JPS598934B2 - パネル表示装置用ガラス基板の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は、プラズマ、デイスプレイ、パネル（以下ＰＤ
Ｐという）等のパネル表示装置用ガラス基板の製造方法
に関する。 更には、ガラス再成形法（こよつて得られた高精度の寸
法を有するガラス角棒を、ガラス基板上に高精度に配列
し、加熱接着してパネル表示装置用のガラス基板を製造
する方法に関するものである。ガラス再成形法は、ガラ
ス成形分野で良く知られていることであり、Ｐ．Ａ．Ｈ
ｕｍｐｈｖｅｙの「種々の断面形状を有するガラス繊維
の製造プロセス」（ニユーヨーク州ニユーヨーク，ゴー
ドンアンドブリーチ発行，第７回国際ガラス会議議事録
，ブラツセル，１９６５年６月２８日〜７月３日，ペル
キー，チヤークロイ，第７Jヨ黷P〜７Jヨ黷W頁）に開示
されている。 従来より、二枚のガラス、セラミツク等のパネル基板の
間に多数の小室を有し、この小室に放電用のガスを充填
してなるＰＤＰ等のパネル表示装置の開発が行なわれて
いる。 これらの表示装置のパネル基板は、第１図に示される如
く、矩形状のものが多い。 ここで、１′はガラス、セラミツク等のパネル基板、２
はリブ、３は溝、４は走査用アノード電極であり溝３に
収容される。この種類のパネル茶板を作製する方法とし
ては、機械切削加］：によつて、ガラス、セラミツク等
の絶縁材基板に溝３を切削して形成する方法が一般的に
試みられている。 この方法は、５０μ程度の厚みのダイアモンド砥石を複
数枚組にしたマルチブレードを高速回転させて精密な溝
を形成する回転マルチブレード方式に代表される。この
方式は、加工工程が比較的単純であり、また溝巾を数１
０μ程度まで細く出来るものである。然しながら、この
方式は、機械切削加工であるため、リブエツジ部の破損
を起こし易く、溝、リブエツジ部のシヤープネスが低い
。 また、大型表示を行なうためのＰＤＰ等のパネル基板を
作製するには、数百枚にも及ぶ砥石のマルチ化が不可欠
であり、高精度のマルチブレードを作成することは極め
て困難である。更には、このマルチブレード方式には、
ダイアモンド砥石を使用するのが一般的であり、この砥
石の摩耗が激しく、経済性に乏しいという欠点を有する
。本発明は、前記難点に鑑みて成されたものである。 即ち、走査用アノード電極を収容するためのリブを有す
るパネル表示装置用ガラス基板の製造方法において、リ
ブを形成するためのガラス角棒を基板用ガラスに接着す
べき該ガラスの部分に、耐熱性接着材を等間隔に形成す
る第一の工程；ガラス角棒を、前記接着材に重ね合わせ
基板用ガラスに平行かつ等間隔に配列する第二の工程；
ガラス角棒に、基板用ガラスに対して鉛直方向に圧力を
印加しつつ、ガラスの軟化温度よりは低いがガラス角棒
と基板用ガラスが接着するには充分高い温度に前記接着
材を加熱し、一定時間この温度に保持して、ガラス角棒
と基板用ガラスを加熱接着する第三の工程：により、前
記ガラス基板を製造することを特徴とするものである。 更には、前記第二の工程後に、基板用ガラス上に平行か
つ等間隔に配列されたガラス角棒を、基板用ガラスに仮
止めする工程を有し、次に加熱接着する前記第三の工程
により前記ガラス基板を製造することを特徴とするもの
である。 本発明によれば、再成形法によつて得られた高精度の寸
法を有するガラス角棒を用いるため、機械切削加工に比
してリブのエツジ部の破損はなく、溝あるいはリブエツ
ジ部の寸法精度（巾，深さ）が高くかつシヤープネスが
高いパネル表示装置用ガラス基板が得られる。 また高精度のガラス角棒が基板用ガラス上に平行かつ等
間隔に配列されるので、溝一リブあるいはリブ一溝のピ
ツチのセンター振れが小さく、かつ累積誤差が１＼さい
。また、ダイアモンド埋め込みブレードによる切削に比
して、生産スビードが格段に優れ、量産性が高く、低コ
スト化が計れる。さらに、ガラス角棒の断面形状が矩形
状だけのものではなく、，異形状のもへ例えばＬ字型，
台形型，Ｍ字型等についても、本発明に係る製造方法に
適応出来るものである。以下、本発明に係る製造方法に
ついて図面を基にして説明する。第２図、第３図は、そ
れぞれ、本発明によつてノつ 得られたパネル表示装置用ガラス基板である。 ここで、１は基板用ガラス、２はガラス角棒、３は溝、
４は走査用アノード電極、５は、ガラス角棒２と耐熱性
接着材１６が形成されている基板用ガラス１との仮止め
部である。本発明に係る基板用ガラスは、第３図の如く
予め走査用アノード電極を設けたものでもよく、この電
極付き基板用ガラスは、導電ペーストを印刷し焼付ける
方法、薄膜方法、厚膜メツキ方法、あるいは導電被膜を
形，成し、ついでフオトエツチングにより所定のパター
ンの電極を形成する方法、更にはワイヤー，リボンを配
することによつて得られる。 本発明において、電極の膜の巾は０．１〜０．１５ｍへ
膜厚は５〜１５μが適当である。この電極付きあるいは
電極のない基板用ガラスを使用するか否かは、ガラス角
棒を基板用ガラス上に配列する第二の工程によつて適宜
選択される。以下、電極のない基板用ガラスについて本
発明を説明する。ＰＤＰ等のパネル表示装置は、最終的
に周辺を封止するため、本発明に使用する接着材は４０
０〜６００℃に耐え得るものでなければならない。 従つて、本発明に使用出来る耐熱性接着材としては、低
融点ガラス、ケイ酸アルカリ化合物、或いはリン酸塩化
合物等がある。尚、耐熱性接着材はこれらに限定されな
い。低融点ガラスには、一般には、ＰｂＯ−ＺｎＯ一Ｂ
，Ｏ３系を主成分とするが、ＳｉＯ２，Ａｌ２Ｏ３，Ｃ
ｄＯ等を添加して耐水性、作業性を改良したものが多い
。 基板用ガラス上に等間隔かつ線条に形成するには、低融
点ガラスの粉末をバインダー液と混合し、印刷乾燥させ
るか、あるいは、フオトエツング法により所定の線条に
形成することが出来る。また、前記の主成分に、ＺｎＯ
を多く含有し結晶しやすくした熱失透性低融点ガラスを
使用することが出来る。 これは、通常の低融点ガラスと同様に使用した後、さら
に加熱処理をする。本発明においては、これらの低融点
ガラスのうち、ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３系の＃７５７
２（コーニング・グラス社商品名）ガラスハンダを使用
するのが好ましい。 ケイ酸アルカリ化合物として、代表的なものにケイ酸ナ
トリウム、ケイ酸カリウム、ケイ酸リチウム等がある。 これらを本発明に使用するに当つて、これらの水溶液を
バインダーとして使用し、基板用ガラスに等間隔かつ線
条に塗布した後、ガラス角棒を配列し１００℃以上好ま
しくは１５０℃以上の温度で硬化させ水分を蒸発させて
使用する。また、これらは、１０００℃の温度に耐え得
るものである。この内、ケイ酸ナトリウム，ケイ酸カリ
ウムは接着カカ吠きく（１００ｋｇ／Ｃｄ程度）ケイ酸
リチウムは耐水性に優れている。リン酸塩化合物として
は、リン酸，リン酸アルミニウム、リン酸マグネシウム
等がある。 これらも前記ケイ酸塩系化合物と同様に、基板用ガラス
に形成する。このうち、リン酸アルミニウムは、３００
℃以上の温度で硬化させると、接着強度が１００ｋｇ／
Ｃｄ程度であり、耐水性があり、耐熱温度も１５００′
Ｃ程度と高く電気絶縁性も大きいため、本発明の使用に
好ましい。以上の他に、シリカ系あるいは、シリカ−ア
ルミナ系、ジルコニア系のペースト状のスミセラム（住
友化学商品名）も、本発明に使用出来る。 以上の各耐熱性接着材を基板用ガラスに形成する方法は
、各接着材によつて異なるが、形成する接着材の巾は、
ガラス角棒の巾より若干小さくすることが好ましく、膜
厚は５〜３０μが適当である。第二の工程の一つの好ま
しい態様は第４図に示される如く、基板用ガラス１上に
ガラス角棒２を一方向に揃える様に配置し、ガラス角棒
２の間に厚みの一様なスペーサ材６を挟み、基板用ガラ
ス１上の両端のガラス角棒２を図に示される様に、Ｂ，
Ｂ′の方向に圧力を印加し累積寸法の調整を行なうとと
もに前記接着材１６上にガラス角棒を配置した後、スペ
ーサ材６を除去し配列するものである。 この工程で、スペーサ材６をアノード走査用電極として
金属片を用いても良く、この場合、金属片は除去しない
。ガラス角棒と基板用ガラスとを仮止めする工程は、全
体の工程を通じて作業性の面で特に有利である。 基板用ガラス１とガラス角棒２を仮止めするには、ガマ
ス角棒の側面の底辺と基板用ガラス１上に形成された接
着材１６とが接している仮止め部５に瞬間接着剤を付着
するか、あるいは、レーザを仮止め部５に照射し両者を
瞬間融着して行なう方法があるが、これらの方法に限定
されるものではない。瞬間接着剤を使用する場合は、後
の熱圧着工程において揮散し消失するものが好ましい。
次に、ガラス角棒と基板用ガラスとを加熱接着する工程
を説明する。 配列する工程、更には仮止めする工程で、基板用ガラス
１上に配列されたガラス角棒２、又は配列されかつ仮止
めされたガラス角棒２に、基板用ガラス１に対し鉛直方
向に一定の圧力を印加する。 一定の圧力を印加した状態で、ガラスの軟化温度よりは
低いがガラス角棒と基板用ガラスが接着するには充分高
い温度に接着材を加熱し、一定時間この温度を保持して
、両者を加熱接着する。加熱する方法としては、例えば
電気炉、高周波加熱等があり、いずれの方法によつても
本発明に適用可能である。一定の圧力を印加するに当つ
ては、第８図に示される如く、ガラス角棒２の上に荷重
均一付加用平板１５、例えば、上下に平滑で濡れの悪い
セラミツク板を置き、矢印の方向に上部から圧力を印加
する。 この工程の条件は、加熱接着温度により、圧力、保持時
間が順次決まるものである。 加熱接着温度は、１００〜６００℃が好ましく、この範
囲で低い温度の場合は、圧力を高くする必要があり、高
い温度の場合には、圧力は低くて良く、特に低融点フリ
ツトを用いた場合は５５０℃前後が好ましい。ケイ酸ア
ルカリ化合物、リン酸塩化合物は低湛接着に好ましい。
圧力と保持時間は、それぞれ３〜１０００９／Ｃｄ，３
〜１８０分が好ましいが、加熱接着温度によつて、それ
ぞれ５０〜３００９／Ｃｒｉｉ，ｌＯ〜６０分が特に好
ましい。本発明に使用するガラス角棒と基板用ガラスの
組成は、異なつていても、熱膨張係数、最高使用温度等
の熱的な性質、電気的性質、化学的性質に大差がないな
らば使用できるが、両者同一組成のガラス、例え．ばソ
ーダ石灰系のフロートガラスを用いることが好ましい。
次に、ガラス角棒を基板用ガラス上に配列する工程の他
の好ましい態様について説明する。 先ず第１に、第５図に示される如く、基板用ガラス１を
矢印の方向に一定の速度で移動させ、所定の位置で一・
旦停止させ、図に示される様に両側に段差をもつたフイ
ダー７にガラス角棒２を捜入しておき、矢印Ｄ方向に一
定の間隔をもたせて圧力を印加してガラス角棒２を突き
上げ、ガラス角棒２が基板用ガラス１上に形成された接
着材１６上に配例、接触すると同時に仮止め部５に瞬間
接着剤等で仮止めを行なうものである。フイダー７は、
基板用ガラス１上に複数配置し、マルチフイダ一とする
ことが出来、作業能率を高めることが出来る。次に、第
６図Ａ，ｂに示される如く、基板用ガラス（図示せず）
上に置かれた平行かつ等間隔の仕切線８例えばワイヤー
等を有するフレーム９の仕切線８に接するように挿入さ
れたガラス角棒２（第６図ａ）を、フレーム９を異なる
矢印方向に移動させて（第６図ｂ）、基板用ガラス上に
配列する。 この際、基板用ガラス上に接着材の層が形成されている
が、ガラス角棒の移動には影響を及ぼさない。この時、
フレーム９と仕切線８は、フレーム９を異なる方向に矢
印の如く移動させた場合、各仕切線８は平行を維持し間
隔のみを変えることが出来、かつ、両者は自由に動くこ
とが出来る関係にある。この工程において、予め基板用
ガラスに適当な傾斜度を与えておくと、フレーム９の移
動後に、ガラス角棒２が重力により自然に仕切線８に接
するので好ましい。１０は仕切線８と直交して配列され
る例えば針金からなる直角線であり、フレーム９の移動
後、仕切線８に接したガラス角棒２の先端を揃え、基板
用ガラス上に配列するものである。 フレーム９の移動前ａの仕切線８間の距離ｘと、移動後
ｂの距離ｘとの関係は、移動に用した角度をθとすると
ｘ＝ＸｃＯｓθ で与えられる。 例え（ｆ、θ＝６０とのとき、移動後の仕切線８の間隔
は移動前の１／２になる。第３は、第７図に示される如
く、等間隔に並んだ仕切用突起１１と排気用孔１３を有
する精密に加工された配列台１２の中に多数のガラス角
棒２を入れ、浅溝１４内に収容する。この後、排気用孔
１３から減圧し、浅溝１４内に収容されたガラス角棒２
を吸着し、その他のガラス角棒を配列台１２外へ排出す
る。ここで、一度常圧に戻し配列台１２を傾け仕切用突
起１１の片側に寄せ再び減圧しガラス角棒２を固定し、
上方より接着材が形成されている基板用ガラスを、ガラ
ス角棒と接着材が重なるように配置するものである。ｊ フ 以上配列工程の棟々な悪様Ｇこつい

【祝明し７：ｎ】〜
これらによつて、本発明を限定するものではな１，′Ｓ
Ｏ実施例１ 断面が２０×２０ｍｍのフロートガラスか
らなるガラス素棒を再成形法により１／４０に縮小―０
．５×０．５ｍｍのガラス角棒を作成した。 縮小条件は、ガラス素棒の送り速度が１０ｍ１Ｌ／Ｍｉ
ｎｌガラス角棒の引張り速度は１６ＴｒＬ／Ｍｉｎｌ成
形温度は８００℃であつた。次に、基板用ガラス２５Ｘ
１２×０．５ｔＣＴｎ上に、耐熱性接着材として低融点
フリツトガラスを＃７５７２（コーニング・グラス社商
品名）０．８ｕｍピツチで膜厚１５μ、巾０．４Ｕ！に
印刷乾燥して形成した。 第４図に示される如く、平坦度の良い定盤（図示せず）
上に基板用ガラスをセツトし、前記接着材上に長さ２０
？のガラス角棒２を重ねる様に置き、各ガラス角棒２間
にスペーサ材６として、長さ１５ｃ１ｎ，厚さ０．３ｍ
１ｔの金属リボンを捜入した。 次に矢印Ｂの方向に基板用ガラス１の両端のガラス角棒
２に圧力１０ｋｇ／ｄを印加し、累積寸法の調整をした
後、圧力を解消し、金属リボンを取除いた。配列後、第
８図に示される如く、荷重均一付加用平板１５としてマ
シナブルセラム（コーニング社商品名）をガラス角棒２
上に置き、矢印の方向に圧力２０ｇ／Ｃｄを印加したま
ま、定盤ごと炉内に入れ、接着材を５５０℃に加熱し、
この状態で３０分保持し、加熱接着した。 以上により、０．３１１の溝を有した１ピツチ０．８ｍ
ｍのパネル表示装置用ガラス基板が得られた。 ２実施例１と同一の接着材を有した基板用ガラス１とガ
ラス角棒２を使用した。 第５図に示される如く、精密移動台（図示せず）に基板
用ガラス１を取り付け、フイダー７を６基１６ｕｍ間隔
に配置した。 移動台４ｍｍ／Ｓｅｃの速度で矢印Ｃ方向に移動させ設
定位置即ち、接着材１６の位置で一旦停止させた後、各
フイダー７より同時に３ｓｅｃ／本の間隔で、矢印Ｄ方
向に、ガラス角棒２を押し上げると同時に瞬間接着剤に
より仮止め部５を仮止めした。 配列工程及び仮止め工程は、６０秒で終了した。以下、
加熱接着工程は、実施例１と同一であつた。 以上により、実施例１と同一のパネル表示装置用ガラス
基板が得られた。 ３ 実施例１と同一の接着材を有した基板用ガラス１と
ガラス角棒２を使用した。 第６図ａに示される如く、基板用ガラス（図示せず）の
上に０．２φのワイヤーを１．６１１間隔で張つたフレ
ーム９を置き、ワイヤーの間にガラス角棒２を挿入した
。 次に、ｂに示される如く、フレーム９を矢印方向にθ＝
６００まで移動させた後、基板用ガラスを３０６傾け接
着材１６上にガラス角棒２を配列し、直角線１０として
０．２φのワイヤーを引張り、ガラス角棒２の先端を揃
えて瞬間接着剤を用いて仮止めした。 以下、加熱接着工程は、実施例１と同一であつた。 以上により、実施例１と同一のガラスパネル基板が得ら
れた。 ４ 実施例１と同一の接着材を有した基板用ガラスとガ
ラス角棒を使用した。 第７図に示される如く、配列台１２として精密加工され
た仕切用突起１１の１ピツチが０．８ｕであるステンレ
ス製台を用い、この中に多数のガラス角棒を入れ、浅溝
１４内に収容した。 この後、排気用孔１３から減圧し、浅溝１４内に収容さ
れたガラス角棒２を吸着し、その他のガラス角棒を台の
外へ排出した。ここで、一度常圧に戻し、台を傾け仕切
用突起１１の片廁に寄せ、再び減圧しガラス角棒２を固
定し、上方より基板用ガラスを配置し、接着材１６とガ
ラス角棒とを重ね合わせた後瞬間接着剤を用いて仮止め
した。仮止め後は、常圧に戻した。以下、加熱接着工程
は、実施例１と同一であつた。 以上により実施例１と同一のパネル表示装置用ガラス基
板が得られた。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来のパネル表示装置用基板、第２図は、本
発明のパネル表示装置用ガラス基板、第３図は、本発明
の電極付パネル表示装置用ガラス基板、第４〜７図は、
本発明の配列の工程を説明する図、第８図は、本発明の
加熱接着の工程を説明する図をそれぞれ示す。 １・・・・・・基板用ガラス、１′・・・・・・パネル
基板、２・・・・・・ガラス角棒（又はリブ）、３・・
・・・・溝、４・・・・・・走査用アノ一・ド電極、５
・・・・・・仮止め部、６・・・・・・スペーサ材、７
・・・・・・フイダ一、８・・・・・・仕切線、゛９・
・・・・・フレーム、１０・・・・・・直角線、１１・
・・・・・仕切用突起、１２・・・・・・配列台、１３
・・・・・・排気用孔、１４・・・・・・浅溝、１５・
・・・・・荷重均一付加用平板、１６・・・・・・耐熱
性接着材。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 走査用アノード電極を収容するための溝を平行かつ
   等間隔に形成するためのリブを有するパネル表示装置用
   ガラス基板の製造方法において、リブを形成するための
   ガラス角棒を基板用ガラスに接着すべき該ガラスの部分
   に、耐熱性接着材を等間隔に形成する第一の工程；ガラ
   ス角棒を前記接着材に重ね合わせ基板用ガラス上に平行
   かつ等間隔に配列する第二の工程；前記ガラス角棒に、
   基板用ガラスに対し鉛直方向に圧力を印加しつつ、ガラ
   スの軟化温度よりは低いがガラス角棒と基板用ガラスが
   接着するには充分高い温度に前記接着材を加熱し、一定
   時間この温度に保持して、ガラス角棒と基板用ガラスを
   加熱接着する第三の工程；によりパネル表示装置用ガラ
   ス基板を製造することを特徴とするパネル表示装置用ガ
   ラス基板の製造方法。 ２ 耐熱性接着材が、低融点ガラス、ケイ酸アルカリ化
   合物、又はリン酸塩化合物である特許請求の範囲第１項
   記載の製造方法。 ３ 第二の工程が、基板用ガラス上に置かれたガラス角
   棒を、該ガラス角棒間に一様な厚みのスペーサ材を挿入
   し、該スペーサ材を挾む如く基板用ガラス上の両端のガ
   ラス角棒に圧力を印加して、基板用ガラス上に配列する
   特許請求の範囲第１項記載の製造方法。 ４ 第二の工程が、基板用ガラスを一方向に移動させつ
   つ、ガラス角棒を一定時間の間隔をもつて前記基板用ガ
   ラス上に配列する特許請求の範囲第１項記載の製造方法
   。 ５ 第二の工程が、基板用ガラス上に置かれた平行かつ
   等間隔の仕切線を有するフレームの仕切線間に、該仕切
   線に接して捜入されたガラス角棒を、各仕切線の平行を
   維持し間隔を変える如く前記フレームを異なる方向に移
   動させて、基板用ガラス上に配列する特許請求の範囲第
   １項記載の製造方法。 ６ 第二の工程が、等間隔に並んだ仕切用突起を有する
   配列台の仕切用突起間に、該仕切用突起に接して収容さ
   れたガラス角棒を、基板用ガラスをガラス角棒上に配置
   して、配列する特許請求の範囲第１項記載の製造方法。 ７ 第三の工程において、加熱接着温度が１００〜６０
   ０℃、圧力５〜１０００ｇ／ｃｍ＾２、保持時間が３〜
   １８０分である特許請求の範囲第１項記載の製造方法。 ８ 走査用アノード電極を収容するための溝を平行かつ
   等間隔に形成するためのリブを有するパネル表示装置用
   ガラス基板の製造方法において、リブを形成するための
   ガラス角棒を基板用ガラスに接着すべき該ガラスの部分
   に、耐熱性接着材を等間隔に形成する第一の工程；ガラ
   ス角棒を前記接着材に重ね合わせ基板用ガラス上に平行
   かつ等間隔に配列する第二の工程；基板用ガラス上に平
   行かつ等間隔に配列されたガラス角棒を基板用ガラスに
   仮止めする第三の工程；前記ガラス角棒に、基板用ガラ
   スに対し鉛直方向に圧力を印加しつつ、ガラスの軟化温
   度より低いがガラス角棒と基板用ガラスが接着するには
   充分高い温度に前記接着材を加熱し、一定時間この温度
   に保持して、ガラス角棒と基板用ガラスを加熱接着する
   第四の工程；によりパネル表示装置用ガラス基板を製造
   することを特徴とするパネル表示装置用ガラス基板の製
   造方法。 ９ 耐熱性接着材が、低融点ガラス、ケイ酸アルカリ化
   合物、又はリン酸塩化合物である特許請求の範囲第８項
   記載の製造方法。 １０ 第二の工程が、基板用ガラス上に置かれたガラス
   角棒を、該ガラス角棒間に一様な厚みのスペーサ材を捜
   入し、該スペーサ材を挾む如く基板用ガラス上の両端の
   ガラス角棒に圧力を印加して、基板用ガラス上に配列す
   る特許請求の範囲第８項記載の製造方法。 １１ 第二の工程が、基板用ガラスを一方向に移動させ
   つつ、ガラス角棒を一定時間の間隔をもつて前記基板用
   ガラス上に配列する特許請求の範囲第８項記載の製造方
   法。 １２ 第二の工程が、基板用ガラス上に置かれた平行か
   つ等間隔の仕切線を有するフレームの仕切線間に、該仕
   切線に接して捜入されたガラス角棒を、各仕切線の平行
   を維持し、間隔を変える如く前記フレームを異なる方向
   に移動させて、基板用ガラス上に配列する特許請求の範
   囲第８項記載の製造方法。 １３ 第二の工程が、等間隔に並んだ仕切用突起を有す
   る配列台の仕切用突起間に、仕切用突起に接して収容さ
   れたガラス角棒を、基板用ガラスをガラス角棒上に配置
   して、配列する特許請求の範囲第８項記載の製造方法。 １４ 第三の仮止めする工程において、ガラス角棒の両
   端側両附近の底面の前記接着材と接する部分と、前記接
   着材とを仮接着し、ガラス角棒を基板用ガラスに仮止め
   する特許請求の範囲第８項記載の製造方法。 １５ 第三の仮止めする工程において、α−シアノアク
   リレート系接着剤、アクリル系接着剤、又は酢酸ビニル
   系接着剤で仮接着する特許請求の範囲第８項又は第１４
   項記載の製造方法。 １６ 第四の工程において、加熱接着温度が１８０〜６
   ００℃、圧力が３〜１０００ｇ／ｃｍ＾２、保持時間が
   ３〜１８０分である特許請求の範囲第８項記載の製造方
   法。