246A
JPS5990246A JP57198977A JP19897782A JPS5990246A JP S5990246 A JPS5990246 A JP S5990246A JP 57198977 A JP57198977 A JP 57198977A JP 19897782 A JP19897782 A JP 19897782A JP S5990246 A JPS5990246 A JP S5990246A
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JP
Japan
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film
recording layer
recording
substrate
plasma
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Yoshihiro Asano
浅野　義曠
Hironori Yamazaki
裕基 山崎
Susumu Fujimori
進 藤森
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、レーザ光による熱作耳Ｉによりｔｉ’ｆ報を
記録′４るレーザ記録媒体に関し、特に経時安定性に優
れ、かつ、ｌ、’５　Ｉｔζ寺１縫のレーザ記録媒体に
関するもグ）′Ｃある。
レーザ記＠＃ｉ　＆；ｌ、高密度かつ高速の記録が可能
なだめ、人界ｆｉｌファイルメモリとしての同月１が検
討さＪｌ、−Ｃいる。
従来、このような記録に用いる記録媒体としては、ｈ（
板上にＢｉ　、　Ｔｅなとの金１・４薄膜を記録層とし
て用いたものが知られている。しか１７、これら金属薄
膜は、高い感度を得るために１０〜１００　ｎｍ惺度に
極めて薄く形成して用いる・１ネ要があり、従って耐候
性の点で劣る。そのため、長期間にわたる使用や保存に
より記録感度やコントラストの低下が生じるという問題
点を有している。一方、ファイルメモリとしてはｌθ年
以−Ｈの長期経時安定性が要求されるので、記録層とし
て金属薄膜の代わりにＡｓ　−Ｓｅ　−ＴｅなどのＴｅ
化合物や金属う、・含有させたプラズマ重合膜を使用す
ることにより経時安定性を改善することが検刑されてい
る。
これら記録媒体に用いる基板と１７ては、プラスチック
、ガラスあるいは金属がある。このうり、プラスチック
としてはポリメチルメタクリレート樹脂やポリカーボネ
ート樹脂が用いられているが、透湿性があるだめに記録
層の経時安定性上好寸しくない。さらに、ガラスや金属
基板をＩｌｌいる場合には、トラックリーボ用の案内溝
を設ける必要があるが、この：４（内溝は、１〜板上に
アクリル系紫外線硬化樹脂を設け、この樹脂に凹凸をつ
けることによってｊビＪアされる。しかし、この紫外線
硬化樹脂には未硬化物など低分子量のものが残留しやす
く、そＪ］に起因して記録層の酸化が促進されるなどし
て、媒体の経時安定性が低下する。まだ、記録層１０も
記録層と基板の界面張力など界面状態によね変化−Ｊる
。し７かも、加えて、アクリル系紫外線硬化樹脂を月１
いることに、しりポリメチルメタクリレート樹脂上ｉ＋
’（１（「Ｊ’；ｆ記ｌＩｔ層を付着させた場合に較べ
て記録感度が低下するという問題点を有Ｌ２ている。
そこで、本発明の目的は、これらの問題点を解決し７、
経時安定性にがれ、かつ記録感度の高いレーザ記）を媒
体省・提供することにある。
そのだめに、本発明の−の形Ｊ４１でｄ１基板上にフル
オロカーボンのプラズマ重合膜を配置シ、ソの上に記録
層を＋’ｂ、！置する。
本発明の（１１１，の形μ（ｊでは、基板上にポリフル
オロカーボンのスパッタ膜を配置し、その上に記録層を
配置する。
以下、図面を参照して本発明を１１１”　ｑ、ｌｌＩに
説明する。
第１図は本発明レーザ記録媒体の具体的構造の一例を示
す模式図であって、ここに／は塞板、２ｔｄ基板／上に
配置したフルオロカーボンのプラズマηｓ　金膜あるい
はポリフルオロカーボンのスノくツタ膜、３は膜λ上に
配置した記録層、≠はトラックサーボ用の溝である。
第１図の例では、基板ｌけポリメチルメタクリレート樹
脂やポリカーボネート（☆ｆ　脂などσ）プラスチック
で形成し、インジェクション法あるいはセルキャスト法
などにより直接プラスチック基板／上にトラックサーボ
Ｉｌ’Ｊの溝ｑを形成する。
第２図は本発明レーザ記録媒体の具体的構造の他の例を
示し、ここではプラスチック、ガラスあるいはＡｌなど
の金属などから形成し７た基板／上に紫外線硬化樹脂膜
Ｓを塗布し、その樹脂膜Ｓには、凸凹を有するニッケル
スタンパ７よとを用いることによりトラックサーボ用１
の溝りが転写されるようにする。ここで紫外線硬化樹脂
としてはアクリル系樹脂やエポキシ系樹脂などを用いる
ことができる。＋Ｊ７に、紫外線硬化樹脂膜Ｓ上にフル
オロカーボンのプラズマ重合膜あるいはポリフルオロカ
ーボンのスパッタ膜！を配置し、この膜−２上ＶＣＮ己
ｆａ層ψを配置する。
以上のよりなノ、（板／−ヒにフルオロカーボンＣンの
プラズマ重合膜あるいはポリフルオロカーボンのスパッ
タ膜！を付着させるにあたり、フルオロカーボンとして
シ１２、テトラフルオロエチレン、クロルトリフルオロ
エチレン、三弗化エチレン、六弗化プロピレン、弗化ビ
ニル、弗化ビニリデンを用い、これらをモノマとして容
駄式あるいは誘導式欣７１１を月１いることによりプラ
ズマ重合膜を形成する。
ポリフルオロカーボンとしては、列？リテトラフルオロ
エヂレン、ポリクロルトリフルオロエチレン。
ポリ三弗化エチレン、ボり六弗化プロピレン、ポリ弗化
ビニル、ポリ弗化ビニリデンなどを用い、これらをター
ゲットとし′ＣＡｒなどの不活性ガスでスパッタするこ
とによりスパッタ膜を形成する。
そして、この膜λの上に記録層３を形成するが、この記
録層３としては、Ａｓ５ｅＴｅなどのＴｅ化合物膜、Ｔ
ｅあるいはＢｉを含有させた金属含有プラズマ重合膜な
どレーザ光の熱作用による継解・蒸発によりビットを形
成するのに適した各種材料を用いることができる。
以上のように構成された本発明レーザ記録媒体において
は、フルオロカーボン膜λを設けることによって次のよ
うな効果が得られる。寸ず、プラスチック基板を用いた
場合には、フルオロカーボン膜）には水分をｉｆｆ’（
さない効果があるだめ、記録層３の酸化を防ぎ、記録媒
体の耐候性を高めることができる。寸だ、ガラスあるい
は金属基板／−にに紫外線硬化樹脂膜Ｊｆ：設けた記録
媒体を月１いる場合には、フルオロカーボン１１クツに
より紫外線硬化樹脂膜夕中の未硬化物など低分子！１七
の残留物と記録層３とが１綺離するので、記録媒体の経
時安定性が向上する。さらに、記録感度にｔ　ｆｌｔ！
　Ｑ層３と基板／の界面状態に依存するが、このフルオ
ロカーボン膜λを設けることにより、紫外線硬化樹脂上
に直接に記録層を８′５？けた場合、あるいＬ１ポリメ
チルメタクリレート樹脂やポリカーボネート樹脂などの
プラスチック４，１、板−上に直接に記録層を設けた場
合よりも窩い記録感度を示す。１だ、上述したフルオロ
カーボン膜はプラズマ重合やスパッタ法といったドライ
な方法で作製されるため、均一な膜厚の膜４−・容易に
得ることができ、作製中のごみなどの付着を避けやすい
など作製上の利点もある。
以下に本発明の実施例を示す。
（実施例１） 四弗化エチレンモノマを７×／θ−２ＴＯｒｒ導入した
容器中で、容（；」式結合を月１いた高周波ＴＩ℃極に
７、Ｌ！；、ｇ　ＭＨ７の１？％　ＪｉＷ波？ｉｆ圧を
ｔａｕ加してＩｊＦ　”ｒｕを行彦い、四弗化エチｉ−
ンプラズマｉＩＬ金膜を形成した。基板としては厚き／
、ｊ＋ａｍのポリカーボネート基板を用い、モノマガス
流１杖〃♂／分および放電ηＬカ１００Ｖ／で約Ｓ分間
車合を行ない、１００　ｎｍのプラズマ中介１１１′セ
をＪ、Ｉ−［Ｑ　ｉで（＝ｔ　７γｉ式亡た。次いで、
このプラズマ中合嘆の土（・（−記２を層としてＴｅ　
ｉ）　９ｏｖｏ１％含有ｌ、た′］゛ｅ含ｆｆ二流化炭
素プラズマｊＪ４合膜を金膜？ｌｌ）ｎｍｆ、１ヤ゛ｉ
さ１）だ。
このように１．てｊ１ツ虎しまた記録媒体について、波
長１３０　ｎｍのＧａＡｓ半導体１ノ−ザ灸耳Ｉいて記
録・再生実験を行なつ／こ。その結果１二組３１＝４に
示す。ここで、記録媒体上のレーザパワー６ｍＷおよび
ビーム径ｔ、６μｍで記録を行ない、０．３；　ｍＷの
レーザパワーで再生を行なった。第３図の１１１７輔は
半導体レーザのパルス幅（ｎｒ；ｅｃ　）　、ｗ軸に１
１ｆ生信−弓出力、すなわち記録前後の反射光強ｒａｔ
：　（４ｒｌ対航）の差をそれぞれ表わしている。図中
の曲線ａに１１本実施例の記録媒体を示すが、比較のだ
めに、四弗化ニーｆ−１／　ン７’　５　ｆ：　Ｖ　、
Ｔｌｉ合膜金膜いずにポリヵーボネ−トノ、！ｊ版板上
直接記録層を１没けた慟合を曲線ｂ１ポリメチルメタク
リレート姑板土に直接記録層を設けた場合を曲線Ｃで示
す。この結果から本実施例の記録媒体が高い記録感度を
有していることがわかる。
次に、本実施例の記録媒体にｐ；＋　して、ｙｏ℃。
９０％川え１湿度の環境で加速度劣化テストを行なった
ところ、２ケ月経過後も反射率（ＩＬ下を・ｉｃ＼さな
がつだ。記録層がｌＩ俊化劣化を起こすと反射率および
透過率の低下が生ずるので、この結束から本実施例の記
’ｊｘｒ　ｆＩＶ体が極めて耐酸化性に優れていること
がわかった。。
実施例 厚さ７．３ｍｍのガラス基板上にアクリル系紫外線硬化
樹脂を約ｔｏｔｔｍの厚さに塗布１〜、その上に実施例
１と同様に四弗化エチレンプラズマ１１（金膜および記
録層としてのＴｅ含有二硫化炭素プラズマ重合膜を形成
した。
この記録媒体の感度は第３図の曲線ａと同じであシ、ま
た耐酸化性も実施例１と同様に優れていた。一方、四弗
化エヂレンプラズマ■１合１喚を形成せずにアクリル系
紫外線硬化樹脂上に直接に記録層を設けた場合には、記
録感度は第３図の曲線ｄのようにかなり低い！１に度を
示した。
さらに、ｌＩＯ℃、ワＯ％Ｉ１１対湿度の加速度劣化テ
ストでは、／′Ｊ周間程度で基板とアクリル系紫外線硬
化１ｉｆｌ脂との間にはく離が生じ、寸だ同条件下に１
ケ月程ＩＩＣＩｉＱ：置したと仁ろ、記録層の反射率に
ｔｒらが生し、部分的に酸化劣化が促進されているのが
みられた。この結果から、本発明により、四弗化エチレ
ンプラズマ重合膜を設けることにより、記録感度および
経時安定性ともに向上することがわかった。
（実施例３） モノマとして四弗化エチレンの代わりに六弗化プロピレ
ンを用い、その他は実施例１の場合と全く同様にして記
録媒体を形成したところ、記録感度および経時安定性と
もに実施５例１と同様な結果が得られた。
（実施例４） 実施例１の容打［式電極の代わりに、コイル状の誘導式
電極を用い、モノマガス圧５Ｘ／θ−３Ｔｏｒｒ　％ガ
ス流ｆ１１Ｊｃｍ’／分および放’＋ｔｌ電力、ｚｏｏ
　ｗで約３分間■（合を行ない、膜厚が約ｉｏｏ　ｎｍ
の四弗化エチシンプラズマ１５合膜を形成した。その１
１１１は実ＤＩＧ例１と同様にして記録媒体を形成した
ところ、実施例１と同様な結果が得られた。
（実施例５） 記録層としてＡｓ、ｏＳｅ、。Ｔｅ８ｏの蒸着膜を用い
、その他は実施例１と同様にして記録媒体を形成した。
この１乃合グ）記Ｊ、４１：名度は第３１’２１の曲線
Ｃに近い値を２１、しだが、フル副ロカーボンプラズマ
φ金膜がない場合には曲線ｄに近い記録感度に−示すこ
とから、感度が大幅に同士していることがわかった。ま
た、グθ℃、９０％相対湿度下で約３ケ月間経メトｈ後
にも反射率変化が生ぜず、耐酸化性にも優れていること
がわかった。
実施例 ポリ四弗化エチレンをターゲットとしてＡｒガス圧／Ｘ
１０Ｔｏｒｒでスパッタを行なった。基板としてはポリ
メチルメタクリレート樹脂基板を用い、敗′１いｌ’ｔ
　７Ｊ１００　Ｗで約ざ分間にわたってスパッタを行な
い、膜厚約７００　ｎｍのスパック膜を形成した。
次いで、記ｆ々層を実施例１と同様にして形成したとこ
ろ、実施例１と同様な記録感度および経時安定性が得ら
１１だ。
（実施例７） ターゲットとしてポリ三弗化エチレンを用い、その他は
実施例６と同様にして記録媒体を形成したとこ７）・実
施例６と同様の結果が得られた。
以上説明したように、本発明によるレーザ記録媒体は、
フルオロカーボンのプラズマｉ（＋金膜あるいはポリフ
ルメロカーボンのスパッタ膜を配置ａシたことにより、
経時安定性に優れ、しかも高感度な優れた記録特性を有
する。さらに加えて、このフルオロカーボン膜はドライ
プロセスで製作できるため、膜作製中にきすやほこりな
どの付着を防ぐことが容易であり、丑だ記録層も同一装
置内で形成することができるという利点を有している。
【図面の簡単な説明】
第１図および第１図は本発明記録媒体の！実施例の構音
を示す俟式的断面図、第３図は本５？！明記録媒体の記
＠舶性を示す！持性曲線図である。 ／・・基板、 λ・・・フルオロカーボン膜、 ３・・・記録層、 弘・・・トラックサーボ川の尚、 ！・・・紫外線硬化樹脂膜。 第１図 第３図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １）ノ、（，４反を有し、ｒ’ｒ笑）、Ｉ−板上にフル
    オロカーボンのプラズマ【１１合膜を配置斤し、該プラ
    ズマ重合膜の土に記録層を配置したことを唱・徴とする
    レーザ記ζを媒体。 ２）邦ｚ板を（Ｔし、該基４反上にポリフルオロカーボ
    ンのスパッタ膜を配置し、該スパッタ膜の上に記録層を
    配置したことを特徴とするレージ’　　ｊｊｌＥ　　録
    　αμ　体　。
JP57198977A 1982-11-15 1982-11-15 レ−ザ記録媒体 Pending JPS5990246A (ja)

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