JPS6133716Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は緩衝枠を設けた縦振動型圧電振動子に
関する。

〔従来の技術〕

この従来の縦振動片は長辺方向に振動し、その
基本モードにおいて、振動の節Ａ−A′と振動片
接続部２の中心線Ｂ−B′が重なることが理想であ
る。

しかし、ウエハーの板厚のバラツキなどの製造
上のバラツキにより、振動の節Ａ−A′と振動片
接続部のＢ−B′が重ならない場合がある。このた
め、振動片接続部２は長辺方向の振動により屈曲
変位し、漏振動として振動エネルギーは振動片接
続部２を介して枠３へ漏洩する。

第４図は漏振動がある場合の振動接続部付近の
振動状態の瞬時状態を示す。この結果、振動エネ
ルギーが振動片に保持される率が低下し、Ｑ値が
低下するものである。

また、振動片１の長辺振動と直角方向に短辺振
動が発生しており、この振動エネルギーも枠を介
して外部に放出される。この様子を第５図の破線
によつて示してある。このため、枠３を全面固定
した場合、固定材の塑性変形ロスによる振動エネ
ルギーロスが生じ、Ｑ値低下の原因となる。

この問題を回避するために、枠の一部を局部固
定する必要が生じるが、それには固定位置の精度
が要求されるため、作業性が低下するという欠点
を有し、さらには固定位置がＱ値に鋭敏に影響
し、安価で特性良好な縦振動型圧電振動子を供す
ることが困難であつた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

以上のように従来の枠付縦振動型圧電振動子
は、振動片接続部を介して枠部が振動してしまう
ため、枠部を支持台あるいはケースに固定した
際、振動洩れを発生してしまうといつた問題があ
り、低コストで且つ高性能の縦振動型圧電振動子
を実現することが困難であつた。

本考案はかかる従来の問題点を解決し、安価
で、特性の良好な縦振動型圧電振動子を得ること
にある。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案の縦振動型圧電振動子は、縦振動型圧電
振動片と、縦振動型圧電振動片の振動の節からそ
れぞれ反対方向に延長して形成される振動片接続
部に接続して前記縦振動型圧電振動片を囲むよう
に形成される緩衝枠と、緩衝枠に接続しそれぞれ
反対方向に延長して形成される緩衝枠接続部と、
緩衝枠接続部に接続して緩衝枠を囲むように形成
された固定枠とから構成されることを特徴とす
る。

〔作 用〕

上記の様に構成された縦振動型圧電振動子は、
縦振動型圧電振動子を包囲するように緩衝枠を設
け、更にその緩衝枠を包囲するように固定枠を設
けたことにより、縦振動型圧電振動子の長辺方向
及び長辺方向と直角な短辺方向の振動による漏洩
振動が、緩衝枠の屈曲変位による共振または反射
によつて閉じ込められ、固定枠へのエネルギー漏
洩を防止できる。

〔実施例〕

本考案の一実施例を図面を用いて説明する。

第１図において、４は振動片、５は振動片を保
持する振動片接続部、６は振動片接続部を保持す
る緩衝枠、７は緩衝枠を保持する緩衝枠接続部、
８は緩衝枠接続部を保持する枠であり、振動片４
と緩衝枠６と枠８が１枚の圧電性を有する厚味が
概0.1mmのウエハーよりフオトリングライフイー
あるいは電子線リングラフイーあるいはＸ線リン
グラフイー等の技術により一体形成されている縦
振動型圧電振動子である。

本発明によれば、振動片４は長辺方向に振動
し、その振動の節であるＡ−A′と振動片接続部
の中心線Ｂ−B′のずれによる漏振動を緩衝枠６ｂ
の屈曲変位による共振または反射によつて枠８へ
のエネルギー漏洩を防止している。

また、長辺方向と直角な短辺方向の振動による
漏振動を緩衝枠６ａの屈曲変位によつて共振また
は反射によつて、エネルギー漏洩を防止してい
る。

以上、本発明によれば、枠８と振動片４は緩衝
枠６により振動的に分離されており、枠８の固定
方法による影響が振動片４に及ばない。このため
Ｑ値が高く、固定作業も容易となり、量産に適
し、安価で特性の良好な縦振動型圧電振動子を得
ることができるという利点を有する。

本発明の応用例を第２図、第６図に示す。

第２図は上ケース９と下ケース１１をバツチ処
理により金スズ、ハンダ、銀ペーストなどで接合
された縦振動型圧電振動子１０の３層構造をもつ
もので、振動片４及び緩衝枠６が上ケース９と下
ケース１１に接触しないために、上ケースと下ケ
ースに凹部１２，１３を設ける。この場合、上ケ
ース、下ケースを平板とし、水晶発振片との間に
スペーサーを挾持して用いた５層構造でも良い。

第６図はプラスチツク、セミラツク等で形成さ
れたパツケージ１４に薄型縦振動型圧電振動子を
組込んだ構成を示し、第７図はその封止例を示
す。

第７図Ａは第２図の実施例で示した上ケースと
下ケースに挾持し、封止した圧電振動子をそのま
ま組込んだ場合の正面断面図であり、第７図Ｂは
第２図の実施例で示した圧電振動子１０をパツケ
ージに設けた凹部に固着し、さらに蓋体で封止し
た正面断面図である。

第７図Ａにおいて、１５は上ケースと下ケース
に挾持された薄型縦振動型圧電振動子で、６層あ
るいは５層構造で構成する。１６はパツケージで
あり、セラミツクあるいはプラスチツクで形成さ
れる。１７はリード端子であり、圧電振動子１５
の外部取出し電極との導通を導電性接着剤、ハン
ダあるいはAu−Sn共晶合金、Au−Au熱圧着等
で行なう。

第７図Ｂにおいて、１８は本発明の実施例に示
した圧電振動子であり、パツケージ２０に設けら
れた凹部に導電性接着剤、ハンダあるいはAu−
Sn共晶合金、Au−Au熱圧着等でリード端子２１
と導通接合を行なう。１９は蓋体である。

〔考案の効果〕

本考案によれば、縦振動型圧電振動片の振動の
節からそれぞれ反対方向に延長して形成される振
動片接続部により縦振動型圧電振動片を包囲する
緩衝枠を連結し、更にその緩衝枠の外周を包囲す
る固定枠を緩衝枠接続部により緩衝枠に連結した
ものなので、振動片接続部の漏洩振動を緩衝枠の
屈曲変位による共振または反射によつて固定枠に
伝わることを防止できるものである。その結果、
縦振動型圧電振動子のＱ値を高め振動子性能を向
上させ、同時に固定枠の支持を容易にし歩留りの
良い低コストの縦振動型圧電振動子を提供できる
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の縦振動型圧電振動子の斜視
図、第２図は本発明の応用例を示す分解斜視図、
第３図従来の縦振動型圧電振動子の斜視図、第４
図は漏振動の状態図を示す、第５図は漏振動の状
態図を示す、第６図は本発明のさらに他の応用例
を示す斜視図、第７図は本発明にかかる振動子の
組立て図。 １……振動片、２……振動片接続部、３……
枠、４……振動片、５……振動片接続部、６……
緩衝枠、７……緩衝枠接続部、８……枠、９……
上ケース、１０……縦振動型圧電振動子、１１…
…下ケース、１２……凹部、１３……凹部、１４
……デユアルインラインパツケージ、１５……薄
型縦振動型圧電振動子、１６……パツケージ、１
７……リード端子、１８……薄型縦振動型圧電振
動子、１９……蓋体、２０……パツケージ、２１
……リード端子。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 縦振動型圧電振動片と、該縦振動型圧電振動片
   の振動の節からそれぞれ反対方向に延長して形成
   される振動片接続部と、該振動片接続部に接続し
   て前記縦振動型圧電振動片を囲むように形成され
   る緩衝枠と、該緩衝枠に接続しそれぞれ反対方向
   に延長して形成される緩衝枠接続部と、該緩衝枠
   接続部に接続して前記緩衝枠を囲むように形成さ
   れた固定枠とから構成されることを特徴とする縦
   振動型圧電振動子。