JPS59139713A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS59139713A JPS59139713A JP1389183A JP1389183A JPS59139713A JP S59139713 A JPS59139713 A JP S59139713A JP 1389183 A JP1389183 A JP 1389183A JP 1389183 A JP1389183 A JP 1389183A JP S59139713 A JPS59139713 A JP S59139713A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- piezoelectric
- conductive
- diaphragm
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は励振電極を備えた圧電振動板からなる圧電振動
子、特にその支持構造に関するものである０ 〔従来技術〕 従来、例えばフォトリングラフィにより製作される長辺
縦振動子等は、第１図に示すような円筒状の圧入型のケ
ースあるいは第２図に示すようなセラミックケースに固
着される場合かはとんとであり、ケースの価格が高く、
安価な振動子の供給に障害となっていた。第１図におい
て１１は金属環１２およびガラス１３からなるベースで
あυ、このベース１１に植設されたリード端子１４に振
動板１５を固着し、辷れに図示しない円筒状の金属カン
を圧入するものである。また第２図において２１は凹部
２１ａを有するセラミックケースで、段部２１ｂに振動
板２２を固着した後、図示しない蓋を被せる。
子、特にその支持構造に関するものである０ 〔従来技術〕 従来、例えばフォトリングラフィにより製作される長辺
縦振動子等は、第１図に示すような円筒状の圧入型のケ
ースあるいは第２図に示すようなセラミックケースに固
着される場合かはとんとであり、ケースの価格が高く、
安価な振動子の供給に障害となっていた。第１図におい
て１１は金属環１２およびガラス１３からなるベースで
あυ、このベース１１に植設されたリード端子１４に振
動板１５を固着し、辷れに図示しない円筒状の金属カン
を圧入するものである。また第２図において２１は凹部
２１ａを有するセラミックケースで、段部２１ｂに振動
板２２を固着した後、図示しない蓋を被せる。
一方、第３図に示すように振動板３１０両端にリード端
子３２を接続して円筒状のケース３３に通し、両端にそ
れぞれリード端子３２を通す孔を設けた中ヤツプ３４を
取付けたものもあるが、ζの場合振動板３１にリード端
子３２を取付け、まだリード端子３２をキャップ３４の
孔に通さなければならないとともに、ケース３３と両キ
ャップ３４、両キャップ３４とリード端子３２をそれぞ
れシールしなければならず、工程が多いうえにシール個
所が多く製作が容易でない欠点があった。
子３２を接続して円筒状のケース３３に通し、両端にそ
れぞれリード端子３２を通す孔を設けた中ヤツプ３４を
取付けたものもあるが、ζの場合振動板３１にリード端
子３２を取付け、まだリード端子３２をキャップ３４の
孔に通さなければならないとともに、ケース３３と両キ
ャップ３４、両キャップ３４とリード端子３２をそれぞ
れシールしなければならず、工程が多いうえにシール個
所が多く製作が容易でない欠点があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであわ、
その目的は製作が容易で歩留りが向上するとともにコス
トの低減をはかることが可能な圧電振動子を提供するこ
とにある。
その目的は製作が容易で歩留りが向上するとともにコス
トの低減をはかることが可能な圧電振動子を提供するこ
とにある。
このようが目的を達成するために、本発明は両端部に導
電部を有する絶縁材からなる筒状のケースと、その両端
部に封着した導電材からなるキャップとによって構成さ
れた外囲器を設け、振動板はその両端部をそれぞれ上記
導電部に直接固着するようにしたものである。以下、実
施例を用いて本発明の詳細な説明する。
電部を有する絶縁材からなる筒状のケースと、その両端
部に封着した導電材からなるキャップとによって構成さ
れた外囲器を設け、振動板はその両端部をそれぞれ上記
導電部に直接固着するようにしたものである。以下、実
施例を用いて本発明の詳細な説明する。
〔実施例〕
第４図（ａ）は、本発明の一欠施例を示す縦断面図、同
図（ｂ）は同じ（９０度方向を看えたＲ断面図、同図（
ｃ）は横断面図である。ともに、励振電極４１を備えた
ＡＴカットの水晶板からなる圧電振動板４２を円筒状の
ケース４３の内面に固着した状態を示す。ケース４３は
、ガラスパイプからなυ、両端部に導電部４４を備えて
いる。導電部４４は、蒸着、無電界メッキ、スパッタ等
にょシガラスパイプ両端部の内外面および端面に被着し
た金属膜からなり、圧電振動板４２はその両端の励振電
極４１の引出し部が引出されている部分において、上記
導電部４４に例えばＡｆを用いた導電接着剤４５により
直接固着することによって、機械的な支持と電気的な接
続を行なっている。
図（ｂ）は同じ（９０度方向を看えたＲ断面図、同図（
ｃ）は横断面図である。ともに、励振電極４１を備えた
ＡＴカットの水晶板からなる圧電振動板４２を円筒状の
ケース４３の内面に固着した状態を示す。ケース４３は
、ガラスパイプからなυ、両端部に導電部４４を備えて
いる。導電部４４は、蒸着、無電界メッキ、スパッタ等
にょシガラスパイプ両端部の内外面および端面に被着し
た金属膜からなり、圧電振動板４２はその両端の励振電
極４１の引出し部が引出されている部分において、上記
導電部４４に例えばＡｆを用いた導電接着剤４５により
直接固着することによって、機械的な支持と電気的な接
続を行なっている。
このような圧電振動子４２を固着したケース４３の両端
部に、第５図に示すように金属からなるキャップ５１を
封着する。封着は半田等の金属もしくけ導電接着剤等を
用いて行なう。したがって各キャップ５１は、ケース４
３の導電部４４を介して圧電振動板４２の各励振電極４
１にそれぞれ電気的に接続され、この結果図に示すよう
にチップ化に対応した外観形状の圧電振動子が得られる
。
部に、第５図に示すように金属からなるキャップ５１を
封着する。封着は半田等の金属もしくけ導電接着剤等を
用いて行なう。したがって各キャップ５１は、ケース４
３の導電部４４を介して圧電振動板４２の各励振電極４
１にそれぞれ電気的に接続され、この結果図に示すよう
にチップ化に対応した外観形状の圧電振動子が得られる
。
なお、上述した実施例では第４図（ｅ）に示したように
、圧電振動板４２はケース４３の内部の一方に寄せるよ
うに配置し、またこの結果導電接着剤４５は圧電振動板
４２の端面の一辺全体にわたって被着した形となってい
るが、本発明はこのような態様に限定されるものではな
く、圧電振動板４２は、例えば第６図に示すようにケー
ス４３の管軸に近付けて配置し、またケース４３の内面
に直接接触する両端部においてのみ固着するようにして
もよいことは言うまでもない。
、圧電振動板４２はケース４３の内部の一方に寄せるよ
うに配置し、またこの結果導電接着剤４５は圧電振動板
４２の端面の一辺全体にわたって被着した形となってい
るが、本発明はこのような態様に限定されるものではな
く、圧電振動板４２は、例えば第６図に示すようにケー
ス４３の管軸に近付けて配置し、またケース４３の内面
に直接接触する両端部においてのみ固着するようにして
もよいことは言うまでもない。
さらに、特に輪郭系の振動子などにおいて、上述したよ
うな圧電振動板４２そのものを直接固着する構造では自
由な振動が妨げられ振動子としての性能が低下するおそ
れがあるような場合には、第７図（、）および（ｂ）に
示すように圧電振動板Ｔ１の本体に対し、両端部に数個
の突起部Ｔ２を設けた構造を用いることが効果的である
。
うな圧電振動板４２そのものを直接固着する構造では自
由な振動が妨げられ振動子としての性能が低下するおそ
れがあるような場合には、第７図（、）および（ｂ）に
示すように圧電振動板Ｔ１の本体に対し、両端部に数個
の突起部Ｔ２を設けた構造を用いることが効果的である
。
例えば第７図（ａ）（同図（ｂ）も突起部の数が異なる
だけで同様）は、第４図に示したものがＡＴカット等の
厚みすベシ振動を行なうものであるのに対し、長辺縦振
動を行なうもので、振動子本体としての振動部γ１ａと
音叉形の支持部を構成する脚部７１ｂおよび連結部７１
ｅならびに両端の基部’１１ｄとから構成されるが、基
部Ｔ１ｄの側面にそれぞれ１個、計４個の突起部７２が
設けてあｐｌその位置は基部７ｊｄに伝わる振動の腹の
部分に該尚している。圧電振動板Ｔ１をこのような形状
にしたことによシ、ケース４３の内面との接触は上記突
起部７２においてのみ行なわれ、音叉形支持部を構成す
る脚部７１ｂおよび連結部７１ｃの自由な振動を損うこ
とがなくなり、振動子の性能を十分に発揮させることが
可能となる。なお、Ｔ３は励振電極である（斜線部）０ また、圧電振動板Ｔ１の構造をこのようにすることによ
シ、従来１枚のウェハ上にパターニングしてエツチング
を行なう場合に第８図（、）に示すように配置していた
のに対し、同図（ｂ）に示すように配置することが可能
となシフレーム８１の部分が不要となるため、１枚のウ
ェハからの収率を上昇させることができ、この意味でも
コストダウンがはかれる。なお、第８図（ｂ）において
、隣接する圧電振動板の突起部の境界部８２はハーフエ
ツチングによシ溝を設けて後に個々に分離し易くしであ
る。
だけで同様）は、第４図に示したものがＡＴカット等の
厚みすベシ振動を行なうものであるのに対し、長辺縦振
動を行なうもので、振動子本体としての振動部γ１ａと
音叉形の支持部を構成する脚部７１ｂおよび連結部７１
ｅならびに両端の基部’１１ｄとから構成されるが、基
部Ｔ１ｄの側面にそれぞれ１個、計４個の突起部７２が
設けてあｐｌその位置は基部７ｊｄに伝わる振動の腹の
部分に該尚している。圧電振動板Ｔ１をこのような形状
にしたことによシ、ケース４３の内面との接触は上記突
起部７２においてのみ行なわれ、音叉形支持部を構成す
る脚部７１ｂおよび連結部７１ｃの自由な振動を損うこ
とがなくなり、振動子の性能を十分に発揮させることが
可能となる。なお、Ｔ３は励振電極である（斜線部）０ また、圧電振動板Ｔ１の構造をこのようにすることによ
シ、従来１枚のウェハ上にパターニングしてエツチング
を行なう場合に第８図（、）に示すように配置していた
のに対し、同図（ｂ）に示すように配置することが可能
となシフレーム８１の部分が不要となるため、１枚のウ
ェハからの収率を上昇させることができ、この意味でも
コストダウンがはかれる。なお、第８図（ｂ）において
、隣接する圧電振動板の突起部の境界部８２はハーフエ
ツチングによシ溝を設けて後に個々に分離し易くしであ
る。
第９図に、このような圧電振動板Ｔ１をケース４３に収
容し、突起部Ｔ２において導電接着剤４５により導電部
４４に固着した様子を示す。なお、励振電極７３につい
ては省略した。
容し、突起部Ｔ２において導電接着剤４５により導電部
４４に固着した様子を示す。なお、励振電極７３につい
ては省略した。
同様の手段は、第７図（ｃ）に示したような音叉形の振
動板など他の輪郭系の振動板、あるいは同図（ｄ） ｌ
（ｅ）に示しだよりなＡＴ、ＨＴカットなどの厚みす
ベシ振動を用いた振動板にも同様に適用できる。
動板など他の輪郭系の振動板、あるいは同図（ｄ） ｌ
（ｅ）に示しだよりなＡＴ、ＨＴカットなどの厚みす
ベシ振動を用いた振動板にも同様に適用できる。
なお、図において７４，７６．７８は圧電振動板、乃、
７７．７９は励振電極（斜線帥を示す。
７７．７９は励振電極（斜線帥を示す。
例えば第１０図は、第７図（、）に示したようなＨＴカ
ットの圧電振動板７８（１点鎖線で示す）を用いた例で
ある（励振電極は省略）。圧電振動板７８をケース４３
に収容し、突起部Ｔ２において導電接着剤４５によシ導
電部４４に固着した後、両端に予め内面に半田、Ｓｎ、
Ｐｂ等のメッキを施したキャップ５１を圧入によシ接合
して気密封止と電気的な接続を行なうことによシ、第５
図に示したと同様の外観形状の圧電振動子が得られる。
ットの圧電振動板７８（１点鎖線で示す）を用いた例で
ある（励振電極は省略）。圧電振動板７８をケース４３
に収容し、突起部Ｔ２において導電接着剤４５によシ導
電部４４に固着した後、両端に予め内面に半田、Ｓｎ、
Ｐｂ等のメッキを施したキャップ５１を圧入によシ接合
して気密封止と電気的な接続を行なうことによシ、第５
図に示したと同様の外観形状の圧電振動子が得られる。
なお、上述した実施例では圧電振動板を水晶で構成した
場合についてのみ説明したが、本発明はこれに限定され
るものではなく、他の圧電材料、例えばニオブ酸リチウ
ム、タンタル酸リチウムあるいは圧電セラミックなどを
用いた場合にも同様に適用できることは言うまでもない
。
場合についてのみ説明したが、本発明はこれに限定され
るものではなく、他の圧電材料、例えばニオブ酸リチウ
ム、タンタル酸リチウムあるいは圧電セラミックなどを
用いた場合にも同様に適用できることは言うまでもない
。
また、ケースはガラスパイプを用いたものに限定される
ものではなく、他の絶縁材、例えばセラミックや樹脂等
からなる筒状体を用いても同様の効果を得ることができ
る。
ものではなく、他の絶縁材、例えばセラミックや樹脂等
からなる筒状体を用いても同様の効果を得ることができ
る。
さらにケースは断面円形のものに限らず、他の形状のも
のを用いてもよい。例えば断面を楕円形状として圧電振
動板の主面とケース内面間の空隙を減らすことは小形化
に有効である。
のを用いてもよい。例えば断面を楕円形状として圧電振
動板の主面とケース内面間の空隙を減らすことは小形化
に有効である。
以上説明したように、本発明によれば、両端に導電部を
備えだ絶縁材からなる筒状のケースとその両端に封着し
た導電材からなるキャップとによって構成される外囲器
を用い、振動板はケース内面の導電部に直接固着するよ
うにしたことによシ、製造工程が大幅に簡略化され、製
作が容易になるとともに歩留シが向上し、コストの低減
が可能となる。
備えだ絶縁材からなる筒状のケースとその両端に封着し
た導電材からなるキャップとによって構成される外囲器
を用い、振動板はケース内面の導電部に直接固着するよ
うにしたことによシ、製造工程が大幅に簡略化され、製
作が容易になるとともに歩留シが向上し、コストの低減
が可能となる。
第１図ないし第３図は従来の圧電振動子の構成例を示す
図、第４図（ａ） ｌ （ｂ）は本発明の一実施例を示
すケースに振動板を固着した状態の縦断面図、同図（Ｃ
）は同じく横断面図、第５図はキャップを封着した外観
を示す斜視図、第６図は振動板の他の固着例を示す横断
面図、第７図（ａ）〜（、）は振動板の他の構成例を示
す正面図、第８図（ａ） ｔ （ｂ）は１枚のウェハか
ら多数の振動板を得る方法を説明するための図、第９図
は本発明の他の実施例を示す振動板をケースに固着した
状態の斜視図、第１０図は本発明のさらに他の実施例を
示す斜視図である。 ４１．７３，７５，７７．７９・・１・励振電極、４２
゜７１．７４．７６．７８・嗜・・圧電振動板、４３φ
・・・ケース、４４・・−・導電部、４５・・・一導電
接着剤、５１・・・・キャップ。 特許出願人 キンセキ株式会社 代理人 山川政樹（ｔυ）１名） 第３図 （ａ） （ｂ） 副５図 第６図 賄７図
図、第４図（ａ） ｌ （ｂ）は本発明の一実施例を示
すケースに振動板を固着した状態の縦断面図、同図（Ｃ
）は同じく横断面図、第５図はキャップを封着した外観
を示す斜視図、第６図は振動板の他の固着例を示す横断
面図、第７図（ａ）〜（、）は振動板の他の構成例を示
す正面図、第８図（ａ） ｔ （ｂ）は１枚のウェハか
ら多数の振動板を得る方法を説明するための図、第９図
は本発明の他の実施例を示す振動板をケースに固着した
状態の斜視図、第１０図は本発明のさらに他の実施例を
示す斜視図である。 ４１．７３，７５，７７．７９・・１・励振電極、４２
゜７１．７４．７６．７８・嗜・・圧電振動板、４３φ
・・・ケース、４４・・−・導電部、４５・・・一導電
接着剤、５１・・・・キャップ。 特許出願人 キンセキ株式会社 代理人 山川政樹（ｔυ）１名） 第３図 （ａ） （ｂ） 副５図 第６図 賄７図
Claims (2)
- （１）励振電極を備えた圧電振動板と、この圧電振動板
を収容した外囲器とからなる圧電振動子において、上記
外囲器は両端部に内外面および端面に被着した導電膜か
らなる導電部を備えた絶縁材からなる筒状のケースと、
このケースの両端部に封着した導電材からなるキャップ
とによって構成され、上記圧電振動板は、両端部がそれ
ぞれ上記導電部においてケースの内面に直接固着しであ
ることを特徴とする圧電振動子。 - （２） 圧電振動板は、両端部に突起部を備えた形状
を有し、当該突起部においてケースの内面に直接固着し
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧
電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1389183A JPS59139713A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1389183A JPS59139713A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59139713A true JPS59139713A (ja) | 1984-08-10 |
| JPH0211171B2 JPH0211171B2 (ja) | 1990-03-13 |
Family
ID=11845806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1389183A Granted JPS59139713A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59139713A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62166608A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-07-23 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPS62214712A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-21 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
-
1983
- 1983-01-31 JP JP1389183A patent/JPS59139713A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62166608A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-07-23 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPS62214712A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-21 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0211171B2 (ja) | 1990-03-13 |
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