JPS5985119A - 厚みすべり圧電振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 不発ｆｕＪｌｉ厚みすべり振動を行う圧電振動子Ｖこ関
ず４）もので乏）る。

従来、厚みすペリ圧゛亀振ｙＤ子の一例としてＡＴカン
トの水晶振動子は、気密オＭ子の２本の端子ビンに１呆
持バど・を溶接などにより固着し、２不の保持パイ・の
間に水晶片を支持し７、保持パイ・、水晶片と接触し／
（い状ｆｉＪＪでキャンプヶ被せ、気密端子のペースと
キャンプとを１Ｎ止していた。このため部品点数が多く
なり、構成ｌ、パ傾ｉＭ；であっ；化。丑／こ製７ａ　
、組立が偵・犀でぼつす、外形形状が犬さくなるという
欠点を持っていグこ。ざＬ）に水晶片Ｑ」２点Ｖこで支
持きれ・る・た・めノ衝昇に弱いという不ｉ１：Ｓ合も
めった。

本発明は上記欠点を除去うるものであり、構成が簡単で
部品点数が少なく、製造９組立が容易であり、衝撃に強
く、外形形状の小さい厚みすべり圧電振動子を提供する
ものである。。

以下本発明の実施例を詳細に説明する。

第１〜２図において、１は厚みすべり圧電振動子の一例
としてＡＴカント水晶撮動子であり、厚みすべり振動を
行う水晶片２と、この水晶片の外周端部に対応して設け
た接着層５，４と、一方の接着ノー４の土部に接着され
たリング状のスペーサ５と、この２ペーサの上部に設け
た接着層６と、接着層６の下部に設けた基板７お工び接
着層６の土部に設けた基板８とから構成さえしている。

水晶片２は下方の主面２ａが平面であり、上方の主面２
ｂが凸面である平凸状をしており、厚みすべり振動の振
動エイ・ルギを中央部に集中させ、外周端部の撮動変位
を極ぬて小さくしである。水晶片２の下方にはル着層６
ｖこより基板７が接着され、接着Ｊ＠６の厚さは２００
ｚｌｙ＋τ程度であるため主面２ａの中央部（は基板と
は非接触の状態となっている。

水晶片２の上方ｖＣ提着層３と同様の厚での接着層を設
は基板８を接着すると凸面゛℃ある主面２ｂはその中央
部が基′４ｇ、８と接触してし目：う。そして主面２ｂ
と基板８とが非接触シこなるように接着ノーを厚くする
と接着強度、気密性能の点で問題となる。

このため水晶片２の上方には接着層の間にスペーサを介
在させた構）戊としている。う゛なゎち水晶片２の上方
に接着層４にエリリング状のスペーサ５を接着し、この
スペーサの上部に接着層６により基板８を接着している
。こｔＬｖ′ｃより接着層４．６は接着層６と同様に薄
くでき、接着強度は強く、気密性能も優れている。スペ
ーサ５（ｒｊ−７に品性２と熱膨張係数の近い釜＠湖、
板が望壕しく、本例では鉄５０％、ニッケル５０％の鉄
ニツケル合金が用いられている。スペーサ５には引出し
４Ａ子５ａが一体に形成しである。基板７．８は水晶片
と熱膨張係数が近く通気性のないセラミンク７ガラヌな
どが用いら１％る。そして下刃の基板７　ｖ′Ｃは接着
Ｊ−５と交差するように引出しパターン９が２．→奄ペ
ーストを印刷するなどして形成しである。水晶片２の両
生面２ａ、２Ｌ＋ＶＣは駆動電極１Ｑ、１１が真孕蒸着
などｖｃ工り形成してあり、これらの駆動電極より水晶
片の外周端１で引出し＠極１０ａ、１１ａが延出形成し
である。接着層３，４．６は導電接着剤が用いら！′し
、駆動電極１０の引出し電極１０ａと引出しパターン９
との導通がとられ、また駆動電極１１の引ＩＢ　Ｌ電極
＋１ａとスペーサ５との導通がとられる。なお接Ｎ層を
異方導電性接着剤により形成すれば水晶片外周端Ｖこお
いて接着層５゜４が接触しても短絡することはない。な
ぜならば異方導電性接着剤は絶縁性接着剤に銀粉なと金
２０〜４０重敏多程度混ぜたものであり、厚み方向Ｖこ
け導通を示し、横方向Ｖこは絶縁を示すからである。

この場合は引出し電ｉ？？、１０　ａ、と引出しパター
ン９との導通をとるために両者を図示のように対向させ
る必要がある。水晶片２と基板７との間の接着層に囲ｉ
れた空間および水晶片２と基板８との間の接着層４，６
．スペーサ５１ｃ囲ｌれた空間は気密状態となっており
、真空あるいは不活性ガヌＷ、換されている４、なお水
晶片２外周部に基板７゜８に接するようにワックスなど
を充填すれは気密性能をエフ向上ざぜることができる。

つぎＶこ水晶振動子１の組立について述べる。基板７止
に２クリーン印沁７７、ｚどによシ接着鳩３を形成する
。基板８上ｉ／ｉｌ：は接着層６を同様に形成し、スペ
ーサ５を接着（７たあと接Ｍ層４を同様に形成する。−
Ｃして水晶片２を主旧２ａが基板７に対向するように゛
また主面２ｂが遊イυ８に対向するように挾み、接着層
６．４に＋Ｃυ接着すめ、必要に応じ加熱し接着層の硬
化を早める。水晶片２の外周ＶＣワックスを充填する場
合は接着層の硬化後行う。

このようｅこ水晶振動子１の組立上極めて容易である。

水晶振動子１を駆動するときは引出しパターン９と引吊
し端子５ａとの間Ｅ　重圧をかける。

な３引出１〜端子５ａの先端を屈成し基板７土に位置′
ＪるようにすオＬば、基板７−Ｊ−にへ己線パターンを
設けると＠に肩利どなる。

つぎに本発明の他の実施例を第６図を参照して説明する
。同図ｆ（おいて−１２−は水晶壺動子であり。

水晶片１５は両凸状をしでいる。そして水晶片の外周端
部に対応する接Ｎ層＋４，１５ｆ／こはスベーサ１６．
＋７が介在させてあり、これらの接着層ＶＣ，１：り基
板１８．１９が接着されている。このため接着層＋４．
＋５を厚くすることなしに両生面の中央部を基板１８．
１９と非接触とすることができる。水晶撮動子１２は同
形状の基板１８．１９を使用でき、駆動′３−るときは
スペーサの引出し端子＋６ａ、＋７ａＶｃＴ［圧をＺ）
）ける。他の構成および水晶振動子１２の組立に１前記
実施例と略同−である。

なお圧電素子の外周部が面取りされたベベリング形状の
場合も第６図の実施例を適用することができる。

以上述べたように本発明によれば、部品点数が少なく構
成が簡単であり、製造組立が容易な厚みすべり圧電壁動
子を提供できる。甘た小型化でき、衝撃に強く、接着強
度が強く、気密性能に優れた厚みすべり圧奄伽動子を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の正面図、第２図は第１図■
−■線断［ｍ図、第６図は一万の基板の正面図、第４［
ｇ１幻水晶片の正面１ンｊ、第５図ば７ベーサのｉＥ而
面＞＜１、第６図は佃の実施例の断面図である。 １．１２・・・水晶撮動子、２，１６・・・水晶片、３
、４．６．１４．１５・・・接着、層、５．１６．１７
・・・スペーサ、 ５ａ、、　１６ａ、　１７ａ・・引出し端子。 ７、８．１８．１９　　・・・基板。 以　　　上 第１図 ２　　　　　１　５Ｑ 第５図 カ ／ 第２図 第４図 第６図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｆｌ、ｌ　　ＪＭみすべり振動を行う圧電素子と、この
   圧電素子の両王面Ｖ（、上記圧電素子の外周端部ＶＣ対
   応−」−るり／グ状の接着層ＶＣＬりこの両生面の中央
   部が非接触の状態で固着された二つの基板と、 上記圧Ｙｂ；素子の両生＋ｆｚＪの接浴・層の少ｌくと
   も一方にブｒ荘させたり／グ状のヌペーザとを設けた厚
   み丁ベシ圧−１振動子。 （２、特許請求の範囲第１項において、圧電素子は平凸
   状介しでおり、凸面状の主面１１１］のみにヌベーザを
   介在させたことに％徴とする厚みすべり圧電振動子。 （３）特許請求の範囲第１項ＶＣおいて０、圧′屯索子
   の両生面側ｉｚｃヌベーサを介在させたことケ特徴とす
   る厚みすべり圧電振動子。 （４）特許請求の範囲第１項、第２稍丑たりよ第６項に
   おいて、スベーザ廻−笠属製でりり、引出し端子を医用
   形ルーしで組）ることを特徴とするＪｊ９み１べり圧電
   振動子。